JPH0785865B2 - 磁気ヘツドのテ−プ研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘツドのテープを研磨する装置に係り、
特に、円筒面の鏡面研磨加工に好適な磁気ヘツドのテー
プ研磨装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に第２図に示すように、磁気ヘツド20の一面が円筒
面（20a）よりなる磁気ヘツドの製造工程において、磁
気テープ等の磁気記録媒体と接触する磁気ヘツドの媒体
摺動面の曲面形成機械加工は、円筒研削盤による研削加
工と、研磨テープによるラツピング加工が知られてい
る。これらの加工法のうち、前者の円筒研削盤による研
削加工は後者の研磨テープによるラツピング加工に比
べ、加工能率は良い反面、チツピング，クラツクあるい
は、加工変質層が発生しやすいため、高能率で高精度な
鏡面が必要な場合、研削加工後ラツピング加工を採るの
が一般的である。研磨テープによるラツピング加工法の
一つとして、テープを高速で往復動させながら、加工試
料をテープに押し当てつつ首振り運動を行い、表面仕上
げする方法がある。

更に、他の方法として、テープの裏面に平面度を良くし
たバツクアツププレートを設置し、テープはバツクアツ
ププレートにならつて送られ、バツクアツププレートに
対向する位置に加工試料を設置し、首振り運動させつつ
一定圧力で押しつけ加工する方法がある。

上記の装置と関連するものは、例えば特開昭55−14546,
特開昭58−196962が挙げられる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、円筒面を加工する場合、母線方向の真
直度を悪くしたり、テープ裏面に付着する粉塵に対して
配慮がされておらず、加工面に傷が発生する問題があつ
た。

本発明の目的は、円筒面を高精度に鏡面加工する装置を
提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、磁気ヘッドのテープ研磨装置を、研磨テー
プを供給する供給手段と、供給された研磨テープの研磨
砥粒層を形成していない面の側を平坦な面でガイドする
バックアッププレートを有するテープガイド手段と、バ
ックアッププレートと対向して試料である磁気ヘッドを
保持しこの磁気ヘッドの摺動面を前記研磨テープの研磨
砥粒層に所定の荷重で揺動させながら押し当てる試料保
持手段と、研磨テープを回収する回収手段と、供給手段
とバックアッププレートとの間にあって研磨テープの研
磨砥粒層を形成していない面の側に付着した粉塵を除去
する粉塵除去手段とを備えて構成することにより達成さ
れる。

〔作用〕

加工試料の形状は、バツクアツププレートの形状になら
うため、高精度加工を必要とする場合は、バツクアツプ
プレートを高精度に加工しておく必要がある。通常テー
プ加工の場合、研磨テープの同一箇所を使用すると、切
粉による目ずまりをおこし、切味は劣化し、傷が入りや
すくなるため、テープは一定速度で送られる。テープは
一般にポリエステルフイルムをベースにしており、静電
気を帯びやすく、空気中の粉塵が付着しやすい。テープ
の加工面側は、加工液等を供給することにより、粉塵を
除去できるが、テープ裏面に付着した粉塵は、そのまま
送られ、バツクアツププレートまで来る。バツクアツプ
プレートまで送られたテープ裏面に付着した粉塵は、加
工試料とバツクアツププレートにはさまれ、一定加圧状
態でこすられることにより、バツクアツププレートに凝
着する。バツクアツププレートに粉塵が凝着することに
より、見かけ上、バツクアツププレートの形状は劣化
し、加工面に転写され、傷が発生する。本発明では、前
記した構成とすることにより、研磨テープの供給手段と
バックアッププレートとの間に設けた粉塵除去手段で、
このテープ裏面に付着した粉塵を除去することができ、
粉塵がバックアッププレートまで達することが阻止され
るので、磁気ヘッドの加工面の傷発生原因が排除され
て、高精度に加工したバックアッププレートの面が磁気
ヘッドの加工面に転写され、鏡面加工が行われる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図に基づいて具体的に説明す
る。

