JPH05326655A - 半導体ウエハー測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体ウエハーに対するプローブカードによる
電気的特性の測定をより確実に行えるようにする。 【構成】プローブカード１４に設ける針先１５，１６の
成す平面を半導体ウエハー１３の載置台１１の頂面１２
と平行姿勢になるようにしておき、該載置台１１を該平
行姿勢を保持してプローブカード１４に上昇させ、針先
１５，１６のパッドに対する着接を行った後、続いてオ
ーバードライブをかけるようにする。 【効果】プローブカード１４に対して載置台１１を上昇
させることにより針先１５，１６の電極パッドへの確実
な接触が支障なしに行われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】開示技術は、半導体ウエハー測定
技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】当業者に周知の如く、半導体ウエハーの
最終チェック工程を担う半導体ウエハープローバーにあ
っては、近時該半導体ウエハーのサイズが大型化，超集
積化、及び、多ピン化が要求されていることから、これ
に対処するに、半導体ウエハーの電極パッドに対し、プ
ローブカードの針先で確実に電気的接触が得られるよう
にするべくオーバードライブをかける技術が、例えば、
特開昭５６−１０５６４７号公報発明等に示されるよう
に提案されてはいる。

【０００３】而して、従来の一般態様の半導体ウエハー
測定技術は、図３，図４に示す様に、プローブカード７
がヘットプレートの略中央に設けられ、その各々の針
（図示の都合上２つ示してある。）の先端は全て載置台
５と同一の高さを保つように配列されており、該ヘット
プレートに対して回転する支点１、作用点２、及び、半
導体ウエハーの載置台５、作用点２を上下するネジ６よ
り成りたっており、支点１と作用点２を結ぶ直線上の中
点位置にプローブカード７を設け、その下面に針の先端
を並設してある。

【０００４】又、ヘットプレートの後部の支点１を中心
にネジ６の回転により該ヘットプレートを載置台５に降
下して該載置台５上の半導体ウエハーに針先を着接する
ようにして使用している。

【０００５】而して、オーバードライブをかけると、図
５に示す様に、支点１に近い方の針先４は他方の針先３
より先に半導体ウエハーと接しているが、更に、作用点
２に近い方の針先３を半導体ウエハーに着接するために
ネジ６を回転させると、該作用点２に近い方の針先３も
図４に示す様に、該半導体ウエハーに着接するが、支点
１に近い方の針先４は半導体ウエハーに抑えられて図５
に示す様に、ｔだけ撓み、又、ｐだけずれが生じる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この状態で外部よりの
オーバードライブをかけることは半導体ウエハーに形成
されている電極パッド面全体に不均等の針圧をかけるこ
とになり、パッドより針がはみ出る虞がある。

【０００７】又、針圧荷重は、半導体ウエハーのチップ
の大きさに比例して大きくなる欠点があり、針先３が電
極パッドに突き刺さり、該半導体ウエハーに接触したり
する等して安定した測定が困難となる難点がある。

【０００８】

【発明の目的】この発明の目的は上述従来技術に基づく
プローブカードの針先と半導体ウエハーの接触の問題点
を解決すべき技術的課題とし、半導体ウエハーの各チッ
プの電極パッドとプローブカードの針先とが良好で確実
な電気的な接触を得られるようにして半導体製造産業に
おける計測技術利用分野に益する優れた半導体ウエハー
測定方法を提供せんとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段・作用】上述目的に沿い先
述特許請求の範囲を要旨とするこの発明の構成は、前述
課題を解決するために、プローブカードの針先と半導体
ウエハーのパッドを接触させて仕上げ工程での半導体ウ
エハーの電気的特性を測定する該半導体ウエハー測定方
法において、上記プローブカードを上側の固定台に固定
の状態にし、該プローブカードの下側にて各針先の先端
をウエハー載置台の頂面と平行姿勢状態の面に在るよう
に配列し、これに対し、半導体ウエハーを載置した載置
台を上昇させて針先とパッドを着接させ、続いて着接位
置より、更に、オーバードライブをかけるようにし、こ
の間の載置台の上昇をマイクロコンピュータにより制御
して行うようにした技術的手段を講じたものである。

【００１０】

【実施例】次に、この発明の１実施例を図１，図２に基
づいて説明すれば以下の通りである。

【００１１】尚、図３〜図５と同一態様部分は同一符号
を用いて説明するものとする。

【００１２】図示態様において、プローブカード１４の
下面に並設してある各々の針の先端１５，１６は半導体
ウエハー１３の載置台１１の頂面１２に平行な平面に在
るように該プローブカード１４の下側に予め取り付けら
れている。

【００１３】而して、半導体ウエハーを載置した載置台
１１は、該半導体ウエハー１３と前記各針の先端１５，
１６とが着接するまで、専用のスイッチにより上昇させ
る。

【００１４】この操作において、顕微鏡，エッジセンサ
ー、又は、テレビカメラ等により半導体ウエハー１３の
パッドと各々の針先１５，１６との着接を確認する。

【００１５】その後、続いて予め外部より予めコンピュ
ータに入力されているオーバードライブ量だけ専用のス
イッチで載置台１１を更に上昇させてオーバードライブ
をかける。

【００１６】而して、該載置台１１を各々の針の先端１
５，１６の集合して成す面に対し平行移動的に上昇させ
るには図示しないネジ機構を用い、ネジの回転によって
載置台１１を昇降させる。

【００１７】該載置台１１の平行姿勢での上昇移動、及
び、その際のオーバードライブの動作制御は、マイクロ
コンピュータを利用した適宜の制御手段で行う。

【００１８】そして、この発明は、半導体ウエハーの各
種自動測定に広く利用出来る。

【００１９】

【発明の効果】以上、この発明によれば、基本的にプロ
ーブカードの各々の針先の成す平面を半導体ウエハーの
載置台の頂面と平行姿勢になるようにプローブカードに
予め取り付け、該プローブカードを固定台に固定の状態
にし、その後半導体ウエハーの載置台をネジ機構等によ
り針先とウエハーのパッドとの着接位置まで上記平行姿
勢を保持して上昇させ、更に、着接位置からオーバード
ライブをかけるようにし、しかも、コンピュータ制御手
段を介して行うようにしたので、該半導体ウエハーの電
極パッドにプローブカードの針先が精度良く、良好な状
態で接触させ、それにより半導体ウエハーの電気的特性
を良好に測定することが出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の１実施例の載置台の平行移動のオー
バードライブをかける前の断面図である。

【図２】同、載置台の平行移動のオーバードライブをか
けた後の断面図である。

【図３】従来のオーバードライブ機構でオーバドライブ
をかける前の断面図である。

【図４】第２図は従来のオーバードライブ機構でオーバ
ードライブをかけた後の断面図である。

【図５】図３と図４の合成基本動作模式図である。

【符号の説明】

１ 支点 ２ 作用点 ３，４ 針の先端（在来態様） ６ ネジ ５，１１ 載置台 １２ 頂面 １３ 半導体ウエハー ７，１４ プローブカード １５，１６ 針の先端（この発明） １８，１９ ヘットプレート固定台 ２１ ヘットプレート

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエハーをプローブカードに対し上
   昇させ該プローブカードの複数の針先と半導体ウエハー
   のパッドを接触させ続いてオーバードライブを作用させ
   て電気的特性を測定する半導体ウエハー測定方法におい
   て、プローブカードに対し予め各針先の先端をウエハー
   載置台の頂面と平行姿勢に取り付けし、次いで該プロー
   ブカードを固定台に固定の状態にし、その後、プローブ
   カードに対し上記半導体ウエハーを載置した載置台をそ
   の頂面をして上記各針先の先端の成す面に対し平行に保
   持した状態で上昇させて上記針先と上記パッドを着接さ
   せ、続いて着接位置より更にオーバードライブをマイク
   ロコンピュータにより制御して行うようにすることを特
   徴とする半導体ウエハー測定方法。