JPH0543322A - 窒化珪素焼結体 - Google Patents
窒化珪素焼結体Info
- Publication number
- JPH0543322A JPH0543322A JP4016398A JP1639892A JPH0543322A JP H0543322 A JPH0543322 A JP H0543322A JP 4016398 A JP4016398 A JP 4016398A JP 1639892 A JP1639892 A JP 1639892A JP H0543322 A JPH0543322 A JP H0543322A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon nitride
- sintered body
- nitride sintered
- sintered compact
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は上述した不具合を解消して、
高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する窒化珪
素焼結体を提供しようとするものである。 【構成】 Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素
焼結体において、該焼結体中に含まれるSi以外の金属イ
オンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜
１：３の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカー
ド31-1462 のＸ線回折パターンと同一と同定されるYSiO
2N形態の結晶を実質的に含まない結晶からなることを特
徴とする窒化珪素焼結体。
高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する窒化珪
素焼結体を提供しようとするものである。 【構成】 Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素
焼結体において、該焼結体中に含まれるSi以外の金属イ
オンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜
１：３の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカー
ド31-1462 のＸ線回折パターンと同一と同定されるYSiO
2N形態の結晶を実質的に含まない結晶からなることを特
徴とする窒化珪素焼結体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、酸化特性を向上した窒
化珪素焼結体に関するものである。
化珪素焼結体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、窒化珪素焼結体の製造方法として
は、市販の窒化珪素原料粉末にY2O3,Al2O3,MgO 等の粒
界に液相を形成する焼結助剤を添加し、成形後不活性ガ
ス雰囲気下で焼成する方法が、例えば特公昭58-49509号
公報において開示されている。
は、市販の窒化珪素原料粉末にY2O3,Al2O3,MgO 等の粒
界に液相を形成する焼結助剤を添加し、成形後不活性ガ
ス雰囲気下で焼成する方法が、例えば特公昭58-49509号
公報において開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、酸化物添加
物や窒化珪素原料に元来含まれ焼結助剤として働くSiO2
は、粒界相にガラスを形成して組織の緻密化や微構造の
形成に有効に作用する。しかしながら原料として使用す
る市販の窒化珪素原料粉末は、酸素含有量が少ないと共
にロット間の酸素含有量の変動が大きいため、全般的に
酸化特性の悪い窒化珪素焼結体が得られることが多く、
最近要望が高まっている酸化特性および高温強度をとも
に満足する窒化珪素焼結体を得ることができなかった。
物や窒化珪素原料に元来含まれ焼結助剤として働くSiO2
は、粒界相にガラスを形成して組織の緻密化や微構造の
形成に有効に作用する。しかしながら原料として使用す
る市販の窒化珪素原料粉末は、酸素含有量が少ないと共
にロット間の酸素含有量の変動が大きいため、全般的に
酸化特性の悪い窒化珪素焼結体が得られることが多く、
最近要望が高まっている酸化特性および高温強度をとも
に満足する窒化珪素焼結体を得ることができなかった。
【０００４】本発明の目的は上述した不具合を解消し
て、高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する窒
化珪素焼結体を提供しようとするものである。
て、高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する窒
化珪素焼結体を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の窒化珪素焼結体
は、Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素焼結体
において、該焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭ
と酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３
の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカード31-1
462 のＸ線回折パターンと同一と同定されるYSiO2N形態
の結晶を実質的に含まない結晶からなることを特徴とす
るものである。
は、Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素焼結体
