JPH0535084B2 - - Google Patents
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- JPH0535084B2 JPH0535084B2 JP23950385A JP23950385A JPH0535084B2 JP H0535084 B2 JPH0535084 B2 JP H0535084B2 JP 23950385 A JP23950385 A JP 23950385A JP 23950385 A JP23950385 A JP 23950385A JP H0535084 B2 JPH0535084 B2 JP H0535084B2
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 12
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 5
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 11
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 5
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910021538 borax Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000004328 sodium tetraborate Substances 0.000 description 2
- 235000010339 sodium tetraborate Nutrition 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N trichloroborane Chemical compound ClB(Cl)Cl FAQYAMRNWDIXMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910000389 calcium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001506 calcium phosphate Substances 0.000 description 1
- 235000011010 calcium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N disodium;3,7-dioxido-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3,5,7-tetraborabicyclo[3.3.1]nonane Chemical compound [Na+].[Na+].O1B([O-])OB2OB([O-])OB1O2 UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012772 electrical insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000008450 motivation Effects 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000004597 plastic additive Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- WYXIGTJNYDDFFH-UHFFFAOYSA-Q triazanium;borate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]B([O-])[O-] WYXIGTJNYDDFFH-UHFFFAOYSA-Q 0.000 description 1
- QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H tricalcium bis(phosphate) Chemical compound [Ca+2].[Ca+2].[Ca+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O QORWJWZARLRLPR-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は六方晶窒化硼素(以下h−BNと記載
する)の製造法に関するものであり、一次粒子径
と純度を制御できる技術を与えるものである。 〔従来の技術〕 h−BNは白色で黒鉛と類似した六方晶の層状
構造をなし、多種の特徴を有している。特に熱伝
導性、電気絶縁性、耐食性、潤滑性、耐熱性、機
械加工性などについては優れており、これらの性
質を生かして用途は多岐に亘つている。粉末とし
ての用途にはプラスチツク添加剤、潤滑剤などが
あり、成形体および複合材としては治具、電気絶
縁材、型材などの用途がある。 このように用途の広いh−BNを合成する方法
は種々考案されているが、現在工業的に採用され
ている方法は、 (1) 硼砂と尿素の混合物をアンモニア雰囲気中で
800℃以上に加熱する方法(特公昭38−1610)、 (2) 硼酸または酸化硼素と燐酸カルシウムを混合
し、アンモニアで窒化する方法、 (3) 硼酸と含窒素化合物(尿素、メラミン、塩化
アンモニウム、ジシアンジアミド等)を1600℃
以上に加熱する方法(特公昭48−14559)、 (4) 三塩化硼素とアンモニアにより気相合成する
方法、 などが主なものである。 (5) さらに純度90重量%程度のh−BNにアルカ
リ金属化合物を添加して1000℃以上に加熱する
ことにより99重量%以上にまで高純度化する方
法(特公昭47−26600)がある。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記(1)の方法は、900℃程度で粗製BNを製造
しアルカリ分を水洗除去した後、非酸化性雰囲気
中で1600℃〜2000℃に再加熱して不純物を蒸発除
去することで高純化する。高純化の工程h−BN
粒子は結晶の成長を生じ一次粒子径は1〜5μmに
なる。 上記(2)、(3)の方法においても同様に高純化過程
で粒成長を生ずるために任意に粒径を制御できな
い欠点があつた。 次に、(4)の方法は(1)〜(3)の方法と異なり、気相
合成方法のため高純度で微細な粒径のh−BNを
得ることができるが、原料の三塩化硼素が高価で
あるため、製造コストが高くつく欠点があつた。 また(5)の粗製BNにアルカリ金属化合物を添加
して高純化する方法では、(1)〜(3)の製造方法で得
られるh−BNよりも微細な結晶粒のものも得る
ことができるが、添加したアルカリ金属が合成炉
に付着して製造上好ましくないなどの欠点があつ
た。 本発明は、h−BNの高純化処理工程において
その一次粒子径の大きさを所望の値にコントロー
ルすることを可能とするh−BNの製造方法を提
供することを目的とする。 〔問題点を解決する手段〕 本発明者らは、従来技術を補うべく鋭意工夫を
重ねた結果、95重量%以上の純度で一次粒子径を
コントロールできる技術を開発するに至つた。こ
の技術開発の動機となつたのはh−BNの高純化
を20Torr以下の減圧下で行えば粒成長を生ずる
ことなく高純化を行うことができることを発見し
た点にある。つまりh−BNの粒成長の工程と高
純化工程を独立して行えば、種々の一次粒子径を
有する高純度h−BNを容易に製造することがで
きる。h−BNは熱処理温度と共に成長して行く
ので、所望の一次粒子径に成長させた後、雰囲気
を20Torr以下に保つて加熱処理を進めることに
よつて、結晶粒の成長を抑えながら高純化を行う
ことができ、高純度で所望の一次粒子径のh−
BNを得ることができる。 本発明による一次粒子径を制御しながらh−
BNを高純化する方法についてさらに具体的に述
べる。原料である粗製h−BNは通常800℃〜
1200℃で合成して得られたものであり、結晶は完
全には六方晶となつておらず乱層構造を有してい
る。結晶子の大きさLc(学振炭素材料117委員会
資料による方法で測定した値)は50Å〜100Åと
小さく、一次粒子径の大きさも100Å前後の微粒
になつている。純度については試料中の窒素分析
から求めると50〜95重量%の範囲であつた。不純
物としては酸素が殆どであり、存在形態としては
硼酸アンモニウム、酸化硼素などがX線回折によ
り同定された。 これらの不純物を除去する方法としては、加熱
処理により蒸気として蒸発除去する方法が採られ
る。しかし加熱処理中に不純物が液相を生成し、
h−BNの高純化とともに結晶子も成長し、一次
粒子径も大きくなつていつた。例えば硼砂と尿素
から900℃で合成した粗製h−BN(純度90重量
%、Lc=150Å)を水洗し、アルカリ分を除去し
た後、加熱するとLcは1800℃で約1000Åに成長
した。これ以上の温度では結晶子の成長は見られ
なかつた。硼酸とジシアンジアミドなどから合成
した粗製h−BNを使用しても同様な傾向であつ
た。このときのh−BN純度は99.2重量%で一次
粒子径は3μmあつた。このように高純度のh−
BNを得ようとすると一次粒子も成長するため、
実験者の希望する一次粒子径で高純度なh−BN
を得ることはできなかつた。 この点を解決すべく検討した結果、粒成長の原
因である液相を形成する不純物を急速に除去する
方法が必要であつた。除去方法としては減圧下で
熱処理すれば不純物の蒸発速度が大きくなり粒成
長を生じない。減圧の程度は圧力が20Torr以下
であれば、粒成長はほとんど生じていないことが
明らかとなつた。 しかし900℃〜1200℃で合成した粗製h−BN
を20Torr以下の減圧下で1200℃〜1800℃の加熱
処理しても純度は95重量%以上にはならなかつ
