JPH0535084B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0535084B2
JPH0535084B2 JP23950385A JP23950385A JPH0535084B2 JP H0535084 B2 JPH0535084 B2 JP H0535084B2 JP 23950385 A JP23950385 A JP 23950385A JP 23950385 A JP23950385 A JP 23950385A JP H0535084 B2 JPH0535084 B2 JP H0535084B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
torr
purity
primary particle
particle size
grain growth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP23950385A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS62100404A (ja
Inventor
Takahisa Koshida
Takeshi Ogasawara
Kimiaki Sasaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Steel Corp
JFE Refractories Corp
Original Assignee
Kawasaki Refractories Co Ltd
Kawasaki Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Refractories Co Ltd, Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Refractories Co Ltd
Priority to JP23950385A priority Critical patent/JPS62100404A/ja
Publication of JPS62100404A publication Critical patent/JPS62100404A/ja
Publication of JPH0535084B2 publication Critical patent/JPH0535084B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 本発明は六方晶窒化硼素(以下h−BNと記載
する)の製造法に関するものであり、一次粒子径
と純度を制御できる技術を与えるものである。 〔従来の技術〕 h−BNは白色で黒鉛と類似した六方晶の層状
構造をなし、多種の特徴を有している。特に熱伝
導性、電気絶縁性、耐食性、潤滑性、耐熱性、機
械加工性などについては優れており、これらの性
質を生かして用途は多岐に亘つている。粉末とし
ての用途にはプラスチツク添加剤、潤滑剤などが
あり、成形体および複合材としては治具、電気絶
縁材、型材などの用途がある。 このように用途の広いh−BNを合成する方法
は種々考案されているが、現在工業的に採用され
ている方法は、 (1) 硼砂と尿素の混合物をアンモニア雰囲気中で
800℃以上に加熱する方法(特公昭38−1610)、 (2) 硼酸または酸化硼素と燐酸カルシウムを混合
し、アンモニアで窒化する方法、 (3) 硼酸と含窒素化合物(尿素、メラミン、塩化
アンモニウム、ジシアンジアミド等)を1600℃
以上に加熱する方法(特公昭48−14559)、 (4) 三塩化硼素とアンモニアにより気相合成する
方法、 などが主なものである。 (5) さらに純度90重量%程度のh−BNにアルカ
リ金属化合物を添加して1000℃以上に加熱する
ことにより99重量%以上にまで高純度化する方
法(特公昭47−26600)がある。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記(1)の方法は、900℃程度で粗製BNを製造
しアルカリ分を水洗除去した後、非酸化性雰囲気
中で1600℃〜2000℃に再加熱して不純物を蒸発除
去することで高純化する。高純化の工程h−BN
粒子は結晶の成長を生じ一次粒子径は1〜5μmに
なる。 上記(2)、(3)の方法においても同様に高純化過程
で粒成長を生ずるために任意に粒径を制御できな
い欠点があつた。 次に、(4)の方法は(1)〜(3)の方法と異なり、気相
合成方法のため高純度で微細な粒径のh−BNを
得ることができるが、原料の三塩化硼素が高価で
あるため、製造コストが高くつく欠点があつた。 また(5)の粗製BNにアルカリ金属化合物を添加
して高純化する方法では、(1)〜(3)の製造方法で得
られるh−BNよりも微細な結晶粒のものも得る
ことができるが、添加したアルカリ金属が合成炉
に付着して製造上好ましくないなどの欠点があつ
た。 本発明は、h−BNの高純化処理工程において
その一次粒子径の大きさを所望の値にコントロー
ルすることを可能とするh−BNの製造方法を提
供することを目的とする。 〔問題点を解決する手段〕 本発明者らは、従来技術を補うべく鋭意工夫を
重ねた結果、95重量%以上の純度で一次粒子径を
コントロールできる技術を開発するに至つた。こ
の技術開発の動機となつたのはh−BNの高純化
を20Torr以下の減圧下で行えば粒成長を生ずる
ことなく高純化を行うことができることを発見し
た点にある。つまりh−BNの粒成長の工程と高
純化工程を独立して行えば、種々の一次粒子径を
有する高純度h−BNを容易に製造することがで
きる。h−BNは熱処理温度と共に成長して行く
ので、所望の一次粒子径に成長させた後、雰囲気
を20Torr以下に保つて加熱処理を進めることに
よつて、結晶粒の成長を抑えながら高純化を行う
ことができ、高純度で所望の一次粒子径のh−
BNを得ることができる。 本発明による一次粒子径を制御しながらh−
BNを高純化する方法についてさらに具体的に述
べる。原料である粗製h−BNは通常800℃〜
1200℃で合成して得られたものであり、結晶は完
全には六方晶となつておらず乱層構造を有してい
る。結晶子の大きさLc(学振炭素材料117委員会
資料による方法で測定した値)は50Å〜100Åと
小さく、一次粒子径の大きさも100Å前後の微粒
になつている。純度については試料中の窒素分析
から求めると50〜95重量%の範囲であつた。不純
物としては酸素が殆どであり、存在形態としては
硼酸アンモニウム、酸化硼素などがX線回折によ
り同定された。 これらの不純物を除去する方法としては、加熱
処理により蒸気として蒸発除去する方法が採られ
る。しかし加熱処理中に不純物が液相を生成し、
h−BNの高純化とともに結晶子も成長し、一次
粒子径も大きくなつていつた。例えば硼砂と尿素
から900℃で合成した粗製h−BN(純度90重量
%、Lc=150Å)を水洗し、アルカリ分を除去し
た後、加熱するとLcは1800℃で約1000Åに成長
した。これ以上の温度では結晶子の成長は見られ
なかつた。硼酸とジシアンジアミドなどから合成
した粗製h−BNを使用しても同様な傾向であつ
た。このときのh−BN純度は99.2重量%で一次
粒子径は3μmあつた。このように高純度のh−
BNを得ようとすると一次粒子も成長するため、
実験者の希望する一次粒子径で高純度なh−BN
を得ることはできなかつた。 この点を解決すべく検討した結果、粒成長の原
因である液相を形成する不純物を急速に除去する
方法が必要であつた。除去方法としては減圧下で
熱処理すれば不純物の蒸発速度が大きくなり粒成
長を生じない。減圧の程度は圧力が20Torr以下
であれば、粒成長はほとんど生じていないことが
明らかとなつた。 しかし900℃〜1200℃で合成した粗製h−BN
を20Torr以下の減圧下で1200℃〜1800℃の加熱
処理しても純度は95重量%以上にはならなかつ
た。原因としては粗製h−BN中には多量の酸素
がB−O−Nなどの中間体の形でh−BN中に含
有されているため減圧下の加熱処理では除去でき
なかつたと考えられる。 常圧下である程度粒成長を生じさせ、B−O−
Nなどの中間体をBNとB2O3に転化させて、蒸発
除去することが必要になる。20Torrを超える圧
力(通常は常圧)下で1200℃〜1800℃に加熱する
ことにより、温度に対応して100Å〜5μmの範囲
の一次粒子径を有するBNとし、しかるのち
20Torr以下の減圧下で1600℃〜2000℃に加熱す
ることによつてBN中のB2O3などの不純物を蒸発
除去する。このようにして高純化を図れば、種々
の一次粒子径を有した高純度h−BNを得ること
ができる。 粒成長の工程で20Torrを超える圧力としたの
は20Torrを超える圧力が粒成長が起こる範囲で
あり、1200℃から粒成長が始まり、1800℃を超え
ると粒成長が止まる。 次いで不純物除去工程における減圧条件は、
N2等の非酸化性雰囲気が20Torr以下とする。し
かし、加熱中に不純物のB2O3、NH3、COなどが
出てくる際に充填層内部では20Torrよりも高く
なる場合もあるが、非酸化性雰囲気が20Torr以
下であれば、不純物の系外への除去速度も大き
く、粒成長は抑制される。 20Torr以下の減圧下での加熱温度は、粒成長
工程温度より高いのが好ましい。この範囲は、不
純物が完全に除去できる1600℃以上が好ましく、
上限は容器として用いる黒鉛とBNが反応して
B4Cを生ずる温度以下とする必要があり、2000℃
以下である。 〔実施例〕 実施例 1〜4 無水硼砂1.0Kgと尿素2.0Kgを混合しアンモニア
雰囲気中で900℃×2時間処理した後水洗してナ
トリウム分を除去した生成物(BN純度91.3重量
%、一次粒子径130Å)を黒鉛るつぼに充填し、
N2雰囲気中で常圧下でそれぞれ1200℃、1400℃、
1600℃、1800℃に1時間保持した後、0.1Torrの
減圧下に雰囲気を保つた後、1800℃で2時間加熱
処理を行つた。その結果を第1表に示す。第1表
から明らかなように、95重量%以上の高純度で
種々な結晶粒を有したh−BNを製造することが
できた。 比較例 1 実施例 1と同一の方法により製造した粗製h
−BNを0.1Torrの減圧下で1800℃で2時間熱処
理を行つたところ純度は93重量%で一次粒子径は
160Åであつた。 比較例 2 実施例 1と同一の方法により製造した粗製h
−BNをN2雰囲気大気圧下で1100℃で1hr加熱処
理した後、0.1Torrの減圧下で1800℃×2hr熱処
理を行つたところ純度は94.2重量%で一次粒子径
は210Åであつた。
〔発明の効果〕
本発明方法により、高純度化したh−BNの粒
径を所望の値にコントロールすることができ、各
種の用途に広く対応できるh−BNの製造が可能
となつた。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 20Torrを超える圧力下の非酸化性雰囲気中
    で、粗製六方晶窒化硼素微粉末を1200℃〜1800℃
    の温度で加熱し、しかる後、これを20Torr以下
    の非酸化性雰囲気中において1600℃〜2000℃に加
    熱することを特徴とする高純度六方晶窒化硼素粉
    末の製造方法。
