JPH05296288A - 空気バネ式除振台の流量制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大型の空気バネ式除振台の架台を短時間で浮
上させる流量制御装置を提供すること。 【構成】 ステッパーや精密測定機器を載せる為の架台
１とこの架台１を支える為の大容量の空気バネ３と架台
１を浮上させる為に空気バネ３にエアーを供給する付加
タンク２を備えた空気バネ式除振台の流量制御装置に、
付加タンク２へエアーを供給するための配管経路を２経
路設け、圧力検知手段の測定により付加タンク２内の圧
力が低い時にはエアー供給手段により第１の配管経路を
介してエアーを付加タンク２内に供給させ、付加タンク
２内の圧力が架台１が浮上する少し手前の圧力に達する
と第２の配管経路を介して自動圧力調整器４のみへエア
ーを通過させてから付加タンク２ないにエアーを供給さ
せる。このような２経路の配管経路を制御する制御手段
を設けることにより、圧力の低い時は直接付加タンク２
内にエアーを供給することができるので、短時間で架台
１を適正レベルに保持することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は空気バネ式除振台の流
量制御装置に係わり、特に大型除振台の架台を短時間で
浮上させる流量制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来の
空気バネ式除振台は中小型の除振台ならば浮上、降下を
繰返し行なうことができる。例えば浮上させる時は圧力
調整器から供給するエアーのみで行ない、降下させる時
は空気バネ内のエアーをシリンダにより強制的に排気し
ていたが、大型の空気バネ式除振台では圧力調整器のみ
のエアー供給能力では流量が少ない為、図５（ｂ）のグ
ラフが示すように架台を浮上させるまでに時間がかなり
かかる。

【０００３】また、浮上させる時は架台を強制的に降下
させていたアクチュエータの力を開放し、降下させる時
はアクチュエータにより架台を強制的に押え込む方法が
あるが、このような方法だとアクチュエータを非常に大
きくしなければならないので、除振台として使用するの
は不可能であった。

【０００４】

【目的】本発明は、このような従来の問題点を解決する
ためになされたもので、大型の空気バネ式除振台の架台
を短時間で浮上させる流量制御装置を提供することを目
的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の空気バネ式除振台の流量制御装置は、付加タンクと
付加タンクへのエアー圧力を調整するための自動圧力調
整器と付加タンクを浮上させるためのエアー供給手段と
を備えた空気バネ式除振台の流量制御装置において、付
加タンクの圧力を計るための圧力検知手段とエアー供給
手段から付加タンクへ直接エアーを供給する第１の配管
経路と、エアー供給手段から自動圧力調整器を経由して
付加タンクへエアーを供給する第２の配管経路とを設け
ており、第１の配管経路と第２の配管経路とへ選択的に
エアーを供給するために、圧力検知手段からの信号によ
り動作する制御手段とを備えている。

【０００６】

【作用】本発明は空気バネ式除振台の流量制御装置に、
付加タンクへエアーを供給するための配管経路を２経路
設け、圧力検知手段の測定により付加タンク内の圧力が
低い時にはエアー供給手段により第１の配管経路を介し
てエアーを付加タンク内に供給させ、付加タンク内の圧
力が架台が浮上する少し手前の圧力に達すると第２の配
管経路を介して自動圧力調整器のみへエアーを通過させ
てから付加タンク内にエアを供給させる。

【０００７】このような２経路の配管経路を制御する制
御手段を設けることにより、圧力の低い時は直接付加タ
ンク内にエアーを供給することができるので、短時間で
架台を適正レベルに保持することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明をする。本発明の一実施例である空気バネ式大
型除振台の構成は図１、図２に示すように、ステッパー
や精密測定機器を載せる為の架台１とこの架台１を支え
る為の大容量の空気バネ３と架台１を浮上させる為に空
気バネ３にエアーを供給する付加タンク２とを備え、図
示しない工場配管に連結されたエアー供給手段８から付
加タンク２内へエアーが供給される。エアー供給は工場
配管から直接付加タンク２へエアーを供給する第１の配
管経路と、工場配管から自動圧力調整器４を経由して付
加タンク２へエアーを供給する第２の配管経路との２経
路が設けてある。なお、自動圧力調整器４は架台１の高
さ位置に応じて圧力を調整するように設定されている。

【０００９】また、付加タンク２内に蓄えられたエアー
は排気管９へ放出することができる。このような構成の
空気バネ式大型除振台の流量の制御手段は、まず付加タ
ンク２の圧力検出手段として、付加タンク２に接点付圧
力計５を取付けてあり、接点付圧力計５は付加タンク２
の圧力に応じてシーケンス回路７に信号を送信してい
る。

【００１０】次に第１の配管経路はエアー供給手段８か
らのエアーを直接付加タンク２に備えてある吸気側ポー
ト２ａへ供給するために、電磁弁６ａがエアー供給手段
８と連結される図示しない工場配管と吸気側ポート２ａ
との間に接続される。電磁弁６ａは、空気バネ式除振台
の流量制御装置を制御するシーケンス回路７からの信号
により弁が開閉する。なおシーケンス回路７の動作は後
述する。

【００１１】第２の配管経路はエアー供給手段８からの
エアーを付加タンク２に備えてある吸気側ポート２ａへ
供給する手段として、自動圧力調整器４を設けてある。
具体的にはエアー供給手段８と連結される工場配管と電
磁弁６ｂとが接続され、電磁弁６ｂと自動圧力調整器４
とが接続され、更に自動圧力調整器４と吸気側ポート２
ａとが接続される。電磁弁６ｂはシーケンス回路７から
の信号により弁が開閉し、自動圧力調整器４はシーケン
ス回路７からの信号により圧力を調整する。

【００１２】なお、架台１を降下させるために付加タン
ク２に備えてある排気側ポート２ｂからエアー排気管９
へエアーを排気する手段として電磁弁６ｃが、排気側ポ
ート２ｂとエアー排気管９との間に接続される。電磁弁
６ｃはシーケンス回路７からの信号により弁が開閉す
る。このように構成された空気バネ式除振台の流量制御
装置の各動作を制御するシーケンス回路７の動作を、図
３、図４のフローチャートを用いて以下説明する。

【００１３】架台１を浮上させる場合は図３に示すよう
に、まず浮上スタートボタンをオンすることによりシー
ケンス回路７へスタート信号が送信され、スタート信号
を受信後シーケンス回路７は接点付圧力計５の圧力信号
を検出する（ステップ１０１）。圧力信号の検出により
付加タンク２内の圧力が低ければ、シーケンス回路７か
らの電気信号により電磁弁６ａの弁を開いてエアー供給
手段８から直接エアーを付加タンク２内へ供給し、再び
ステップ１０１に戻る（ステップ１０２、１０３）。こ
れにより短時間で付加タンク２内の圧力を高くすること
ができる。

【００１４】また、圧力信号の検出により付加タンク２
内の圧力が高ければ、シーケンス回路７からの電気信号
により電磁弁６ａの弁を閉じて付加タンク２内へのエア
ーを遮断し、同時に電磁弁６ｂの弁を開いて自動圧力調
整器４へエアーを送り込み、自動圧力調整器４から付加
タンク２へとエアーを供給する（ステップ１０４、１０
５）。この場合、通常の空気バネ式除振台と同じ配管経
路となるが、この時点で付加タンク２には浮上する圧力
にほぼ等しいエアーが供給されており、自動圧力調整器
４より供給されるエアーは僅かでよい。

【００１５】この段階で架台１が浮上していくが、この
時点で自動圧力調整器４に備えてある高さ位置検出スイ
ッチからの位置信号をシーケンス回路７が検出する（ス
テップ１０６）。位置信号の検出により架台１の高さ位
置が不十分ならば再びステップ１０５に戻る（ステップ
１０７）。また、位置信号の検出により架台１の高さ位
置が十分ならば、シーケンス回路７からの電気信号によ
り電磁弁６ｂの弁を閉じてエアー供給手段からのエアー
供給を停止させて再びステップ１０１に戻る（ステップ
１０８、１０９）。

【００１６】このようにエアー供給手段８からのエアー
を付加タンク２へ供給する経路として２経路設けたこと
により、本発明の一実施例である空気バネ式大型除振台
の流量制御装置の空気バネ３が浮上するのに要する時間
は図５（ａ）に示すような時間になり、図５（ｂ）に示
す従来技術に比べて大幅に短縮することができる。次に
架台１を降下させる場合は図４に示すように、降下スタ
ートボタンをオンすることにより架台１を浮上させる場
合と同様、シーケンス回路７へスタート信号が送信さ
れ、スタート信号を受信後シーケンス回路７は接点付圧
力計５の圧力信号を検出する（ステップ１２１）。圧力
信号の検出により付加タンク２内の圧力が低ければ、シ
ーケンス回路７からの電気信号により電磁弁６ｃの弁は
閉じたままの状態で再びステップ１２１に戻る（ステッ
プ１２４、１２５）。

【００１７】また、圧力信号の検出により付加タンク２
内の圧力が高ければ、シーケンス回路７からの電気信号
により電磁弁６ｃの弁を開いて付加タンク２内のエアー
をエアー排気管９へ放出し、再びステップ１２１へ戻る
（ステップ１２２、１２３）。これにより架台１は降下
することができる。なお架台１の降下後、架台１が浮上
する少し前の圧力に維持できるようにシーケンス回路７
を設定することにより、改めて架台１を浮上させる際に
時間を短縮することができる。

【００１８】更に、本発明は大型の除振台に限らず中小
型の除振台においても使用できる。

【００１９】

【発明の効果】本発明は付加タンク内へエアーを供給す
る際に自動圧力調整器だけで供給せずに、浮上する圧力
にほぼ等しいエアーをエアー供給手段から直接付加タン
ク内へ供給するので、短時間で付加タンク内の圧力を高
くできる。また、付加タンク内には架台が浮上する圧力
にほぼ等しいエアーが供給されるので、自動圧力調整器
より供給されるエアーは僅かでよい。これにより自動圧
力調整器への多大な負荷が低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である空気バネ式除振台の制
御装置の正面図

【図２】図１のブロック図

【図３】図２に示すシーケンス回路の架台を浮上させる
ためのフローチャート図

【図４】図２に示すシーケンス回路の架台を降下させる
ためのフローチャート図

【図５】（ａ）は本発明の空気バネが浮上するのに要す
る時間のグラフ、（ｂ）は従来技術の空気バネが浮上す
るのに要する時間のグラフ

【符号の説明】

１…架台 ２…付加タンク ３…空気バネ ４…自動圧力調整器 ５…接点付圧力計 ６ａ、６ｂ、６ｃ…電磁弁

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】付加タンクと前記付加タンクへのエアー圧
   力を調整するための自動圧力調整器と前記付加タンクを
   浮上させるためのエアー供給手段とを備えた空気バネ式
   除振台の流量制御装置において、前記付加タンクの圧力
   を計るための圧力検知手段と前記エアー供給手段から前
   記付加タンクへ直接エアーを供給する第１の配管経路
   と、前記エアー供給手段から前記自動圧力調整器を経由
   して前記付加タンクへエアーを供給する第２の配管経路
   とを設けており、前記第１の配管経路と第２の配管経路
   とへ選択的にエアーを供給するために、圧力検知手段か
   らの信号により動作する制御手段とを備えていることを
   特徴とする空気バネ式除振台の流量制御装置。