JPH0321500B2 - - Google Patents
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- JPH0321500B2 JPH0321500B2 JP61068287A JP6828786A JPH0321500B2 JP H0321500 B2 JPH0321500 B2 JP H0321500B2 JP 61068287 A JP61068287 A JP 61068287A JP 6828786 A JP6828786 A JP 6828786A JP H0321500 B2 JPH0321500 B2 JP H0321500B2
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
（産業上の利用分野）
本発明は、酸化特性を向上した窒化珪素焼結体
およびその製造法に関するものである。 （従来の技術） 従来、窒化珪素焼結体の製造方法としては、市
販の窒化珪素原料粉末にY2O3、Al2O3、MgO等
の粒界に液相を形成する焼結助剤を添加し、成形
後不活性ガス雰囲気下で焼成する方法が、例えば
特公昭58−49509号公報において開示されている。 （発明が解決しようとする問題点） ところで、酸化物添加物や窒化珪素原料に元来
含まれ焼結助剤として働くSiO2は、粒界相にガ
ラスを形成して組織の緻密化や微構造の形成に有
効に作用する。しかしながら原料として使用する
市販の窒化珪素原料粉末は、酸化含有量が少ない
と共にロツト間の酸素含有量の変動が大きいた
め、全般的に酸化特性の悪い窒化珪素焼結体が得
られることが多く、最近要望が高まつている酸化
特性および高温強度をともに満足する窒化珪素焼
結体を得ることができなかつた。 本発明の目的は上述した不具合を解消して、高
い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する窒
化珪素焼結体およびその製造法を提供しようとす
るものである。 （問題点を解決するための手段） 本発明の窒化珪素焼結体は、Ｙは必須成分とす
る焼結助剤を含む窒化珪素焼結体において、該焼
結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭと酸化イ
オンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲内にあり、かつ該焼結体がJCPDSカード31
−1462のＸ線回析パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない結晶から
なることを特徴とするものである。 また、本発明の窒化珪素焼結体の製造法は、
4.5〜7.5wt％のSiO2を含む窒化珪素原料粉末と、
Ｙを必須成分としMgおよび／またはCeを含む焼
結助剤とからなる窒化珪素調整粉末を得る調製工
程と、前記窒化珪素調製粉末を成形して成形体を
得る成形工程と、前記成形体を窒素あるいは不活
性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とからなり、
焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭと酸素
イオンＯとのモ比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲内にあり、かつ焼結体がJCPDSカード31−
1462のＸ線回析パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない焼結体を
得ることを特徴とするものである。 （作用） 上述した構成において所定範囲の酸素を含む窒
化珪素調製粉末を使用して酸素含有量の多い窒化
珪素焼結体を作製することにより、酸化による体
積膨張が大きな結晶相は生ぜず、高い耐酸化特性
および高い高温強度特性を有する窒化珪素焼結体
を得ることができる。すなわち、酸素含有量の多
い焼結体組成ほど耐酸化特性が良好になるが、あ
まり多すぎるとその粒界相が十分結晶化せずガラ
ス相が残存するため、高温強度の高くない焼結体
となる。従つてSiO2に換算して4.5〜7.5wt％の酸
素を含有する窒化珪素粉末を含んだ窒化珪素調製
粉末を使用し、焼結体中に含まれるSi以外の金属
イオンＭと酸素イオンＯとのモル比がＭ：Ｏ＝
１：２〜１：３の範囲に入る焼結体を得た。な
お、本発明において窒化珪素調製粉末中の酸素含
有量をSiO2の量に換算して表わしたのは、焼結