第１図において、１は加工試料で加工治具２に保持し、
首振り機構３（駆動部図示せず）にセツトし矢印方向に
駆動する。研磨テープ４は、ブレーキ付きの繰り出しリ
ール５より、粉塵除去機構12,テープガイド６を通り、
バツクアツププレート7,テープガイド６′を通り、巻き
取りリール８で巻き取る。バツクアツププレート７は、
中央がピンで押えられ、図に示す上下方向が規制され、
加工試料１の長手方向に回転し、回転方向には、バネ９
を配設し、加工試料１にバツクアツププレート７が追従
しやすいようにしてある。バツクアツププレート７に
は、シヤフト10より直線運動軸受11を介して、加工荷重
Ｐが加わる機構となつている。

第１図に示す構成で、研磨テープ４に酸化クロム0.5μ
m,バツクアツププレート７に長手方向の真直度0.2μm/2
5mmの超硬プレートを用い、多結晶フエライトを主体と
する加工試料１の円筒面（第２図の20a）を鏡面加工す
るに際し、首振り回数340回/min,加工荷重1kg,テープ送
り速度30mm/minの条件で加工する場合、粉塵除去機構12
を働かせず20分加工したときは、全面鏡面状態になる
が、数ケ所、百分の数ミクロンから10分の数ミクロンの
深さの傷が発生した。

そこで、同様の条件で、粉塵除去機構12として、例え
ば、第３図に示す如く、エア供給管12aとエア吸入管12b
をもうけ、塵埃を除去した乾燥空気を3kg/cm²で40l/mi
n,エア供給管12aより吹きつけながら加工したところ、
上記した傷は発生せず、表面あらさ0.02μmRmax以内が
得られた。又、水道水を水圧1.5kg/cm²で4l/min吹きつ
けても同様の効果があつた。

他方、第４図に示す如く、吸入管の外径にブラシをもう
けた回転体の粉塵除去機構12cをテープ裏面に当てつ
つ、回転，吸引することによつても粉塵除去効果があ
り、傷発生阻止の効果があることを確認した。

以上説明した実施例によれば、研磨テープを用いた円筒
面ラツピング加工において、除塵機構を設けることによ
り、高精度に鏡面加工できる効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、磁気ヘツドの円筒面を高精度に鏡面加
工でき、高性能な磁気テープ用磁気ヘツドを供給できる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る装置の一実施例を示す概略構成
図、第２図は、本発明の加工対象とした磁気ヘツドの斜
視概略図、第３図は本発明に係る装置における粉塵除去
機構の一例を示す説明図、第４図は本発明に係る装置に
おける粉塵除去機構の他の例を示す説明図である。 １……加工試料、３……首振り機構、４……研磨テー
プ、５……繰り出しリール、6,6′……テープガイド、
７……バツクアツププレート、８……巻き取りリール、
９……バネ、10……シヤフト、11……直線運動軸受、12
……粉塵除去機構

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】研磨テープを供給する供給手段と、該供給
   された研磨テープの研磨砥粒層を形成していない面の側
   を平坦な面でガイドするバックアッププレートを有する
   テープガイド手段と、該バックアッププレートと対向し
   て試料である磁気ヘッドを保持し該磁気ヘッドの摺動面
   を前記研磨テープの前記研磨砥粒層に所定の荷重で揺動
   させながら押し当てる試料保持手段と、前記研磨テープ
   を回収する回収手段と、前記供給手段と前記バックアッ
   ププレートとの間にあって前記研磨テープの前記研磨砥
   粒層を形成していない面の側に付着した粉塵を除去する
   粉塵除去手段とを備えたことを特徴とする磁気ヘッドの
   テープ研磨装置。
2. 【請求項２】前記塵埃除去手段が、前記研磨テープの前
   記研磨砥粒層を形成していない面の側に高圧の空気を吹
   き付けるエア供給部と、前記高圧の空気を吹き付けるこ
   とにより前記研磨テープの前記研磨砥粒層を形成してい
   ない面の側から遊離した塵埃を前記吹き付けた空気と共
   に吸入するエア吸入部とを有することを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドのテープ研磨装置。
3. 【請求項３】前記塵埃除去手段が、エア吸入口にブラシ
   を備えたエア吸入部を有し、前記研磨テープの前記研磨
   砥粒層を形成していない面の側を前記ブラシでこすりな
   がら前記研磨砥粒層を形成していない面の側から遊離し
   た塵埃を空気と共に前記エア吸入部より吸入することを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気ヘッドのテ
   ープ研磨装置。