JPH01158812A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
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- JPH01158812A JPH01158812A JP31704987A JP31704987A JPH01158812A JP H01158812 A JPH01158812 A JP H01158812A JP 31704987 A JP31704987 A JP 31704987A JP 31704987 A JP31704987 A JP 31704987A JP H01158812 A JPH01158812 A JP H01158812A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、一体焼成型のセラミック焼結体を用いて構成
した電歪効果素子の改良に関し、特に該焼結体内または
焼結体と一体に他の回路素子を構成したものに関する。
した電歪効果素子の改良に関し、特に該焼結体内または
焼結体と一体に他の回路素子を構成したものに関する。
従来より、電歪材料よりなるセラミック焼結体を用いた
電歪効果素子が知られている。この電歪効果素子は、焼
結体の一部を挟んで厚み方向において重なり合うように
励振電極を配置し、該励振電極から電圧を印加すること
により、励振電極間の電歪材料層を振動させるものであ
る。
電歪効果素子が知られている。この電歪効果素子は、焼
結体の一部を挟んで厚み方向において重なり合うように
励振電極を配置し、該励振電極から電圧を印加すること
により、励振電極間の電歪材料層を振動させるものであ
る。
ところで、上記した電歪効果素子を発振させる場合には
、通常、第2図に示すような回路を構成する。すなわち
、発振子1に、帰還抵抗R並びに負荷容量C1およびC
tを接続し、増幅用のIC3,4を接続する。具体的に
は、回路基板上において、発振子1に、IC3,4、帰
還抵抗Rを構成する抵抗素子並びに負荷容量CI、Ct
を構成するコンデンサを実装し、相互に電気的に接続し
ていた。
、通常、第2図に示すような回路を構成する。すなわち
、発振子1に、帰還抵抗R並びに負荷容量C1およびC
tを接続し、増幅用のIC3,4を接続する。具体的に
は、回路基板上において、発振子1に、IC3,4、帰
還抵抗Rを構成する抵抗素子並びに負荷容量CI、Ct
を構成するコンデンサを実装し、相互に電気的に接続し
ていた。
上記のように、従来例では、回路基板上においてIC3
,4以外に発振子1、帰還抵抗を構成する抵抗素子、並
びに負荷容量C+、Czを構成する2個のコンデンサを
実装しなければならなかった。すなわち第2図の発振回
路を構成するに際し、回路基板上でIC3,4以外に4
個の回路部品を実装しなければならず、その結果大きな
実装スペースを必要としていた。
,4以外に発振子1、帰還抵抗を構成する抵抗素子、並
びに負荷容量C+、Czを構成する2個のコンデンサを
実装しなければならなかった。すなわち第2図の発振回
路を構成するに際し、回路基板上でIC3,4以外に4
個の回路部品を実装しなければならず、その結果大きな
実装スペースを必要としていた。
よって、本発明の目的は、発振回路等の電子回路を構成
するに際し、実装スペースを効果的に低減し得る構造を
備えた電歪効果素子を提供することにある。
するに際し、実装スペースを効果的に低減し得る構造を
備えた電歪効果素子を提供することにある。
本発明の電歪効果素子は、少なくとも一部に電歪性が付
与されており、かつ一体焼成により得られたセラミック
焼結体を備える。この焼結体の電歪性が付与された部分
の少なくとも一部を挟んで、厚み方向に重なり合うよう
に励振電極が対向配置されている。この励振電極は、電
歪性が付与された部分と協働して共振子を構成する。ま
た、一対の外部電極が焼結体の外表面に付与されており
、この外部電極は励振電極のいずれかに電気的に接続さ
れている。
与されており、かつ一体焼成により得られたセラミック
焼結体を備える。この焼結体の電歪性が付与された部分
の少なくとも一部を挟んで、厚み方向に重なり合うよう
に励振電極が対向配置されている。この励振電極は、電
歪性が付与された部分と協働して共振子を構成する。ま
た、一対の外部電極が焼結体の外表面に付与されており
、この外部電極は励振電極のいずれかに電気的に接続さ
れている。
さらに、本発明では特徴的構成として、上記した焼結体
に一体に構成された容量形成手段および抵抗形成手段の
少なくとも一方が備えられている。
に一体に構成された容量形成手段および抵抗形成手段の
少なくとも一方が備えられている。
好ましくは、厚み方向において励振電極の、共振子を構
成する焼結体部分と、反対側に空洞が形成される。この
空洞により、励振電極間の振動部分をより自由に振動さ
せることが可能となる。
成する焼結体部分と、反対側に空洞が形成される。この
空洞により、励振電極間の振動部分をより自由に振動さ
せることが可能となる。
さらに好ましくは、容量形成手段または抵抗形成手段が
、上記空洞によって共振子部分と機械的に絶縁される。
、上記空洞によって共振子部分と機械的に絶縁される。
これによって、共振子部分が自由に振動可能となり、電
歪性が付与されていない部分が振動を妨げるようなこと
がない。また、該素子の共振周波数は励振電極間の振動
部分の厚みで決まる。
歪性が付与されていない部分が振動を妨げるようなこと
がない。また、該素子の共振周波数は励振電極間の振動
部分の厚みで決まる。
容量形成手段は、焼結体の一部と、該一部を挟んで厚み
方向に重なり合う対向電極とにより構成され、この対向
電極の一方は焼結体の外表面に露出していてもよく、あ
るいは双方が焼結体内に配置されていてもよい。
方向に重なり合う対向電極とにより構成され、この対向
電極の一方は焼結体の外表面に露出していてもよく、あ
るいは双方が焼結体内に配置されていてもよい。
同様に、抵抗形成手段についても、焼結体内に配置した
抵抗体により構成してもよく、あるいは焼結体の外表面
に付与した抵抗体により構成してもよい。
抵抗体により構成してもよく、あるいは焼結体の外表面
に付与した抵抗体により構成してもよい。
本発明では、焼結体の電歪性が付与された部分と励振電
極とにより共振子が構成されるだけでなく、焼結体に一
体に構成された容量形成手段および抵抗形成手段の少な
くとも一方により、容量素子および抵抗素子の少なくと
も一方が一体的に構成されている。すなわち、単なる電
歪効果素子と、抵抗および/またはコンデンサとが複合
化された一体焼成型の素子が構成されている。
極とにより共振子が構成されるだけでなく、焼結体に一
体に構成された容量形成手段および抵抗形成手段の少な
くとも一方により、容量素子および抵抗素子の少なくと
も一方が一体的に構成されている。すなわち、単なる電
歪効果素子と、抵抗および/またはコンデンサとが複合
化された一体焼成型の素子が構成されている。
よって、たとえば第2図に示した発振回路を構成するに
あたっては、帰還抵抗Rおよび/または負荷容量C3ま
たはC2を発振子1と一体に構成し得るので、超小型の
発振回路を構成することができ、回路基板上の実装スペ
ースを効果的に狭めることができる。のみならず、部品
点数が低減されるため、実装作業の能率も飛躍的に改善
される。
あたっては、帰還抵抗Rおよび/または負荷容量C3ま
たはC2を発振子1と一体に構成し得るので、超小型の
発振回路を構成することができ、回路基板上の実装スペ
ースを効果的に狭めることができる。のみならず、部品
点数が低減されるため、実装作業の能率も飛躍的に改善
される。
さらに、容量形成手段および抵抗形成手段を焼結体内に
構成した場合には、各回路素子間の電気的な接続部が一
体焼成された焼結体中に密閉されることになるため、耐
湿性などの対環境特性も改善することが可能となる。
構成した場合には、各回路素子間の電気的な接続部が一
体焼成された焼結体中に密閉されることになるため、耐
湿性などの対環境特性も改善することが可能となる。
なお、共振子を構成する焼結体部分と、容量形成手段お
よび/または抵抗形成手段を構成する焼結体部分の材料
は同一であってもよく、異なっていてもよい。共振子を
構成する焼結体部分と、容量形成手段を構成する焼結体
部分の材料を同一とした場合には、両者の誘電率の温度
変化が同じとなるため、例えば発振回路に用いた場合発
振周波数の温度変化を小さくすることができる。逆に、
両者を異なった材料で構成し、誘電率の温度特性を異な
らせた場合には、該温度特性を適当に選択することによ
り、発振周波数の温度特性を所望の特性にコントロール
することも可能である。
よび/または抵抗形成手段を構成する焼結体部分の材料
は同一であってもよく、異なっていてもよい。共振子を
構成する焼結体部分と、容量形成手段を構成する焼結体
部分の材料を同一とした場合には、両者の誘電率の温度
変化が同じとなるため、例えば発振回路に用いた場合発
振周波数の温度変化を小さくすることができる。逆に、
両者を異なった材料で構成し、誘電率の温度特性を異な
らせた場合には、該温度特性を適当に選択することによ
り、発振周波数の温度特性を所望の特性にコントロール
することも可能である。
本発明の電歪効果素子は、後述する実施例から明らかな
ように、チップ部品として用いるのに好適なものである
が、リードが付与されたパ・νケージに封入する形式の
素子にも応用することができるものである。
ように、チップ部品として用いるのに好適なものである
が、リードが付与されたパ・νケージに封入する形式の
素子にも応用することができるものである。
また、共振子と容量および/または抵抗を複合させた素
子一般に利用し得るものであって、第2図の発振回路を
構成するものに限らないことを指摘しておく。
子一般に利用し得るものであって、第2図の発振回路を
構成するものに限らないことを指摘しておく。
第1図は、本発明の第一の実施例の断面図である。焼結
体11は、以下の各電極等を挟んだ状態で一体焼成する
ことにより得られたものである。
体11は、以下の各電極等を挟んだ状態で一体焼成する
ことにより得られたものである。
この焼結体11の上方部分には、励振電極12が外表面
に露出する形態で付与されている。そして、励振電極1
2と焼結体11の一部分を挟んで厚み方向に重なり合う
ように電極13および励振電極14が対向配置されてい
る。電極13は、励振型極12と励振電極14とで挟ま
れた焼結体部分を図示の矢印の方向に分極処理するため
に設けられているものであって、駆動時には使用されな
いのである。
に露出する形態で付与されている。そして、励振電極1
2と焼結体11の一部分を挟んで厚み方向に重なり合う
ように電極13および励振電極14が対向配置されてい
る。電極13は、励振型極12と励振電極14とで挟ま
れた焼結体部分を図示の矢印の方向に分極処理するため
に設けられているものであって、駆動時には使用されな
いのである。
励振電極12.14は、太い実線で示すように焼結体1
1の対向する端面に、それぞれ、引き出されており、該
端面に形成さた外部電極19,20に電気的に接続され
ている。また、励振電極14の他方には空洞15が形成
されている。空洞15は、励振電極12と励振電極14
とで挟まれた振動部分の振動のダンピングを防止するた
めに、並びに次に説明する容量形成手段を共振子部分と
機械的に絶縁するために設けられているものである。
1の対向する端面に、それぞれ、引き出されており、該
端面に形成さた外部電極19,20に電気的に接続され
ている。また、励振電極14の他方には空洞15が形成
されている。空洞15は、励振電極12と励振電極14
とで挟まれた振動部分の振動のダンピングを防止するた
めに、並びに次に説明する容量形成手段を共振子部分と
機械的に絶縁するために設けられているものである。
焼結体11の下方部分には、対向電極16,17.18
が配置されている。対向電極16.17は、それぞれ、
焼結体11の一部分を挟んで対向電極18に重なり合う
ように配置されており、かつ外部電極19.20に電気
的に接続されている。
が配置されている。対向電極16.17は、それぞれ、
焼結体11の一部分を挟んで対向電極18に重なり合う
ように配置されており、かつ外部電極19.20に電気
的に接続されている。
ここでは、対向電極16と対向電極18とにより、1個
目のコンデンサが、対向電極17と対向電極18とによ
り2個目のコンデンサが構成される。よって、対向電極
18を焼結体11の図示しない端面に引き出し、接地す
れば、第一の実施例により、第2図の発振子1、帰還抵
抗R並びに負荷容量C,,c*を含む回路部分を一個の
チップ部品により構成し得ることがわかる。
目のコンデンサが、対向電極17と対向電極18とによ
り2個目のコンデンサが構成される。よって、対向電極
18を焼結体11の図示しない端面に引き出し、接地す
れば、第一の実施例により、第2図の発振子1、帰還抵
抗R並びに負荷容量C,,c*を含む回路部分を一個の
チップ部品により構成し得ることがわかる。
次に、第一の実施例の製造方法の一例を説明することに
より、上記した各電極の形状等を明らかにする。
より、上記した各電極の形状等を明らかにする。
第3図に示すように、複数枚のセラミックグリーンシー
ト21〜26を用意する。セラミックグリーンシート2
1の上面には、Pt、Au、Pd。
ト21〜26を用意する。セラミックグリーンシート2
1の上面には、Pt、Au、Pd。
Pd−Ag、Agなどの導電性粉末を含む電極ペースト
12を図示のように印刷する(電極ペーストについては
、焼成後に形成される゛電極と同じ参照番号を付して説
明することにする。)。電極ペースト12は、略円形の
励振電極部分と、セラミックグリーンシート21の一方
の短辺側に引き出された接続部分とを有するように印刷
されている。
12を図示のように印刷する(電極ペーストについては
、焼成後に形成される゛電極と同じ参照番号を付して説
明することにする。)。電極ペースト12は、略円形の
励振電極部分と、セラミックグリーンシート21の一方
の短辺側に引き出された接続部分とを有するように印刷
されている。
セラミックグリーンシート22には、電極ペースト12
の略円形部分と重なり合うように略円形の領域を有する
電極ペースト13が印刷されている。この電極ペースト
13は、セラミックグリーンシート22の一方の長辺側
に引き出されている。
の略円形部分と重なり合うように略円形の領域を有する
電極ペースト13が印刷されている。この電極ペースト
13は、セラミックグリーンシート22の一方の長辺側
に引き出されている。
セラミックグリーンシート23では、電極ペースト12
,13の略円形領域と重なり合うような円形領域を有す
る電極ペースト14が印刷されている。電極ペースト1
4は、電極ペースト12とは反対側の短辺側に引き出さ
れている。
,13の略円形領域と重なり合うような円形領域を有す
る電極ペースト14が印刷されている。電極ペースト1
4は、電極ペースト12とは反対側の短辺側に引き出さ
れている。
セラミックグリーンシート24の上面にはカーボンなど
の可燃性材料を含む可燃性ペースト27が電極ペースト
12〜14の略円形領域よりもより広い領域に塗布され
ている。この可燃性ペースト27は、焼成後に空洞15
を形成するために塗布されているものである。
の可燃性材料を含む可燃性ペースト27が電極ペースト
12〜14の略円形領域よりもより広い領域に塗布され
ている。この可燃性ペースト27は、焼成後に空洞15
を形成するために塗布されているものである。
セラミックグリーンシート25には、略円形に電極ペー
スト16.17が印刷されており、各電極ペースト16
.17は、それぞれ、セラミックグリーンシート25の
対向する短辺に引き出されている。
スト16.17が印刷されており、各電極ペースト16
.17は、それぞれ、セラミックグリーンシート25の
対向する短辺に引き出されている。
さらに、セラミックグリーンシート26の上面には電極
ペースト16.17の略円形領域とセラミックグリーン
シート25を挟んで対向する円形部分18a、18bを
有する電極ペースト18が塗布されている。電極ペース
ト18では、略円形領域18a、18bに付与された電
極ペーストはセラミックグリーンシート26の一方の長
辺側に共通に引き出されている。
ペースト16.17の略円形領域とセラミックグリーン
シート25を挟んで対向する円形部分18a、18bを
有する電極ペースト18が塗布されている。電極ペース
ト18では、略円形領域18a、18bに付与された電
極ペーストはセラミックグリーンシート26の一方の長
辺側に共通に引き出されている。
上記した各電極ペースト12〜18の付与されたセラミ
ックグリーンシート21〜26を図示の状態のまま積層
・圧着した後、一体焼成を施す。
ックグリーンシート21〜26を図示の状態のまま積層
・圧着した後、一体焼成を施す。
得られた焼結体の外表面に、第4図に示すように外部電
極19,20.28を付与する。さらに、第4図では明
らかではないが、外部電極28の形成されている焼結体
端面と対向する反対側の端面にも分極用の外部電極が付
与されている。この分極用の外部電極は、第3図の電極
ペースト13により形成された電極に電気的に接続され
ている。
極19,20.28を付与する。さらに、第4図では明
らかではないが、外部電極28の形成されている焼結体
端面と対向する反対側の端面にも分極用の外部電極が付
与されている。この分極用の外部電極は、第3図の電極
ペースト13により形成された電極に電気的に接続され
ている。
従って、分極用外部電極から十の電位を、外部電極19
.20から−の電位を与えれば、励振電極12.14間
の電歪材料層を第1図に矢印で示すように分極すること
ができる。
.20から−の電位を与えれば、励振電極12.14間
の電歪材料層を第1図に矢印で示すように分極すること
ができる。
駆動に際しては、上記分極用電極は必要ではないため、
削除してもよく、あるいはそのまま放置しておいてもよ
い。
削除してもよく、あるいはそのまま放置しておいてもよ
い。
なお、外部電極28は第1図の対向電極18に電気的に
接続されており、この対向電極18を外部に引き出すた
めに設けられているものである。
接続されており、この対向電極18を外部に引き出すた
めに設けられているものである。
上記のようにして、第1図実施例を得ることができるが
、セラミックグリーンシート21〜26を同一材料で構
成した場合には、励振電極12゜14間の共振子部分と
、対向電極16.17一対向電極18間の部分すなわち
容量形成手段部分の誘電率の温度変化が等しくなる。よ
って、発振周波数の温度係数を小さくすることができる
。
、セラミックグリーンシート21〜26を同一材料で構
成した場合には、励振電極12゜14間の共振子部分と
、対向電極16.17一対向電極18間の部分すなわち
容量形成手段部分の誘電率の温度変化が等しくなる。よ
って、発振周波数の温度係数を小さくすることができる
。
もっとも、セラミックグリーンシート25のみを異なる
材料で構成して場合には両者の誘電率の温度特性が異な
るため、逆に両者の温度特性を適当に選択すれば、発振
周波数の温度特性を適宜コントロールすることも可能で
あることがわかる。
材料で構成して場合には両者の誘電率の温度特性が異な
るため、逆に両者の温度特性を適当に選択すれば、発振
周波数の温度特性を適宜コントロールすることも可能で
あることがわかる。
以下、本発明の他の実施例を説明するが、第1の実施例
と同一部分については、同一の参照番号を付することに
より、その説明を省略する。
と同一部分については、同一の参照番号を付することに
より、その説明を省略する。
第5図は、第2の実施例を示す。ここでは、共振子部分
が焼結体11の上方に構成されているが、励振電極12
と励振電極14との間に一層の電歪材料層が介在してい
るだけであり、第1図実施例のような二層構造とはされ
ていない。その他の点については、第1図実施例と同様
である。
が焼結体11の上方に構成されているが、励振電極12
と励振電極14との間に一層の電歪材料層が介在してい
るだけであり、第1図実施例のような二層構造とはされ
ていない。その他の点については、第1図実施例と同様
である。
このように、共振子部分を構成する電歪材料層の層数は
任意であり、三原上の振動層を設けてより高次モードで
励振させることも可能である。
任意であり、三原上の振動層を設けてより高次モードで
励振させることも可能である。
第6図は、第3の実施例を示す。ここでは、共振子部分
を構成する励振電極32が焼結体11の内部に埋め込ま
れており、かつ励振電極34も空洞15に露出していな
い。よって、より耐湿性等の耐環境特性に優れた電歪効
果素子とされている。
を構成する励振電極32が焼結体11の内部に埋め込ま
れており、かつ励振電極34も空洞15に露出していな
い。よって、より耐湿性等の耐環境特性に優れた電歪効
果素子とされている。
その他の点は、第2の実施例と同様である。
第7図は、本発明の第4の実施例を示す。この実施例は
、第1図実施例と同様の電極構造を有する。しかしなが
ら、この実施例では、励振電極12.14間の焼結体部
分のみならず、その周囲においても図示の矢印方向に分
極処理されている。
、第1図実施例と同様の電極構造を有する。しかしなが
ら、この実施例では、励振電極12.14間の焼結体部
分のみならず、その周囲においても図示の矢印方向に分
極処理されている。
この分極処理を、第8図〜第10図を参照して説明する
。まず、第3図に示したセラミックグリーンシート21
〜26を積層し、圧着したものを焼成して第8図に示す
焼結体11を得る。次に第9図に示すように、焼結体1
1の上下面に導電ペースト41を塗布する。同時に、焼
結体11の側面において電極16,17.18 (第3
図の電極ペースト16〜18の形状を参照されたい。)
を短絡するように導電ペースト42を塗布する。さらに
、導電性ペースト42を焼結体11の下面に塗布された
導電ペーストとを導電ペースト43で接続し短絡させる
。この状態で、第10図に示すように、上下主面の導電
性ペースト41.44から電圧を印加すれば、第10図
に示す矢印方向に分極処理を行うことができる。
。まず、第3図に示したセラミックグリーンシート21
〜26を積層し、圧着したものを焼成して第8図に示す
焼結体11を得る。次に第9図に示すように、焼結体1
1の上下面に導電ペースト41を塗布する。同時に、焼
結体11の側面において電極16,17.18 (第3
図の電極ペースト16〜18の形状を参照されたい。)
を短絡するように導電ペースト42を塗布する。さらに
、導電性ペースト42を焼結体11の下面に塗布された
導電ペーストとを導電ペースト43で接続し短絡させる
。この状態で、第10図に示すように、上下主面の導電
性ペースト41.44から電圧を印加すれば、第10図
に示す矢印方向に分極処理を行うことができる。
次に、上記導電ペースト41〜44を例えば有機溶媒を
用いて洗浄して除去する。さらに、第11図に示すよう
に、導電ペースト45を電極13(第10図)に接続す
るように塗布する。
用いて洗浄して除去する。さらに、第11図に示すよう
に、導電ペースト45を電極13(第10図)に接続す
るように塗布する。
次に、電極12と導電ペースト45との間に電圧を印加
すれば、すなわち導電ペースト45から十の電位を、電
極12から−の電位を与えれば第10図における電極1
2.13間の焼結体部分の分極方向が逆方向となる。最
後に、第12図に示す外部電極19,20.46をメツ
キ、スパッタ、蒸着等の任意の方法で付与する。このよ
うにして、第7図の分極構造を得ることができる。
すれば、すなわち導電ペースト45から十の電位を、電
極12から−の電位を与えれば第10図における電極1
2.13間の焼結体部分の分極方向が逆方向となる。最
後に、第12図に示す外部電極19,20.46をメツ
キ、スパッタ、蒸着等の任意の方法で付与する。このよ
うにして、第7図の分極構造を得ることができる。
第13図は、本発明の第5の実施例を示す。この実施例
は、第5図に示した実施例を変形したものである。すな
わち、焼結体11の下面に、さらに抵抗体51が一体的
に形成されていることを特徴とするものである。抵抗体
51は、焼結体11の下面に抵抗ペーストを塗布・焼き
付けすることによって、あるいは蒸着等により付与する
ことができる。抵抗体51により外部電極19.20間
に抵抗素子が挿入されるため、第13図の実施例では、
第2図に示した発振回路における帰還抵抗Rをも組み込
んだ一体型の複合素子を実現することが可能とされてい
る。
は、第5図に示した実施例を変形したものである。すな
わち、焼結体11の下面に、さらに抵抗体51が一体的
に形成されていることを特徴とするものである。抵抗体
51は、焼結体11の下面に抵抗ペーストを塗布・焼き
付けすることによって、あるいは蒸着等により付与する
ことができる。抵抗体51により外部電極19.20間
に抵抗素子が挿入されるため、第13図の実施例では、
第2図に示した発振回路における帰還抵抗Rをも組み込
んだ一体型の複合素子を実現することが可能とされてい
る。
第14図は、本発明の第6の実施例を示す。ここでは、
焼結体11内に抵抗層52が配置されている。セラミッ
クグリーンシートを積層する際に最下層のセラミックグ
リーンシートの上面に抵抗ペーストを塗布・印刷したも
のを配置することにより、この抵抗層52を、焼結体1
1内に構成することができる。この実施例では、帰還抵
抗を構成する抵抗素子も焼結体11内に一体焼成で構成
されているので、第13図に示した実施例よりも耐環境
特性に優れた素子を得ることができる。
焼結体11内に抵抗層52が配置されている。セラミッ
クグリーンシートを積層する際に最下層のセラミックグ
リーンシートの上面に抵抗ペーストを塗布・印刷したも
のを配置することにより、この抵抗層52を、焼結体1
1内に構成することができる。この実施例では、帰還抵
抗を構成する抵抗素子も焼結体11内に一体焼成で構成
されているので、第13図に示した実施例よりも耐環境
特性に優れた素子を得ることができる。
上述してきた各実施例では、空洞15を共振子部分と容
量形成手段との間に配置していた。従って、容量形成手
段に共振子部分の振動が伝播することを効果的に防止す
ることができ、よって複合型部品でありながら安定な特
性の電歪効果素子を実現することができる。しかしなが
ら、容量形成−16= 手段は、共振子部分の厚み方向に構成する必要は必ずし
もなく、共振子部分の周囲に配置することも可能である
。このような実施例を、第15図および第16図を参照
して説明する。
量形成手段との間に配置していた。従って、容量形成手
段に共振子部分の振動が伝播することを効果的に防止す
ることができ、よって複合型部品でありながら安定な特
性の電歪効果素子を実現することができる。しかしなが
ら、容量形成−16= 手段は、共振子部分の厚み方向に構成する必要は必ずし
もなく、共振子部分の周囲に配置することも可能である
。このような実施例を、第15図および第16図を参照
して説明する。
第15図の実施例では、共振子部分を構成する励振電極
12.14の略円形傾城(第3図参照)の周囲に容量を
形成するために対向電極53.55が配置されており、
かつ各励振電極12.14と電気的に接続されて外部電
極19.20に引き出されている。一方の対向電極53
には、焼結体部分を挟んで厚み方向に重なり合うように
対向電極54が焼結体11内に配置されており、同様に
他方の対向電極55についても、厚み方向に重なり合う
ように対向電極56が焼結体ll内に配置されている。
12.14の略円形傾城(第3図参照)の周囲に容量を
形成するために対向電極53.55が配置されており、
かつ各励振電極12.14と電気的に接続されて外部電
極19.20に引き出されている。一方の対向電極53
には、焼結体部分を挟んで厚み方向に重なり合うように
対向電極54が焼結体11内に配置されており、同様に
他方の対向電極55についても、厚み方向に重なり合う
ように対向電極56が焼結体ll内に配置されている。
この対向電極54.56は、図示のO記号で示すように
焼結体11の図面上手前側の端面に露出されている。よ
って、対向電極54゜56の露出している端面に外部電
極を付与すれば第5図実施例と同様に機能させることが
できる。
焼結体11の図面上手前側の端面に露出されている。よ
って、対向電極54゜56の露出している端面に外部電
極を付与すれば第5図実施例と同様に機能させることが
できる。
なお、対向電極54.56の接続される外部電極は、共
通であってもよく、又は、それぞれ独立に形成してもよ
い。
通であってもよく、又は、それぞれ独立に形成してもよ
い。
第16図は、本発明の第8の実施例を示す。ここでは、
共振部分を構成する励振電極57.58の厚み方向外側
に、それぞれ、空洞15a、15bが形成されている。
共振部分を構成する励振電極57.58の厚み方向外側
に、それぞれ、空洞15a、15bが形成されている。
このように両側に空洞15a、15bを形成することに
より、双方の励振電極57.58を焼結体11内に配置
したままで、再励振電極57.58間の焼結体部分をよ
り自由に振動させることが可能となる。
より、双方の励振電極57.58を焼結体11内に配置
したままで、再励振電極57.58間の焼結体部分をよ
り自由に振動させることが可能となる。
第1図は本発明の第1の実施例を示す断面図、第2図は
電歪効果素子を用いた発振回路を示す図、第3図は第1
図実施例を得るのに用いるセラミックグリーンシートお
よび電極パターンを説明するための斜視図、第4図は第
1図実施例の外観斜視図、第5図は本発明の第2の実施
例を示す断面図、第6図は本発明の第3の実施例を示す
断面図、第7図は本発明の第4の実施例を示す断面図、
第8図および第9図は第7図実施例の分極を果たすため
の工程を説明するための各斜視図、第10図は一度目の
分極処理を説明するための略図的断面図、第11図およ
び第12図は二度目の分極処理を説明するための各斜視
図、第13図〜第16図は本発明の第5〜第8の実施例
を示す各断面図である。 図において、11は焼結体、12.14は励振電極、1
5は空洞、16,17.18は対向電極、19.20は
外部電極、51.52は抵抗体を示す。 11=焼結体 12.14 :励振電極 15:空洞 16、17.18 :対向電極 19.20 :外部電極 第2図 第3図 12 、、−1 23・ 輯(、;じ “。 7 “ くに恨 14図 第5図 1b 15 17 第6図 fgy図 1b 15 17 第10図 第11図 第12図
電歪効果素子を用いた発振回路を示す図、第3図は第1
図実施例を得るのに用いるセラミックグリーンシートお
よび電極パターンを説明するための斜視図、第4図は第
1図実施例の外観斜視図、第5図は本発明の第2の実施
例を示す断面図、第6図は本発明の第3の実施例を示す
断面図、第7図は本発明の第4の実施例を示す断面図、
第8図および第9図は第7図実施例の分極を果たすため
の工程を説明するための各斜視図、第10図は一度目の
分極処理を説明するための略図的断面図、第11図およ
び第12図は二度目の分極処理を説明するための各斜視
図、第13図〜第16図は本発明の第5〜第8の実施例
を示す各断面図である。 図において、11は焼結体、12.14は励振電極、1
5は空洞、16,17.18は対向電極、19.20は
外部電極、51.52は抵抗体を示す。 11=焼結体 12.14 :励振電極 15:空洞 16、17.18 :対向電極 19.20 :外部電極 第2図 第3図 12 、、−1 23・ 輯(、;じ “。 7 “ くに恨 14図 第5図 1b 15 17 第6図 fgy図 1b 15 17 第10図 第11図 第12図
Claims (7)
- (1)少なくとも一部に電歪性が付与されており、かつ
一体焼成されたセラミック焼結体と、前記焼結体の電歪
性が付与された部分の少なくとも一部を挟んで厚み方向
に重なり合うように対向配置されており、該電歪性が付
与された部分と協働して共振子を構成する励振電極と、 前記励振電極のいずれかに電気的に接続されており、焼
結体の外表面に付与された一対の外部電極と、 前記焼結体に一体に構成された容量形成手段および抵抗
形成手段の少なくとも一方とを備えることを特徴とする
、電歪効果素子。 - (2)前記励振電極の、該励振電極により挟まれた焼結
体部分と厚み方向において該励振電極の反対側に空洞が
形成されている、特許請求の範囲第1項記載の電歪効果
素子。 - (3)前記容量形成手段または抵抗形成手段が、前記空
洞によって前記共振子部分と機械的に絶縁されている、
特許請求の範囲第2項記載の電歪効果素子。 - (4)前記容量形成手段は、焼結体の一部と、該一部を
挟んで厚み方向に重なり合う対向電極とにより構成され
ている、特許請求の範囲第1項〜第3項のいずれかに記
載の電歪効果素子。 - (5)前記容量形成手段を構成する焼結体の一部は、前
記共振子を構成する焼結体部分と異なる材質で構成され
ている、特許請求の範囲第4項記載の電歪効果素子。 - (6)前記抵抗形成手段が焼結体内に配置された抵抗体
により構成されている、特許請求の範囲第1項〜第5項
のいずれかに記載の電歪効果素子。 - (7)前記抵抗形成手段が、前記焼結体の外表面に付与
された抵抗体により構成されている、特許請求の範囲第
1項〜第5項のいずれかに記載の電歪効果素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31704987A JPH01158812A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 電歪効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31704987A JPH01158812A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01158812A true JPH01158812A (ja) | 1989-06-21 |
Family
ID=18083846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31704987A Pending JPH01158812A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01158812A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04189011A (ja) * | 1990-11-22 | 1992-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
JP2012503394A (ja) * | 2008-09-18 | 2012-02-02 | フランス国 | 界面音響波デバイス |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
JPS59144206A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-18 | Nec Corp | 積層セラミツク化水晶発振器 |
JPS6058708A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電素子 |
JPS60123120A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子とコンデンサの複合部品及びその製造方法 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP31704987A patent/JPH01158812A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57147315A (en) * | 1981-03-06 | 1982-09-11 | Nec Corp | Thickness oscillation piezoelectric ceramic oscillator |
JPS59144206A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-18 | Nec Corp | 積層セラミツク化水晶発振器 |
JPS6058708A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電素子 |
JPS60123120A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子とコンデンサの複合部品及びその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH04189011A (ja) * | 1990-11-22 | 1992-07-07 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
JP2012503394A (ja) * | 2008-09-18 | 2012-02-02 | フランス国 | 界面音響波デバイス |
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