助剤および不純物の量まで考慮すると酸素含有量
だけを実際を規定することが困難になるためであ
る。粒界結晶にYSiO2N形態の結晶を含まないよ
うにするのは、これを含むと酸化により体積膨張
の大きな結晶相を生じ、この時クラツクを生じ破
壊してしまうからである。 また、原料としてSiO2に換算して4.5〜7.5wt％
という従来市販の原料より多い酸素含有量を達成
するには、原料を所定の条件で仮焼するか後述す
るスラリー加温法を行つて得ると好適である。原
料粉末あるいはスラリー状態にて酸素含有量を増
加させるのは、均一な酸素含有量の分布を持つ焼
結体を得るためである。すなわち、成形体を仮焼
して酸素含有量を増加させることも考えられるが
この場合、酸化される層が表面のみに限られ、中
まで充分に酸化しない。これに対して粉末あるい
はスラリーを酸化させた場合、空気あるいは水の
拡散、分散が充分であるため、均一な酸化反応が
進行するとともに、後工程の混合工程により、さ
らに均一な成形体及び焼結体を得ることができる
ためである。また本発明において仮焼温度を800
〜1200℃と規定したのは、800℃以下だと原料が
酸化せず所定の酸化含有量を達成できないと共
に、1200℃以上だと酸化しすぎてしまい同様に所
定の酸素含有量を達成できないためである。ま
た、スラリー加温時の温度を50〜150℃と規定し
たのは、50℃以下だと酸化反応が進行せず所定の
酸化含有量を達成できないと共に、150℃以上だ
とスラリーが乾燥してしまい同様に反応が進行し
なくなるためである。 さらに、所定量のSiO2を含む窒化珪素調製粉
末から作製した窒化珪素焼結体は、焼結体中に含
まれるSi以外の金属イオンＭと酸化イオンＯとの
モル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内の従
来よりは高い範囲の酸素量を含み、それを含むと
耐酸化特性が著しく悪化するJCPDSカード31−
1462のＸ線回析パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない耐酸化特
性が良好で高い高温強度を有する窒化珪素焼結体
を得ることができる。 さらに、焼結助剤中にMg、Ceを加えた場合
は、Mgの添加は焼結しやすくなると共にMg＋
Ceの添加ではさらに焼結しやすくなるため好ま
しい。 （実施例） 以下、本発明における窒化珪素焼結体の作製方
法について説明する。まず、市販の窒化珪素原料
を処理して、4.5〜7.5wt％のSiO2を含む窒化珪素
原料粉末とＹを必須成分とする焼結助剤とからな
る窒化珪素調製粉末を準備する。この調製法とし
ては、市販の窒化珪素原料を800〜1200℃の温度
で適当時間仮焼する方法や、スラリー状態の原料
を50〜150℃で６時間〜１日スラリー状態のまま
加温するスラリー加温法が好適である。上述した
調製時の粉砕法としては、湿式のアトリツシヨン
ミル、ボールミル、振動ミル等が好適である。 次に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレード
ライヤ等の方法で乾燥した後、ラバープレス、射
出成形等の方法により成形して所望の成形体を得
る。さらに、得られた成形体を好ましくは1650〜
1800℃の温度で焼成して、所定の高い耐酸化特性
と高い高温強度を有する窒化珪素焼結体を得る。 以下、実際の例について説明する。 実施例 １ 第１図に示す本実施例のフローチヤートにそつ
て説明すると、まず市販の窒化珪素原料を第１表
に示す条件で仮焼した後、Ｙを必須成分とし
Mg、Ceを適当量含む焼結助剤とともに湿式アト
リツシヨンミルにより湿式粉砕し、第１表に示す
種々の組成の窒化珪素調製粉末を得た。次に、得
られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤによ
り乾燥した後、ラバープレスにより60×60×７mm
の直方体形状に成形して成形体を得た。さらに、
得られた成形体をN2雰囲気、1750℃の条件で焼
成して、所望の試験片を得た。 得られた試験片に対して、Ｘ線回析法により
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに焼結
体中に含まれるSi以外の金属イオンと酸素イオン
とのモル比、1200℃におけるJISR−1601「フアイ
ンセラミツクスの曲げ強さ試験法」に準ずる四点
曲げ強度および耐酸化特性として800℃、100時間
保持後の破壊の有無をそれぞれ測定した。結果を
第１表に示す。なお第１表の耐酸化特性中、○は