において、該焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭ
と酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３
の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳカード31-1
462 のＸ線回折パターンと同一と同定されるYSiO2N形態
の結晶を実質的に含まない結晶からなることを特徴とす
るものである。
【０００６】
【作用】上述した構成において所定範囲の酸素を含む窒
化珪素調製粉末を使用して得た酸素含有量の多い窒化珪
素焼結体が、酸化による体積膨張が大きな結晶相は生ぜ
ず、高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する。
すなわち、酸素含有量の多い焼結体組成ほど耐酸化特性
が良好になるが、あまり多すぎるとその粒界相が十分に
結晶化せずガラス相が残存するため、高温強度の高くな
い焼結体となる。従ってSiO2に換算して4.5 〜7.5wt ％
の酸素を含有する窒化珪素粉末を含んだ窒化珪素調製粉
末を使用し、焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭ
と酸素イオンＯとのモル比がＭ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲に入る焼結体を得た。なお、本発明において酸素含
有量をSiO2の量に換算して表わしたのは、焼結助剤およ
び不純物の量まで考慮すると酸素含有量だけを実際に規
定することが困難になるためである。粒界結晶にYSiO2N
形態の結晶を含まないようにするのは、これを含むと酸
化により体積膨張の大きな結晶相を生じ、この時クラッ
クを生じ破壊してしまうからである。
化珪素調製粉末を使用して得た酸素含有量の多い窒化珪
素焼結体が、酸化による体積膨張が大きな結晶相は生ぜ
ず、高い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する。
すなわち、酸素含有量の多い焼結体組成ほど耐酸化特性
が良好になるが、あまり多すぎるとその粒界相が十分に
結晶化せずガラス相が残存するため、高温強度の高くな
い焼結体となる。従ってSiO2に換算して4.5 〜7.5wt ％
の酸素を含有する窒化珪素粉末を含んだ窒化珪素調製粉
末を使用し、焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭ
と酸素イオンＯとのモル比がＭ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲に入る焼結体を得た。なお、本発明において酸素含
有量をSiO2の量に換算して表わしたのは、焼結助剤およ
び不純物の量まで考慮すると酸素含有量だけを実際に規
定することが困難になるためである。粒界結晶にYSiO2N
形態の結晶を含まないようにするのは、これを含むと酸
化により体積膨張の大きな結晶相を生じ、この時クラッ
クを生じ破壊してしまうからである。
【０００７】また、原料としてSiO2に換算して4.5 〜7.
5wt ％という従来市販の原料より多い酸素含有量を達成
するには、原料を所定の条件で仮焼するか後述するスラ
リー加温法を行って得ると好適である。原料粉末あるい
はスラリー状態にて酸素含有量を増加させるのは、均一
な酸素含有量の分布を持つ焼結体を得るためである。す
なわち、成形体を仮焼して酸素含有量を増加させること
も考えられるがこの場合、酸化される層が表面のみに限
られ、中まで充分に酸化しない。これに対して粉末ある
いはスラリーを酸化させた場合、空気あるいは水の拡
散、分散が充分であるため、均一な酸化反応が進行する
とともに、後工程の混合工程により、さらに均一な成形
体及び焼結体を得ることができるためである。また本発
明において仮焼温度を800 〜1200℃と規定したのは、80
0 ℃以下だと原料が酸化せず所定の酸素含有量を達成で
きないと共に、1200℃以上だと酸化しすぎてしまい同様
に所定の酸素含有量を達成できないためである。また、
スラリー加温時の温度を50〜150 ℃と規定したのは、50
℃以下だと酸化反応が進行せず所定の酸素含有量を達成
できないと共に、150 ℃以上だとスラリーが乾燥してし
まい同様に反応が進行しなくなるためである。
5wt ％という従来市販の原料より多い酸素含有量を達成
するには、原料を所定の条件で仮焼するか後述するスラ
リー加温法を行って得ると好適である。原料粉末あるい
はスラリー状態にて酸素含有量を増加させるのは、均一
な酸素含有量の分布を持つ焼結体を得るためである。す
なわち、成形体を仮焼して酸素含有量を増加させること
も考えられるがこの場合、酸化される層が表面のみに限
られ、中まで充分に酸化しない。これに対して粉末ある
いはスラリーを酸化させた場合、空気あるいは水の拡
散、分散が充分であるため、均一な酸化反応が進行する
とともに、後工程の混合工程により、さらに均一な成形
体及び焼結体を得ることができるためである。また本発
明において仮焼温度を800 〜1200℃と規定したのは、80
0 ℃以下だと原料が酸化せず所定の酸素含有量を達成で
きないと共に、1200℃以上だと酸化しすぎてしまい同様
に所定の酸素含有量を達成できないためである。また、
スラリー加温時の温度を50〜150 ℃と規定したのは、50
℃以下だと酸化反応が進行せず所定の酸素含有量を達成
できないと共に、150 ℃以上だとスラリーが乾燥してし
まい同様に反応が進行しなくなるためである。
【０００８】さらに、所定量のSiO2を含む窒化珪素調製
粉末から作製した窒化珪素焼結体は、焼結体中に含まれ
るSi以外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が、
Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内の従来よりは高い範囲