た。原因としては粗製h−BN中には多量の酸素
がB−O−Nなどの中間体の形でh−BN中に含
有されているため減圧下の加熱処理では除去でき
なかつたと考えられる。 常圧下である程度粒成長を生じさせ、B−O−
Nなどの中間体をBNとB2O3に転化させて、蒸発
除去することが必要になる。20Torrを超える圧
力(通常は常圧)下で1200℃〜1800℃に加熱する
ことにより、温度に対応して100Å〜5μmの範囲
の一次粒子径を有するBNとし、しかるのち
20Torr以下の減圧下で1600℃〜2000℃に加熱す
ることによつてBN中のB2O3などの不純物を蒸発
除去する。このようにして高純化を図れば、種々
の一次粒子径を有した高純度h−BNを得ること
ができる。 粒成長の工程で20Torrを超える圧力としたの
は20Torrを超える圧力が粒成長が起こる範囲で
あり、1200℃から粒成長が始まり、1800℃を超え
ると粒成長が止まる。 次いで不純物除去工程における減圧条件は、
N2等の非酸化性雰囲気が20Torr以下とする。し
かし、加熱中に不純物のB2O3、NH3、COなどが
出てくる際に充填層内部では20Torrよりも高く
なる場合もあるが、非酸化性雰囲気が20Torr以
下であれば、不純物の系外への除去速度も大き
く、粒成長は抑制される。 20Torr以下の減圧下での加熱温度は、粒成長
工程温度より高いのが好ましい。この範囲は、不
純物が完全に除去できる1600℃以上が好ましく、
上限は容器として用いる黒鉛とBNが反応して
B4Cを生ずる温度以下とする必要があり、2000℃
以下である。 〔実施例〕 実施例 1〜4 無水硼砂1.0Kgと尿素2.0Kgを混合しアンモニア
雰囲気中で900℃×2時間処理した後水洗してナ
トリウム分を除去した生成物(BN純度91.3重量
%、一次粒子径130Å)を黒鉛るつぼに充填し、
N2雰囲気中で常圧下でそれぞれ1200℃、1400℃、
1600℃、1800℃に1時間保持した後、0.1Torrの
減圧下に雰囲気を保つた後、1800℃で2時間加熱
処理を行つた。その結果を第1表に示す。第1表
から明らかなように、95重量%以上の高純度で
種々な結晶粒を有したh−BNを製造することが
できた。 比較例 1 実施例 1と同一の方法により製造した粗製h
−BNを0.1Torrの減圧下で1800℃で2時間熱処
理を行つたところ純度は93重量%で一次粒子径は
160Åであつた。 比較例 2 実施例 1と同一の方法により製造した粗製h
−BNをN2雰囲気大気圧下で1100℃で1hr加熱処
理した後、0.1Torrの減圧下で1800℃×2hr熱処
理を行つたところ純度は94.2重量%で一次粒子径
は210Åであつた。
する)の製造法に関するものであり、一次粒子径
と純度を制御できる技術を与えるものである。 〔従来の技術〕 h−BNは白色で黒鉛と類似した六方晶の層状
構造をなし、多種の特徴を有している。特に熱伝
導性、電気絶縁性、耐食性、潤滑性、耐熱性、機
械加工性などについては優れており、これらの性
質を生かして用途は多岐に亘つている。粉末とし
ての用途にはプラスチツク添加剤、潤滑剤などが
あり、成形体および複合材としては治具、電気絶
縁材、型材などの用途がある。 このように用途の広いh−BNを合成する方法
は種々考案されているが、現在工業的に採用され
ている方法は、 (1) 硼砂と尿素の混合物をアンモニア雰囲気中で
800℃以上に加熱する方法(特公昭38−1610)、 (2) 硼酸または酸化硼素と燐酸カルシウムを混合
し、アンモニアで窒化する方法、 (3) 硼酸と含窒素化合物(尿素、メラミン、塩化
アンモニウム、ジシアンジアミド等)を1600℃
以上に加熱する方法(特公昭48−14559)、 (4) 三塩化硼素とアンモニアにより気相合成する
方法、 などが主なものである。 (5) さらに純度90重量%程度のh−BNにアルカ
リ金属化合物を添加して1000℃以上に加熱する
ことにより99重量%以上にまで高純度化する方
法(特公昭47−26600)がある。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記(1)の方法は、900℃程度で粗製BNを製造
しアルカリ分を水洗除去した後、非酸化性雰囲気
中で1600℃〜2000℃に再加熱して不純物を蒸発除
去することで高純化する。高純化の工程h−BN
粒子は結晶の成長を生じ一次粒子径は1〜5μmに
なる。 上記(2)、(3)の方法においても同様に高純化過程
で粒成長を生ずるために任意に粒径を制御できな
い欠点があつた。 次に、(4)の方法は(1)〜(3)の方法と異なり、気相
合成方法のため高純度で微細な粒径のh−BNを
得ることができるが、原料の三塩化硼素が高価で
あるため、製造コストが高くつく欠点があつた。 また(5)の粗製BNにアルカリ金属化合物を添加
して高純化する方法では、(1)〜(3)の製造方法で得
られるh−BNよりも微細な結晶粒のものも得る
