JPH0778853A - 加圧リミッタ付きプローブカード - Google Patents
加圧リミッタ付きプローブカードInfo
- Publication number
- JPH0778853A JPH0778853A JP22408093A JP22408093A JPH0778853A JP H0778853 A JPH0778853 A JP H0778853A JP 22408093 A JP22408093 A JP 22408093A JP 22408093 A JP22408093 A JP 22408093A JP H0778853 A JPH0778853 A JP H0778853A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- needle
- probe card
- contact
- metal
- pressure limiter
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プローブカードのニードルに適当な加圧力を
容易に設定できる新規なプローブカードを提供するする
点。 【構成】 金属製ニードルに接触する他の金属製ニード
ルの外に、これから上側垂直方向３００μｍ乃至４００
μｍ程度の位置に更に他の金属製ニードルを配置する方
式を採って加圧リミッタとして機能させと共に更に両金
属製ニードルをスイッチとする電気回路を設けて加圧リ
ミッタの限度にする。
容易に設定できる新規なプローブカードを提供するする
点。 【構成】 金属製ニードルに接触する他の金属製ニード
ルの外に、これから上側垂直方向３００μｍ乃至４００
μｍ程度の位置に更に他の金属製ニードルを配置する方
式を採って加圧リミッタとして機能させと共に更に両金
属製ニードルをスイッチとする電気回路を設けて加圧リ
ミッタの限度にする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子の特性試験に
利用するプローブカードの改良に係わる。
利用するプローブカードの改良に係わる。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の電気的特性の試験には、い
わゆるプローバとその接触手として機能するプローブカ
ードを利用するのが一般的であり、半導体ウエーハとプ
ローバの接触状況を図１、２により説明し、そしてイメ
ージセンサー方式を図３乃至図７により説明する。
わゆるプローバとその接触手として機能するプローブカ
ードを利用するのが一般的であり、半導体ウエーハとプ
ローバの接触状況を図１、２により説明し、そしてイメ
ージセンサー方式を図３乃至図７により説明する。
【０００３】図１に明らかにするプローバ１の要部断面
図により構造を説明すると、板状の半導体ウエーハ２は
ステージ即ちウエーハチヤック３に固定し、これに対応
してプローブカード４を配置する。プローブカード４を
取付けるプローバヘッド１には顕微鏡５を設置し、目視
６による観察が可能にするべく中央部分に窓７を設置す
る。
図により構造を説明すると、板状の半導体ウエーハ２は
ステージ即ちウエーハチヤック３に固定し、これに対応
してプローブカード４を配置する。プローブカード４を
取付けるプローバヘッド１には顕微鏡５を設置し、目視
６による観察が可能にするべく中央部分に窓７を設置す
る。
【０００４】テスターヘッド１を取付けるプローバの一
部８にはプローブカード４を固定し、プローバの一部８
ならびにプローブカード４にも窓７に連続して同じく窓
９を設置して目視６による観察を可能にする。なおプロ
ーブカード４には金属製ニードル１０を取付けて板状の
半導体ウエーハ２と接触させる。
部８にはプローブカード４を固定し、プローバの一部８
ならびにプローブカード４にも窓７に連続して同じく窓
９を設置して目視６による観察を可能にする。なおプロ
ーブカード４には金属製ニードル１０を取付けて板状の
半導体ウエーハ２と接触させる。
【０００５】板状の半導体ウエーハ２には公知のパッド
１１（図６と図７参照）を形成し、ここに金属製ニード
ル１０を接触して（図２参照）特性を測定する。
１１（図６と図７参照）を形成し、ここに金属製ニード
ル１０を接触して（図２参照）特性を測定する。
【０００６】測定に際してはウエーハチヤック３を移動