の酸素量を含み、それを含むと耐酸化特性が著しく悪化
するＪＣＰＤＳカード31- 1462のＸ線回折パターンと同
一と同定されるYSiO2N形態の結晶を実質的に含まない耐
酸化特性が良好で高い高温強度を有する窒化珪素焼結体
を得ることができる。
粉末から作製した窒化珪素焼結体は、焼結体中に含まれ
るSi以外の金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が、
Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内の従来よりは高い範囲
の酸素量を含み、それを含むと耐酸化特性が著しく悪化
するＪＣＰＤＳカード31- 1462のＸ線回折パターンと同
一と同定されるYSiO2N形態の結晶を実質的に含まない耐
酸化特性が良好で高い高温強度を有する窒化珪素焼結体
を得ることができる。
【０００９】さらに、焼結助剤中にMg, Ceを加えた場合
は、Mgの添加は焼結しやすくなると共にMg＋Ceの添加で
はさらに焼結しやすくなるため好ましい。
は、Mgの添加は焼結しやすくなると共にMg＋Ceの添加で
はさらに焼結しやすくなるため好ましい。
【００１０】
【実施例】以下、本発明における窒化珪素焼結体の作製
方法について説明する。まず、市販の窒化珪素原料を処
理して、4.5 〜7.5wt ％のSiO2を含む窒化珪素原料粉末
とＹを必須成分とする焼結助剤とからなる窒化珪素調製
粉末を準備する。この調製法としては、市販の窒化珪素
原料を800 〜1200℃の温度で適当時間仮焼する方法や、
スラリー状態の原料を50〜150 ℃で６時間〜１日スラリ
ー状態のまま加温するスラリー加温法が好適である。上
述した調製時の粉砕法としては、湿式のアトリッション
ミル、ボールミル、振動ミル等が好適である。
方法について説明する。まず、市販の窒化珪素原料を処
理して、4.5 〜7.5wt ％のSiO2を含む窒化珪素原料粉末
とＹを必須成分とする焼結助剤とからなる窒化珪素調製
粉末を準備する。この調製法としては、市販の窒化珪素
原料を800 〜1200℃の温度で適当時間仮焼する方法や、
スラリー状態の原料を50〜150 ℃で６時間〜１日スラリ
ー状態のまま加温するスラリー加温法が好適である。上
述した調製時の粉砕法としては、湿式のアトリッション
ミル、ボールミル、振動ミル等が好適である。
【００１１】次に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレ
ードライヤ等の方法で乾燥した後、ラバープレス、射出
成形等の方法により成形して所望の成形体を得る。さら
に、得られた成形体を好ましくは1650〜1800℃の温度で
焼成して、所定の高い耐酸化特性と高い高温強度を有す
る窒化珪素焼結体を得る。
ードライヤ等の方法で乾燥した後、ラバープレス、射出
成形等の方法により成形して所望の成形体を得る。さら
に、得られた成形体を好ましくは1650〜1800℃の温度で
焼成して、所定の高い耐酸化特性と高い高温強度を有す
る窒化珪素焼結体を得る。
【００１２】以下、実際の例について説明する。実施例１ 第１図に示す本実施例のフローチャートにそって説明す
ると、まず市販の窒化珪素原料を第１表に示す条件で仮
焼した後、Ｙを必須成分としMg、Ceを適当量含む焼結助
剤とともに湿式アトリッションミルにより湿式粉砕し、
第１表に示す種々の組成の窒化珪素調製粉末を得た。次
に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤによ
り乾燥した後、ラバープレスにより60×60×７mmの直方
体形状に成形して成形体を得た。さらに、得られた成形
体をN2雰囲気、1750℃の条件で焼成して、所望の試験片
を得た。
ると、まず市販の窒化珪素原料を第１表に示す条件で仮
焼した後、Ｙを必須成分としMg、Ceを適当量含む焼結助
剤とともに湿式アトリッションミルにより湿式粉砕し、
第１表に示す種々の組成の窒化珪素調製粉末を得た。次
に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤによ
り乾燥した後、ラバープレスにより60×60×７mmの直方
体形状に成形して成形体を得た。さらに、得られた成形
体をN2雰囲気、1750℃の条件で焼成して、所望の試験片
を得た。
【００１３】得られた試験片に対し、Ｘ線回折法により
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに結晶体中に含
まれるSi以外の金属イオンと酸素イオンとのモル比、12
00℃におけるJIS R-1601「ファインセラミックスの曲げ
強さ試験法」に準ずる四点曲げ強度および耐酸化特性と
して800 ℃、100 時間保持後の破壊の有無をそれぞれ測
定した。結果を表１に示す。なお表１の耐酸化特性中、
○は800 ℃、100 時間保持後も破壊しなかったものを、
×は800 ℃、100 時間以内で破壊したものを示す。
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに結晶体中に含
まれるSi以外の金属イオンと酸素イオンとのモル比、12
00℃におけるJIS R-1601「ファインセラミックスの曲げ
強さ試験法」に準ずる四点曲げ強度および耐酸化特性と
して800 ℃、100 時間保持後の破壊の有無をそれぞれ測
定した。結果を表１に示す。なお表１の耐酸化特性中、
○は800 ℃、100 時間保持後も破壊しなかったものを、
×は800 ℃、100 時間以内で破壊したものを示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】表１の結果から明らかなように、本発明の
範囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高い高温
強度を有しているのに対し、一つでも本発明の条件を満
たしていない試料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満