800℃、100時間保持後も破壊しなかつたものを、
×は800℃、100時間以内で破壊したものを示す。
およびその製造法に関するものである。 （従来の技術） 従来、窒化珪素焼結体の製造方法としては、市
販の窒化珪素原料粉末にY2O3、Al2O3、MgO等
の粒界に液相を形成する焼結助剤を添加し、成形
後不活性ガス雰囲気下で焼成する方法が、例えば
特公昭58−49509号公報において開示されている。 （発明が解決しようとする問題点） ところで、酸化物添加物や窒化珪素原料に元来
含まれ焼結助剤として働くSiO2は、粒界相にガ
ラスを形成して組織の緻密化や微構造の形成に有
効に作用する。しかしながら原料として使用する
市販の窒化珪素原料粉末は、酸化含有量が少ない
と共にロツト間の酸素含有量の変動が大きいた
め、全般的に酸化特性の悪い窒化珪素焼結体が得
られることが多く、最近要望が高まつている酸化
特性および高温強度をともに満足する窒化珪素焼
結体を得ることができなかつた。 本発明の目的は上述した不具合を解消して、高
い耐酸化特性および高い高温強度特性を有する窒
化珪素焼結体およびその製造法を提供しようとす
るものである。 （問題点を解決するための手段） 本発明の窒化珪素焼結体は、Ｙは必須成分とす
る焼結助剤を含む窒化珪素焼結体において、該焼
結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭと酸化イ
オンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲内にあり、かつ該焼結体がJCPDSカード31
−1462のＸ線回析パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない結晶から
なることを特徴とするものである。 また、本発明の窒化珪素焼結体の製造法は、
4.5〜7.5wt％のSiO2を含む窒化珪素原料粉末と、
Ｙを必須成分としMgおよび／またはCeを含む焼
結助剤とからなる窒化珪素調整粉末を得る調製工
程と、前記窒化珪素調製粉末を成形して成形体を
得る成形工程と、前記成形体を窒素あるいは不活
性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とからなり、
焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭと酸素
イオンＯとのモ比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の
範囲内にあり、かつ焼結体がJCPDSカード31−
1462のＸ線回析パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない焼結体を
得ることを特徴とするものである。 （作用） 上述した構成において所定範囲の酸素を含む窒
化珪素調製粉末を使用して酸素含有量の多い窒化
珪素焼結体を作製することにより、酸化による体
積膨張が大きな結晶相は生ぜず、高い耐酸化特性
および高い高温強度特性を有する窒化珪素焼結体
を得ることができる。すなわち、酸素含有量の多
い焼結体組成ほど耐酸化特性が良好になるが、あ
まり多すぎるとその粒界相が十分結晶化せずガラ
ス相が残存するため、高温強度の高くない焼結体
となる。従つてSiO2に換算して4.5〜7.5wt％の酸
素を含有する窒化珪素粉末を含んだ窒化珪素調製
粉末を使用し、焼結体中に含まれるSi以外の金属
イオンＭと酸素イオンＯとのモル比がＭ：Ｏ＝
１：２〜１：３の範囲に入る焼結体を得た。な
お、本発明において窒化珪素調製粉末中の酸素含
有量をSiO2の量に換算して表わしたのは、焼結
助剤および不純物の量まで考慮すると酸素含有量
だけを実際を規定することが困難になるためであ
る。粒界結晶にYSiO2N形態の結晶を含まないよ
うにするのは、これを含むと酸化により体積膨張
の大きな結晶相を生じ、この時クラツクを生じ破
壊してしまうからである。 また、原料としてSiO2に換算して4.5〜7.5wt％
という従来市販の原料より多い酸素含有量を達成
するには、原料を所定の条件で仮焼するか後述す
るスラリー加温法を行つて得ると好適である。原
料粉末あるいはスラリー状態にて酸素含有量を増
加させるのは、均一な酸素含有量の分布を持つ焼
結体を得るためである。すなわち、成形体を仮焼
して酸素含有量を増加させることも考えられるが
この場合、酸化される層が表面のみに限られ、中
まで充分に酸化しない。これに対して粉末あるい
はスラリーを酸化させた場合、空気あるいは水の