ことができるが、添加したアルカリ金属が合成炉
に付着して製造上好ましくないなどの欠点があつ
た。 本発明は、h−BNの高純化処理工程において
その一次粒子径の大きさを所望の値にコントロー
ルすることを可能とするh−BNの製造方法を提
供することを目的とする。 〔問題点を解決する手段〕 本発明者らは、従来技術を補うべく鋭意工夫を
重ねた結果、95重量%以上の純度で一次粒子径を
コントロールできる技術を開発するに至つた。こ
の技術開発の動機となつたのはh−BNの高純化
を20Torr以下の減圧下で行えば粒成長を生ずる
ことなく高純化を行うことができることを発見し
た点にある。つまりh−BNの粒成長の工程と高
純化工程を独立して行えば、種々の一次粒子径を
有する高純度h−BNを容易に製造することがで
きる。h−BNは熱処理温度と共に成長して行く
ので、所望の一次粒子径に成長させた後、雰囲気
を20Torr以下に保つて加熱処理を進めることに
よつて、結晶粒の成長を抑えながら高純化を行う
ことができ、高純度で所望の一次粒子径のh−
BNを得ることができる。 本発明による一次粒子径を制御しながらh−
BNを高純化する方法についてさらに具体的に述
べる。原料である粗製h−BNは通常800℃〜
1200℃で合成して得られたものであり、結晶は完
全には六方晶となつておらず乱層構造を有してい
る。結晶子の大きさLc(学振炭素材料117委員会
資料による方法で測定した値)は50Å〜100Åと
小さく、一次粒子径の大きさも100Å前後の微粒
になつている。純度については試料中の窒素分析
から求めると50〜95重量%の範囲であつた。不純
物としては酸素が殆どであり、存在形態としては
硼酸アンモニウム、酸化硼素などがX線回折によ
り同定された。 これらの不純物を除去する方法としては、加熱
処理により蒸気として蒸発除去する方法が採られ
る。しかし加熱処理中に不純物が液相を生成し、
h−BNの高純化とともに結晶子も成長し、一次
粒子径も大きくなつていつた。例えば硼砂と尿素
から900℃で合成した粗製h−BN(純度90重量
%、Lc=150Å)を水洗し、アルカリ分を除去し
た後、加熱するとLcは1800℃で約1000Åに成長
した。これ以上の温度では結晶子の成長は見られ
なかつた。硼酸とジシアンジアミドなどから合成
した粗製h−BNを使用しても同様な傾向であつ
た。このときのh−BN純度は99.2重量%で一次
粒子径は3μmあつた。このように高純度のh−
BNを得ようとすると一次粒子も成長するため、
実験者の希望する一次粒子径で高純度なh−BN
を得ることはできなかつた。 この点を解決すべく検討した結果、粒成長の原
因である液相を形成する不純物を急速に除去する
方法が必要であつた。除去方法としては減圧下で
熱処理すれば不純物の蒸発速度が大きくなり粒成
長を生じない。減圧の程度は圧力が20Torr以下
であれば、粒成長はほとんど生じていないことが
明らかとなつた。 しかし900℃〜1200℃で合成した粗製h−BN
を20Torr以下の減圧下で1200℃〜1800℃の加熱
処理しても純度は95重量%以上にはならなかつ
た。原因としては粗製h−BN中には多量の酸素
がB−O−Nなどの中間体の形でh−BN中に含
有されているため減圧下の加熱処理では除去でき
なかつたと考えられる。 常圧下である程度粒成長を生じさせ、B−O−
Nなどの中間体をBNとB2O3に転化させて、蒸発
除去することが必要になる。20Torrを超える圧
力(通常は常圧)下で1200℃〜1800℃に加熱する
ことにより、温度に対応して100Å〜5μmの範囲
の一次粒子径を有するBNとし、しかるのち
20Torr以下の減圧下で1600℃〜2000℃に加熱す
ることによつてBN中のB2O3などの不純物を蒸発
除去する。このようにして高純化を図れば、種々
の一次粒子径を有した高純度h−BNを得ること
ができる。 粒成長の工程で20Torrを超える圧力としたの
は20Torrを超える圧力が粒成長が起こる範囲で
あり、1200℃から粒成長が始まり、1800℃を超え
ると粒成長が止まる。 次いで不純物除去工程における減圧条件は、
N2等の非酸化性雰囲気が20Torr以下とする。し
かし、加熱中に不純物のB2O3、NH3、COなどが
出てくる際に充填層内部では20Torrよりも高く
なる場合もあるが、非酸化性雰囲気が20Torr以
下であれば、不純物の系外への除去速度も大き
く、粒成長は抑制される。 20Torr以下の減圧下での加熱温度は、粒成長
工程温度より高いのが好ましい。この範囲は、不
純物が完全に除去できる1600℃以上が好ましく、
上限は容器として用いる黒鉛とBNが反応して
B4Cを生ずる温度以下とする必要があり、2000℃
以下である。 〔実施例〕 実施例 1〜4 無水硼砂1.0Kgと尿素2.0Kgを混合しアンモニア
雰囲気中で900℃×2時間処理した後水洗してナ
トリウム分を除去した生成物(BN純度91.3重量
%、一次粒子径130Å)を黒鉛るつぼに充填し、
N2雰囲気中で常圧下でそれぞれ1200℃、1400℃、
1600℃、1800℃に1時間保持した後、0.1Torrの
減圧下に雰囲気を保つた後、1800℃で2時間加熱
処理を行つた。その結果を第1表に示す。第1表
から明らかなように、95重量%以上の高純度で
種々な結晶粒を有したh−BNを製造することが
できた。 比較例 1 実施例 1と同一の方法により製造した粗製h
−BNを0.1Torrの減圧下で1800℃で2時間熱処
理を行つたところ純度は93重量%で一次粒子径は
160Åであつた。 比較例 2 実施例 1と同一の方法により製造した粗製h
−BNをN2雰囲気大気圧下で1100℃で1hr加熱処
理した後、0.1Torrの減圧下で1800℃×2hr熱処
理を行つたところ純度は94.2重量%で一次粒子径
は210Åであつた。
本発明方法により、高純度化したh−BNの粒
径を所望の値にコントロールすることができ、各
種の用途に広く対応できるh−BNの製造が可能
となつた。
径を所望の値にコントロールすることができ、各
種の用途に広く対応できるh−BNの製造が可能
となつた。
Claims (1)
- 1 20Torrを超える圧力下の非酸化性雰囲気中
で、粗製六方晶窒化硼素微粉末を1200℃〜1800℃
の温度で加熱し、しかる後、これを20Torr以下
の非酸化性雰囲気中において1600℃〜2000℃に加
熱することを特徴とする高純度六方晶窒化硼素粉
末の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23950385A JPS62100404A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23950385A JPS62100404A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62100404A JPS62100404A (ja) | 1987-05-09 |
JPH0535084B2 true JPH0535084B2 (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=17045754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23950385A Granted JPS62100404A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 高純度六方晶窒化硼素粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62100404A (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2655638A1 (fr) * | 1989-12-08 | 1991-06-14 | Rhone Poulenc Chimie | Nitrure de bore hexagonal monodisperse de haute purete vis-a-vis des metaux et de l'oxygene et son procede de preparation. |
JP3316590B2 (ja) * | 1992-01-08 | 2002-08-19 | 川崎製鉄株式会社 | 六方晶窒化ほう素粉末およびその製造方法 |
JP3460746B2 (ja) * | 1995-02-23 | 2003-10-27 | 電気化学工業株式会社 | 六方晶窒化ほう素粉末の製造方法 |
JP2009177011A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Ferrotec Ceramics Corp | 導電性部材ならびにそれを用いた部品および装置 |
WO2011043082A1 (ja) * | 2009-10-09 | 2011-04-14 | 水島合金鉄株式会社 | 六方晶窒化ホウ素粉末およびその製造方法 |
CN104684844B (zh) * | 2012-09-28 | 2016-11-09 | 水岛合金铁株式会社 | 亲水性/高吸油性氮化硼粉末及其制造方法以及化妆料 |
JP6060060B2 (ja) * | 2012-10-11 | 2017-01-11 | 水島合金鉄株式会社 | 放熱性に優れる高吸油性窒化ホウ素粉末および化粧料 |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP23950385A patent/JPS62100404A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62100404A (ja) | 1987-05-09 |
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