JPS60123120A - 圧電共振子とコンデンサの複合部品及びその製造方法 - Google Patents
圧電共振子とコンデンサの複合部品及びその製造方法Info
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- JPS60123120A JPS60123120A JP58232025A JP23202583A JPS60123120A JP S60123120 A JPS60123120 A JP S60123120A JP 58232025 A JP58232025 A JP 58232025A JP 23202583 A JP23202583 A JP 23202583A JP S60123120 A JPS60123120 A JP S60123120A
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- H—ELECTRICITY
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
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- H03H9/1028—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being held between spring terminals
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、圧電共振子とコンデン1Yを一体化した複
合部品と、この複合部品を製造する方法に関するもので
ある。
合部品と、この複合部品を製造する方法に関するもので
ある。
従来、圧電共振子を利用した発掘回路は、第1図に示す
ように信号反転インバータ1に圧電共振子2を並列に接
続し、その両端に2箇の負荷コンデンサC5、Cよを接
地接続して構成していた。
ように信号反転インバータ1に圧電共振子2を並列に接
続し、その両端に2箇の負荷コンデンサC5、Cよを接
地接続して構成していた。
ところで、信号反転インバータ1はIC4M成されてい
るのが通例であり、圧電発振子2と負荷コンデンサC,
Cは計3箇の外付部品となるため、以下に示すような欠
点がある。
るのが通例であり、圧電発振子2と負荷コンデンサC,
Cは計3箇の外付部品となるため、以下に示すような欠
点がある。
(I) 発振回路を構成するのに3箇の部品を取扱わな
ければならず、部品管理が煩雑になる。
ければならず、部品管理が煩雑になる。
(■)3箇の部品が独立した外付けになるので、実装ス
ペースが大きくなり、広い基板面積を必要とする。
ペースが大きくなり、広い基板面積を必要とする。
[11) 部品の取付けは半田によって行なわれるが、
半田付の箇所は少ない方が性能上好ましい。しかし、3
箇の外付部品となると半田付部分の数が多くなり、製造
が困難であるだけでなく、信頼性にも欠け、半田付が不
充分であると発振しなかったり発振にバラツキが生じる
。
半田付の箇所は少ない方が性能上好ましい。しかし、3
箇の外付部品となると半田付部分の数が多くなり、製造
が困難であるだけでなく、信頼性にも欠け、半田付が不
充分であると発振しなかったり発振にバラツキが生じる
。
■ 部品の外付により、負荷コンデンサC,Cと/ l
圧電共振子2の容量値バラツキの相乗積で発振周波数に
バラツキが生じることになり、発振周波数の精度が極め
て悪い。
バラツキが生じることになり、発振周波数の精度が極め
て悪い。
M 圧電共振子は発振周波数を測定しながら励振電極上
に〜等を蒸着して周波数精度の良いものを製作しなけれ
ばならないので、高価で大型の蒸着設備が必要になり、
量産性にも乏しいものである。
に〜等を蒸着して周波数精度の良いものを製作しなけれ
ばならないので、高価で大型の蒸着設備が必要になり、
量産性にも乏しいものである。
この発明は上記のような欠点を解消するためになされた
ものであり、圧電共振子と2箇のコンデンサの組合せが
小型化でき、実装時の半田付の箇所が少なく、発振精度
の優れた複合部品と、この複合部品を大量生産によって
低コストで゛製作で゛きる製造方法を提供することを目
的どする。
ものであり、圧電共振子と2箇のコンデンサの組合せが
小型化でき、実装時の半田付の箇所が少なく、発振精度
の優れた複合部品と、この複合部品を大量生産によって
低コストで゛製作で゛きる製造方法を提供することを目
的どする。
この発明の構成は、誘電体基板の一面側に共通電極した
他面側に入出力電極を設りた」ンデンリーと圧電基板上
の両面に対向電極を設けた圧電共振子を対向面間に振動
空間を確保して集積固定し、コンデンサ及び圧電共振子
の各端部に端面電極を設けて複合エレメントを形成し、
この複合エレメントをケー内に収納し、ケースに設けた
リード端子を各々対応する端面電極及び共通電極と接続
し、コンデンサと圧電共振子を一体化するようにしたも
のである。
他面側に入出力電極を設りた」ンデンリーと圧電基板上
の両面に対向電極を設けた圧電共振子を対向面間に振動
空間を確保して集積固定し、コンデンサ及び圧電共振子
の各端部に端面電極を設けて複合エレメントを形成し、
この複合エレメントをケー内に収納し、ケースに設けた
リード端子を各々対応する端面電極及び共通電極と接続
し、コンデンサと圧電共振子を一体化するようにしたも
のである。
以下、この発明の一実施例を添(=J図面の第2図ない
し第10図にもとづいて説明する。
し第10図にもとづいて説明する。
第7図ないし第10図のように、複合部品はコンデンサ
11と圧電共振子12を集積固定した第6図に示す複合
エレメント13をケース14内に収納し、ケース14に
段けたリード端子と複合エレメントの各電極とを接続し
、ケース14の開口を即乾性合成樹脂等を用いた封止剤
15で密閉して構成されている。
11と圧電共振子12を集積固定した第6図に示す複合
エレメント13をケース14内に収納し、ケース14に
段けたリード端子と複合エレメントの各電極とを接続し
、ケース14の開口を即乾性合成樹脂等を用いた封止剤
15で密閉して構成されている。
前記コンデンサ11は、誘電体基板16の一面側にJ!
′通電極電極17面側に出入力電極18.18を設けて
形成され、2箇の負荷容璽を備えている。
′通電極電極17面側に出入力電極18.18を設けて
形成され、2箇の負荷容璽を備えている。
圧電共振子12は圧電基板19の両面に対向電極20.
20を設けた厚みすべりエネルギー閉じ込め形に形成さ
れ、この圧電共振子12と上記コンデンサ11は、共通
電極17が底面になるようにして電極面を対向させ両端
部の対向面を導電性接着剤21で集積固定化する。
20を設けた厚みすべりエネルギー閉じ込め形に形成さ
れ、この圧電共振子12と上記コンデンサ11は、共通
電極17が底面になるようにして電極面を対向させ両端
部の対向面を導電性接着剤21で集積固定化する。
」−記導電性接着剤21はコンデンサ11と圧電共振子
12の固定と同時に、両者の対向面間に圧電共振子12
の振動空間となる隙間22を確保する役目を果している
。
12の固定と同時に、両者の対向面間に圧電共振子12
の振動空間となる隙間22を確保する役目を果している
。
固定化されたコンデンサ11と圧電共振子12の両端面
には端面電極23.23が、各々の側に端部が位置する
電極ia、is及び20.20と導通するように設けら
れている。
には端面電極23.23が、各々の側に端部が位置する
電極ia、is及び20.20と導通するように設けら
れている。
上記端面電極23.23と導電性接着剤21.21によ
り、コンデンサ11と圧電共振子12は相互の電極18
と20及び18と20が各々接続されることになる。
り、コンデンサ11と圧電共振子12は相互の電極18
と20及び18と20が各々接続されることになる。
なお、コンデンサ11と圧電共振子12の固定と電極の
接続は、端面電極と導電性接着剤の何れが一方のみで両
者を兼用するようにしてもよい。
接続は、端面電極と導電性接着剤の何れが一方のみで両
者を兼用するようにしてもよい。
前記複合エレメント13を収納するケース14は、エレ
メント13が納まる枠状の内ケース24と、この内ケー
ス24に外嵌挿する外ケース25の組合せで成形され、
内ケース24には両端部と中央部とにリード端子26,
27.28が一体にモールド形成されている。
メント13が納まる枠状の内ケース24と、この内ケー
ス24に外嵌挿する外ケース25の組合せで成形され、
内ケース24には両端部と中央部とにリード端子26,
27.28が一体にモールド形成されている。
内ケース24に対して複合ニレメン1〜13は、]コン
デンサ1の共通電極17が中央部に位置するリード端子
27の内ケース内鞘出面に重なるよう挿入し、両端のリ
ード端子26.28と端面電極23.23及び中央のリ
ード端子27と共通電極17とを各々導電性の接着剤2
9で接続固定化する。
デンサ1の共通電極17が中央部に位置するリード端子
27の内ケース内鞘出面に重なるよう挿入し、両端のリ
ード端子26.28と端面電極23.23及び中央のリ
ード端子27と共通電極17とを各々導電性の接着剤2
9で接続固定化する。
上記内ケース24に外嵌挿した外ケース25のリード端
子26,27.28が引出される開口を封止剤15で密
閉すると、第10図に示した外形の複合部品ができあが
る。
子26,27.28が引出される開口を封止剤15で密
閉すると、第10図に示した外形の複合部品ができあが
る。
なお、リード端子26,27.28の引出方向は図示と
は逆にしたり、ケース14の両側に引出すようにしても
よい。
は逆にしたり、ケース14の両側に引出すようにしても
よい。
次に複合部品の製造方法を第2図ないし第6図に示す工
程図に従って説明する。
程図に従って説明する。
先ず、第2図のようなコンデンサ粗材と第3図のような
圧電共振子組材とを作成する。
圧電共振子組材とを作成する。
コンデンサ粗材は、横長の誘電体親基板16aの一面側
中央部に共通電極17と他面側の両側に入力及び出力電
極18.18を長手方向に沿うよう設けて形成する。
中央部に共通電極17と他面側の両側に入力及び出力電
極18.18を長手方向に沿うよう設けて形成する。
圧電共振子組材は、誘電体親基板16aと等しい平面的
大きさを有する横長の圧電親基板1’Jaの両面に対向
型i 20,20を長手方向に沿うよう設けて形成する
。
大きさを有する横長の圧電親基板1’Jaの両面に対向
型i 20,20を長手方向に沿うよう設けて形成する
。
コンデンサ粗材と圧電共振子組材とは、第4図のにうに
、共通電極17が外面になるよう電極面を対向させて重
ね、対向面における長手方向の両側を導電性接着剤21
で接着固定化する。
、共通電極17が外面になるよう電極面を対向させて重
ね、対向面における長手方向の両側を導電性接着剤21
で接着固定化する。
このとき、接着剤21の厚みによって両親材の対向面間
に撮動空間用の隙間22を形成すると共に、両親材の長
手方向に沿う両側の端面に端面電極23と23を設ける
。
に撮動空間用の隙間22を形成すると共に、両親材の長
手方向に沿う両側の端面に端面電極23と23を設ける
。
次に、上記集積体を第5図に示覆ように、一定の間隔で
幅方向にカットAすれば、第6図で示したコンデンサ1
1と圧電共振子12が一体となる複合エレメント13が
切り出される。
幅方向にカットAすれば、第6図で示したコンデンサ1
1と圧電共振子12が一体となる複合エレメント13が
切り出される。
上記複合エレメント13は、両端の端面電極23゜23
を測定端子に接続して発振さけ、発振周波数を測定しな
がら第6図に一点鎖線で示づように、0荷容量の共通電
極17における両端の1〜リミンクTリアをサンドプラ
トやレーザ等で゛i〜ミルリミング発振周波数を所定の
値に調整する。
を測定端子に接続して発振さけ、発振周波数を測定しな
がら第6図に一点鎖線で示づように、0荷容量の共通電
極17における両端の1〜リミンクTリアをサンドプラ
トやレーザ等で゛i〜ミルリミング発振周波数を所定の
値に調整する。
共通電極17にトリミングを加すど、負荷容量値が減少
し、発振周波数は上昇する。
し、発振周波数は上昇する。
発振周波数を調整後の衿合エレメント13はリード端子
26,27.28がモールド一体化された内ケース24
内に挿入し、端面電極23.23とリード端子26゜2
8及び共通電極17を中央のリード端子27に各々導電
性接着剤またはりフロー半田29で接続し、(第9図参
照)この後内ケース24に対して外ケース25を外嵌挿
し、外ケース25の開口を封止剤15で密閉すれば完成
品になり、リード端子26,27.28で信号反転イン
バータと接続すれば、第1図に示したと同じ発振回路を
構成することができる。
26,27.28がモールド一体化された内ケース24
内に挿入し、端面電極23.23とリード端子26゜2
8及び共通電極17を中央のリード端子27に各々導電
性接着剤またはりフロー半田29で接続し、(第9図参
照)この後内ケース24に対して外ケース25を外嵌挿
し、外ケース25の開口を封止剤15で密閉すれば完成
品になり、リード端子26,27.28で信号反転イン
バータと接続すれば、第1図に示したと同じ発振回路を
構成することができる。
なお、枠状の内ケース24を使うときは、リード端子2
G、27.28を各対応電極23,17.23に取付【
づた後、各リード端子26,27.28を使って発振周
波数の測定を前記と同じ方法にて行なってもよい。
G、27.28を各対応電極23,17.23に取付【
づた後、各リード端子26,27.28を使って発振周
波数の測定を前記と同じ方法にて行なってもよい。
また、パッケージ構造が上述のものに限られることがな
いことはいうまでもない。
いことはいうまでもない。
以−トのように、この発明によると、上記のような構成
であるので、以下に示す効果がある。
であるので、以下に示す効果がある。
(△)コンデンサと圧電共振子を対向面間に振動空間と
なる隙間を残して集積固定し、これをリード端子付のケ
ース内に収納したので、2箇の負荷容ωを有するコンデ
ンサと圧電共振子を備えた複合部品の小型化が可能にな
り、実装がスペース的に有利になる。
なる隙間を残して集積固定し、これをリード端子付のケ
ース内に収納したので、2箇の負荷容ωを有するコンデ
ンサと圧電共振子を備えた複合部品の小型化が可能にな
り、実装がスペース的に有利になる。
ちなみに、外装ケースの2〜7 M l−1zを領域に
て完成品外形を幅8.5m口1.高さ 4.5 mm、
奥行き2.5 mm程度にまで小型化ぐきる。
て完成品外形を幅8.5m口1.高さ 4.5 mm、
奥行き2.5 mm程度にまで小型化ぐきる。
(B)]コンデンサと圧電共振子を複合化(パきるので
、実装時における半田での接続箇所を減少づることがで
き、接続により起因する発振周波数のバラツキが少なく
なる。
、実装時における半田での接続箇所を減少づることがで
き、接続により起因する発振周波数のバラツキが少なく
なる。
(C)コンデンサと圧電共振子が複合化したので、発振
回路構成部品の数が少なくなり、部品管理が容易になる
。
回路構成部品の数が少なくなり、部品管理が容易になる
。
(D)コンデンサの共通電極を1−リミングして発振周
波数を調整できるので、圧電共振子と負荷容量バラツキ
によって生じた周波数精度を±0.4%から±0.1%
に減じることができる。
波数を調整できるので、圧電共振子と負荷容量バラツキ
によって生じた周波数精度を±0.4%から±0.1%
に減じることができる。
(E)発振周波数が大きくズした共振子は工程不良とし
て廃棄せざるを得なかったが、発振周波数を調整できる
ので、不良率がゼロになり、歩留りが大幅に向上し、量
産化によるコストダウンが可能になる。
て廃棄せざるを得なかったが、発振周波数を調整できる
ので、不良率がゼロになり、歩留りが大幅に向上し、量
産化によるコストダウンが可能になる。
(E)コンデンサと圧電共振子の集積やケース内への組
込み等が機械的に行なえるので組立ての自動化が可能に
なる。
込み等が機械的に行なえるので組立ての自動化が可能に
なる。
第1図は発振回路図、第2図ないし第6図の各々は、こ
の発明の圧電共振子に用いる複合ニレメンi−の製造工
程を示す説明図、第7図は圧電共振子の縦断側面図、第
8図は同横断平面図、第9図は同横断底面図、第10図
は外形の斜視図である。 11・・・コンデンサ 12・・・共振子13・・・複
合エレメント 14・・・ケース15・・・封止剤 1
7・・・共通電極18・・・出入力電極 20・・・対
向電極21・・・導電性接着剤 20・・・隙間23・
・・端面電極 24・・・内ケース25・・・外ケース 特許出願人 株式会社 村田製作所 代 理 人 弁理士 和 1) 昭 第1図 第4図 第7図 第8図 第9図
の発明の圧電共振子に用いる複合ニレメンi−の製造工
程を示す説明図、第7図は圧電共振子の縦断側面図、第
8図は同横断平面図、第9図は同横断底面図、第10図
は外形の斜視図である。 11・・・コンデンサ 12・・・共振子13・・・複
合エレメント 14・・・ケース15・・・封止剤 1
7・・・共通電極18・・・出入力電極 20・・・対
向電極21・・・導電性接着剤 20・・・隙間23・
・・端面電極 24・・・内ケース25・・・外ケース 特許出願人 株式会社 村田製作所 代 理 人 弁理士 和 1) 昭 第1図 第4図 第7図 第8図 第9図
Claims (2)
- (1)誘電体基板の一面側に共通電極と他面側に出入力
電極を設けたコンデンサと、圧電基板の両面に対向電極
を設けた圧電共振子を、対向面間に振動空間となる隙間
を形成した状態で集積固定化し、前記コンデンサ及び圧
電共振子の各端部に端面電極を設けて複合エレメントを
形成し、この複合エレメントを収納したケースに、両端
面電極及び共通電極と接続するリード端子を設けたこと
を特徴とする圧電共振子とコンデンサの複合部品。 - (2)誘電体親基板の一面側に共通電極と他面側に出入
力電極を長手方向に沿って設け、圧電親基板の両面に対
向電極を長手方向に沿って設け、前記両親基板を対向面
間に振動空間となる隙間を形成した状態で集積固定化し
、両親基板の長手方向に沿う両側縁に端面電極を形成し
、次に両親基板の重なり体を幅方向に沿うようhツ1〜
してコンデンサと圧電共振からなる複合エレメントを切
り出し、この複合エレメントをリード端子付の樹脂ケー
ス内に収納して端面電極及びコンデンサの共通電極を対
応するリード端子と接続した後、ケースの開口を封止す
ることを特徴とする圧電共振子とコンデンサの複合部品
の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58232025A JPS60123120A (ja) | 1983-12-07 | 1983-12-07 | 圧電共振子とコンデンサの複合部品及びその製造方法 |
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DE3725754A1 (de) * | 1987-08-04 | 1989-02-16 | Busch Dieter & Co Prueftech | Einrichtung zum ueberwachen von pumpen auf gefaehrdung durch kavitation |
US5054323A (en) * | 1989-04-04 | 1991-10-08 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Pressure distribution characterization system |
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US3314022A (en) * | 1964-06-29 | 1967-04-11 | Bell Telephone Labor Inc | Particular mode elastic wave amplifier and oscillator |
US3401275A (en) * | 1966-04-14 | 1968-09-10 | Clevite Corp | Composite resonator |
US3636386A (en) * | 1969-05-08 | 1972-01-18 | Denki Onkyo Co Ltd | High-voltage source devices utilizing piezoelectric elements |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62172806A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミツク発振子 |
JPH01158812A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-21 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪効果素子 |
JPH0244806A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合型セラミック共振子 |
JPH07273580A (ja) * | 1995-03-28 | 1995-10-20 | Murata Mfg Co Ltd | 複合型圧電部品の製造方法 |
US6404102B1 (en) | 1999-08-05 | 2002-06-11 | Tdk Corporation | Piezoelectric resonator and piezoelectric resonator part |
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