JP2007230788A - 窒化珪素質焼結体 - Google Patents
窒化珪素質焼結体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007230788A JP2007230788A JP2006050974A JP2006050974A JP2007230788A JP 2007230788 A JP2007230788 A JP 2007230788A JP 2006050974 A JP2006050974 A JP 2006050974A JP 2006050974 A JP2006050974 A JP 2006050974A JP 2007230788 A JP2007230788 A JP 2007230788A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- silicon nitride
- polishing
- powder
- ray diffraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】窒化珪素質焼結体全体に亘ってボラストナイトを含有し、さらには内部のボラストナイトの含有量が多くなるため、研磨加工時の研磨抵抗は小さくできるものの、研磨加工時にボラストナイトに生じる微細クラックが進展しやすくなり、加工面の表面粗さを優れたものとすることができない。
【解決手段】β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト(RESiO2N、REは周期表第3族元素)を含有する焼結体であって、前記ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にあるX線回折ピーク強度をIWとするとき、前記焼結体は内部にIWがゼロとなる部分を有することにより、研磨加工時に表面は研磨抵抗が小さく、且つ内部に研磨が及んだ際、β−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる研磨加工面の表面粗さの増大が抑制され、研磨加工した面の表面粗さを小さくすることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト(RESiO2N、REは周期表第3族元素)を含有する焼結体であって、前記ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にあるX線回折ピーク強度をIWとするとき、前記焼結体は内部にIWがゼロとなる部分を有することにより、研磨加工時に表面は研磨抵抗が小さく、且つ内部に研磨が及んだ際、β−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる研磨加工面の表面粗さの増大が抑制され、研磨加工した面の表面粗さを小さくすることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、窒化珪素質焼結体に関し、特に研磨抵抗が小さく、かつ研磨加工された面の表面粗さを加工面全体にわたって均一に小さくすることができる窒化珪素質焼結体に関する。
従来より、窒化珪素質焼結体は、機械的特性に優れているため半導体製造工程あるいは液晶パネル製造工程で用いられる基板処理装置用部材、例えば、露光装置の位置決め用のミラーとして用いられている。また、窒化珪素質焼結体は、耐摩耗性に優れているため掘削部品用の耐摩耗シールリングとして用いられている。
これらの部材は、その寸法精度を高めるために砥石等を用いた研磨加工を経て製造されており、単位時間当たりの研磨加工量を増加させて製造コストを低減させるため、研磨抵抗が小さなことが求められている。また、耐摩耗シールリングはシール性を向上させるためその表面の鏡面とし、面粗さを小さくすることが好ましいとされている。また、位置決め用のミラーは、ミラーにレーザーを当ててのその位置を計測する方法を採用しているため、ミラーの面粗さをミラー全体に渡って小さく、かつ均一にすることが求められていた。また、周囲に温度が変化することによってミラーの温度が変化し、これによってミラーが熱膨張すると位置決め精度が悪くなるため、熱膨張係数が小さいことが求められている。
これら窒化珪素質焼結体として、例えば、特許文献1には、炭化珪素を0.1〜30体積%含有する焼結体であって、粒界結晶相の主成分がボラストナイトからなる窒化珪素質焼結体が示されている。
また、特許文献2には、窒化珪素を主結晶相とし、粒界の一部または全部にボラストナイトを含有する窒化珪素質焼結体が示されている。
特開2002−121072号公報
特開平11−21175号公報
しかし、特許文献1、2の窒化珪素質焼結体は十分大きな機械的強度を有するものの次のような問題を有していた。
特許文献1、2の窒化珪素質焼結体は、成形体の周囲の気体中のSiOガス濃度を焼成中に所定の範囲にコントロールしない状態で作製されているため、焼結体全体に亘ってボラストナイトを含有する。特に、成形体を容器で囲わずに焼成炉内の気流に曝された状態で焼成すると、成形体からSi成分が多量に蒸発する傾向があるため、焼結体内部のボラストナイトの含有量が多くなる。ボラストナイトを主成分とする焼結体は、窒化珪素を主成分とする焼結体よりも破壊靱性が小さいことから考えると、ボラストナイトを焼結体全体にわたって含有する特許文献1、2に示さる焼結体は、研磨加工時の研磨抵抗は小さくできるものの、研磨加工時にボラストナイトに生じる微細クラックが進展しやすくなり、加工面の表面粗さを優れたものとすることができないという問題を有していた。
本発明は、前記問題点に鑑み、実用上十分大きな機械的強度を有し、研磨抵抗が小さく、研磨加工された面の粗さ(面粗さ)を小さくすることができる窒化珪素質焼結体を提供することを目的とする。