JP23950385A 1985-10-28 1985-10-28 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法 Granted JPS62100404A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23950385A JPS62100404A (ja) 1985-10-28 1985-10-28 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23950385A JPS62100404A (ja) 1985-10-28 1985-10-28 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62100404A JPS62100404A (ja) 1987-05-09
JPH0535084B2 true JPH0535084B2 (ja) 1993-05-25

Family

ID=17045754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23950385A Granted JPS62100404A (ja) 1985-10-28 1985-10-28 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62100404A (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2655638A1 (fr) * 1989-12-08 1991-06-14 Rhone Poulenc Chimie Nitrure de bore hexagonal monodisperse de haute purete vis-a-vis des metaux et de l'oxygene et son procede de preparation.
JP3316590B2 (ja) * 1992-01-08 2002-08-19 川崎製鉄株式会社 六方晶窒化ほう素粉末およびその製造方法
JP3460746B2 (ja) * 1995-02-23 2003-10-27 電気化学工業株式会社 六方晶窒化ほう素粉末の製造方法
JP2009177011A (ja) * 2008-01-25 2009-08-06 Ferrotec Ceramics Corp 導電性部材ならびにそれを用いた部品および装置
WO2011043082A1 (ja) * 2009-10-09 2011-04-14 水島合金鉄株式会社 六方晶窒化ホウ素粉末およびその製造方法
CN104684844B (zh) * 2012-09-28 2016-11-09 水岛合金铁株式会社 亲水性/高吸油性氮化硼粉末及其制造方法以及化妆料
JP6060060B2 (ja) * 2012-10-11 2017-01-11 水島合金鉄株式会社 放熱性に優れる高吸油性窒化ホウ素粉末および化粧料

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62100404A (ja) 1987-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6112844B2 (ja)
US4613490A (en) Process for preparing silicon nitride, silicon carbide or fine powdery mixture thereof
US4346068A (en) Process for preparing high-purity α-type silicon nitride
US4929432A (en) Process for producing crystalline silicon nitride powder
JPH0535084B2 (ja)
US5211801A (en) Method for manufacturing single-crystal silicon carbide
US4552740A (en) Process for producing amorphous and crystalline silicon nitride
JPS6111886B2 (ja)
JPS61256905A (ja) 高純度六方晶窒化硼素微粉末の製造方法
EP0385096B1 (en) Process for producing sinterable crystalline aluminum nitride powder
US4770830A (en) Process for preparation of high α-type silicon nitride powder
JPH0524849B2 (ja)
JPS6111885B2 (ja)
JP2696778B2 (ja) 単結晶炭化珪素の製造方法
JPS5930645B2 (ja) 高純度α型窒化珪素の製造法
JP3325344B2 (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JPS6259050B2 (ja)
JP2670331B2 (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JPS61168509A (ja) 六方晶窒化硼素の製造方法
JPH048364B2 (ja)
JPH0323205A (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JPS61117108A (ja) 窒化珪素微粉末の製造方法
JPS6140805A (ja) 窒化珪素微粉末の製造方法
JPS61275125A (ja) ヘキサクロロジシランの安定化法
JPH0454611B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees