JP4578176B2 - 圧電共振子及びフイルタ - Google Patents
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粒した。このようにして得られた粉体を147MPaの圧力で縦20mm、横30mm、厚み1.0mmの板状に成形し、大気中において1250℃の温度で3時間本焼成し圧電磁器を得た。
1a・・・圧電基板
1b・・・補強基板
2a・・・主面
2b・・・対向主面
3・・・櫛歯電極(IDT)
3a、3b・・・電極指
4・・・反射溝
5・・・孤立導体層
6a、6b・・・接続部
7a、7b・・・接続用電極
8・・・導電性バンプ
9・・・反射堤部
Claims (8)
- ペロブスカイト構造のPbTiO 3 を主成分とし、該PbTiO 3 のPbの一部が、La、Nd、Gd、Pr、Sr、Ca及びBaのうち少なくとも1種で置換されている、櫛歯電極からなるインターデジタルトランスデューサ(IDT)が主面に形成されている平面形状が長方形状の圧電基板と、平面形状が長方形状であり、対向する側面に一対の側面電極が設けられているとともに、コンデンサが形成されているベース基板とを有し、SHタイプの表面波を利用して駆動する圧電共振子であって、前記ベース基板は、前記圧電基板のIDTが形成された面に対向するように、かつSHタイプの表面波の振動を妨げない空間を形成するように配置され、かつ前記一対の側面電極が、前記ベース基板の前記側面を延長する方向に延在して、前記圧電基板を該圧電基板の対向する側面で挟んで固定していることを特徴とする圧電共振子。
- 前記PbTiO3のTiの一部を、Mnで置換したことを特徴とする請求項1記載の圧電共振子。
- 前記PbTiO3のTiの一部を(Fe1/3B2/3)、(Co1/3B2/3)、(Y1/2B1/2)、(Yb1/2B1/2)、(In1/2B1/2)及び(Mg1/3B2/3)のうち少なくとも1種で置換してなり、BがNb、Sbのうち少なくとも1種であることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電共振子。
- 前記PbTiO3のPb及びTiの一部を他の元素で置換したABO3型ペロブスカイト型複合酸化物であって、Bサイト構成元素1モルに対するPbのモル数をa、Aサイト構成元素のうちPb以外の元素の総モル数をbとするとき、a/(1−b)で表される値pが0.90〜1.00からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電共振子。
- 前記PbTiO3中のZrの含有量が10モル%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧電共振子。
- ペロブスカイト構造のNaNbO 3 を主成分とし、該NaNbO3のNaの一部がLi、K、Bi、La、Ndのうち少なくとも1種で置換されている、櫛歯電極からなるインターデジタルトランスデューサ(IDT)が主面に形成されている平面形状が長方形状の圧電基板と、平面形状が長方形状であり、対向する側面に一対の側面電極が設けられている
とともに、コンデンサが形成されているベース基板とを有し、SHタイプの表面波を利用して駆動する圧電共振子であって、前記ベース基板は、前記圧電基板のIDTが形成された面に対向するように、かつSHタイプの表面波の振動を妨げない空間を形成するように配置され、かつ前記一対の側面電極が、前記ベース基板の前記側面を延長する方向に延在して、前記圧電基板を該圧電基板の対向する側面で挟んで固定していることを特徴とする圧電共振子。 - 前記圧電基板の対向主面に、前記IDTと対向するように孤立導体層を設けてなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の圧電共振子。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の圧電共振子を複数電気的に接続してなることを特徴とするフイルタ。
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