本発明の窒化珪素質焼結体は、β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト(RESiO2N、REは周期表第3族元素)を含有する焼結体であって、前記ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°におけるX線回折ピーク強度をIWとするとき、前記焼結体の内部にIWがゼロとなる部分を有することを特徴とする。
また、前記β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度をISNとするとき、IW/ISNが前記焼結体の表面部で最大であることを特徴とする。
さらに、前記焼結体の表面部のIW/ISNは、0.03〜0.2であることを特徴とする。
さらに、前記REは、Y、Yb、Lu、Erのうち少なくとも1種から選ばれることを特徴とする。
本発明の窒化珪素質焼結体は、β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト含有してなり、内部にIWがゼロとなる部分を有することにより、主成分であるβ−Si3N4により、十分な機械的強度を有することができるとともに、内部にIWがゼロとなる部分を有することによって、内部にボラストナイトを含まないか、または極めて少なくすることができるので、焼結体の研磨加工時に、表面は研磨抵抗が小さく、且つ内部に研磨が及んだ際、β−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる研磨加工面の表面粗さの増大が抑制され、その結果、研磨加工した面の表面粗さを小さくすることができる。
また、前記β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度をISNとするとき、IW/ISNが前記焼結体の表面部で最大であることにより、焼結体の表面部に研磨抵抗の小さなボラストナイトを多く含有させることができるので、研磨加工する際の研磨抵抗をさらに小さくした窒化珪素質焼結体とすることができる。
また、前記焼結体の表面部のIW/ISNが0.03〜0.2であることにより、より研磨抵抗を小さくすることができるボラストナイトを十分に表面部に含有させて表面部の研磨抵抗を特に小さくできるとともに、β−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる加工面の粗さの増大が特に抑制され、その結果、研磨加工された内部の面の粗さをさらに小さくした窒化珪素質焼結体とすることができる。また、β−Si3N4よりも熱膨張係数の大きなボラストナイトの熱膨張が研磨加工の際に抑制されるため、研磨加工の際に焼結体にクラックが生じるのを防止することができる。
また、前記REは、Y、Yb、Lu、Erのうち少なくとも1種から選ばれることにより、特に熱伝導率の大きなβ−ダイシリケート相を含有させることができるため、熱伝導率の大きな窒化珪素質焼結体とすることができる。
本発明の窒化珪素質焼結体は、β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト(RESiO2N、REは周期表第3族元素)を含有する焼結体であり、機械的強度を高めるためのβ−Si3N4を主成分とし、焼結体の研磨抵抗を小さくすることができるボラストナイトを含有するものであり、前記ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にあるX線回折ピーク強度をIWとするとき、前記焼結体は内部にIWがゼロとなる部分を有することが重要であり、焼結体内部に前記ボラストナイトを含有しないか、または焼結体内部に前記ボラストナイトを含有する場合でもその含有量を極めて少なくすることによって、焼結体を研磨加工する際のβ−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる研磨加工面の粗さの増大を抑制したものである。
このような窒化珪素質焼結体は、第1に、機械的強度を高める作用のあるβ−Si3N4を主成分とすることにより、実用上十分な機械的強度を有することができ、例えば、焼結体を粉砕して得られた粉末をX線回折し、β−Si3N4がX線回折ピークの主ピークであること(最大強度のX線回折ピークがβ−Si3N4のピークであること)によって確認することができる。
第2に、焼結体中にボラストナイトを含有させることによって、焼結体を砥石等により研磨する際の研磨抵抗を小さくすることができる。詳細には、β−Si3N4を主成分とする焼結体の破壊靱性値は6MPa・m1/2程度であるのに対して、ボラストナイトを主成分とする焼結体の破壊靱性値は4MPa・m1/2程度と小さい。これにより、砥石等により局所的な応力がボラストナイトに加わった場合、ボラストナイトが破壊して容易に削れるため、研磨抵抗が小さくなるものと考えられる。
第3に、ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にあるX線回折ピーク強度IWとするとき、前記焼結体の内部にIWがゼロとなる部分を有することにより、内部にボラストナイトを含まないか、または内部のボラストナイトの含有量を極めて少なくすることができるので、内部を研磨した際に、β−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる加工面の粗さの増大が抑制され、その結果、研磨加工された内部の面の粗さを小さくした窒化珪素質焼結体とすることができる。ここで、β−Si3N4とボラストナイトの研磨抵抗が異なるのは、上述したようにβ−Si3N4を主成分とする焼結体の破壊靱性値は6MPa・m1/2程度であるのに対して、ボラストナイトを主成分とする焼結体の破壊靱性値は4MPa・m1/2程度と小さいので、β−Si3N4からなる結晶は研磨加工されにくく、ボラストナイトからなる結晶は研磨加工されやすいからであると考えられる。
