JPS59138113A - 圧電振動子 - Google Patents

圧電振動子

Info

Publication number
JPS59138113A
JPS59138113A JP1169483A JP1169483A JPS59138113A JP S59138113 A JPS59138113 A JP S59138113A JP 1169483 A JP1169483 A JP 1169483A JP 1169483 A JP1169483 A JP 1169483A JP S59138113 A JPS59138113 A JP S59138113A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capacitor
electrode
electrode film
film
insulating substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1169483A
Other languages
English (en)
Inventor
Sumio Yamada
澄夫 山田
Yoshiaki Fujiwara
嘉朗 藤原
Noboru Wakatsuki
昇 若月
Yuji Kojima
雄次 小島
Hiroshi Hoshino
弘 星野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1169483A priority Critical patent/JPS59138113A/ja
Publication of JPS59138113A publication Critical patent/JPS59138113A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0509—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of adhesive elements
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａｌ　　発明の技術分野 本発明は圧電振動子に関する。
（ｂ）　　技術の背景 圧電単結晶例えばタンタル酸リチウム（ＬＩＴａＯａ）
を用いた振動素子は電気−機械結合係数が大きく発振周
波数の安定度が高いことから広帯域フィルタ、可変幅の
広い電圧制御発振器眸の圧電振動素子との基板実装に当
り、外付けの負荷容量を同パッケージに組立る一手駿を
提示したものである。
（Ｃ）　　従来技術と問題点 従来の圧電振動子の組立構造に就き、第１図の′断面図
を参照して説明する。
図に於て、１け押体基板をなす例えばセラさツク等から
なる絶縁基板、２はＸ軸カットしたＬＩＴａ　Ｏａ結晶
からｋる圧電振動素子、３と４は圧電振動素子２０表裏
両面に蒸着等によシ生成された薄膜電極あるいは端子電
極、及び６け前記セラミック基板に予Ｙ成の振動素子の
外部端子である。
外部端子６と前記端子電極３及び４とは、導電性接着剤
５により接続して、絶縁基板１上に固定される。基板装
着が終った組立体は、次いで図示されないがＮｔガス中
にてキャンシールされ外気と遮断して圧電振動素子の基
板実装が終る。
しかしながら、従来振動素子の例えば発振回路等への組
立時、取付ける基板側に一組のコンデンサを該振動素子
の負荷容量として接続していた。
このため回路組立の工数を所要とする他、接続の信頼性
にも問題がある。
（ｄ）　　発明の目的 本発明の目的は、前記の問題点を解決するととにある。
即ち外付けのや荷容量を振動子組立の同一パッケージに
実装ことによシ回路組立の簡嬰化と小形化とを図ること
である。
（ｅ）　　発明の構成 前記目的は、絶縁基板上にＨζ１゛形成されたコンデン
サを設け、該コンデンサ上のコンデンサ電極と圧′耐振
動素子端子電極とを接続した圧電振動子によυ達成でき
る。
（ｆ）　　発明の次、施例 以下、本発明の一実施例図を示す第２図と第３図を参照
して本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明の要部組立手段が明らかと々る側ｍ１図
、又、ｕ２３図に第２図の等価回路図である。
第２図側面図に於て、セミラック等のＰ級基板１−１圧
ｇ５．振動素子２塔載に先立ち、該基板上に以下説明す
るコンデンサが構成される。
図の１２は一方のコンデンサ電極であって基板１表両上
をスクリーン印刷等によシ銀Ｏパラジウム系の導電性電
極膜が膜付けされる。旬し、１１は基板１のスルーホー
ルを経て導出される該電極の外部端子である。
次いで、１４け前藺を極膜１２の上に被着される誘電体
層、例えばタンタル蒸着膜の化成処理になるＴａＯの訊
１′体層である。最後に、前記電極１２と同様にして他
方のコンデンサ電極膜１３が鰻付けされる。ただし電極
膜１３け中央部分で分断され左右分割の電極となる。つ
ｔヤ共通電、極１２１Ｃ対し並夕げしてコンデンサＣ１
とＣｔ（第３図参照）が得られる構成とされる。尚、分
割の電極脇１３は側口の如く絶縁基板側辺を経て導出さ
れ外部端子１５となる。
前記分割の成極１３表面に於て載曾される圧電据・動素
子の端子電′Ｆｉ３及び電極４とは、例えば導電性接着
剤等による接続並びに基板固定がされ振動素子組立が終
シ圧電振動子が製作される。
尚、前記組立に於ける外部端子１１及び１５の形状等は
一例である。
第３図は前記本発明の圧電振動子の等価回路図である。
圧電振動素子の電極端子３並びに４は、分割電極１３を
介して薄膜コンデンサＣ＋とＣｔとが振動子２の自荷容
量として形成されたことＫなる。コンデンサの共通ｇ極
１１けこれを取付ける発振回路の例えば接地側に接続、
又分割電極側コンデンサ外部端子１５け工Ｃ′！ＩＩｔ
成の発振回路に接続して回路組立がされる（＃Ｉ立の発
振回路は図示せず）。
前記第２図構成の圧電振動子け、ＷＩｉ膜化コンデンサ
が組立の振動素子耶付基板と一体化されたことに々る。
一体化振動素子はキャップシールしてその信、軸性を確
保する。
（ｇ）　　発明の効果 前記実施例に就き述べた本発明の圧電振動子によれば、
後来問題とされた外付けの一組のコンデンサが不要とな
り回路組立の工数も不要とカリ、高結合形圧電振動子の
回路基板実装が極めて簡易例実施される等の利点がある
。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の圧！振動子の組立構造を示す断面図、第
２図は本発明の一実施例になる圧電振動子側面図、及び
第３図Ｆｉ館２図実施例の等価回路図である。 図中、１はｐ縁基板、２は圧電振動素子、３と４け２の
端子＠修、１２は１の表匣に形成された準ｙ電極、１３
は分割されたコンデンサ電極膜０−１４は誘電体層であ
る。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 絶縁基板上に膜形成されたコンデンサを設け、該コンデ
    ンサ上のコンデンサ電極と圧電振動素子端子電極とを接
    続してなる圧電振動子。
JP1169483A 1983-01-27 1983-01-27 圧電振動子 Pending JPS59138113A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1169483A JPS59138113A (ja) 1983-01-27 1983-01-27 圧電振動子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1169483A JPS59138113A (ja) 1983-01-27 1983-01-27 圧電振動子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59138113A true JPS59138113A (ja) 1984-08-08

Family

ID=11785136

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1169483A Pending JPS59138113A (ja) 1983-01-27 1983-01-27 圧電振動子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59138113A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6217230U (ja) * 1985-07-15 1987-02-02
JPS62141808A (ja) * 1985-12-17 1987-06-25 Japan Electronic Control Syst Co Ltd 水晶振動子
JPS63161709A (ja) * 1986-12-25 1988-07-05 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JPS6481404A (en) * 1987-09-22 1989-03-27 Tdk Corp Piezoelectric compound component and its manufacture
JPH01236715A (ja) * 1988-03-16 1989-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミック共振子

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5456785A (en) * 1977-10-14 1979-05-08 Citizen Watch Co Ltd Container for microminiature piezoelectric oscillator
JPS57127316A (en) * 1980-10-10 1982-08-07 Int Standard Electric Corp Assembly with piezoelectric resonator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5456785A (en) * 1977-10-14 1979-05-08 Citizen Watch Co Ltd Container for microminiature piezoelectric oscillator
JPS57127316A (en) * 1980-10-10 1982-08-07 Int Standard Electric Corp Assembly with piezoelectric resonator

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6217230U (ja) * 1985-07-15 1987-02-02
JPS62141808A (ja) * 1985-12-17 1987-06-25 Japan Electronic Control Syst Co Ltd 水晶振動子
JPS63161709A (ja) * 1986-12-25 1988-07-05 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
JPH0575289B2 (ja) * 1986-12-25 1993-10-20 Murata Manufacturing Co
JPS6481404A (en) * 1987-09-22 1989-03-27 Tdk Corp Piezoelectric compound component and its manufacture
JPH01236715A (ja) * 1988-03-16 1989-09-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミック共振子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6232699B1 (en) Energy-trap piezoelectric resonator and energy-trap piezoelectric resonance component
US6369487B1 (en) Piezoelectric resonance component
JPH08242026A (ja) 圧電振動子及びこれを具備する圧電振動子デバイス並びに該デバイスを具備する回路装置
WO1991019352A1 (en) Ultra thin quartz crystal filter element of multiple mode
JPH05315885A (ja) チップ型発振子およびこの発振子を用いた発振回路
JPS59138113A (ja) 圧電振動子
JPS60123120A (ja) 圧電共振子とコンデンサの複合部品及びその製造方法
US6433466B2 (en) Piezoelectric resonant component
US6621193B1 (en) Thickness extensional vibration mode piezoelectric resonator, ladder-type filter, and piezoelectric resonator component
JPS6194408A (ja) セラミツクフイルタ
JPS6051015A (ja) 圧電共振部品
US5962956A (en) Piezoelectric resonator and electronic component containing same
JPH08204496A (ja) 圧電振動部品
JP3441349B2 (ja) 容量内蔵型圧電共振子
JPH1093380A (ja) 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
US6351055B1 (en) Composite piezoelectric component and chip-type composite piezoelectric component
JPS63107307A (ja) チツプ状圧電部品とその製造方法
JPS5844658Y2 (ja) ソウキヨウシンアツデンロハキ
KR940009397B1 (ko) 초박판 다중모드 수정필터소자
JPH03165613A (ja) 圧電部品
JPH0619210Y2 (ja) 回路素子
JPH02202209A (ja) 表面実装用圧電振動子
JP2000022475A (ja) 圧電部品の製造方法及び圧電部品
JPH06120764A (ja) 圧電共振子およびコルピッツ型回路に用いる圧電共振子
JPS6214512A (ja) フイルタ