JPH039992Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［考案の技術分野］ 本考案は、機器類を機械的振動から保護する空
気式除振台に係り、特に機器類を載置する載置台
が傾斜後、水平状態になるまでの復元時間を短縮
した除振台に関するものである。

［考案の概要］ 空気式除振台には、機器類を載置固定する定盤
等の載置台の水平レベルを常に一定に保つために
複数個の空気式自動圧力調整器が用いられてい
る。

この圧力調整器は、概略、第１図に示すような
構成となつている。

すなわち、定盤等の載置台１の下面コーナ部に
設けられた空気ばね２に配管３により接続された
自動圧力調整器４にはカンチレバ（cantilever）
５が設けられ、このカンチレバ５は粗調ねじ１１
によつて上下される回転中心６を支点として回動
し得るように構成されている。

カンチレバ５の自由端には、微調ねじ７が設け
られ、この微調ねじ７の先端部に設けた触子８は
載置台１の支持部９に接触されている。また、前
記カンチレバ５の回転中心６を上下動させる前記
粗調ねじ１１は、図では圧力調整器４の本体上に
設けられており、回転中心６は一点として示され
ているが、実際上はカンチレバ５と回転中心６と
をカンチレバ５に設けた長孔によつて係合させる
等、適宜構成により粗調ねじ１１によつてカンチ
レバ５を上下させても、カンチレバ５が回動不能
とならないようにしてある。なお、このカンチレ
バ５は各種制御点設定において周知のものであ
る。

上記構成の自動圧力調整器４を介して所定の圧
力のエアが空気ばね２に供給されるが、空気ばね
２の空気圧が高く載置台１が基準レベルより上昇
している場合には、前記圧力調整器４内の空気弁
を大気に開放し、空気ばね２へ供給している空気
圧を調整する。

また空気ばね２の空気圧が低く、載置台１の高
さが基準レベルより低い場合には、エアを空気ば
ね２に供給する。

［背景技術の問題点］ 上記の除振台において、前記載置台が傾斜後、
水平レベルになるまでの復元時間を速くするに
は、変位作用点と動作力作用点、すなわち、微調
ねじ７の触子８とカンチレバ回転中心とを可能な
限り近ずけることが必要であるが、近ずける程反
力（カンチレバ５の微調ねじ７が載置台１を押し
上げる力）が大きくなり、前記圧力調整器４を介
して載置台１に振動が伝達され易くなる。

逆に、カンチレバ５の長いものを使用すると振
動伝達は少なくなるが、前記圧力調整器４の応答
時間が長くなり載置台１の復元時間が遅くなると
いう互いに相反する性質があり、たとえば三次元
測定器、フオトマスク転写装置等のように振動の
抑制とともにそれらの載置台の傾斜とその復元時
間の高速性が要求されるものでは問題となつてい
た。

一方、上記の除振台に多数の自動圧力調整器を
使用すれば使用個数に比例して、復元時間は短縮
されるが、反力もそれに比例して増加し、振動伝
達の点から好ましくない。

［考案の目的］ 本考案は、上記の事情に基づきなされたもの
で、振動伝達を増加させることなく、載置台の復
元時間を短縮した除振台を提供することを目的と
する。

［考案の概要］ 本考案の空気式除振台は、定盤等の載置台の下
部に配置された複数箇の空気ばねと、これ等の空
気ばねにそれぞれ接続され前記載置台の上下動に
応じてカンチレバが回動して基準レベルからのず
れを検知し、このずれを補正するように前記空気
ばねに対してエアを給排する複数の自動圧力調整
器とを有するものにおいて、前記載置台の下面に
向けてエアを噴出するエアノズルと、このエアノ
ズルの背圧を検知する手段と、第１ポート、第２
ポートおよび通常は大気に開放されている第３ポ
ートと、所定圧のエアの供給源および前記第１ポ
ートに連通するIN側のポートと、前記第２ポー
トを前記空気ばねに連通させるOUT側のポート
とを具え、前記手段により検知した背圧が前記載
置台が基準レベルにある時よりも大であれば前記
第１ポートと第２ポートとを連通させ、小であれ
ば前記第２ポートと前記第３ポートとを連通さ
せ、前記載置台が基準レベルに対して所定の微小
範囲を越えたときに作動するよう設定された全空
圧制御弁を前記自動圧力調整器に併設したことを
特徴とする。

［考案の実施例］ 本考案は、従来の自動圧力調整器に全空圧式制
御弁を併設することを特徴とする。

すなわち、第２図に示すように、載置台１の下
面にエアノズル２０が対向配置された全空圧式制
御弁２１を設ける。この制御弁２１は、IN側が
図示を省略したフイルタレギレータ等を介してエ
ア供給源に接続され、OUT側が空気ばね２に接
続されるおり、エア供給のONまたはOFFだけを
行ない、エア量は調整しないものである。

この制御弁２１は次のように構成されている。
すなわち、IN側のポート２２に連通された第１
ポートと、OUT側のポート２３に連通された
第２ポートと、大気に開放された第３ポート
とを備えている。

第１ポートと第２ポートとは開閉弁２４を
介して連通され、第２ポートと第３ポートと
は別の開閉弁２５を介してそれぞれ連通されてい
る。

IN側のポート２２は、通路２６を介して常時
大気に開放されたエアノズル２０に連通されてい
る。

しかして載置台１が基準レベルにあるときは、
開閉弁２４および開閉弁２５が閉じており、IN
側のポート２２から供給されたエアは、通路２６
を通じてエアノズル２０にのみ供給され載置台１
の下面に向けて噴射されている。

載置台１が基準レベルより下降すると、エアノ
ズル２０と載置台１下面間の距離が減少し、エア
ノズル２０の背圧が増大する。これにより、制御
弁２１は載置台１の基準レベルからの低下を検知
し開閉弁２４を開いて第１ポートと第２ポート
を連通させ、OUT側のポート２３から空気ば
ね２にエアを供給する。そして載置台１が基準レ
ベルに達すると、制御弁２１は開閉弁２４を閉ざ
し第１ポートと第２ポートとの間の通路を遮
断させる作動を行う。

一方、載置台１が基準レベルより上昇している
場合、すなわち、空気ばね２の圧力が高い場合に
はエアノズル２０と載置台１下面間の距離が長く
なり、エアノズル２０の背圧が減少する。これに
より、制御弁２１は載置台１の基準レベルからの
上昇を検知し開閉弁２５を開いて第２ポートと
第３ポートとを連通させ、第３ポートから空
気ばね２内のエアを大気に放出する。このときエ
アノズル２０からのエア噴射は継続しているが、
開閉弁２４は閉じたままであり、IN側のポート
２２からの第２ポートへのエア供給は行われな
い。そして、載置台１が基準レベルに達すると、
制御弁２１は開閉弁２５を閉ざし第２ポートと
第３ポートとの間の通路を遮断させる作動を行
う。

上記の全空圧式制御弁２１の作動開始および停
止のタイミングは、載置台１が基準レベルに対し
て所定の微小範囲を越えたときに制御弁２１を自
動圧力調整器４の作動開始時より遅れて作動さ
せ、かつ作動停止を上記調整器４の圧力調整終了
時よりも早くさせることが必要である。

すなわち、全空圧式制御弁２１と自動圧力調整
器４とはそれぞれ別個に載置台１の基準レベルか
らの上昇、下降、換言すれば空気ばね２の空圧の
高低を検知し、空圧が低い場合には前記圧力調整
器４の応答遅れ時間を考慮し、これを早期に作動
させ、両者を併せて載置台１の復元時間を短縮す
るために前記制御弁２１のエアノズル２０の背圧
の増加を検知し、第１ポートと第２ポートと
を連通しエアを空気ばね２に供給する。

そして、載置台１が基準レベルに近づくと制御
弁２１の停止動作が自動圧力調整器４の作動に先
がけて行われる。

なお、第２図中、第１図と同一部分には同一符
号を付してその詳しい説明は省略する。

［考案の効果］ 上記のように本考案は、自動圧力調整器と別個
独立して載置台の上昇、下降を検知し、空気ばね
の空気圧を調整するようにした全空圧式制御弁を
併設したので、載置台の傾斜後の復元時間を短縮
することができる。

すなわち、第３図に示すように横軸に載置台の
傾斜後の復元時間を採り、縦軸に載置台の変位
（mm）を採ると、従来の圧力調整器のみの場合に
は曲線ａのようになり、これに対し、全空圧式制
御弁を併設した本考案の場合には同図の曲線ｂの
ようになる。

同図から明らかのように本考案では曲線ａに比
較し、復元時間が著しく短縮される。

また、カンチレバの数は増加しないので、振動
伝達の経路が特に増加するということもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の空圧式除振台の一実施例を示
す概略構成図、第２図は、本考案に係る除振台の
一実施例を示す図、第３図は、従来例と本考案と
の復元時間を比較した図である。 １……載置台、２……空気ばね、４……自動圧
力調整器、５……カンチレバ、７……微調ねじ、
１１……粗調ねじ、２０……エアノズル、２１…
…全空圧式制御弁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 定盤等の載置台の下部に配置された複数箇の空
   気ばねと、これ等の空気ばねにそれぞれ接続され
   前記載置台の上下動に応じてカンチレバが回動し
   て基準レベルからのずれを検知し、このずれを補
   正するように前記空気ばねに対してエアを給排す
   る複数の自動圧力調整器とを有するものにおい
   て、前記載置台の下面に向けてエアを噴出するエ
   アノズルと、このエアノズルの背圧を検知する手
   段と、第１ポート、第２ポートおよび通常は大気
   に開放されている第３ポートと、所定圧のエアの
   供給源および前記第１ポートに連通するIN側の
   ポートと、前記第２ポートを前記空気ばねに連通
   させるOUT側のポートとを具え、前記手段によ
   り検知した背圧が前記載置台が基準レベルにある
   時よりも大であれば前記第１ポートと第２ポート
   とを連通させ、小であれば前記第２ポートと前記
   第３ポートとを連通させ、前記載置台が基準レベ
   ルに対して所定の微小範囲を越えたときに作動す
   るよう設定された全空圧制御弁を前記自動圧力調
   整器に併設したことを特徴とする空気式除振台。