JPH0568129B2 - - Google Patents
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- JPH0568129B2 JPH0568129B2 JP58167201A JP16720183A JPH0568129B2 JP H0568129 B2 JPH0568129 B2 JP H0568129B2 JP 58167201 A JP58167201 A JP 58167201A JP 16720183 A JP16720183 A JP 16720183A JP H0568129 B2 JPH0568129 B2 JP H0568129B2
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- ceramic
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- polarized
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/178—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator of a laminated structure of multiple piezoelectric layers with inner electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/56—Monolithic crystal filters
- H03H9/562—Monolithic crystal filters comprising a ceramic piezoelectric layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Acoustics & Sound (AREA)
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
この発明は、分極処理されたセラミツクスと、
このセラミツクス内で複数の間挿電極より構成さ
れている電極群とを備える圧電素子に関する。
このセラミツクス内で複数の間挿電極より構成さ
れている電極群とを備える圧電素子に関する。
先行技術の説明
第１図は、この種の圧電素子の一例である積層
型セラミツクフイルタの従来例を示す斜視図であ
る。積層型セラミツクフイルタ１は、厚み方向す
なわち矢印Ｐ方向に分極処理された圧電セラミツ
クス２と、圧電セラミツクス２内に設けられた２
個の電極群３，４とを備える。
型セラミツクフイルタの従来例を示す斜視図であ
る。積層型セラミツクフイルタ１は、厚み方向す
なわち矢印Ｐ方向に分極処理された圧電セラミツ
クス２と、圧電セラミツクス２内に設けられた２
個の電極群３，４とを備える。
一方の電極群３が、入力側電極群を構成し、他
方の電極群４が出力側電極群を構成している。各
電極群３，４は、それぞれ、相互に圧電セラミツ
クス２の厚み方向に重なり合うように設けられた
複数の間挿電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄおよび４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄからなる。入力側電極群３
では、電極３ａと電極３ｃとが共通に引き出され
ており、他方電極３ｂと電極３ｄとが共通に引き
出されている。電極群４についても同様である。
これは、入力側電極群３に電圧を印加すれば、各
電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが厚み方向に重なり
合つているため、厚み方向すなわち縦方向に振動
が伝わる。この振動は、弾性的に結合された電極
群４に伝えられる。すなわち入力側電極群３によ
り発生した縦方向の振動は、横方向に変換されて
伝えられる。この伝えられた振動により、出力側
電極群４において厚み方向すなわち縦方向の弾性
波の変位が生じ、それによつて電圧が発生する。
発生した電圧は、出力側電極群４の電極４ａおよ
び電極４ｃならびに電極４ｂおよび電極４ｄより
引き出される。
方の電極群４が出力側電極群を構成している。各
電極群３，４は、それぞれ、相互に圧電セラミツ
クス２の厚み方向に重なり合うように設けられた
複数の間挿電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄおよび４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄからなる。入力側電極群３
では、電極３ａと電極３ｃとが共通に引き出され
ており、他方電極３ｂと電極３ｄとが共通に引き
出されている。電極群４についても同様である。
これは、入力側電極群３に電圧を印加すれば、各
電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが厚み方向に重なり
合つているため、厚み方向すなわち縦方向に振動
が伝わる。この振動は、弾性的に結合された電極
群４に伝えられる。すなわち入力側電極群３によ
り発生した縦方向の振動は、横方向に変換されて
伝えられる。この伝えられた振動により、出力側
電極群４において厚み方向すなわち縦方向の弾性
波の変位が生じ、それによつて電圧が発生する。
発生した電圧は、出力側電極群４の電極４ａおよ
び電極４ｃならびに電極４ｂおよび電極４ｄより
引き出される。
ところで、従来、圧電セラミツクス２の分極処