して板状の半導体ウエーハ２とニードルを衝き合せる
が、Ｘ軸方向の移動量は顕微鏡５に写った像を目視６に
より観察して測定する。またＹ軸方向はウエーハチヤッ
ク３を上昇させて板状の半導体ウエーハ２に接触した金
属製ニードル１０先端の曲り歪みを顕微鏡５に写しこれ
を目視により検出する。更に両者が接触し始め位置を探
し、その位置即ち高さから金属製ニードル１０の加圧を
得るためにある寸法だけ余分にウエーハチヤック３を更
に上昇（今後オーバドライブと記載する）する。
して板状の半導体ウエーハ２とニードルを衝き合せる
が、Ｘ軸方向の移動量は顕微鏡５に写った像を目視６に
より観察して測定する。またＹ軸方向はウエーハチヤッ
ク３を上昇させて板状の半導体ウエーハ２に接触した金
属製ニードル１０先端の曲り歪みを顕微鏡５に写しこれ
を目視により検出する。更に両者が接触し始め位置を探
し、その位置即ち高さから金属製ニードル１０の加圧を
得るためにある寸法だけ余分にウエーハチヤック３を更
に上昇（今後オーバドライブと記載する）する。
【０００７】次ぎにイメージセンサー方式にあっては互
いに接触する金属製の主ニードル１０と補助ニードル１
２（図３と図５参照）を利用し、両者が接触するか接触
しないかによりスイッチとして動作するのが特徴的であ
る。図５に示すように補助ニードル１２の先端部分を折
曲げることにより両者を接触させ主ニードル１０の上側
に配置する。即ちウエーハチヤック３が上昇して板状の
半導体ウエーハ２上面で主ニードル１０と補助ニードル
１２が非接触状態となってスイッチがオフになる。
いに接触する金属製の主ニードル１０と補助ニードル１
２（図３と図５参照）を利用し、両者が接触するか接触
しないかによりスイッチとして動作するのが特徴的であ
る。図５に示すように補助ニードル１２の先端部分を折
曲げることにより両者を接触させ主ニードル１０の上側
に配置する。即ちウエーハチヤック３が上昇して板状の
半導体ウエーハ２上面で主ニードル１０と補助ニードル
１２が非接触状態となってスイッチがオフになる。
【０００８】この金属製の主ニードル１０と補助ニード
ル１２はLED などと共に電気回路を構成しており、両金
属製のニードル１０、１２の接触及び非接触によりLED
の点滅を行う。従ってLED の点灯に伴い板状の半導体ウ
エーハ２に対する主ニードル１０の接触位置を探し出し
てからオーバドライブを設定する。なお図４は図３に記
載する点線の円を拡大した図である。
ル１２はLED などと共に電気回路を構成しており、両金
属製のニードル１０、１２の接触及び非接触によりLED
の点滅を行う。従ってLED の点灯に伴い板状の半導体ウ
エーハ２に対する主ニードル１０の接触位置を探し出し
てからオーバドライブを設定する。なお図４は図３に記
載する点線の円を拡大した図である。
【０００９】図４に示す支持部１３は金属製ニードル１
０、１２の角度を調整する役割を担っている。図５は金
属製の主ニードル１０と補助ニードル１２がパッド１１
に接触しない状態を現しており、図６にパッド１１に金
属製ニードル１０、１２が接触しない状態を、図７が逆
にパッド１１に金属製ニードル１０、１２が接触する状
態を明らかにする。
０、１２の角度を調整する役割を担っている。図５は金
属製の主ニードル１０と補助ニードル１２がパッド１１
に接触しない状態を現しており、図６にパッド１１に金
属製ニードル１０、１２が接触しない状態を、図７が逆
にパッド１１に金属製ニードル１０、１２が接触する状
態を明らかにする。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】顕微鏡を利用した目視
による針合せではＺ軸方向（高さ方向）の位置出しは、
ニードルの曲り歪みによる接触位置を図１に示すように
プローブカードや半導体素子の上方向から探すために勘
に頼る部分が多くて合せ精度が良くない。またプローブ
カードの各ニードルと半導体ウエーハの接触状態を知る
のに電気的な導通を確認するが、ニードルに曲りがある
と電気的な導通が得られない。従ってウエーハチヤック
を上昇させ過ぎて、他の曲りのないニードルも曲げてし
まいプローブカードとしての機能が失われ致命的な不良
カードになる。
による針合せではＺ軸方向（高さ方向）の位置出しは、
ニードルの曲り歪みによる接触位置を図１に示すように
プローブカードや半導体素子の上方向から探すために勘
に頼る部分が多くて合せ精度が良くない。またプローブ
カードの各ニードルと半導体ウエーハの接触状態を知る
のに電気的な導通を確認するが、ニードルに曲りがある
と電気的な導通が得られない。従ってウエーハチヤック
を上昇させ過ぎて、他の曲りのないニードルも曲げてし
まいプローブカードとしての機能が失われ致命的な不良
カードになる。
【００１１】もう一方のエッジセンサー方式においては
図３に明らかなように、半導体ウエーハを設置したウエ
ーハチヤックを上昇し過ぎても、回路が点灯したままに
なり、他のニードルを曲げてしまって致命的な不良が生
ずる恐れがある。
図３に明らかなように、半導体ウエーハを設置したウエ
ーハチヤックを上昇し過ぎても、回路が点灯したままに
なり、他のニードルを曲げてしまって致命的な不良が生
ずる恐れがある。
【００１２】本発明はこのような事情により成されても
ので、特にプローブカードのニードルに適当な加圧力
（オーバドライブ）を容易に設定できる新規なプローブ
カードを提供する。
ので、特にプローブカードのニードルに適当な加圧力
（オーバドライブ）を容易に設定できる新規なプローブ
カードを提供する。
【００１３】
【課題を解決するための手段】板状のプローブカード
と，前記板状のプローブカードの中央部分を占める窓
と，前記板状のプローブカードに固定し前記窓の中心方
向に向う複数の金属製ニードルと，前記金属製ニードル
の特定の先端から垂直方向に向て取付ける接触手と，前
記接触手のある金属製ニードルに接触する他の金属製ニ
ードルと，これより離れて上方に位置する更に他の金属
製ニードルと，前記他の金属製ニードルならびに更に他
の金属製ニードルをスイッチとする回路とに本発明に係
わる加圧リミッタ付きプローブカードの特徴がある。
と，前記板状のプローブカードの中央部分を占める窓
と，前記板状のプローブカードに固定し前記窓の中心方
向に向う複数の金属製ニードルと，前記金属製ニードル
の特定の先端から垂直方向に向て取付ける接触手と，前
記接触手のある金属製ニードルに接触する他の金属製ニ
ードルと，これより離れて上方に位置する更に他の金属
製ニードルと，前記他の金属製ニードルならびに更に他
の金属製ニードルをスイッチとする回路とに本発明に係
わる加圧リミッタ付きプローブカードの特徴がある。
【００１４】
【作用】本発明に係わる加圧リミッタ付きプローブカー
ドにあっては、ニードル先端と半導体ウエーハの高さ
（Ｚ軸）を容易に設定できるように、高さの上限と下限
用のニードルを夫々設けると共に電気的な接点として機
能させるために回路を形成して加圧リミッタの限度表示
を可能にした。
ドにあっては、ニードル先端と半導体ウエーハの高さ
（Ｚ軸）を容易に設定できるように、高さの上限と下限
用のニードルを夫々設けると共に電気的な接点として機
能させるために回路を形成して加圧リミッタの限度表示
を可能にした。
【００１５】
【実施例】本発明に係わる実施例を図８乃至図１３を参
照して説明する。即ち本発明の加圧リミッタ付きプロー
ブカードの特徴は、金属製ニードルに接触する他の金属
製ニードルの外に、これから上側垂直方向３００μｍ乃
至４００μｍ程度の位置に更に他の金属製ニードルを配
置する方式を採って加圧リミッタとして機能させと共
に、更に両金属製ニードルをスイッチとする電気回路を
設けて加圧リミッタの限度にする。
照して説明する。即ち本発明の加圧リミッタ付きプロー
ブカードの特徴は、金属製ニードルに接触する他の金属
製ニードルの外に、これから上側垂直方向３００μｍ乃
至４００μｍ程度の位置に更に他の金属製ニードルを配
置する方式を採って加圧リミッタとして機能させと共
に、更に両金属製ニードルをスイッチとする電気回路を
設けて加圧リミッタの限度にする。
【００１６】具体的な構造を図８乃至図１３により説明
する。プローブカード２０には複数のニードル即ち金属
製ニードル２１、他の金属製ニードル２２ならびに更に
他の金属製ニードル２３を設置する。これらのニードル
は接触するパッド（後述する）材質との接触抵抗が少い
材質として一般的にＷを利用し、この外にＢｅ−Ｃｕ系
合金やＰｄ系材料も利用する。パッドの材質もＡｌ、Ａ
ｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕなどの半導体素子の配線材
料に対応して選択する。プローブカード２０はほぼ円盤
状本体の中心部分に窓２４が設けられており、本体には
電気的な回路を組込み、金属製ニードルと電気的に接続
する方式が通常である。
する。プローブカード２０には複数のニードル即ち金属
製ニードル２１、他の金属製ニードル２２ならびに更に
他の金属製ニードル２３を設置する。これらのニードル
は接触するパッド（後述する）材質との接触抵抗が少い
材質として一般的にＷを利用し、この外にＢｅ−Ｃｕ系
合金やＰｄ系材料も利用する。パッドの材質もＡｌ、Ａ
ｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕなどの半導体素子の配線材
料に対応して選択する。プローブカード２０はほぼ円盤
状本体の中心部分に窓２４が設けられており、本体には
電気的な回路を組込み、金属製ニードルと電気的に接続
する方式が通常である。
【００１７】金属製ニードル２１乃至２３はプローブカ
ード２０の一面即ち半導体ウエーハ２５に対面する一面
に固定すると共に前記電気的な回路と電気的に接続する
が、測定用の金属製ニードル２１先端には、垂直方向に
突出した金属製接触子２６を付設する。金属製ニードル
２１は被測定半導体ウエーハ２４に衝き合せるのに好適
な角度調整が必要なために支持体２７をプローブカード
２０に付設する。
ード２０の一面即ち半導体ウエーハ２５に対面する一面
に固定すると共に前記電気的な回路と電気的に接続する
が、測定用の金属製ニードル２１先端には、垂直方向に
突出した金属製接触子２６を付設する。金属製ニードル
２１は被測定半導体ウエーハ２４に衝き合せるのに好適
な角度調整が必要なために支持体２７をプローブカード
２０に付設する。
【００１８】ウエーハチヤック２８に固定する半導体ウ
エーハ２４には常法により能動素子または受動素子が形
成されており、これは電極や配線（図示せず）を介して
電気的に接続するパッド２９を形成し、これを通じて半
導体素子の特性を試験する。図９は図８に記載した円形
部分を拡大した図面であり、パッドの位置が半導体素子
の中央部分に記載されているが、本来は端部に設置する
のが普通である。
エーハ２４には常法により能動素子または受動素子が形
成されており、これは電極や配線（図示せず）を介して
電気的に接続するパッド２９を形成し、これを通じて半
導体素子の特性を試験する。図９は図８に記載した円形
部分を拡大した図面であり、パッドの位置が半導体素子
の中央部分に記載されているが、本来は端部に設置する
のが普通である。
【００１９】図９には金属製ニードル２１と更に他の金
属製ニードル２３間のギヤップＡを表示した。これは前
記のように３００μｍ乃至４００μｍの距離であり、他
の金属製ニードル２２が加圧リミッタの下限、更に他の
金属製ニードル２３が加圧リミッタの上限として機能す
る。
属製ニードル２３間のギヤップＡを表示した。これは前
記のように３００μｍ乃至４００μｍの距離であり、他
の金属製ニードル２２が加圧リミッタの下限、更に他の
金属製ニードル２３が加圧リミッタの上限として機能す
る。
【００２０】このために金属製ニードル２１に接触する
他の金属製ニードル２２と更に他の金属製ニードル２３
をスイッチとする電気回路３０を構成して、半導体ウエ
ーハ２４を固定するウエーハチヤック２８が垂直方向に
移動した際の上限下限として動作させる。従って加圧リ
ミッタが構成される。
他の金属製ニードル２２と更に他の金属製ニードル２３
をスイッチとする電気回路３０を構成して、半導体ウエ
ーハ２４を固定するウエーハチヤック２８が垂直方向に
移動した際の上限下限として動作させる。従って加圧リ
ミッタが構成される。
【００２１】図１０は金属製ニードル２１と他の金属製
ニードル２２のつ接触状態を表す上面図であり、図１１
乃至図１３は電気回路の動作状態を明らかにする図であ
る。半導体ウエーハの特性を試験するには、金属製ニー
ドル２１の接触手２６と半導体ウエーハ２５のパッド２
９を接触し後述する加圧リミッタの効果を発揮する。
ニードル２２のつ接触状態を表す上面図であり、図１１
乃至図１３は電気回路の動作状態を明らかにする図であ
る。半導体ウエーハの特性を試験するには、金属製ニー
ドル２１の接触手２６と半導体ウエーハ２５のパッド２
９を接触し後述する加圧リミッタの効果を発揮する。
【００２２】図１１は金属製ニードル２１の高さ即ちＺ
軸の位置出し前の状態であり、金属製ニードル２１と他
の金属製ニードル２２は接触し、回路３０の一部を構成
するLED が青を表示する。そして図１２はウエーハチヤ
ック２８が垂直方向に上昇するために金属製ニードル２
１の接触手２６と半導体ウエーハ２５のパッド２９が接
触押上げられると共に、加圧リミッタの下限端子として
機能する他の金属製ニードル２２は金属製ニードル２１
と離れる。ここで回路３０が動作して黄色のLED を表示
する。図１３は、ウエーハチヤック２８が垂直方向に更
に上昇して金属製ニードル２１が更に他の金属製ニード
ル２３に接触すると、回路３０が動作して赤色のLED を
表示すると共にアラーム信号を発生してウエーハチヤッ
ク２８の上昇を停止する。
軸の位置出し前の状態であり、金属製ニードル２１と他
の金属製ニードル２２は接触し、回路３０の一部を構成
するLED が青を表示する。そして図１２はウエーハチヤ
ック２８が垂直方向に上昇するために金属製ニードル２
１の接触手２６と半導体ウエーハ２５のパッド２９が接
触押上げられると共に、加圧リミッタの下限端子として
機能する他の金属製ニードル２２は金属製ニードル２１
と離れる。ここで回路３０が動作して黄色のLED を表示
する。図１３は、ウエーハチヤック２８が垂直方向に更
に上昇して金属製ニードル２１が更に他の金属製ニード
ル２３に接触すると、回路３０が動作して赤色のLED を
表示すると共にアラーム信号を発生してウエーハチヤッ
ク２８の上昇を停止する。
【００２３】即ちギヤップＡは接触子２６の加圧力の限
度を表しており、金属製ニードル２１、他の金属製ニー
ドル２２ならびに更に他の金属製ニードル２３に無理な
荷重が加えないようにする。
度を表しており、金属製ニードル２１、他の金属製ニー
ドル２２ならびに更に他の金属製ニードル２３に無理な
荷重が加えないようにする。
【００２４】本実施例はプローバ装置用のプローブカー
ドについて説明したが、いわゆるタブ用プローブカード
（フイルムコンタクト）などにも応用可能なことを付記
する。
ドについて説明したが、いわゆるタブ用プローブカード
（フイルムコンタクト）などにも応用可能なことを付記
する。
【００２５】また３本の金属製ニードルから成る複数組
をリミッタとしてプローブカードに設置し、電気的に並
列回路を形成して信頼性のある加圧リミッタ付きプロー
ブカードを形成することも可能である。
をリミッタとしてプローブカードに設置し、電気的に並
列回路を形成して信頼性のある加圧リミッタ付きプロー
ブカードを形成することも可能である。
【００２６】
【発明の効果】本発明に係わる加圧リミッタ付きプロー
ブカードにおいてはプローバ装置に直結する金属製ニー
ドルに無理な加圧力を加えないので、高価なプローブカ
ードを破損させる頻度が極めて小さくなる。しかも金属
製ニードルの高さ調節はLED 表示とアラーム信号発生な
どの電気回路によりウエーハチヤックを自動的に停止す
る方式を採用する。従ってマニュアル動作による勘に頼
る部分が多い作業を容易な作業に改善する。
ブカードにおいてはプローバ装置に直結する金属製ニー
ドルに無理な加圧力を加えないので、高価なプローブカ
ードを破損させる頻度が極めて小さくなる。しかも金属
製ニードルの高さ調節はLED 表示とアラーム信号発生な
どの電気回路によりウエーハチヤックを自動的に停止す
る方式を採用する。従ってマニュアル動作による勘に頼
る部分が多い作業を容易な作業に改善する。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のプローバ装置の概略を示す断面図であ
る。
る。
【図２】図１の一部を拡大した平面図である。
【図３】図１の要部を拡大した断面図である。
【図４】図３のニードル部分を拡大した図である。
【図５】図４の主及び補助ニードルを拡大した上面図で
ある。
ある。
【図６】図４の主ニードルがパッドから離れた状態を示
す図である。
す図である。
【図７】図４の主ニードルがパッドに接触する状態を示
す図である。
す図である。
【図８】本発明の加圧リミッタ付きプローブカードの要
部を示す断面図である。
部を示す断面図である。
【図９】図８の一部を拡大した断面図である。
【図１０】金属製のニードルと更に他の金属製のニード
ルの関係を明らかにする図である。
ルの関係を明らかにする図である。
【図１１】本発明の加圧リミッタ付きプローブカードに
付設する回路において、パッドに金属製のニードルが接
触しない場合の動作状態を示す図である。
付設する回路において、パッドに金属製のニードルが接
触しない場合の動作状態を示す図である。
【図１２】本発明の加圧リミッタ付きプローブカードに
付設する回路において、パッドに金属製のニードルが接
触した場合の動作状態を示す図である。
付設する回路において、パッドに金属製のニードルが接
触した場合の動作状態を示す図である。
【図１３】本発明の加圧リミッタ付きプローブカードに
付設する回路において、パッドから金属製のニードルが
上昇して更に他の金属製のニードルに接触した場合の回
路の動作状態を示す図である。
付設する回路において、パッドから金属製のニードルが
上昇して更に他の金属製のニードルに接触した場合の回
路の動作状態を示す図である。
１：テスターヘッド、 ２、２５：半導体ウエーハ、 ３、２８：ウエーハチヤック、 ４、２０：プローブカード、 ５：顕微鏡、 ７、９、２４：窓、 １０、１２：ニードル、 ２１：金属製のニードル、 ２２：他の金属製のニードル、 ２３：更に他の金属製のニードル、 ２７：支持体、 ２９：パッド。
Claims (1)
- 【請求項１】 板状のプローブカードと，前記板状のプ
ローブカードの中央部分を占める窓と，前記板状のプロ
ーブカードに固定し前記窓の中心方向に向う複数の金属
製ニードルと，前記金属製ニードルの特定の先端から垂
直方向に向て取付ける接触手と，前記接触手のある金属
製ニードルに接触する他の金属製ニードルと，これより
離れて上方に位置する更に他の金属製ニードルと，前記
他の金属製ニードルならびに更に他の金属製ニードルを
スイッチとする回路とを具備することを特徴とする加圧
リミッタ付きプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22408093A JPH0778853A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 加圧リミッタ付きプローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22408093A JPH0778853A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 加圧リミッタ付きプローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0778853A true JPH0778853A (ja) | 1995-03-20 |
Family
ID=16808251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22408093A Withdrawn JPH0778853A (ja) | 1993-09-09 | 1993-09-09 | 加圧リミッタ付きプローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0778853A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002228686A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Mitsubishi Materials Corp | 破損防止機能を有するコンタクトプローブ及びプローブ装置 |
| US7256591B2 (en) | 2001-11-29 | 2007-08-14 | Fujitsu Limited | Probe card, having cantilever-type probe and method |
| JP2010249718A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | Ｌｅｄの試験に用いる光検出装置 |
| JP2013224876A (ja) * | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体試験装置、プローブカード及び半導体試験方法 |
-
1993
- 1993-09-09 JP JP22408093A patent/JPH0778853A/ja not_active Withdrawn
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