拡散、分散が充分であるため、均一な酸化反応が
進行するとともに、後工程の混合工程により、さ
らに均一な成形体及び焼結体を得ることができる
ためである。また本発明において仮焼温度を800
〜1200℃と規定したのは、800℃以下だと原料が
酸化せず所定の酸化含有量を達成できないと共
に、1200℃以上だと酸化しすぎてしまい同様に所
定の酸素含有量を達成できないためである。ま
た、スラリー加温時の温度を50〜150℃と規定し
たのは、50℃以下だと酸化反応が進行せず所定の
酸化含有量を達成できないと共に、150℃以上だ
とスラリーが乾燥してしまい同様に反応が進行し
なくなるためである。 さらに、所定量のSiO2を含む窒化珪素調製粉
末から作製した窒化珪素焼結体は、焼結体中に含
まれるSi以外の金属イオンＭと酸化イオンＯとの
モル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内の従
来よりは高い範囲の酸素量を含み、それを含むと
耐酸化特性が著しく悪化するJCPDSカード31−
1462のＸ線回析パターンと同一と同定される
YSiO2N形態の結晶を実質的に含まない耐酸化特
性が良好で高い高温強度を有する窒化珪素焼結体
を得ることができる。 さらに、焼結助剤中にMg、Ceを加えた場合
は、Mgの添加は焼結しやすくなると共にMg＋
Ceの添加ではさらに焼結しやすくなるため好ま
しい。 （実施例） 以下、本発明における窒化珪素焼結体の作製方
法について説明する。まず、市販の窒化珪素原料
を処理して、4.5〜7.5wt％のSiO2を含む窒化珪素
原料粉末とＹを必須成分とする焼結助剤とからな
る窒化珪素調製粉末を準備する。この調製法とし
ては、市販の窒化珪素原料を800〜1200℃の温度
で適当時間仮焼する方法や、スラリー状態の原料
を50〜150℃で６時間〜１日スラリー状態のまま
加温するスラリー加温法が好適である。上述した
調製時の粉砕法としては、湿式のアトリツシヨン
ミル、ボールミル、振動ミル等が好適である。 次に、得られた窒化珪素調製粉末をスプレード
ライヤ等の方法で乾燥した後、ラバープレス、射
出成形等の方法により成形して所望の成形体を得
る。さらに、得られた成形体を好ましくは1650〜
1800℃の温度で焼成して、所定の高い耐酸化特性
と高い高温強度を有する窒化珪素焼結体を得る。 以下、実際の例について説明する。 実施例 １ 第１図に示す本実施例のフローチヤートにそつ
て説明すると、まず市販の窒化珪素原料を第１表
に示す条件で仮焼した後、Ｙを必須成分とし
Mg、Ceを適当量含む焼結助剤とともに湿式アト
リツシヨンミルにより湿式粉砕し、第１表に示す
種々の組成の窒化珪素調製粉末を得た。次に、得
られた窒化珪素調製粉末をスプレードライヤによ
り乾燥した後、ラバープレスにより60×60×７mm
の直方体形状に成形して成形体を得た。さらに、
得られた成形体をN2雰囲気、1750℃の条件で焼
成して、所望の試験片を得た。 得られた試験片に対して、Ｘ線回析法により
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに焼結
体中に含まれるSi以外の金属イオンと酸素イオン
とのモル比、1200℃におけるJISR−1601「フアイ
ンセラミツクスの曲げ強さ試験法」に準ずる四点
曲げ強度および耐酸化特性として800℃、100時間
保持後の破壊の有無をそれぞれ測定した。結果を
第１表に示す。なお第１表の耐酸化特性中、○は
800℃、100時間保持後も破壊しなかつたものを、
×は800℃、100時間以内で破壊したものを示す。
【表】
＊ 処理せず
第１表の結果から明らかなように、本発明の範
囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高い
高温強度を有しているのに対し、一つでも本発明
の条件を満たしていない試料は所定の耐酸化特性
又は高温強度を満たさなかつた。 実施例 ２ 第２図に示す本実施例のフローチヤートにそつ
て説明すると、まず市販の窒化珪素原料とＹを必
須成分しMg、Ceを適当量含む焼結助剤とを湿式
アトリツシヨンミルにより湿式粉砕し、第２表に
示す種々の温度に所定時間保持してスラリー加温
処理して第２表に示す種々の組成の窒化珪素調製
粉末を得た。次に、得られた窒化珪素調製粉末を
スプレードライヤにより乾燥した後、ラバープレ
スにより60×60×７mmの直方体形状に成形して成
形体を得た。さらに、得られた成形体をN2雰囲
気、1750℃の条件で焼成して、所望の試験片を得
た。 得られた試験片に対して、Ｘ線回析法により
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに焼結
体中に含まれるSi以外の金属イオンと酸素イオン
とのモル比、1200℃におけるJISR−1601「フアイ
ンセラミツクスの曲げ強さ試験法」に準ずる四点
曲げ強度および耐酸化特性として800℃、100時間
保持後の破壊の有無をそれぞれ測定した。結果を
第２表に示す。なお第２表の耐酸化特性中、○は
800℃、100時間保持後も破壊しなかつたものを、
×は800℃、100時間以内で破壊したものを示す。
第１表の結果から明らかなように、本発明の範
囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高い
高温強度を有しているのに対し、一つでも本発明
の条件を満たしていない試料は所定の耐酸化特性
又は高温強度を満たさなかつた。 実施例 ２ 第２図に示す本実施例のフローチヤートにそつ
て説明すると、まず市販の窒化珪素原料とＹを必
須成分しMg、Ceを適当量含む焼結助剤とを湿式
アトリツシヨンミルにより湿式粉砕し、第２表に
示す種々の温度に所定時間保持してスラリー加温
処理して第２表に示す種々の組成の窒化珪素調製
粉末を得た。次に、得られた窒化珪素調製粉末を
スプレードライヤにより乾燥した後、ラバープレ
スにより60×60×７mmの直方体形状に成形して成
形体を得た。さらに、得られた成形体をN2雰囲
気、1750℃の条件で焼成して、所望の試験片を得
た。 得られた試験片に対して、Ｘ線回析法により
YSiO2N形態の結晶の有無を確認し、さらに焼結
体中に含まれるSi以外の金属イオンと酸素イオン
とのモル比、1200℃におけるJISR−1601「フアイ
ンセラミツクスの曲げ強さ試験法」に準ずる四点
曲げ強度および耐酸化特性として800℃、100時間
保持後の破壊の有無をそれぞれ測定した。結果を
第２表に示す。なお第２表の耐酸化特性中、○は
800℃、100時間保持後も破壊しなかつたものを、
×は800℃、100時間以内で破壊したものを示す。
【表】
＊ スラリーが乾燥したため、正確な処
理時間は不明
＊＊ 処理せず
第２表の結果から明らかなように、本発明の範
囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高温
強度を有しているのに対し、一つでも本発明の条
件を満たしていない試料は所定の耐酸化特性又は
高温強度を満たさなかつた。 （発明の効果） 以上詳細に説明したところから明らかなよう
に、本発明の窒化珪素焼結体およびその製造法に
よれば、従来の含有量より多い所定量の酸素を含
有する窒化珪素調製粉末を出発原料として窒化珪
素焼結体を作製しているため、高い耐酸化特性お
よび高い高温強度を共に満足する窒化珪素焼結体
を得ることができる。
理時間は不明
＊＊ 処理せず
第２表の結果から明らかなように、本発明の範
囲内の試料はすべて良好な耐酸化特性と共に高温
強度を有しているのに対し、一つでも本発明の条
件を満たしていない試料は所定の耐酸化特性又は
高温強度を満たさなかつた。 （発明の効果） 以上詳細に説明したところから明らかなよう
に、本発明の窒化珪素焼結体およびその製造法に
よれば、従来の含有量より多い所定量の酸素を含
有する窒化珪素調製粉末を出発原料として窒化珪
素焼結体を作製しているため、高い耐酸化特性お
よび高い高温強度を共に満足する窒化珪素焼結体
を得ることができる。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施
例を示すフローチヤートである。
例を示すフローチヤートである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｙを必須成分とする焼結助剤を含む窒化珪素
焼結体において、該焼結体中に含まれるSi以外の
金属イオンＭと酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：
Ｏ＝１：２〜１：３の範囲内にあり、かつ該焼結
体がJCPDSカード31−1462のＸ線回折パターン
と同一と同定されるYSiO2N形態の結晶を実質的
に含まない結晶からなることを特徴とする窒化珪
素焼結体。 ２ 前記焼結助剤がMgを含む特許請求の範囲第
１項記載の窒化珪素焼結体。 ３ 前記焼結助剤がMgおよびCeを含む特許請求
の範囲第１項記載の窒化珪素焼結体。 ４ 4.5〜7.5wt％のSiO2を含む窒化珪素原料粉末
と、Ｙを必須成分としMgおよび／またはCeを含
む焼結助剤とからなる窒化珪素調整粉末を得る調
製工程と、前記窒化珪素調製粉末を成形して成形
体を得る成形工程と、前記成形体を窒素あるいは
不活性ガス雰囲気中で焼成する焼成工程とからな
り、焼結体中に含まれるSi以外の金属イオンＭと
酸素イオンＯとのモル比が、Ｍ：Ｏ＝１：２〜
１：３の範囲内にあり、かつ焼結体がJCPDSカ
ード31−1462のＸ線回折パターンと同一と同定さ
れるYSiO2N形態の結晶を実質的に含まない焼結
体を得ることを特徴とする窒化珪素焼結体の製造
法。 ５ 前記調製工程が、窒化珪素を主成分とする粉
末を空気中で800〜1200℃に仮焼する工程を含む
ことを特徴とする前記窒化珪素調製粉末を得る工
程よりなる特許請求の範囲第４項記載の窒化珪素
焼結体の製造法。 ６ 前記調製工程が、窒化珪素を主成分とする粉
末のスラリーを50〜150℃に加温する工程を含む
ことを特徴とする前記窒化珪素調製粉末を得る工
程よりなる特許請求の範囲第４項記載の窒化珪素
焼結体の製造法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61068287A JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| DE19873709137 DE3709137A1 (de) | 1986-03-28 | 1987-03-20 | Siliciumnitrid-sinterkoerper, verfahren zu ihrer herstellung und siliciumnitridpulver |
| DE3744692A DE3744692C2 (de) | 1986-03-28 | 1987-03-20 | Siliciumnitridpulver und Verfahren zu seiner Herstellung |
| US07/028,724 US4818733A (en) | 1986-03-28 | 1987-03-23 | Silicon nitride sintered bodies and a method of producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61068287A JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4016398A Division JP2577155B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 窒化珪素焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62241876A JPS62241876A (ja) | 1987-10-22 |
| JPH0321500B2 true JPH0321500B2 (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=13369400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61068287A Granted JPS62241876A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62241876A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3829504A1 (de) * | 1988-08-31 | 1990-03-01 | Bayer Ag | Siliciumnitridpulver mit verbesserten oberflaecheneigenschaften sowie verfahren zu deren herstellung |
| JP2007230788A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Kyocera Corp | 窒化珪素質焼結体 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP61068287A patent/JPS62241876A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62241876A (ja) | 1987-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |