JPH0560981A - 顕微鏡の液浸対物レンズ - Google Patents
顕微鏡の液浸対物レンズInfo
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- JPH0560981A JPH0560981A JP3221523A JP22152391A JPH0560981A JP H0560981 A JPH0560981 A JP H0560981A JP 3221523 A JP3221523 A JP 3221523A JP 22152391 A JP22152391 A JP 22152391A JP H0560981 A JPH0560981 A JP H0560981A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 倒立型顕微鏡用として使用できる液浸対物レ
ンズを提供する。 【構成】 先端レンズ（３）を取り巻く周囲に窪み状の
液体保持部（７ｃ，１７ａ）を備えた液浸対物レンズで
ある。液体保持部（７ｃ，１７ａ）は、レンズ環（４，
１４）とその周囲に固設した環状の防水部材（７，１
７）との間に形成される。
ンズを提供する。 【構成】 先端レンズ（３）を取り巻く周囲に窪み状の
液体保持部（７ｃ，１７ａ）を備えた液浸対物レンズで
ある。液体保持部（７ｃ，１７ａ）は、レンズ環（４，
１４）とその周囲に固設した環状の防水部材（７，１
７）との間に形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は顕微鏡の液浸対物レンズ
に関し、特に倒立型顕微鏡に適した液浸対物レンズに関
する。
に関し、特に倒立型顕微鏡に適した液浸対物レンズに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の水浸対物レンズとして、図３に示
すような構造のものがあった。即ち、先端レンズ２３は
レンズ環２４によって保持され、レンズ環２４は中筒２
５に保持されている。標本２１と先端レンズ２３との間
は水溶液で満たされるが、この水溶液が顕微鏡内に浸入
するのを防止するために、先端レンズ２３とレンズ環２
４の間およびレンズ環２４と中筒２５の間にはそれぞれ
シール剤が充填されている。
すような構造のものがあった。即ち、先端レンズ２３は
レンズ環２４によって保持され、レンズ環２４は中筒２
５に保持されている。標本２１と先端レンズ２３との間
は水溶液で満たされるが、この水溶液が顕微鏡内に浸入
するのを防止するために、先端レンズ２３とレンズ環２
４の間およびレンズ環２４と中筒２５の間にはそれぞれ
シール剤が充填されている。
【０００３】一方、中筒２５は外筒２６の内側に支持さ
れるが、通常はこれら中筒２５と外筒２６との間にシー
ル剤は充填されていない。その理由は、合焦操作等にお
いて対物レンズ全体を光軸方向に移動した際に対物レン
ズの先端部分が標本２１に衝突しても、レンズまたは標
本を破損することがないように、中筒２５は外筒２６の
内側に光軸方向に摺動可能に設けられているからであ
る。
れるが、通常はこれら中筒２５と外筒２６との間にシー
ル剤は充填されていない。その理由は、合焦操作等にお
いて対物レンズ全体を光軸方向に移動した際に対物レン
ズの先端部分が標本２１に衝突しても、レンズまたは標
本を破損することがないように、中筒２５は外筒２６の
内側に光軸方向に摺動可能に設けられているからであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の液浸対物レン
ズ，特に水浸対物レンズは、正立型顕微鏡において使用
することを前提として作製されており、その場合には、
対物レンズは標本２１の上方に位置し、水溶液２２が中
筒２５と外筒２６との間隙まで到達する恐れはなかっ
た。しかし倒立型顕微鏡を用いた検鏡の場合、対物レン
ズが標本２１の下方に位置することになる。そのため、
余分な水溶液はレンズ環２４の外側の斜面を伝って流れ
落ち、中筒２５と外筒２６との間隙から対物レンズの内
部に浸入するという問題点があった。
ズ，特に水浸対物レンズは、正立型顕微鏡において使用
することを前提として作製されており、その場合には、
対物レンズは標本２１の上方に位置し、水溶液２２が中
筒２５と外筒２６との間隙まで到達する恐れはなかっ
た。しかし倒立型顕微鏡を用いた検鏡の場合、対物レン
ズが標本２１の下方に位置することになる。そのため、
余分な水溶液はレンズ環２４の外側の斜面を伝って流れ
落ち、中筒２５と外筒２６との間隙から対物レンズの内
部に浸入するという問題点があった。
【０００５】また、倒立型顕微鏡では対物レンズの下方
に観察光学系等の装置が配置されており、余分な水溶液
が対物レンズの外周を落下して顕微鏡の内部に入り込ん
だ場合には、これらの装置を汚染する危険があった。そ
こで本発明は、倒立型顕微鏡用として使用できる液浸対
物レンズを提供することを目的とする。
に観察光学系等の装置が配置されており、余分な水溶液
が対物レンズの外周を落下して顕微鏡の内部に入り込ん
だ場合には、これらの装置を汚染する危険があった。そ
こで本発明は、倒立型顕微鏡用として使用できる液浸対
物レンズを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の液浸対物レンズ
は、先端レンズ（３）を取り巻く周囲に窪み状の液体保
持部（７ｃ，１７ａ）を備える。請求項２に記載の発明
では、前記先端レンズ（３）を保持するレンズ環（４，
１４）の周囲に環状の防水部材（７，１７）を固設し、
液体保持部（７ｃ，１７ａ）がレンズ環（４，１４）と
防水部材（７，１７）との間に形成される。
は、先端レンズ（３）を取り巻く周囲に窪み状の液体保
持部（７ｃ，１７ａ）を備える。請求項２に記載の発明
では、前記先端レンズ（３）を保持するレンズ環（４，
１４）の周囲に環状の防水部材（７，１７）を固設し、
液体保持部（７ｃ，１７ａ）がレンズ環（４，１４）と
防水部材（７，１７）との間に形成される。
【０００７】請求項３に記載の発明では、防水部材は対
物レンズの外側を覆う防水キャップ（７）であり、標本
（１）に対向し液体保持部（７ｃ）を形成するための一
端（７ａ）と対物レンズの先端を上方に向けた時に液体
保持部（７ｃ）から溢れた溶液の受け溝（７ｂ）が形成
された他端とを具備する。
物レンズの外側を覆う防水キャップ（７）であり、標本
（１）に対向し液体保持部（７ｃ）を形成するための一
端（７ａ）と対物レンズの先端を上方に向けた時に液体
保持部（７ｃ）から溢れた溶液の受け溝（７ｂ）が形成
された他端とを具備する。
【０００８】
【作用】先端レンズを取り巻く周囲に設けられた窪み状
の液体保持部（７ｃ，１７ａ）は、対物レンズを標本に
近接させた時に標本と対物レンズとの間から溢れ出る溶
液を保持する。そして液浸の際に必要な量の溶液を標本
と対物レンズとの間に確保する。
の液体保持部（７ｃ，１７ａ）は、対物レンズを標本に
近接させた時に標本と対物レンズとの間から溢れ出る溶
液を保持する。そして液浸の際に必要な量の溶液を標本
と対物レンズとの間に確保する。
【０００９】請求項３に記載したように、窪み状の液体
保持部（７ｃ，１７ａ）から更に溢れ出た溶液を防水キ
ャップ（７）の受け溝（７ｂ）で受け止めるように構成
することが好ましい。
保持部（７ｃ，１７ａ）から更に溢れ出た溶液を防水キ
ャップ（７）の受け溝（７ｂ）で受け止めるように構成
することが好ましい。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例による液浸対物レン
ズを示し、先端レンズ３はレンズ環４によって保持さ
れ、レンズ環４は中筒５に保持されている。中筒５は従
来と同様に外筒６の内側に光軸方向に摺動可能に設けら
れている。レンズ環４の外周には防水キャップ７が取付
けられている。防水キャップ７はシリコンゴム等の弾性
材料によって形成され、対物レンズの先端とほぼ同じ高
さまで先端方向に突出した環状の突起７ａと、外周面の
外筒６の外側を覆う位置に設けられた環状の受け溝７ｂ
とを有する。レンズ環４の外周に形成された円周溝４ａ
と嵌合する防水キャップ７の内周面の径は、円周溝４ａ
の外径よりわずかに小さく形成されている。また、円周
溝４ａの側面は図中左方向に次第に径が拡大するような
逆テーパー状を有し、防水キャップ７の脱落を防ぐよう
に構成されている。従って、弾性材料から成る防水キャ
ップ７がレンズ環４の外周に装着された時、自らの収縮
力によってレンズ環４の円周溝４ａに密着固定され、こ
れら部材間への液体の浸入を阻止する。
ズを示し、先端レンズ３はレンズ環４によって保持さ
れ、レンズ環４は中筒５に保持されている。中筒５は従
来と同様に外筒６の内側に光軸方向に摺動可能に設けら
れている。レンズ環４の外周には防水キャップ７が取付
けられている。防水キャップ７はシリコンゴム等の弾性
材料によって形成され、対物レンズの先端とほぼ同じ高
さまで先端方向に突出した環状の突起７ａと、外周面の
外筒６の外側を覆う位置に設けられた環状の受け溝７ｂ
とを有する。レンズ環４の外周に形成された円周溝４ａ
と嵌合する防水キャップ７の内周面の径は、円周溝４ａ
の外径よりわずかに小さく形成されている。また、円周
溝４ａの側面は図中左方向に次第に径が拡大するような
逆テーパー状を有し、防水キャップ７の脱落を防ぐよう
に構成されている。従って、弾性材料から成る防水キャ
ップ７がレンズ環４の外周に装着された時、自らの収縮
力によってレンズ環４の円周溝４ａに密着固定され、こ
れら部材間への液体の浸入を阻止する。
【００１１】防水キャップ７がレンズ環４の外周に装着
された状態の時、レンズ環４と環状突起７ａとによっ
て、先端レンズ３の周囲に水溶液を溜めるための水保持
部７ｃを形成している。この水浸対物レンズを倒立型顕
微鏡に装着して検鏡する場合、図の左側を上に１けた姿
勢になる。そのため対物レンズの先端レンズ３上に水溶
液を数滴滴下すれば、表面張力によって水溶液は先端レ
ンズ３上に保持される。この状態で対物レンズを標本１
に近接させると、水溶液２は図示のように標本１と先端
レンズ３との間に充填される。
された状態の時、レンズ環４と環状突起７ａとによっ
て、先端レンズ３の周囲に水溶液を溜めるための水保持
部７ｃを形成している。この水浸対物レンズを倒立型顕
微鏡に装着して検鏡する場合、図の左側を上に１けた姿
勢になる。そのため対物レンズの先端レンズ３上に水溶
液を数滴滴下すれば、表面張力によって水溶液は先端レ
ンズ３上に保持される。この状態で対物レンズを標本１
に近接させると、水溶液２は図示のように標本１と先端
レンズ３との間に充填される。
【００１２】先端レンズ３上に滴下する水溶液の量は標
本１と対物レンズとの間隔に応じて調節されるが、水溶
液が適量であった場合には標本１と先端レンズ３との間
の水溶液が図示のような充填状態になるか、あるいは更
に広がって周囲の水保持部７ｃによって保持された状態
になる。最初に滴下した水溶液の量が多すぎた場合に
は、対物レンズを標本１に近接させた時に余分な水溶液
が水保持部７ｃの外に溢れ出て、防水キャップ７の側面
を伝って流れ落ち、受け溝７ｂに溜まる。従って溢れ出
た水溶液が中筒５や外筒６まで到達することはない。
本１と対物レンズとの間隔に応じて調節されるが、水溶
液が適量であった場合には標本１と先端レンズ３との間
の水溶液が図示のような充填状態になるか、あるいは更
に広がって周囲の水保持部７ｃによって保持された状態
になる。最初に滴下した水溶液の量が多すぎた場合に
は、対物レンズを標本１に近接させた時に余分な水溶液
が水保持部７ｃの外に溢れ出て、防水キャップ７の側面
を伝って流れ落ち、受け溝７ｂに溜まる。従って溢れ出
た水溶液が中筒５や外筒６まで到達することはない。
【００１３】図２は本発明の別の実施例を示し、防水キ
ャップをよりコンパクトなリング形状に構成したもので
ある。中筒１５の先端外周面には雄ネジ１５ａが形成さ
れており、樹脂または金属製の防水リング１７は内周面
に形成した雌ネジによって中筒１５と螺合する。このネ
ジ嵌合部分に防水シールを施しておくことによって、レ
ンズ環１４と防水リング１７との間に水保持部１７ａが
形成される。余分な水溶液が少量のものであれば、この
水保持部１７ａに保持されて対物レンズの下方に流れ落
ちることがない。
ャップをよりコンパクトなリング形状に構成したもので
ある。中筒１５の先端外周面には雄ネジ１５ａが形成さ
れており、樹脂または金属製の防水リング１７は内周面
に形成した雌ネジによって中筒１５と螺合する。このネ
ジ嵌合部分に防水シールを施しておくことによって、レ
ンズ環１４と防水リング１７との間に水保持部１７ａが
形成される。余分な水溶液が少量のものであれば、この
水保持部１７ａに保持されて対物レンズの下方に流れ落
ちることがない。
【００１４】この図２の実施例の防水リング１７は、図
１の防水キャップ７に比較して小さい外径を有するた
め、標本１を対物レンズに対向させる場合に視野を妨げ
ることなく、操作性に優れる。さらに、従来の対物レン
ズの筒の外周面に雄ネジを形成するための機械加工を追
加することで、簡単に防水リングの取付けが可能になる
という利点を有する。
１の防水キャップ７に比較して小さい外径を有するた
め、標本１を対物レンズに対向させる場合に視野を妨げ
ることなく、操作性に優れる。さらに、従来の対物レン
ズの筒の外周面に雄ネジを形成するための機械加工を追
加することで、簡単に防水リングの取付けが可能になる
という利点を有する。
【００１５】図２の実施例において防水リング１７を中
筒１５にネジ嵌合する代わりに、接着剤を用いて防水リ
ング１７を中筒１５の外側に固定することも可能であ
る。上述した各実施例は何れも水浸対物レンズであった
が、本発明の液浸対物レンズは油浸対物レンズにも適用
できることは言うまでもない。
筒１５にネジ嵌合する代わりに、接着剤を用いて防水リ
ング１７を中筒１５の外側に固定することも可能であ
る。上述した各実施例は何れも水浸対物レンズであった
が、本発明の液浸対物レンズは油浸対物レンズにも適用
できることは言うまでもない。
【００１６】
【発明の効果】本発明の液浸対物レンズによれば、対物
レンズの先端に液体保持部を設けたので、対物レンズを
標本に近接させた時に標本と対物レンズとの間から溢れ
出る溶液を保持するため、そこから更に周囲に漏れるこ
とが防止され、特に倒立顕微鏡に適した液浸対物レンズ
が得られる。また、上記液体保持部は液浸用の十分な量
の溶液を標本と対物レンズとの間に確保できるので、長
時間に渡る検鏡で液体が多少蒸発しても検鏡を続行する
ことを可能にする。
レンズの先端に液体保持部を設けたので、対物レンズを
標本に近接させた時に標本と対物レンズとの間から溢れ
出る溶液を保持するため、そこから更に周囲に漏れるこ
とが防止され、特に倒立顕微鏡に適した液浸対物レンズ
が得られる。また、上記液体保持部は液浸用の十分な量
の溶液を標本と対物レンズとの間に確保できるので、長
時間に渡る検鏡で液体が多少蒸発しても検鏡を続行する
ことを可能にする。
【図１】本発明の一実施例による顕微鏡対物レンズの一
部断面図である。
部断面図である。
【図２】本発明の別の実施例による顕微鏡対物レンズの
主要部の断面図である。
主要部の断面図である。
【図３】従来の顕微鏡対物レンズの一部断面図である。
１・・・・・・標本 ２・・・・・・水溶液 ３・・・・・・先端レンズ ４・・・・・・レンズ環 ７・・・・・・防水キャップ ７ｂ・・・・受け溝 ７ｃ・・・・液体保持部 １４・・・・・・レンズ環 １７・・・・・・防水リング １７ａ・・・・液体保持部
Claims (3)
- 【請求項１】 溶液中の標本の検鏡に用いられる顕微鏡
の液浸対物レンズにおいて、前記対物レンズの先端レン
ズを取り巻く周囲に、窪み状の液体保持部を設けたこと
を特徴とする顕微鏡の液浸対物レンズ。 - 【請求項２】 前記対物レンズの先端レンズを保持する
レンズ環の周囲に環状の防水部材を固設し、前記液体保
持部は該レンズ環と前記防水部材との間に形成されるこ
とを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の液浸対物レン
ズ。 - 【請求項３】 前記防水部材は、前記標本に対向し前記
液体保持部を形成するための一端と前記対物レンズの先
端を上方に向けた時に前記液体保持部から溢れた溶液の
受け溝が形成された他端とを具備し、前記対物レンズの
外側を覆う防水キャップであることを特徴とする請求項
２記載の顕微鏡の液浸対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22152391A JP3203698B2 (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 顕微鏡の液浸対物レンズ及び防水キャップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22152391A JP3203698B2 (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 顕微鏡の液浸対物レンズ及び防水キャップ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0560981A true JPH0560981A (ja) | 1993-03-12 |
| JP3203698B2 JP3203698B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=16768051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22152391A Expired - Lifetime JP3203698B2 (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 顕微鏡の液浸対物レンズ及び防水キャップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3203698B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889617A (en) * | 1994-09-13 | 1999-03-30 | Nikon Corporation | Objective lens systems |
| JP2004531765A (ja) * | 2001-05-11 | 2004-10-14 | エボテック・オーアーイー・アーゲー | 化学的及び／または生物学的な試料の検査用装置 |
| WO2005066682A1 (ja) | 2004-01-06 | 2005-07-21 | Olympus Corporation | 液浸対物レンズ、蛍光分析装置および倒立型顕微鏡 |
| WO2005078503A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Olympus Corporation | 液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構及びその製造方法 |
| JP2005345726A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡対物レンズを用いた観察方法 |
| WO2007135762A1 (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Tokai Hit Co., Ltd. | 液浸用液の供給装置、対物レンズ及び液浸用液の供給制御方法 |
| WO2008099516A1 (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-21 | Tokai Hit Co., Ltd. | 対物レンズ加温装置 |
| JP2009094528A (ja) * | 2003-06-27 | 2009-04-30 | Asml Holding Nv | 反転されたウェハ投影光学系インタフェースを使用する浸漬フォトリソグラフィシステム及び方法 |
| JP2010183109A (ja) * | 2003-04-07 | 2010-08-19 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| USRE42741E1 (en) | 2003-06-27 | 2011-09-27 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| US9952515B2 (en) | 2003-11-14 | 2018-04-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| CN108010858A (zh) * | 2016-11-02 | 2018-05-08 | 亚亚科技股份有限公司 | 晶圆检查设备的镜头壳体组合 |
| FR3086067A1 (fr) | 2018-09-18 | 2020-03-20 | Centre National De La Recherche Scientifique | Accessoire amovible de collecte d'un surplus de liquide d'immersion pour un objectif a immersion inverse. |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019016048A1 (en) * | 2017-07-17 | 2019-01-24 | Novartis Ag | DIP DECK FOR MICROSCOPE, MICROSCOPE, AND METHOD FOR MICROSCOPIC IMAGING SAMPLE |
-
1991
- 1991-09-02 JP JP22152391A patent/JP3203698B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5889617A (en) * | 1994-09-13 | 1999-03-30 | Nikon Corporation | Objective lens systems |
| JP2004531765A (ja) * | 2001-05-11 | 2004-10-14 | エボテック・オーアーイー・アーゲー | 化学的及び／または生物学的な試料の検査用装置 |
| JP2010183109A (ja) * | 2003-04-07 | 2010-08-19 | Nikon Corp | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 |
| US7898643B2 (en) | 2003-06-27 | 2011-03-01 | Asml Holding N.V. | Immersion photolithography system and method using inverted wafer-projection optics interface |
| JP2010183118A (ja) * | 2003-06-27 | 2010-08-19 | Asml Holding Nv | 反転されたウェハ投影光学系インタフェースを使用する浸漬フォトリソグラフィシステム |
| USRE42741E1 (en) | 2003-06-27 | 2011-09-27 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| JP2010183119A (ja) * | 2003-06-27 | 2010-08-19 | Asml Holding Nv | 反転されたウェハ投影光学系インタフェースを使用する浸漬フォトリソグラフィシステム |
| JP2009094528A (ja) * | 2003-06-27 | 2009-04-30 | Asml Holding Nv | 反転されたウェハ投影光学系インタフェースを使用する浸漬フォトリソグラフィシステム及び方法 |
| US10345712B2 (en) | 2003-11-14 | 2019-07-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| US9952515B2 (en) | 2003-11-14 | 2018-04-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| WO2005066682A1 (ja) | 2004-01-06 | 2005-07-21 | Olympus Corporation | 液浸対物レンズ、蛍光分析装置および倒立型顕微鏡 |
| US7619829B2 (en) | 2004-01-06 | 2009-11-17 | Olympus Corporation | Immersion objective lens, fluorometric analyzer, and inverted microscope |
| US8465708B2 (en) | 2004-02-16 | 2013-06-18 | Olympus Corporation | Immersion objective lens, retention mechanism for immersion medium, and manufacturing method |
| JP2010217930A (ja) * | 2004-02-16 | 2010-09-30 | Olympus Corp | 液浸媒質の保持機構及びその製造方法 |
| JP4587960B2 (ja) * | 2004-02-16 | 2010-11-24 | オリンパス株式会社 | 液浸対物レンズ及び液浸媒質の保持機構 |
| JPWO2005078503A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2007-10-18 | オリンパス株式会社 | 液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構及びその製造方法 |
| US8465709B2 (en) | 2004-02-16 | 2013-06-18 | Olympus Corporation | Immersion objective lens, retention mechanism for immersion medium, and manufacturing method thereof |
| WO2005078503A1 (ja) * | 2004-02-16 | 2005-08-25 | Olympus Corporation | 液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構及びその製造方法 |
| JP2005345726A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Olympus Corp | 顕微鏡対物レンズ及び顕微鏡対物レンズを用いた観察方法 |
| WO2007135762A1 (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Tokai Hit Co., Ltd. | 液浸用液の供給装置、対物レンズ及び液浸用液の供給制御方法 |
| WO2008099516A1 (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-21 | Tokai Hit Co., Ltd. | 対物レンズ加温装置 |
| CN108010858A (zh) * | 2016-11-02 | 2018-05-08 | 亚亚科技股份有限公司 | 晶圆检查设备的镜头壳体组合 |
| FR3086067A1 (fr) | 2018-09-18 | 2020-03-20 | Centre National De La Recherche Scientifique | Accessoire amovible de collecte d'un surplus de liquide d'immersion pour un objectif a immersion inverse. |
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