理は、その上面５および下面６面で全面にわたつ
てなされている。したがつて、電極群３，４以外
の部分も分極されていることになり、そのため厚
み振動を閉じ込める効果が十分でなく、たとえば
不要な振動スプリアスが発生するという欠点を生
じさせていた。
理は、その上面５および下面６面で全面にわたつ
てなされている。したがつて、電極群３，４以外
の部分も分極されていることになり、そのため厚
み振動を閉じ込める効果が十分でなく、たとえば
不要な振動スプリアスが発生するという欠点を生
じさせていた。
発明の目的
この発明は上述された欠点を解消するためにな
されたものであり、その主たる目的は、厚み振動
の閉じ込め効率を向上させ得る圧電素子を提供す
ることである。
されたものであり、その主たる目的は、厚み振動
の閉じ込め効率を向上させ得る圧電素子を提供す
ることである。
発明の構成
この発明は、厚み閉じ込め振動を利用した圧電
素子であつて、分極処理された部分を一部に備え
るセラミツクスと、該セラミツクス内でセラミツ
クスの厚み方向に相互に重なり合いかつ平行な複
数の間挿電極より構成されている電極群とを備え
る。そして、上述の複数の電極が互いに重なり合
つている部分のみが、分極処理された部分内に位
置し、かつ厚み方向に一方向に分極されている。
素子であつて、分極処理された部分を一部に備え
るセラミツクスと、該セラミツクス内でセラミツ
クスの厚み方向に相互に重なり合いかつ平行な複
数の間挿電極より構成されている電極群とを備え
る。そして、上述の複数の電極が互いに重なり合
つている部分のみが、分極処理された部分内に位
置し、かつ厚み方向に一方向に分極されている。
この発明のその他の特徴は、図面を参照して行
なう以下の実施例の説明から一層明らかとなろ
う。
なう以下の実施例の説明から一層明らかとなろ
う。
実施例の説明
第２図は、この発明の一実施例である共振子を
示す斜視図である。共振子１１は、セラミツクス
１２と、このセラミツクス１２内に設けられた電
極群１３とを備える。セラミツクス１２は、多数
のセラミツクグリーンシートに内部電極用ペース
トを塗布し、これを積層配置し焼結することによ
り得られる。ここでセラミツクス材料としては、
たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛系、チタン酸鉛
系、チタン酸バリウム系などの単成分系や多成分
系あるいはこれらの添加物系がある。また、内部
電極用ペーストとしては、たとえば、パラジウ
ム、銀−パラジウム合金あるいはその他の高融点
金属や合金が用いられる。この実施例では圧電セ
ラミツク材料として、Pb0.85La0.1TiO8＋0.5wt％
MnO2系の組成のものを用いた。セラミツクグリ
ーンシートを得るには、上記の組成物の仮焼粉末
にバインダを加えて混合した後、ドクターブレー
ド法により作成した。得られたセラミツクグリー
ンシートに内部電極用としてパラジウムペースト
を印刷塗布した後圧着し、1200℃、２時間で焼結
して積層型セラミツクス１２を得た。
示す斜視図である。共振子１１は、セラミツクス
１２と、このセラミツクス１２内に設けられた電
極群１３とを備える。セラミツクス１２は、多数
のセラミツクグリーンシートに内部電極用ペース
トを塗布し、これを積層配置し焼結することによ
り得られる。ここでセラミツクス材料としては、
たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛系、チタン酸鉛
系、チタン酸バリウム系などの単成分系や多成分
系あるいはこれらの添加物系がある。また、内部
電極用ペーストとしては、たとえば、パラジウ
ム、銀−パラジウム合金あるいはその他の高融点
金属や合金が用いられる。この実施例では圧電セ
ラミツク材料として、Pb0.85La0.1TiO8＋0.5wt％
MnO2系の組成のものを用いた。セラミツクグリ
ーンシートを得るには、上記の組成物の仮焼粉末
にバインダを加えて混合した後、ドクターブレー
ド法により作成した。得られたセラミツクグリー
ンシートに内部電極用としてパラジウムペースト
を印刷塗布した後圧着し、1200℃、２時間で焼結
して積層型セラミツクス１２を得た。
電極群１３は、この実施例では11個の電極１３
ａ，１３ｂ，１３ｃ，…１３ｋからなる。そして
図示されるように、各電極１３ａ，１３ｂ，…１
３ｋは、それぞれ交互にセラミツクス１２の側面
１４，１５に引き出されている。したがつて、各
電極１３ａ，１３ｂ，…１３ｋは間挿電極の形態
を有している。
ａ，１３ｂ，１３ｃ，…１３ｋからなる。そして
図示されるように、各電極１３ａ，１３ｂ，…１
３ｋは、それぞれ交互にセラミツクス１２の側面
１４，１５に引き出されている。したがつて、各
電極１３ａ，１３ｂ，…１３ｋは間挿電極の形態
を有している。
この発明の特徴は、セラミツクス１２がその必
要な部分にだけ厚み方向に一方向に分極処理され
ているところにある。これを実現するために、分
極処理は以下のようになされる。第２図に示され
るように、各電極１３ａ，１３ｂ，…１３ｋが互
いに重なり合つている部分と対応した位置となる
ように分極用電極１６，１７をセラミツクス１２
の上面および下面に形成し、厚み方向すなわち矢
印Ｐ方向に分極するように分極処理が施される。
こうして、セラミツクス１２は、各電極１３ａ…
１３ｋが互いに重なり合つている部分だけ厚み方
向の一方向に分極されることになる。したがつ
て、図示されていないがセラミツクス１２の側面
１４，１５に形成される外部電極を介して電圧が
印加されると、分極処理されている部分のみ、す
なわち各内部電極１３ａ…１３ｋが互いに重なり
合つている部分のみが厚み振動を起こすことにな
るので、厚み振動の閉じ込め効率をより十分に高
めることができる。このことは、第３図を参照す
れば明らかとなる。
要な部分にだけ厚み方向に一方向に分極処理され
ているところにある。これを実現するために、分
極処理は以下のようになされる。第２図に示され
るように、各電極１３ａ，１３ｂ，…１３ｋが互
いに重なり合つている部分と対応した位置となる
ように分極用電極１６，１７をセラミツクス１２
の上面および下面に形成し、厚み方向すなわち矢
印Ｐ方向に分極するように分極処理が施される。
こうして、セラミツクス１２は、各電極１３ａ…
１３ｋが互いに重なり合つている部分だけ厚み方
向の一方向に分極されることになる。したがつ
て、図示されていないがセラミツクス１２の側面
１４，１５に形成される外部電極を介して電圧が
印加されると、分極処理されている部分のみ、す
なわち各内部電極１３ａ…１３ｋが互いに重なり
合つている部分のみが厚み振動を起こすことにな
るので、厚み振動の閉じ込め効率をより十分に高
めることができる。このことは、第３図を参照す
れば明らかとなる。
第３図は、第２図に示す実施例の周波数レスポ
ンスを示す図である。そして比較のために、セラ
ミツクスの上面および下面間で全面にわたつて分
極処理された共振子の周波数レスポンスを点線で
示している。両者を比較すれば明らかであるよう
に、実施例のごとく部分分極することにより、厚
み振動の閉じ込め効果が一層発揮され、分割振動
のないシヤープなレスポンスが得られる。
ンスを示す図である。そして比較のために、セラ
ミツクスの上面および下面間で全面にわたつて分
極処理された共振子の周波数レスポンスを点線で
示している。両者を比較すれば明らかであるよう
に、実施例のごとく部分分極することにより、厚
み振動の閉じ込め効果が一層発揮され、分割振動
のないシヤープなレスポンスが得られる。
第４図は、この発明の第２の実施例であるフイ
ルタを示す斜視図である。このフイルタ２１と、
第１図に示された従来のフイルタ１との相違点
は、分極にある。すなわち、この実施例では、分
極用電極２２，２３および２４，２５によつて２
個の電極群２６，２７の位置する部分だけが分極
処理されている。なお、この場合振動閉じ込め効
果を十分に発揮させるために、それぞれの電極群
を構成する各内部電極２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，
２６ｄおよび２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄが
互いに重なり合つている部分のみが分極処理され
るのが望ましいが、実際上多少の広がりをもつの
はやむを得ない。こうして、この実施例において
も第１図のフイルタ１と同様、入力側電極群２６
により発生した縦方向の振動が出力側電極群２７
に伝えられ、それによつて電圧が発生する。この
際、部分分極によつて振動閉じ込み効率が高くな
つているので、不要な振動スプリアスを極力少な
くし得ることが理解されよう。
ルタを示す斜視図である。このフイルタ２１と、
第１図に示された従来のフイルタ１との相違点
は、分極にある。すなわち、この実施例では、分
極用電極２２，２３および２４，２５によつて２
個の電極群２６，２７の位置する部分だけが分極
処理されている。なお、この場合振動閉じ込め効
果を十分に発揮させるために、それぞれの電極群
を構成する各内部電極２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，
２６ｄおよび２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄが
互いに重なり合つている部分のみが分極処理され
るのが望ましいが、実際上多少の広がりをもつの
はやむを得ない。こうして、この実施例において
も第１図のフイルタ１と同様、入力側電極群２６
により発生した縦方向の振動が出力側電極群２７
に伝えられ、それによつて電圧が発生する。この
際、部分分極によつて振動閉じ込み効率が高くな
つているので、不要な振動スプリアスを極力少な
くし得ることが理解されよう。
第５図は、この発明の第３の実施例であるフイ
ルタ３１を示す斜視図である。この実施例では、
入力側電極群３２および出力側電極群３３がセラ
ミツクス３４の厚み方向に重なり合うように設け
られている。各電極群３２，３３は、セラミツク
ス３４の厚み方向に相互に重なり合いかつ平行な
複数の間挿電極３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２
ｄ，３２ｅおよび３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３
ｄ，３３ｅより構成されている。そして、セラミ
ツクス３４の上面および下面に形成された分極用
電極３５，３６によつて、各内部電極が互いに重
なり合う部分のみまたはそれよりもわずかに広が
つた部分が分極処理され、矢印Ｐ方向に分極す
る。こうして、この実施例では、入力側電極群３
２に電圧を印加すれば入力側電極群３２の分極さ
れている部分のみが厚み方向に振動し、この振動
に基づく弾性波は、セラミツクス３４の厚み方向
に伝わり、出力側電極群３３の分極されている部
分に伝えられる。この弾性波に基づき出力側電極
群３３の各電極が振動し、出力が取出される。し
たがつて、第１図または第４図に示したフイルタ
と比較して、この第５図に示すフイルタ３１は、
有利なものであることが理解される。すなわち、
第１図または第４図に示すフイルタでは、振動が
入力側電極群から出力側電極群へ伝わる場合、変
位方向が２度にわたり変換されるため効率が極め
て低いという欠点が見られるが、このフイルタ３
１ではこのような変位方向の変換が行なわれない
ため高能率なものとなる。また、横効果に伴う不
要な振動が発生しないので、部分分極によつて得
られる効果と相まつてスプリアスレベルも低くな
ることがわかる。
ルタ３１を示す斜視図である。この実施例では、
入力側電極群３２および出力側電極群３３がセラ
ミツクス３４の厚み方向に重なり合うように設け
られている。各電極群３２，３３は、セラミツク
ス３４の厚み方向に相互に重なり合いかつ平行な
複数の間挿電極３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２
ｄ，３２ｅおよび３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３
ｄ，３３ｅより構成されている。そして、セラミ
ツクス３４の上面および下面に形成された分極用
電極３５，３６によつて、各内部電極が互いに重
なり合う部分のみまたはそれよりもわずかに広が
つた部分が分極処理され、矢印Ｐ方向に分極す
る。こうして、この実施例では、入力側電極群３
２に電圧を印加すれば入力側電極群３２の分極さ
れている部分のみが厚み方向に振動し、この振動
に基づく弾性波は、セラミツクス３４の厚み方向
に伝わり、出力側電極群３３の分極されている部
分に伝えられる。この弾性波に基づき出力側電極
群３３の各電極が振動し、出力が取出される。し
たがつて、第１図または第４図に示したフイルタ
と比較して、この第５図に示すフイルタ３１は、
有利なものであることが理解される。すなわち、
第１図または第４図に示すフイルタでは、振動が
入力側電極群から出力側電極群へ伝わる場合、変
位方向が２度にわたり変換されるため効率が極め
て低いという欠点が見られるが、このフイルタ３
１ではこのような変位方向の変換が行なわれない
ため高能率なものとなる。また、横効果に伴う不
要な振動が発生しないので、部分分極によつて得
られる効果と相まつてスプリアスレベルも低くな
ることがわかる。
なお、第４図または第５図に示された実施例に
おいて、各電極群２６，２７または３２，３３間
の距離を変化させることによつて、遅延時間を変
更することも極めて容易であり、遅延素子として
利用し得ることも理解されよう。
おいて、各電極群２６，２７または３２，３３間
の距離を変化させることによつて、遅延時間を変
更することも極めて容易であり、遅延素子として
利用し得ることも理解されよう。
なお、上述した各実施例において、各セラミツ
クスの端面、つまり間挿電極に平行に対向する端
面での振動の反射を抑制するために、波長（λ）
の1/2以上の凹凸を端面に形成するか（および）、
ダンピング材を端面に形成するか（および）、あ
るいは端面を間挿電極に対して斜め方向に形成す
るなどの手段が講ずればよい。
クスの端面、つまり間挿電極に平行に対向する端
面での振動の反射を抑制するために、波長（λ）
の1/2以上の凹凸を端面に形成するか（および）、
ダンピング材を端面に形成するか（および）、あ
るいは端面を間挿電極に対して斜め方向に形成す
るなどの手段が講ずればよい。
発明の効果
以上のように、この発明によれば、セラミツク
ス全体が分極処理されているのではなく、セラミ
ツクスが厚み方向の一方向に分極処理された部分
を一部に備え、さらにセラミツクス内に配置され
る複数の電極が互いに重なり合つている部分が上
記分極処理された部分内に位置するという構成で
あるので、全体的に分極処理された圧電素子に比
べ厚み振動の閉じ込め効率を十分に高めることが
できる。それゆえに、チツプ部品として容易に応
用することが可能であり、またそのような応用が
最適であるともいえる。なお、チツプ型にした場
合基板との接着面の温度は上昇するかもしれない
が、必要な部分すなわち通常は接着面から離れた
位置にある部分だけが分極処理されている構成で
あるので、この温度上昇によつても圧電特性は変
化せず極めて安定なものが得られる。
ス全体が分極処理されているのではなく、セラミ
ツクスが厚み方向の一方向に分極処理された部分
を一部に備え、さらにセラミツクス内に配置され
る複数の電極が互いに重なり合つている部分が上
記分極処理された部分内に位置するという構成で
あるので、全体的に分極処理された圧電素子に比
べ厚み振動の閉じ込め効率を十分に高めることが
できる。それゆえに、チツプ部品として容易に応
用することが可能であり、またそのような応用が
最適であるともいえる。なお、チツプ型にした場
合基板との接着面の温度は上昇するかもしれない
が、必要な部分すなわち通常は接着面から離れた
位置にある部分だけが分極処理されている構成で
あるので、この温度上昇によつても圧電特性は変
化せず極めて安定なものが得られる。
第１図は、圧電素子の一例である積層型セラミ
ツクフイルタの従来例を示す斜視図である。第２
図は、この発明の一実施例である共振子を示す斜
視図である。第３図は、第２図に示す実施例の周
波数レスポンスを示す図である。第４図は、この
発明の第２の実施例であるフイルタを示す斜視図
である。第５図は、この発明の第３の実施例であ
るフイルタを示す斜視図である。 図において、１１は共振子、１２はセラミツク
ス、１３は電極群、１６，１７は分極用電極、２
１はフイルタ、２２，２３，２４，２５は分極用
電極、２６，２７は電極群、３１はフイルタ、３
２，３３は電極群、３４はセラミツクス、３５，
３６は分極用電極を示す。
ツクフイルタの従来例を示す斜視図である。第２
図は、この発明の一実施例である共振子を示す斜
視図である。第３図は、第２図に示す実施例の周
波数レスポンスを示す図である。第４図は、この
発明の第２の実施例であるフイルタを示す斜視図
である。第５図は、この発明の第３の実施例であ
るフイルタを示す斜視図である。 図において、１１は共振子、１２はセラミツク
ス、１３は電極群、１６，１７は分極用電極、２
１はフイルタ、２２，２３，２４，２５は分極用
電極、２６，２７は電極群、３１はフイルタ、３
２，３３は電極群、３４はセラミツクス、３５，
３６は分極用電極を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 分極処理された部分を一部に備えるセラミツ
クスと、前記セラミツクス内でセラミツクスの厚
み方向に相互に重なり合いかつ平行な複数の間挿
電極より構成されている電極群とを備え、 前記複数の電極が互いに重なり合つている部分
のみが、前記分極処理された部分内に位置し、か
つ厚み方向に一方向に分極されている、厚み閉じ
込め振動を利用した圧電素子。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16720183A JPS6058708A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 圧電素子 |
| US06/645,301 US4564782A (en) | 1983-09-02 | 1984-08-29 | Ceramic filter using multiple thin piezoelectric layers |
| DE3432133A DE3432133A1 (de) | 1983-09-02 | 1984-08-31 | Keramisches filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16720183A JPS6058708A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6058708A JPS6058708A (ja) | 1985-04-04 |
| JPH0568129B2 true JPH0568129B2 (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=15845294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16720183A Granted JPS6058708A (ja) | 1983-09-02 | 1983-09-09 | 圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6058708A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01158812A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪効果素子 |
| JPH07105685B2 (ja) * | 1988-12-23 | 1995-11-13 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振装置の製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5240091A (en) * | 1975-09-22 | 1977-03-28 | Siemens Ag | Multiilayer element composed of piezooelectric ceramics and method of producing same |
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
| JPS57157614A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-29 | Hiroshi Shimizu | Piezoelectric resonator using width and length vibration and filter |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16720183A patent/JPS6058708A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5240091A (en) * | 1975-09-22 | 1977-03-28 | Siemens Ag | Multiilayer element composed of piezooelectric ceramics and method of producing same |
| JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
| JPS57157614A (en) * | 1981-03-24 | 1982-09-29 | Hiroshi Shimizu | Piezoelectric resonator using width and length vibration and filter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6058708A (ja) | 1985-04-04 |
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