ここで、X線回折角2θとして32〜33°を選択するのは、この回折角にあるX線回折ピークはボラストナイトのX線回折強度が最大となるピークを含むため、このピークの最大強度IWがボラストナイトの含有量と相関関係があるからである。このボラストナイト(RESiO2N)は、砥石等により焼結体を研磨加工する際、焼結体の粒界の破壊を促進する作用を成すため、砥石等が受ける研磨抵抗を低減させることができる。
なお、研磨抵抗は、一定条件下で焼結体の研磨加工を行う際の研磨抵抗(N)を水晶圧電式動力計により検出することができる。例えば、直径80mm×厚さ10mmの円板状の窒化珪素質焼結体からなる研磨抵抗測定用試料を作製し、大阪機工株式会社製のVM4II型立形マシニングセンタにこの試料の一方の主面を固定する。次いで、#120のダイヤモンドを電着した外径5mmのコアドリルを立形マシニングセンタに取り付け、ドリルに注水しながらドリルの回転数2000rpm、送り速度2mm/分で、試料の他方主面に垂直方向に穴開け加工する。この加工中に、ドリルの長手方向の研磨抵抗(N)をKISTLER株式会社製の水晶圧電式動力計TYPE9254により検出する。この測定方法は、ドリルで穴空け加工をする際にドリルが受ける抵抗であるが、この抵抗は、回転するダイヤモンドホイールによる研磨加工を平面研削盤を用いて行った際にダイヤモンドホイールが受ける抵抗と略比例するので、平板状の窒化珪素質焼結体の主面を回転するダイヤモンドホイールで研磨加工した際の研磨抵抗の大きさを相対的に比較する方法として用いることができる。ここで、表面部と内部の研磨抵抗は、ドリルを焼結体表面から内部に向かって一定速度で送りながら研磨抵抗を連続的に計測し、ドリルが通過した箇所における研磨抵抗とする。なお、表面部(例えば焼肌面およびその近傍)の研磨抵抗を正解に測定するためには、ドリルが表面から0.1mm程度内部に入った状態での研磨抵抗を、表面部における研磨抵抗とすることが好ましい。
また、焼結体中のボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°におけるX線回折ピーク強度をIWは、焼結体を研磨して得られた表面部から内部の複数の面のそれぞれをX線回折法により測定し、β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度ISN、RESi2ONのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にある回折ピーク強度IWの値を見たものである。
また、本発明の窒化珪素質焼結体は、前記β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度をISNとするとき、IW/ISNを前記焼結体の表面部で最大とすることが好ましく、これにより焼結体の表面部に研磨抵抗の小さなボラストナイトを多く含有させることができるので、研磨加工する際の研磨抵抗をさらに小さくすることができる。本発明の窒化珪素質焼結体における表面部とは、表面および表面近傍を示し、具体的には表面から概ね0.1mmまでの距離にある部分までを言い、内部とは表面部以外の部分を言う。
さらに、前記IW/ISNを表面部から内部に向かって漸減させることにより、表面部はボラストナイトがより多く含有しており、内部に向かって減少することとなり、研磨加工における研磨抵抗を小さくできるとともに、研磨が進行するにともなって研磨抵抗の高いβ−Si3N4が多いため、研磨加工後の焼結体の機械的強度を高いものとできるとともに、表面粗さの小さい加工面とすることができる。
ここでIW/ISNを選択したのは、β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度をISNは、焼結体に含まれるβ−Si3N4の含有量と相関関係があるため、IW/ISNは、β−Si3N4に対するボラストナイトの相対的な含有量の割合を良く表す値と考えられるからである。また、焼結体の表面部、内部のそれぞれのIW/ISNは、焼結体を研磨して得られた表面部、内部の面のそれぞれをX線回折法により測定し、β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度ISN、RESi2ONのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にある回折ピーク強度IWを求め、IW/ISNを計算する。なお、Cu−Kα線を用いた場合には、β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピークは回折角2θが概ね26.7〜27.3°に観察される。
また、本発明の焼結体は、その表面部のIW/ISNが0.03〜0.2であることが好ましく、これにより研磨抵抗の小さいボラストナイトを十分に表面部に含有させて表面部の研磨抵抗をより小さくできるとともに、β−Si3N4よりも熱膨張係数の大きなボラストナイトの熱膨張が研磨加工の際に抑制されるので、研磨加工の際に焼結体にクラックが入るおそれをなくすことができる。
表面部のIW/ISNが0.03未満の場合には、表面部に破壊源となるボラストナイトが少なくなるので研磨抵抗が大きくなりやすく、一方、表面部のIW/ISNが0.2よりも大きいと、研磨加工した面の表面粗さが大きくなりやすい。また、ボラストナイトはβ−Si3N4に比べて熱膨張係数が大きいので焼結体と砥石等との摩擦熱によって熱応力が発生し、焼結体にクラックが入るおそれがある。さらには、IW/ISNが表面部で0.07〜0.15であることがより好ましく、これにより研磨抵抗を特に小さくすることができる。
また、ボラストナイト、即ちRESiO2N(REは周期表第3族元素)を構成するREは、Y、Yb、Lu、Erのうち少なくとも1種を主成分とすることが好ましく、特に熱伝導率の小さなβ−ダイシリケート(β−RE2Si2O7)相を含有できるため、熱伝導率の小さな窒化珪素質焼結体とすることができるからである。
なお、窒化珪素質焼結体中に含まれるβ−Si3N4、RESi2ON、β−RE2Si2O7はX線回折法により測定する。例えば、Cu−Kα線(λ=1.54056Å)を用いてX線回折を行う。β−Si3N4はJCPDS−ICDD(Joint Committee for Powder Diffraction Studies- International Centre for Diffraction Data)のNo.33−1160、RESi2ONは、JCPDS−ICDD No.48−1624、β−RE2Si2O7はJCPDS−ICDD No.38−0440のデータを用いて同定することができる。なお、これらのRESi2ONとβ−RE2Si2O7のJCPDS−ICDDはREがYのものであるが、REがYb、Lu、Erの場合にも代用できる。REがY、Yb、Lu、Er以外のJCPDS−ICDDについては、公知のX線回折パターンを参照することができる。また、YSi2ONのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にあるX線回折ピークの回折角2θは、JCPDS−ICDD No.48−1624によれば、(20−4)面が32.006°、(13−4)面が32.065°、(134)面が32.279°、(204)面が32.411°である。本発明では、RESi2ON、例えばYSi2ONの回折ピーク強度をX線回折角2θが32〜33°にある回折ピーク強度IWにより求めることとしたのは、これら4つのX線回折ピークは重なり合っており、その結果これらのピークの最大ピークが32〜33°に観察されることが多いからである。
また、本発明の窒化珪素質焼結体は、厚みの比較的厚い部位を有する機械的強度の高い焼結体であって、この焼結体の表面部を研磨加工して面粗さを小さくするための窒化珪素質焼結体に好適である。この理由は、厚みの厚い部位を有する窒化珪素質焼結体は、研磨加工にかかる製造コストを低減しつつ、研磨加工された研磨面の表面粗さを低減することが求められているからである。より具体的には、本発明の窒化珪素質体は、厚みが5mm以上の部位を有しこの部位を研磨加工するためのものに好適である。
さらには、焼結体の機械的強度を向上させるため、焼結体の厚みを少なくとも10mm以上とし、焼結体表面から3mm以上離れている範囲で前記IW/ISNを実質的にゼロとすることが好ましい。
なお、窒化珪素質焼結体の機械的強度は、曲げ強度を測定することで求められ、例えばJIS(日本工業規格)R1601(1995年)に準拠して測定することができ、窒化珪素質焼結体を加工した試験片を10個以上作製する。荷重試験機を用いてこの試験片に荷重を印加し、破壊するまでの最大荷重を測定し、曲げ強度を算出する。また、熱伝導率は、JIS R1611−1997に準拠するレーザーフラッシュ法により室温例えば25℃の環境下で測定する。さらに、表面粗さは、接触式または非接触式の表面粗さ計を用いて測定することができる。
次いで、本発明の窒化珪素質焼結体の製造方法について説明する。
本発明の窒化珪素質焼結体は次のようにして製造されることが特に重要である。すなわち、Si3N4粉末を主成分としRE2O3粉末を含有した成形体を、二酸化珪素粉末(重量WSiO2(g))と珪素粉末(重量WSi(g))の混合粉末とともに、表面が窒化珪素または炭化珪素を主成分とする化合物からなる焼成用容器内に載置し、容器を閉鎖する。これにより、焼成用容器の周囲からこの容器内へ気体ができるだけ流入しないようにしつつ、成形体に含まれる窒化珪素粉末の重量の合計をWSN(g)、焼成用容器内の体積V(m3)(この体積Vとは、焼成用容器のみの容積から、配置した成形体の容積および成形体を載置するための焼成用治具等の容積を除いた値をいう。)とするとき、
WSi/WSiO2=0.2〜3 (式(1))
(WSi+WSiO2)/(VWSN)=0.002〜0.05 (式(2))
の関係を満たした状態で焼成を開始し、窒素ガス中、1700〜2000℃で保持する。
WSi/WSiO2=0.2〜3 (式(1))
(WSi+WSiO2)/(VWSN)=0.002〜0.05 (式(2))
の関係を満たした状態で焼成を開始し、窒素ガス中、1700〜2000℃で保持する。
なお、前記焼成容器は、一対の焼成用板と、その間に介在させる複数の円筒体とから成るものであってもよく、この場合も同様に焼成用容器内の体積V(m3)は成形体を載置する空間の体積Vから成形体の容積を除いたものである。
これにより、β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト(RESiO2N、REは周期表第3族元素)を含有する焼結体であって、前記ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°にあるX線回折ピーク強度をIWとするとき、前記焼結体は内部にIWがゼロとなる部分を有する窒化珪素質焼結体を製造することができる。
また、得られた窒化珪素質焼結体を研磨する際は、例えば、回転するダイヤモンドホイールで焼結体を予備研磨した後、ラップ研磨することで鏡面加工することができる。ここで用いるダイヤモンドホイールは、合成ダイヤモンド粒子を樹脂等の結合剤に強固に固着させたもの、例えば旭ダイヤモンド工業株式会社製のダイヤモンドホイールを用いることができる。また、ラップ研磨は、粒径が1μm以下のダイヤモンドパウダーと少量の油を付着させた大きな円板状の錫製定盤の上に、予備研磨した複数の焼結体を載置して、焼結体に上方から荷重を付加しつつ定盤を回転させるとともに、焼結体を定盤の回転方向と相対的に違う方向に移動させながら行うことができる。
