JPH0559615U - 透明スタンパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄板基板上にＣＤ仕様で信号処理されたプ
レフォーマット信号および音声情報信号に対応する凹凸
形状を、光硬化性樹脂による転写で形成するときに必要
な紫外線透過率が高く、凹凸形状転写性に優れ、併せて
光硬化した樹脂の離形性にも優れたスタンパを実現する
ことにある。 【構成】 ＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット
信号および音声情報信号に対応する凹凸形状を表面に有
し、紫外線が透過可能である透明スタンパである。

Description

【考案の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

【０００１】 本考案は、再生型光記憶媒体の作製に用いる透明スタンパに関するものである 。

【従来の技術】

従来の再生型光記憶媒体の代表としては、音声情報を蓄積したＣＤ（コンパク トディスク）媒体がある。この媒体は、板厚が 1.2mmのポリカーボネート樹脂 を射出成形して得られる。音声情報に対応する凹凸形状は、ニッケルシートに作 られた凹凸形状を、射出成形で転写することによって、基板表面に形成される。 この凹凸形状の表面に反射膜を形成すればＣＤ媒体になる。ここで用いられてい る射出成形法では、板厚が薄くなると、ポリカーボネート樹脂による複屈折性が 大きくなるので、 300μm 〜 500μm 程度の板厚までしか成形できなかった。 一方、凹凸形状を転写する方法としては光硬化性樹脂を用いる方法がある。こ の方法を用いれば薄板に凹凸形状を転写できるが、光透過性の高いスタンパが必 要となる。前記したニッケルスタンパは光を通さないので、これを用いることは できない。

【考案が解決しようとする課題】

【０００２】 本考案は、薄板基板上にＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット信号およ び音声情報信号に対応する凹凸形状を、光硬化性樹脂による転写で形成するとき に必要な紫外線透過率が高く、凹凸形状転写性に優れ、併せて光硬化した樹脂の 離形性にも優れたスタンパ（形状の概略図を図１に示す）を実現することにある 。

【０００３】

【課題を解決するための手段】

第一の方法は、波長 410nm〜350nm の紫外線透過率が85％以上ある青板ガラス を基材とする方法である。なかでも、スタンパ作製工程が最も少ない方法は、図 ２に示すように、クロム薄層22をつけた青板ガラス21の上のポジ型レジスト23に アルゴンレーザビーム露光し、現像し、凹凸形状を形成することにより透明スタ ンパが得られる。凹凸形成に必要なポジ型レジストの膜厚は、およそ0.1 μm で あるので、紫外線透過率はほとんど低下しない。クロム薄層22は、ポジ型レジス ト23と青板ガラス21との密着力を強めるために用いるが、これによっても紫外線 透過率は低下しない。光硬化性樹脂はポジ型レジスト23に接触するが、ポジ型レ ジスト23が光硬化性樹脂で溶解しないので、すでに形成されている凹凸形状を損 なうことはない。光硬化性樹脂は硬化後に収縮するので、凹凸形成されたレジス ト層23を損なうことなく容易に剥離できる。

【０００４】 第２の方法は、図３に示すように、青板ガラス31の上に二酸化珪素の薄膜32を スパッタ法などを用いて、厚みおよそ 0.1μm に形成し、この薄膜の上にポジ型 レジストを形成し、前記方法と同様にアルゴンレーザ露光、レジスト現像し、反 応性ガスによるドライエッチングで薄膜表面に凹凸形状を形成するもので、この 方法で得られるスタンパも紫外線透過性はおよそ85％である。また、光硬化性樹 脂を用いた転写による凹凸形状の転写率も良好である。離形時、二酸化珪素薄膜 の剥離などが生ずることはない。

【０００５】 第３の方法は、図４に示すように、青板ガラス41の上にポジ型レジストを塗布 し、前記と同様な方法でアルゴンレーザ露光、レジスト現像により、パターンを 形成した後、反応性ガスを用いて、直接、青板ガラス基板に凹凸形状を形成する ものである。このようにして得られるスタンパの紫外線透過率は、85％であり、 転写性も良好である。

【０００６】 第４の方法は、図５に示すように、波長 410nm〜350nm の紫外線を透過するプ ラスチック基板の表面にＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット信号や音声 情報信号に対応する凹凸形状を形成したプラスチック基板を用いる方法である。 紫外線透過性の良い基板で、成形性も良く、転写性に優れ、光硬化性樹脂を用い ることによって、表面の凹凸形状を損なわずに転写できる。代表的なプラスチッ ク材料として、ポリカーボネート樹脂をあげることができる（図５の51がポリカ ーボネート基板である）。該プラスチック基板の表面に信号処理されたプレフォ ーマット信号や音声情報信号に対応する凹凸形状を形成するには射出成形法が用 いられている。この方法で作製された基板は、紫外線透過性に優れ、成形時に光 硬化性樹脂による基板表面の凹凸形状が損傷もなく、離形性も良く、凹凸形状の 転写性も優れている。

【０００７】 第５の方法は、プラスチック基板としてエポキシ樹脂を用いるものである（図 ６の61がエポキシ樹脂基板である）。この樹脂は熱硬化タイプと光硬化タイプが あるが、基板表面に凹凸形状を形成することが必要なことから光硬化タイプが有 効である。基板表面にＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット信号や音声情 報信号に対応する凹凸形状の形成は、前記方法によって、作製されたガラス基板 表面に凹凸形状を有する紫外線透過性の高い透明な型を用いて行うことができる 。透明な型を通して、紫外線を照射して光硬化性のエポキシ樹脂を硬化すれば、 本考案の透明スタンパとなる。このスタンパの紫外線透過率は80％あり、光硬化 性樹脂を用いて、凹凸形状を転写することができる。また基板表面の凹凸形状は 、光硬化性樹脂により変化しない。 以下具体的な実施例により本考案を説明する。

【０００８】

【実施例】実施例１ 市販の厚さが 1.2mmの研磨された青板ガラスの表面に50Åのクロム薄膜をスパ ッタにより形成した。この表面上にポジ型レジスト（東京応化製ＯＦＰＲ800 ） を1300Å塗布した。 120℃で１時間プリキュアした。市販のＣＤエンコーダによ り、プリフォーマット信号および音声情報信号に応じて、アルゴンレーザ光の照 射を制御し、レジスト塗布された基板上に照射した後、現像処理し、基板表面上 にＣＤ仕様で信号処理されたプリフォーマット信号や音声情報信号に対応した凹 凸形状が形成された透明スタンパを作製した。

【０００９】 市販のアクリル系光硬化性樹脂を、該透明スタンパの上に１cc滴下し、100mm ×70mmの大きさで厚みが 180μm の接着剤が塗布されたＰＥＴシートを、該透明 スタンパに合わせ、光硬化性樹脂に気泡が残らないように、光硬化性樹脂を押し 広げる。その後、均一な光硬化性樹脂膜厚になるように、ラバープレスでプレス した。透明スタンパ側から超高圧水銀灯（波長 410nm〜350nm)で250mW 露光した 。露光後、透明スタンパからＰＥＴシートを剥離した。ＰＥＴ上に凹凸形状が転 写され、干渉縞が見られた。さらにアルミ蒸着膜を形成した。この転写物を市販 のＣＤプレイヤで再生したところ、音声情報が再生された。

【００１０】実施例２ 実施例１と同様に、作製された透明スタンパを用いて、市販のアクリル系光硬 化性樹脂を、透明スタンパの上に１cc滴下し、表面に接着剤が塗布された市販の テレフォンカードを合わせ、光硬化性樹脂を押し広げ、プレスした。その後、透 明スタンパ側から超高圧水銀灯で 250mW露光した。露光後、透明スタンパから表 面に凹凸形状を有するテレフォンカードを剥離した。この凹凸形状の表面上にア ルミ反射膜を形成し、市販のＣＤプレイヤで再生したところ、音声を再生できた 。

【００１１】実施例３ 表面研磨された青板ガラス基板上に、厚さ1300Åの二酸化珪素薄膜をアルゴン ガススパッタ法で形成したこの二酸化珪素膜の上にポジ型レジストを2000Å被覆 し、プレキュアした。市販のＣＤエンコーダにより、プレフォーマット信号およ び音声情報信号に応じて、アルゴンレーザ光の照射を制御し、二酸化珪素薄膜上 のレジスト塗布膜に照射した後、現像処理し、二酸化珪素基板薄膜の上にＣＤ仕 様で信号処理されたプレフォーマット信号や音声情報信号に対応したレジストの 凹凸形状を形成した。その後、レジストをマスクとして、四ふっ化炭素と水素の 混合ガスで、ピット深さが1300Åになるまでエッチングを行った。レジストを剥 離し、表面にＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット信号および音声情報信 号に対応する凹凸形状を有する透明スタンパを得た。実施例２と同様にして市販 のテレフォンカードの上に、音声情報に対応する凹凸形状を転写した。この凹凸 形状の表面上にアルミ反射膜を形成し、市販のＣＤプレイヤで再生したところ、 音声を再生できた。

【００１２】実施例４ 表面研磨された青板ガラス基板上に、ポジ型レジストを2000Å塗布し、プレキ ュアした。市販のＣＤエンコーダにより、プレフォーマット信号および音声情報 信号に応じて、アルゴンレーザ光の照射を制御し、基板上のレジスト膜に照射し た後、現像処理し、基板上のレジスト膜に凹凸形状を形成した。レジストをマス クとし、基板表面の凹凸形状深さが1300Åになるまで、四ふっ化炭素と水素の混 合ガスでエッチングを行った。レジストを剥離し、表面にＣＤ仕様で信号処理さ れたプレフォーマット信号および音声情報信号に対応する凹凸形状を有する透明 スタンパを得た。実施例１と同様にＰＥＴシート上に音声情報に対応する凹凸形 状を転写した。この凹凸形状の表面上にアルミ反射膜を形成し、市販のＣＤプレ イヤで再生したところ、音声を再生できた。

【００１３】実施例５ 表面研磨された青板ガラス基板上に、ポジ型レジストを1300Å塗布し、プレキ ュアした。市販のＣＤエンコーダにより、プレフォーマット信号および音声情報 信号に応じて、アルゴンレーザ光の照射を制御し、基板上のレジスト膜に照射し た後、現像処理し、ガラス基板上のレジスト膜に凹凸形状を形成した。レジスト の凹凸形状の表面にニッケルを 400Å蒸着した。さらにニッケルメッキにより、 厚さ 300μm まで厚付けした。ニッケルをガラス基板から剥離し、表面剥離液で 清浄化し、裏面研磨、外周加工し、ニッケルスタンパを作製した。このニッケル スタンパを用いて、射出成形法により、ポリカーボネート樹脂を厚み 1.2mm、直 径 120mmのディスク形状に成形し、透明スタンパを作製した。該透明スタンパを 用いて、実施例１と同様にＰＥＴシート上に音声情報に対応する凹凸形状を転写 した。この凹凸形状の表面上にアルミ反射膜を形成し、市販のＣＤプレイヤで再 生したところ、音声を再生できた。

【００１４】実施例６ 表面研磨された青板ガラス基板上に、ネガ型レジストを1500Å塗布し、プレキ ュアした。市販のＣＤエンコーダにより、プレフォーマット信号および音声情報 信号に応じて、アルゴンレーザ光の照射を制御し、基板上のレジスト膜に照射し た後、現像処理し、ガラス基板上のレジスト膜に凹凸形状を形成した。レジスト をマスクとし、基板表面の凹凸形状深さが1300Åになるまで、四ふっ化炭素と水 素の混合ガスでエッチングを行った。レジストを剥離し、透明な型を得た。この 透明な型を用いて、市販の光硬化性エポキシ樹脂で表面に音声情報に対応する凹 凸形状を有する厚み 1.2mm、直径 120mmのディスクを成形し、透明スタンパを作 製した。この透明スタンパを用いて、実施例２と同様に、テレフォンカード上に 凹凸形状を転写した。この凹凸形状の表面上にアルミ反射膜を形成し、市販のＣ Ｄプレイヤで再生したところ、音声を再生できた。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案による透明スタンパを用いた転写法により、テレ フォンカードのような紫外線透過性のない薄板基板上にＣＤ仕様で信号処理され た音声情報信号に対応した凹凸形状を形成することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の透明スタンパの形状を示す概略図であ
る。

【図２】本考案の実施例１で示す透明スタンパの構成図
である。

【図３】本考案の実施例３で示す透明スタンパの構成図
である。

【図４】本考案の実施例４で示す透明スタンパの構成図
である。

【図５】本考案の実施例５で示す透明スタンパの構成図
である。

【図６】本考案の実施例６で示す透明スタンパの構成図
である。

【符号の説明】

11 透明スタンパ 21 青板ガラス 22 クロム薄膜 23 レジスト膜 31 青板ガラス 32 二酸化珪素の薄膜 41 青板ガラス基板 51 ポリカーボネート樹脂基板 61 エポキシ樹脂基板

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマ
   ット信号および音声情報信号に対応する凹凸形状を表面
   に有し、紫外光線が透過可能であることを特徴とする透
   明スタンパ。
2. 【請求項２】 青板ガラス上にクロム薄層を形成し、さ
   らにその上にポジ型レジスト層を形成し、該ポジ型レジ
   ストがＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット信号
   および音声情報信号に対応する凹凸形状を呈することを
   特徴とする請求項１に記載の透明スタンパ。
3. 【請求項３】 青板ガラス上に二酸化珪素薄膜を形成
   し、該二酸化珪素薄膜がＣＤ仕様で信号処理されたプレ
   フォーマット信号および音声情報信号に対応する凹凸形
   状を呈することを特徴とする請求項１に記載の透明スタ
   ンパ。
4. 【請求項４】 エッチングにより、基板表面に凹凸形状
   を有する青板ガラス基板であって、該凹凸形状が、ＣＤ
   仕様で信号処理されたプレフォーマット信号および音声
   情報信号に対応する凹凸形状であることを特徴とする請
   求項１に記載の透明スタンパ。
5. 【請求項５】 射出成形によって、基板表面に凹凸形状
   を有するポリカーボネート樹脂基板であって、該凹凸形
   状が、ＣＤ仕様で信号処理されたプレフォーマット信号
   および音声情報信号に対応する凹凸形状であることを特
   徴とする請求項１に記載の透明スタンパ。
6. 【請求項６】 光硬化性樹脂のキャスト法によって、基
   板表面に凹凸形状を形成したエポキシ樹脂基板であっ
   て、該凹凸形状がＣＤ仕様で信号処理されたプレフォー
   マット信号および音声情報信号に対応する凹凸形状であ
   ることを特徴とする請求項１に記載の透明スタンパ。