たさなかった。
範囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高い高温
強度を有しているのに対し、一つでも本発明の条件を満
たしていない試料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満
たさなかった。
【００１６】実施例２ 第２図に示す本実施例のフローチャートにそって説明す
ると、まず市販の窒化珪素原料とＹを必須成分としMg,C
e を適当量含む焼結助剤とを湿式アトリッションミルに
より湿式粉砕し、第２表に示す種々の温度に所定時間保
持してスラリー加温処理して第２表に示す種々の組成の
窒化珪素調製粉末を得た。次に、得られた窒化珪素調製
粉末をスプレードライヤにより乾燥した後、ラバープレ
スにより60×60×７mmの直方体形状に成形して成形体を
得た。さらに、得られた成形体をN2雰囲気、1750℃の条
件で焼成して、所望の試験片を得た。
ると、まず市販の窒化珪素原料とＹを必須成分としMg,C
e を適当量含む焼結助剤とを湿式アトリッションミルに
より湿式粉砕し、第２表に示す種々の温度に所定時間保
持してスラリー加温処理して第２表に示す種々の組成の
窒化珪素調製粉末を得た。次に、得られた窒化珪素調製
粉末をスプレードライヤにより乾燥した後、ラバープレ
スにより60×60×７mmの直方体形状に成形して成形体を
得た。さらに、得られた成形体をN2雰囲気、1750℃の条
件で焼成して、所望の試験片を得た。
【００１７】得られた試験片に対し、Ｘ線回折法により
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに結晶体中に含
まれるSi以外の金属イオンと酸素イオンとのモル比、12
00℃におけるJIS R-1601「ファインセラミックスの曲げ
強さ試験法」に準ずる四点曲げ強度および耐酸化特性と
して800 ℃、100 時間保持後の破壊の有無をそれぞれ測
定した。結果を表２に示す。なお表２の耐酸化特性中、
○は800 ℃、100 時間保持後も破壊しなかったものを、
×は800 ℃、100 時間以内で破壊したものを示す。
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに結晶体中に含
まれるSi以外の金属イオンと酸素イオンとのモル比、12
00℃におけるJIS R-1601「ファインセラミックスの曲げ
強さ試験法」に準ずる四点曲げ強度および耐酸化特性と
して800 ℃、100 時間保持後の破壊の有無をそれぞれ測
定した。結果を表２に示す。なお表２の耐酸化特性中、
○は800 ℃、100 時間保持後も破壊しなかったものを、
×は800 ℃、100 時間以内で破壊したものを示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】表２の結果から明らかなように、本発明の
範囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高温強度
を有しているのに対し、一つでも本発明の条件を満たし
ていない試料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満たさ
なかった。
範囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高温強度
を有しているのに対し、一つでも本発明の条件を満たし
ていない試料は所定の耐酸化特性又は高温強度を満たさ
なかった。
【００２０】
【発明の効果】以上詳細に説明したところから明らかな
ように、本発明の窒化珪素焼結体によれば、従来の含有
量より多い所定量の酸素を含有する窒化珪素調製粉末を
出発原料として窒化珪素焼結体を作製しているため、高
い耐酸化特性および高い高温強度を共に満足する窒化珪
素焼結体を得ることができる。
ように、本発明の窒化珪素焼結体によれば、従来の含有
量より多い所定量の酸素を含有する窒化珪素調製粉末を
出発原料として窒化珪素焼結体を作製しているため、高
い耐酸化特性および高い高温強度を共に満足する窒化珪
素焼結体を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。
る。
【図２】本発明の他の実施例を示すフローチャートであ
る。
る。
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化
珪素焼結体において、該焼結体中に含まれるSi以外の金
属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：
２〜１：３の範囲内にあり、かつ該焼結体がＪＣＰＤＳ
カード31-1462 のＸ線回折パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない結晶からなること
を特徴とする窒化珪素焼結体。 - 【請求項２】 前記焼結助剤がMgを含む請求項１項記載
の窒化珪素焼結体。 - 【請求項３】 前記焼結助剤がMgおよびCeを含む請求項
１項記載の窒化珪素焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4016398A JP2577155B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 窒化珪素焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4016398A JP2577155B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 窒化珪素焼結体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61068287A Division JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0543322A true JPH0543322A (ja) | 1993-02-23 |