さらに、本発明の窒化珪素質焼結体の製造方法をより具体的に説明する。
(a)出発原料粉末として、窒化珪素粉末、Y2O3、Yb2O3、Lu2O3、Er2O3などの周期表第3族元素の酸化物からなるRE2O3粉末等を準備する。好ましくは、さらにAl2O3粉末を準備する。ここで準備する窒化珪素粉末は、α化率が高い窒化珪素原料の方が焼結性に優れるため好ましいものの、α化率がゼロの窒化珪素粉末であっても良い。また、窒化珪素粉末中には、Siの酸化物が不純物として含有されていても良い。RE2O3粉末は純度が99%以上であることが好ましい。各1次原料粉末の粒径は、D50(粉末の粒径分布における累計体積が50%に相当する粒径)が1〜30μmであることが好ましい。
(b)上記(a)で準備した粉末を窒化珪素粉末60〜99モル%、RE2O3粉末1〜40モル%となるようにして、公知の方法、例えば回転ミル、振動ミル、ビーズミルなどのミルに投入し湿式混合、粉砕し、スラリーを作製する。好ましくは、窒化珪素粉末79〜88モル%、RE2O3粉末8〜14モル%、Al2O3粉末3〜7質量%となるようにして混合、粉砕する。粉砕メディアは、窒化珪素質、ジルコニア質、アルミナ質のものが使用可能であるが、不純物として混入の影響の少ない材質である窒化珪素質のメディアが良い。また、粉砕後の粒度D50を1μm以下となるように微粉砕することが焼結性を向上させるために好ましい。また、1次原料粉末を予め微粉砕させた後、ミルで湿式混合、粉砕しても良い。また、得られるスラリー粘度を下げる目的で粉砕前に分散剤を添加することが好ましい。
(c)得られた湿式スラリーを乾燥させて乾燥粉体を作製する。この乾燥の前にスラリーを#200より細かいメッシュを通し、さらに磁力を用いて脱鉄するなどの方法で極力異物を除去することが好ましい。また、スラリーにパラフィンワックスやPVA(ポリビニルアルコール)、PEG(ポリエチレングリコール)、PEO(ポリエチレンオキサイド)などの有機バインダーを粉体重量に対して1〜10質量%添加、混合することが後述する成形の際に、成形体のクラックや割れ等の発生を抑制できるので好ましい。スラリーの乾燥方法としては、スラリーを容器に入れて加熱、乾燥させても良いし、スプレードライヤーで乾燥させても良く、または他の方法で乾燥させても何ら問題ない。
(d)乾燥粉体を公知の成形方法、例えば金型を用いた粉末加圧成形法、静水圧を利用した等方加圧成形法を用いて、相対密度45〜60%の所望の形状とする。
(e)成形体が有機バインダーを含む場合には、有機バインダーを脱脂する。焼結性を向上させて緻密な窒化珪素質焼結体を作製するためには、脱脂後の脱脂体中の炭素量を0.01重量%以下とすることが好ましく、脱脂温度は500〜900℃が好ましい。
(f)成形体または脱脂体(以下、これらを総称して成形体と記す。)を次のように焼成炉を用いて焼成する。
焼成炉として黒鉛性の抵抗発熱体により加熱する焼成炉等を用い、成形体を、二酸化珪素粉末と珪素粉末の混合粉末とともに、焼成用容器の表面が窒化珪素を主成分とする化合物からなるものに入れて密閉することで焼成用容器の周囲からこの容器内へ気体ができるだけ流入しないようにしつつ、前記式(1)および(2)の関係を満たすようにして後、焼成を開始し、窒素ガス中、1700〜2000℃で保持し、96%以上に緻密化する。
焼成用治具の材質を窒化珪素質や炭化珪素質またはこれらの複合物などの材質とするのは焼成中に成形体に含まれるSi成分等の蒸発を抑制し、焼成炉内の雰囲気中等から成形体に付着する可能性のある異物(例えば黒鉛製発熱体や炭素製断熱材から飛散する炭素片や、焼成炉中に組み込まれている他の無機材質製の断熱材の小片等)の付着を防止するためである。成形体を焼成用容器に入れて密閉することで、焼成用容器の周囲からこの容器内へ気体ができるだけ流入しないようにするのは、成形体に含まれるSi元素の蒸発を抑制するためである。珪素と二酸化珪素の混合粉末を焼成用容器に入れて焼成するのは、焼成中に珪素と二酸化珪素を反応させるためである。式(1)および(2)の範囲内とするのは、珪素と二酸化珪素を反応させることで生成するSiOガスの濃度を焼成用容器内で所定の範囲に保つことができるからである。これらのような条件により焼成することで、後述する焼成過程で、表面部に所定量のボラストナイトを生成させ、内部のボラストナイトを低減して内部のIWがゼロとなる部分を有する窒化珪素質焼結体を製造することができる。
WSi/WSiO2が0.2〜3の範囲外、(WSi+WSiO2)/(VWSN)が0.002未満の場合は、SiOガスが十分に生成しないので焼結体内部のボラストナイトが多くなり、内部のIWがゼロとなる部分を有しない窒化珪素質焼結体となる。(WSi+WSiO2)/(VWSN)が0.05よりも大きい場合には、SiOガスが多量に発生して、焼結体全体に渡ってIWがゼロの焼結体となってしまう。
ここで、WSi/WSiO2を0.5〜3、(WSi+WSiO2)/(VWSN)を0.001〜0.05とすることで、IW/ISNが焼結体の表面部で最大である窒化珪素質焼結体を製造することができる。さらに、WSi/WSiO2を0.8〜2、(WSi+WSiO2)/(VWSN)を0.01〜0.03とすることで、焼結体の表面部のIW/ISNが0.03〜0.2である窒化珪素質焼結体を製造することができる。
ここで、相対密度とはアルキメデス法により得られた密度を粉体理論密度で割った値を言う。相対密度を96%以上にすることにより、機械的強度が実用上十分に大きい窒化珪素質焼結体を製造することができる。
相対密度96%以上まで緻密化させるには、より具体的には次のような方法により焼成する。
窒素ガス中で昇温し、最高温度1700〜2000℃で保持する。好ましくは、最高温度に達する前に、液相が生成する温度、例えば1500℃以上1700℃未満の温度で保持することが好ましい。最高温度が1800℃未満の場合、窒素分圧は大気圧程度で良いが、最高温度が1800℃以上の場合は窒素分圧を1MPa程度まで高めてSi3N4の分解反応を抑制することが好ましい。また、致密化をより促進するために、開気孔率が5%以下となった段階で、さらに高圧のガスで加圧することが好ましい。この加圧方法としては、高圧GPS(Gas Pressure Sintering)法や熱間等方加圧(HIP:hot isostatic press)法により、ガス圧1〜200MPaで加圧する方法を用いることが好ましく、これによって相対密度を特に99%以上に高めることができる。
本発明の窒化珪素質焼結体の製造方法は具体的には上述の通りである。この製造方法において、出発原料の窒化珪素粉末の一部をシリコン粉末に置き換えることにより、工程(f)において相対密度を向上させることが容易となり、また、成形体の焼成収縮率を小さくすることができるため、得られる窒化珪素質焼結体の寸法精度を向上させることができる。出発原料の窒化珪素粉末の一部をシリコン粉末に置き換えた場合には、上記(f)の工程で最高温度に達する前に、窒素分圧が50kPa〜1.1MPaの雰囲気中で1000〜1400℃で5時間以上保持することが好ましい。
上述のように、本発明の窒化珪素質焼結体は、研磨加工した面の面粗さを十分に小さくすることができるので、耐摩耗シールリングとして使用した場合に、シール性を特に向上させることができる。
また、本発明の窒化珪素質焼結体は、機械的強度が実用上十分大きく、研磨抵抗が小さい。そのため、本発明の窒化珪素質焼結体を半導体製造工程あるいは液晶パネル製造工程で用いられる基板処理装置用部材、例えば、露光装置用のレチクルステージ、ウェハステージ、ウェハ位置決め用のミラーとして用いた場合、次のような効果を奏することができる。すなわち、半導体製造工程や液晶パネル製造工程で機械的応力がかかっても割れや欠けが生じることがなく、研磨抵抗が小さいことから高い寸法精度に研磨加工することができるので、得られる部材の寸法精度を高めることができる。また、本発明の窒化珪素質焼結体をミラーとして用いた場合、研磨加工した表面の面粗さが十分小さいので、ミラーにレーザーを当ててのその位置を計測する方法を採用した場合には、ミラーの位置決め精度を向上させることができる。このように、本発明の窒化珪素質焼結体は、半導体・液晶製造装置用部材として好適に用いることができる。さらに、前記REがY、Yb、Lu、Erのうち少なくとも1種を主成分とすることで熱伝導率を小さくすることができるので、超音波モータを用いた摩擦駆動に伴って発生する熱を効率良く逃がすことから高精度な微細配線が可能となる。
以下、本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
(a1)α−窒化珪素粉末、および表1に示すように純度99%以上の酸化イットリウム(Y2O3)粉末、酸化イッテルビウム(Yb2O3)粉末、酸化ルテニウム(Lu2O3)粉末、酸化エルビウム(Er2O3)粉末等の周期表第3族元素の酸化物からなるRE2O3粉末を準備した。さらに酸化アルミニウム(Al2O3)粉末を準備した。
(b1)上記(a1)で準備した粉末を表1の組成となるようにして、回転ミルに投入し、窒化珪素製の粉砕メディアを用いて湿式混合、粉砕して、粉砕後の平均粒径が0.5〜0.9μmの粉末を含む湿式スラリーを作製した。
(c1)得られた湿式スラリーを#200メッシュに通し、通過した通過したスラリーにパラフィンワックスや有機バインダーとしてPVA(ポリビニルアルコール)をスラリーの固形分粉体100質量部に対して4質量部添加、混合した。その後、スラリーをスプレードライヤーで乾燥、造粒し、造粒粉体を得た。
(d1)造粒粉体を金型を用いて、300mm×200mm×厚み50mmの成形体Aと、直径100mm、厚さ12mmの成形体Bとをそれぞれ圧力100MPaで加圧成形して得た。
(e1)成形体に含まれる有機バインダーを700℃で脱脂した。
(f1)脱脂した成形体を次のように焼成した。
二酸化珪素粉末(重量WSiO2(g))と珪素粉末(重量WSi(g))の混合粉末を種々変えたものを準備した。また、グラファイト表面に窒化珪素粉末を焼き付けた焼成用治具であって、直径400mm、厚さ7mmの円筒を、直径400mmの円板2枚の間に挟んで形成される空間に成形体を入れ、焼成用治具の周囲からの気流を遮断できるように成形体を載置できるようにしたものを準備した。式(2)において、V=0.1m3、WSN=4kgとした。焼成炉として黒鉛性の抵抗発熱体により加熱する焼成炉等を用い、成形体を、二酸化珪素粉末と珪素粉末の混合粉末とともに焼成用治具に入れ、前記式(1)および(2)の関係を満たすようにした後、昇温して窒素ガス中1750〜1790℃で5時間保持した。成形体Aを焼成して得られた焼結体Aの大きさは、250mm×166mm×厚み41mm程度であった。成形体Bを焼成して得られた焼結体Bの大きさは、直径83mm、厚み10mm程度であった。
焼結体Aをからなる試料を用いて、曲げ強度、熱伝導率を前記の方法で測定した。また、焼結体Aからなる試料について、焼肌面の1箇所、焼肌面を深さ方向に0.5mm、1mm、2mmそれぞれ研磨した面の3箇所、あわせて4箇所をCu−Kα線を用いてX線回折し、前記のようにしてIW/ISNを求めた。研磨方法は、旭ダイヤモンド工業株式会社製の#400、#1200のダイヤモンドホイールで予備研磨後、油を少量載せた錫定盤上で粒径1〜3μmの範囲のダイヤモンドパウダーを用いて30分間研磨し、さらに粒径が0.2μm以下のダイヤモンドパウダーを用いて30分間鏡面研磨する方法とした。研磨抵抗は、焼結体Bからなる試料を用いて、研磨抵抗を前記のように測定した。ここで、研磨抵抗は、焼肌面から0.3〜0.4mm内部における研磨抵抗を平均して求めた。表面粗さは、各試料の焼肌面から内部の深さ方向に2mm予備研磨し、さらに鏡面研磨した面の算術平均粗Raを表面粗さ計で測定した。
本発明の試料は、曲げ強度が752MPa以上と実用上十分な大きさを有し、表面粗さが0.03〜0.09μm以下と小さく、研磨抵抗が340〜396Nと小さかった。表面部のIW/ISNが0.03〜0.2の試料No.3〜5は、表面粗さRaが0.03〜0.05μmと特に小さいだけでなく、研磨抵抗が340〜364MPaと特に小さかった。表面部のIW/ISNが0.07の試料No.4と、表面部のIW/ISNが0.15の試料No.6は、研磨抵抗が340と最も小さかった。
また、REがY,Yb,Lu、Erのいずれかからなる試料(No.1〜8)は、REがDy,Hoからなる試料(No.9,10)よりも熱伝導率が大きかった。なお、図1(a)は試料No.4の焼肌面のX線回折を示す図、(b)は試料No.4を2mm研磨加工した面のX線回折を示す図である。β−Si3N4の(200)面のX線回折ピークは○印、ボラストナイトのX線回折ピークは□印で示してある。
次に比較例として、WSi/WSiO2を0.2〜3の範囲外、(WSi+WSiO2)/(VWSN)を0.002〜0.05の範囲外として、その他は実施例と同様に試料を作製し、実施例と同様に評価した。その結果、試料No.11〜14は、表面粗さRaが0.16〜0.19μmと大きく、試料No.15は研磨抵抗が510Nと大きかった。
本発明の窒化珪素質焼結体は、掘削部品用の耐摩耗シールリング、揚水用部品の大型縦軸受け、高温用のボールバルブなどの、ポンプ部品用部材として特に好適に用いることができる。
また、半導体製造工程あるいは液晶パネル製造工程で用いられる基板処理装置用部材、例えば、露光装置用のレチクルステージや試料台、ウェハステージ、位置決め用のミラーなどに好適に用いることができる。
Claims (4)
- β−Si3N4を主成分とし、ボラストナイト(RESiO2N、REは周期表第3族元素)を含有する焼結体であって、前記ボラストナイトのCu−Kα線によるX線回折角2θが32〜33°におけるX線回折ピーク強度をIWとするとき、前記焼結体の内部にIWがゼロとなる部分を有することを特徴とする窒化珪素質焼結体。
- 前記β−Si3N4の(200)面帰属X線回折ピーク強度をISNとするとき、IW/ISNが前記焼結体の表面部で最大であることを特徴とする請求項1に記載の窒化珪素質焼結体。
- 前記焼結体の表面部のIW/ISNは、0.03〜0.2であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化珪素質焼結体。
- 前記REは、Y、Yb、Lu、Erのうち少なくとも1種から選ばれることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の窒化珪素質焼結体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006050974A JP2007230788A (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 窒化珪素質焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006050974A JP2007230788A (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 窒化珪素質焼結体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007230788A true JP2007230788A (ja) | 2007-09-13 |
Family
ID=38551764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006050974A Pending JP2007230788A (ja) | 2006-02-27 | 2006-02-27 | 窒化珪素質焼結体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007230788A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007230787A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Kyocera Corp | 炭化硼素質焼結体およびこれを用いた防護部材 |
JP2014129223A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Kyocera Corp | セラミック焼結体およびこれを備える耐磨耗性部材 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62241876A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-22 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
JPH02275763A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-11-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素基焼結体 |
JPH08215731A (ja) * | 1995-02-09 | 1996-08-27 | Ngk Insulators Ltd | 熱間圧延用セラミック治具及びその製造方法 |
JP2001261446A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素質焼結体とその製造方法、及び窒化珪素質部品の製造方法 |
-
2006
- 2006-02-27 JP JP2006050974A patent/JP2007230788A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62241876A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-22 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
JPH02275763A (ja) * | 1989-01-12 | 1990-11-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素基焼結体 |
JPH08215731A (ja) * | 1995-02-09 | 1996-08-27 | Ngk Insulators Ltd | 熱間圧延用セラミック治具及びその製造方法 |
JP2001261446A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-26 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 窒化珪素質焼結体とその製造方法、及び窒化珪素質部品の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007230787A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Kyocera Corp | 炭化硼素質焼結体およびこれを用いた防護部材 |
JP2014129223A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Kyocera Corp | セラミック焼結体およびこれを備える耐磨耗性部材 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4854482B2 (ja) | 炭化硼素質焼結体およびその製造方法 | |
EP2631223A1 (en) | Cordierite sintered body | |
WO2009123282A1 (ja) | 複合材料およびその製造方法 | |
US9637415B2 (en) | Method of making high purity polycrystalline aluminum oxynitride bodies useful in semiconductor process chambers | |
WO2011105490A1 (ja) | 炭化珪素質焼結体およびこれを用いた摺動部品ならびに防護体 | |
CN109923092B (zh) | 稀土氟氧化物烧结体以及其制造方法 | |
JPH02145484A (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
JP4903431B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体とその製造方法、これを用いた半導体製造装置用部材および液晶製造装置用部材 | |
JP4894770B2 (ja) | 炭化珪素/窒化硼素複合材料焼結体、その製造方法およびその焼結体を用いた部材 | |
KR101793031B1 (ko) | 고내마모성을 갖는 알루미나-그래핀 복합체의 제조방법 | |
JP5430389B2 (ja) | 非接触型シールリングおよびこれを用いた軸封装置 | |
JP2007230788A (ja) | 窒化珪素質焼結体 | |
JP4842212B2 (ja) | ガラス製ハードディスク基板用成形型 | |
JP4913468B2 (ja) | 炭化珪素系研磨プレートおよび半導体ウェーハの研磨方法 | |
JP4540598B2 (ja) | ガラス成形型用セラミックス | |
JP4936724B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体およびこれを用いた半導体製造装置用部材、並びに液晶製造装置用部材 | |
WO2009123283A1 (ja) | 炭化硼素・炭化珪素・シリコン複合材料 | |
JP2009263205A (ja) | 炭化硼素・炭化珪素・シリコン複合材料の製造方法 | |
JP2008273752A (ja) | 炭化硼素質焼結体および防護部材 | |
JP2006027986A (ja) | 半導体製造装置用部材 | |
JP2008297135A (ja) | 炭化硼素質焼結体およびその製法ならびに防護部材 | |
JP6864513B2 (ja) | 複合焼結体 | |
JP4385122B2 (ja) | α−サイアロン焼結体の製造方法およびα−サイアロン焼結体 | |
Samoilov et al. | Physicomechanical and thermophysical properties of SiC-based ceramics | |
JP5371807B2 (ja) | 非接触型シールリングおよびこれを用いた軸封装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110131 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110927 |