| JP2577155B2 JP2577155B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=11915145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4016398A Expired - Lifetime JP2577155B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 窒化珪素焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577155B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS553398A (en) * | 1978-06-15 | 1980-01-11 | Gte Laboratories Inc | Method of manufacturing high density silicon nitride having high temperature strength and antiioxidation and containing y203 and al203 |
| JPS566392A (en) * | 1979-06-21 | 1981-01-22 | Bosch Gmbh Robert | Brush holder for electric machine |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP4016398A patent/JP2577155B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS553398A (en) * | 1978-06-15 | 1980-01-11 | Gte Laboratories Inc | Method of manufacturing high density silicon nitride having high temperature strength and antiioxidation and containing y203 and al203 |
| JPS566392A (en) * | 1979-06-21 | 1981-01-22 | Bosch Gmbh Robert | Brush holder for electric machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2577155B2 (ja) | 1997-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07277814A (ja) | アルミナ基セラミックス焼結体 | |
| KR940011452B1 (ko) | 개질된 실리콘 질화물 결합을 갖는 실리콘 탄화물 내화성 제품 | |
| JP3865970B2 (ja) | 磁器組成物 | |
| JPH0212893B2 (ja) | ||
| US4818733A (en) | Silicon nitride sintered bodies and a method of producing the same | |
| JP3013372B2 (ja) | ジルコン焼結体及びその製造方法 | |
| JPH0543322A (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
| JP2759288B2 (ja) | 酸化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH0321500B2 (ja) | ||
| JPH0640765A (ja) | スピネルセラミックス及びその製造方法 | |
| JPH08198664A (ja) | アルミナ基焼結体およびその製造方法 | |
| JPH0460045B2 (ja) | ||
| JPH06116039A (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体 | |
| JPS63151682A (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPS62275067A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造法 | |
| JP3719762B2 (ja) | フェライト焼成用耐火物 | |
| JP3211908B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 | |
| JPH03174364A (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
| JPH0912370A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 | |
| JP2000169245A (ja) | 酸化物系セラミック焼結体の製造方法 | |
| JP3106208B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 | |
| JPS62105986A (ja) | ジルコニアセラミツクスの黒色化法 | |
| JP2671539B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH0687650A (ja) | アルミナ系焼結体及びその製造方法 | |
| JP2687633B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |