JPH01303335A - 防振装置等のレベリング装置 - Google Patents
防振装置等のレベリング装置Info
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- JPH01303335A JPH01303335A JP12889387A JP12889387A JPH01303335A JP H01303335 A JPH01303335 A JP H01303335A JP 12889387 A JP12889387 A JP 12889387A JP 12889387 A JP12889387 A JP 12889387A JP H01303335 A JPH01303335 A JP H01303335A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 14
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 4
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
- F16F15/0275—Control of stiffness
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、水平調整機能更には制振機能を必要とする各
種機構体(例えば上架台と下架台等を有して成る適宜機
器類の防振装置等)に用いられ自動制振装置を併有した
レベリング装置に関するものである。
種機構体(例えば上架台と下架台等を有して成る適宜機
器類の防振装置等)に用いられ自動制振装置を併有した
レベリング装置に関するものである。
詳述すれば本発明は1機器類等の防振装置に適用できる
ことは勿論、空気ばね或いは油圧ばね機構等を用いてな
る各種ダンパー類、ベルトコンベア等のアクチュエータ
類、自動車のショックアブソーバ更には各種シリンダ類
など極めて広範に適用可能な装置である。
ことは勿論、空気ばね或いは油圧ばね機構等を用いてな
る各種ダンパー類、ベルトコンベア等のアクチュエータ
類、自動車のショックアブソーバ更には各種シリンダ類
など極めて広範に適用可能な装置である。
従来、水平調整機能更には制振機能を必要とする各種機
構体1例えば適宜機器等の防振装置をはじめベルトコン
ベア等の7クチユエータ或いは自動11(のショックア
ブソーバ類等においては、空気ばね或いは油圧ばね機構
などの各種ダンづ−が用いられている。
構体1例えば適宜機器等の防振装置をはじめベルトコン
ベア等の7クチユエータ或いは自動11(のショックア
ブソーバ類等においては、空気ばね或いは油圧ばね機構
などの各種ダンづ−が用いられている。
しかしながら、従来においては1例えば防振架台に装着
される空気ばね等のダンパーよりなる防振装置の場合、
該架台自体の水平を自動m整すべき何らの手段ももって
いない為に、架台の水平調整は随時空気ばね内の空気の
吸・排気をその都度面倒な「作業で行なわなければなら
なかったと共に、架台の急激な水平変動に対し架台自体
を水平調整すべき即時的な対応をすることができないの
で、装置自体に損傷が惹起すると同時に架台−Lで機器
等を操作する者に一定の危険を及ぼすものとなっていた
。また、従来、上記防振装置など適宜被防振体の制振機
能の点については、その防振機能を発揮する空気ばね装
置部分とは全く個別に制振器が設置され手動で装置の制
振を行っていたというのが実情である。
される空気ばね等のダンパーよりなる防振装置の場合、
該架台自体の水平を自動m整すべき何らの手段ももって
いない為に、架台の水平調整は随時空気ばね内の空気の
吸・排気をその都度面倒な「作業で行なわなければなら
なかったと共に、架台の急激な水平変動に対し架台自体
を水平調整すべき即時的な対応をすることができないの
で、装置自体に損傷が惹起すると同時に架台−Lで機器
等を操作する者に一定の危険を及ぼすものとなっていた
。また、従来、上記防振装置など適宜被防振体の制振機
能の点については、その防振機能を発揮する空気ばね装
置部分とは全く個別に制振器が設置され手動で装置の制
振を行っていたというのが実情である。
ここに、上記従来の実情に鑑み開発されたのが本出願の
出願人に係る昭和59年特訂願第129678号或いは
昭和60年特許願第118227号の各発明であるが、
本出願の発明は上記の各出願発明を更に改良したもので
ある。
出願人に係る昭和59年特訂願第129678号或いは
昭和60年特許願第118227号の各発明であるが、
本出願の発明は上記の各出願発明を更に改良したもので
ある。
〔本発明の[1的〕
本発明の目的は、水平調整更には制振機能を必要とする
各種機構体1例5えば上架台と下架台等を有して成る適
宜機器の防振装置等において、当該装置の架台レベルを
常に自動調整できると同時に当該レベル調整と即時に連
動して自動的に架台の制振をもなすことができるレベリ
ング装置を提供することにある。
各種機構体1例5えば上架台と下架台等を有して成る適
宜機器の防振装置等において、当該装置の架台レベルを
常に自動調整できると同時に当該レベル調整と即時に連
動して自動的に架台の制振をもなすことができるレベリ
ング装置を提供することにある。
以下、添付した図面を参照して本発明の一実施例につい
て説明する。以下の実施例は、前述した通り本発明装置
を広範囲に適用することのできる各種機構体の内、空気
ばねを用いてなる適宜機器類の防振装置に本発明を適用
した例について説明する。
て説明する。以下の実施例は、前述した通り本発明装置
を広範囲に適用することのできる各種機構体の内、空気
ばねを用いてなる適宜機器類の防振装置に本発明を適用
した例について説明する。
図示する実施例における本発明は第1図に示す如く、空
気ばね等からなる弾性体A、レベリング装置B及び制振
装置Cを有している。
気ばね等からなる弾性体A、レベリング装置B及び制振
装置Cを有している。
弾性体Aは、振動発生源である適宜機器類(例えばプレ
ス機等)がa、置される上架台lと下架台2との間に配
置されダンパー機能を有する例えば空気ばね部3から成
る。上記弾性体Aはダンパー機能を有するものであれば
如何なる構成のものでも良く、本装置が適用される各種
機構体の種類によって、油圧ばね機構又はベルトコンベ
ア等のアクチュエータ若しくは自動車のショックアブソ
ーバ更には各種シリンダ等より構成されることがある。
ス機等)がa、置される上架台lと下架台2との間に配
置されダンパー機能を有する例えば空気ばね部3から成
る。上記弾性体Aはダンパー機能を有するものであれば
如何なる構成のものでも良く、本装置が適用される各種
機構体の種類によって、油圧ばね機構又はベルトコンベ
ア等のアクチュエータ若しくは自動車のショックアブソ
ーバ更には各種シリンダ等より構成されることがある。
レベリング装置Bは、第2図及び第3図に示す如く、上
架台lの水平調整機能及び制振機能を発揮する装置各部
のセンサー的役割を有する水平調整用レバー4と1弾性
体Aへの空気供給用としての二方弁からなるバルブ部5
と1弾性体Aからの排気用としての二方弁からなるバル
ブ部6と、後述する制振器Hcへの空気の供給若しくは
当該供給空気の排気用としての三方弁からなるバルブ部
7とを有している。上記各バルブ部は、垂直に対向立設
した取付基板8.8間のド方位置にバルブ部5を配設す
ると共にその上方位置に水平−整用レバー4を介してバ
ルブ部6を配設し、一方の取付基板8を中心にして上記
バルブ部6の対称位置にバルブ部7を設けている。なお
、前記各バルブ部の配設状態及び取付基板の立設状態等
は1図示例に限定するものではなく本発明の要旨の範囲
内において適当な変更実施が可能である。第3図は下架
台2に対して垂直に対向立設した二枚の各取付基板の内
の一方の取付基板を除いた状態の側面図を示すものであ
る。
架台lの水平調整機能及び制振機能を発揮する装置各部
のセンサー的役割を有する水平調整用レバー4と1弾性
体Aへの空気供給用としての二方弁からなるバルブ部5
と1弾性体Aからの排気用としての二方弁からなるバル
ブ部6と、後述する制振器Hcへの空気の供給若しくは
当該供給空気の排気用としての三方弁からなるバルブ部
7とを有している。上記各バルブ部は、垂直に対向立設
した取付基板8.8間のド方位置にバルブ部5を配設す
ると共にその上方位置に水平−整用レバー4を介してバ
ルブ部6を配設し、一方の取付基板8を中心にして上記
バルブ部6の対称位置にバルブ部7を設けている。なお
、前記各バルブ部の配設状態及び取付基板の立設状態等
は1図示例に限定するものではなく本発明の要旨の範囲
内において適当な変更実施が可能である。第3図は下架
台2に対して垂直に対向立設した二枚の各取付基板の内
の一方の取付基板を除いた状態の側面図を示すものであ
る。
前記水平調整用し八−4は、一端が取付基板8に枢着9
されていて該枢着9を支点に上架台lの上下動に沿って
図中の矢印の如く上下動するように構成されていると共
に、取付基板8に配設された適宜スプリング等の弾性部
10をもって常時上方に引上げられるように構成されて
いる。水平調整用レバー4の先端部分には、上架台lの
裏面に当接し+Lつ回動自在とされた水モ調整レバー4
の調節部11を配設している。なお、調節部11の構成
は図示例に限定されるものではなく、上架台lとの関係
で調節部の表出位置と更には水平調整用レバーの傾斜位
置が上下に調節自在であれば良く、例えば、第3図中に
示すと同様な調節部11を上架台l自体に装若しその下
部先端を水平調整用レバー4の上面に当接するように構
成しても良い。
されていて該枢着9を支点に上架台lの上下動に沿って
図中の矢印の如く上下動するように構成されていると共
に、取付基板8に配設された適宜スプリング等の弾性部
10をもって常時上方に引上げられるように構成されて
いる。水平調整用レバー4の先端部分には、上架台lの
裏面に当接し+Lつ回動自在とされた水モ調整レバー4
の調節部11を配設している。なお、調節部11の構成
は図示例に限定されるものではなく、上架台lとの関係
で調節部の表出位置と更には水平調整用レバーの傾斜位
置が上下に調節自在であれば良く、例えば、第3図中に
示すと同様な調節部11を上架台l自体に装若しその下
部先端を水平調整用レバー4の上面に当接するように構
成しても良い。
レバーの上下変動時において各バルブ部5.6及び7の
各弁12.13及び14と当接する水平調整用レバー4
には、第2図中の破線で示すように、レバーが上昇した
場合には取付基板8の左右面の対称位置に突設されてい
るバルブ部6とづルブ部7の弁13.14を同時に押動
回部で、またレバーが下降した場合にはバルブ部5の弁
12を押動可能なような表出部15を形成している。該
表出部はこれを第3図中にて図示するような肉厚状に形
成しても良い、上記表出部15が形成される取付基板の
当該位置は適当な大きさの開口16とされている。
各弁12.13及び14と当接する水平調整用レバー4
には、第2図中の破線で示すように、レバーが上昇した
場合には取付基板8の左右面の対称位置に突設されてい
るバルブ部6とづルブ部7の弁13.14を同時に押動
回部で、またレバーが下降した場合にはバルブ部5の弁
12を押動可能なような表出部15を形成している。該
表出部はこれを第3図中にて図示するような肉厚状に形
成しても良い、上記表出部15が形成される取付基板の
当該位置は適当な大きさの開口16とされている。
弾性体Aへの空気供給用としての1γ1記バルブ部5は
、空気人口17が図外の圧縮空気源に連通し空気出口1
8が空気ばね等よりなる弾性体Aと連通している。該バ
ルブ部5は、弁12が木11:I?!!川レバー4の表
出部15にてドに押動された場合に、!#性体A内に空
気が供給されるような内部構成となっている。?#性体
Aからの排気用としての前記バルブ部6は1弾性体から
の排気用空気の入口19が弾性体Aに連通していると共
に、弁13が水平調整用レバー4の表出1−fll15
にて上方に押動された場合には、弾性体A内の空気が出
口20から大気に放出されるような内部構成となってい
る。制振器21cの空気の供給若しくは排気用としての
前記バルブ部7は、空気人口21が図外の圧縮空気源に
連通していると共に、空気供給口22が例えば空気ばね
方式よりなる制振器24に連通されていて、弁14が水
モ調整用レバー4の表出部15にて上に押動された場合
には2制振器24内に空気が供給され且つ弁が元の位置
に復帰するに沿って制振器内の空気が空気供給[122
から逆流し適当位置に設けた空気出口より大気に放出さ
れるような内部構成となっている。
、空気人口17が図外の圧縮空気源に連通し空気出口1
8が空気ばね等よりなる弾性体Aと連通している。該バ
ルブ部5は、弁12が木11:I?!!川レバー4の表
出部15にてドに押動された場合に、!#性体A内に空
気が供給されるような内部構成となっている。?#性体
Aからの排気用としての前記バルブ部6は1弾性体から
の排気用空気の入口19が弾性体Aに連通していると共
に、弁13が水平調整用レバー4の表出1−fll15
にて上方に押動された場合には、弾性体A内の空気が出
口20から大気に放出されるような内部構成となってい
る。制振器21cの空気の供給若しくは排気用としての
前記バルブ部7は、空気人口21が図外の圧縮空気源に
連通していると共に、空気供給口22が例えば空気ばね
方式よりなる制振器24に連通されていて、弁14が水
モ調整用レバー4の表出部15にて上に押動された場合
には2制振器24内に空気が供給され且つ弁が元の位置
に復帰するに沿って制振器内の空気が空気供給[122
から逆流し適当位置に設けた空気出口より大気に放出さ
れるような内部構成となっている。
なお、空気ばね方式等の制振器24から成る制振装置C
は、当該制振器と相まって上架台lから弾性体Aに伝達
される振動或いは揺動を制振可能な適宜機構部、例えば
ブレーキ板25を備えている。
は、当該制振器と相まって上架台lから弾性体Aに伝達
される振動或いは揺動を制振可能な適宜機構部、例えば
ブレーキ板25を備えている。
本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、要
旨の範囲内において適宜の変更実施が可能である0例え
ば、前記した各バルブ部5,6及び7の内からバルブ部
7を構成から除外してバルブ部5,6のみから本装置を
構成しても良い、この場合は、制振装置Cが分離された
上架台lのレベリング装置が形成されることになる。
旨の範囲内において適宜の変更実施が可能である0例え
ば、前記した各バルブ部5,6及び7の内からバルブ部
7を構成から除外してバルブ部5,6のみから本装置を
構成しても良い、この場合は、制振装置Cが分離された
上架台lのレベリング装置が形成されることになる。
以下1本発明が適用可能な各種機構体のうち空気ばねを
用いてなる適宜機器類の防振装置に本装置を用いた場合
の前記実施例の作用を説明する。
用いてなる適宜機器類の防振装置に本装置を用いた場合
の前記実施例の作用を説明する。
先ず、上架台l上に搭載され振動発生源となる適宜機器
類との関係から調節部11の調節にて上架台lのレベル
幅が随時決定された水平調整用レバー4は、表出部15
の部分が各バルブ部5,6及び7の6弁12.13.1
4のいずれにも当接していない第3図状態の場合、上架
台lの水平が維持されていることになる。即ち、この場
合においては弾性体A内の空気量が上架台1の水平を保
持すべき状態に置かれている。
類との関係から調節部11の調節にて上架台lのレベル
幅が随時決定された水平調整用レバー4は、表出部15
の部分が各バルブ部5,6及び7の6弁12.13.1
4のいずれにも当接していない第3図状態の場合、上架
台lの水平が維持されていることになる。即ち、この場
合においては弾性体A内の空気量が上架台1の水平を保
持すべき状態に置かれている。
上述の状態を換言すれば、上架台lの水平が維持されて
いると共に各バルブ部の吸排気作用は停止され各部への
空気の吸排に関して無感知状態に置かれていることにな
る。
いると共に各バルブ部の吸排気作用は停止され各部への
空気の吸排に関して無感知状態に置かれていることにな
る。
一方、上記無感知状態が解かれて上架台1が例えば下っ
た場合は、その下降動に沿って水平調整用レバー4が下
降すると共にバルブ部5の弁12も下に押動され、−上
架台lが元の水平状態に復帰するまでバルブ部5の空気
人口17、空気出口18から弾性体Aの空気ばね部3内
に空気が供給される。
た場合は、その下降動に沿って水平調整用レバー4が下
降すると共にバルブ部5の弁12も下に押動され、−上
架台lが元の水平状態に復帰するまでバルブ部5の空気
人口17、空気出口18から弾性体Aの空気ばね部3内
に空気が供給される。
また、上架台1が上方に上り過ぎた場合或いはPS載機
器類か異常に揺動したような場合は、上架台lの当該動
に沿って水平調整用レバー4が1−昇した際にバルブ部
6,7の弁13.14を上に押動することになる。そし
て、上記6弁の押動状態に沿って、L架台上が元の水モ
状態に復帰するまでバルブ部6の空気出口20から弾性
体A内の空気が排気される。これと同時に、バルブ部7
の空気入口21、空気供給口22がら空気ばね方式等の
制振器24内に瞬時に空気が供給され該空気供給に沿っ
て制振器のブレーキ板25をもって上架台lの側面が制
動されて上架台lが素早く制振されることになる。水平
調整用レバー4の表出部15と各バルブ部6.7の6弁
13.14との当接が離れ上架台lが制振されつつ元の
水平状態に復帰するに沿って、バルブ部6からの排気が
停止すると同時にバルブ部7の空気出口から制振器24
内の空気が排気され制振器内の空気量は元の状態となる
。
器類か異常に揺動したような場合は、上架台lの当該動
に沿って水平調整用レバー4が1−昇した際にバルブ部
6,7の弁13.14を上に押動することになる。そし
て、上記6弁の押動状態に沿って、L架台上が元の水モ
状態に復帰するまでバルブ部6の空気出口20から弾性
体A内の空気が排気される。これと同時に、バルブ部7
の空気入口21、空気供給口22がら空気ばね方式等の
制振器24内に瞬時に空気が供給され該空気供給に沿っ
て制振器のブレーキ板25をもって上架台lの側面が制
動されて上架台lが素早く制振されることになる。水平
調整用レバー4の表出部15と各バルブ部6.7の6弁
13.14との当接が離れ上架台lが制振されつつ元の
水平状態に復帰するに沿って、バルブ部6からの排気が
停止すると同時にバルブ部7の空気出口から制振器24
内の空気が排気され制振器内の空気量は元の状態となる
。
従って1本装置においては、上架台1に急激な振動等の
異状事態が発生した場合には、レベリング装置Bの各部
の全てが自動的且つ瞬時に上架台lを水平に復帰させる
べき作用を発揮すると同時に上架台を制振すべき作用が
発揮されることになる。そして、上架台lの搭載機器類
の揺動が長時間にわたるような場合には、 A:i述の
如く各作動状態が繰り返し行われつつ上架台が常に元の
水平位置に自動復帰するようになっている。
異状事態が発生した場合には、レベリング装置Bの各部
の全てが自動的且つ瞬時に上架台lを水平に復帰させる
べき作用を発揮すると同時に上架台を制振すべき作用が
発揮されることになる。そして、上架台lの搭載機器類
の揺動が長時間にわたるような場合には、 A:i述の
如く各作動状態が繰り返し行われつつ上架台が常に元の
水平位置に自動復帰するようになっている。
なお、このような本装置の構成から制振装置Cに連動す
るバルブ部7を除外した場合には、前述の各作用状態の
内から制振装置Cとバルブ部7との作用が除外された装
置となる。
るバルブ部7を除外した場合には、前述の各作用状態の
内から制振装置Cとバルブ部7との作用が除外された装
置となる。
以上詳細に説明した本発明によれば、水平調整機能更に
は制振機能を必要とする広範な各種機構体1例えば上架
台と下架合算を有する適宜機器類の防振装置などにおい
て、当該防振装置に如何なる事態が発生した場合にもそ
の架台自体を常に自動的に水平調整された状態におくこ
とができると同時に、架台上の搭載機器類の急激な振動
等により架台が急激に変動したような場合でも架台自体
を常昨自動的に即蒔に制振できる状態におくことのでき
る自動制振装置を併有したレベリング装置を提供するこ
とができる。
は制振機能を必要とする広範な各種機構体1例えば上架
台と下架合算を有する適宜機器類の防振装置などにおい
て、当該防振装置に如何なる事態が発生した場合にもそ
の架台自体を常に自動的に水平調整された状態におくこ
とができると同時に、架台上の搭載機器類の急激な振動
等により架台が急激に変動したような場合でも架台自体
を常昨自動的に即蒔に制振できる状態におくことのでき
る自動制振装置を併有したレベリング装置を提供するこ
とができる。
第1図は本発明装置の一実施例の全体を示す概略説IJ
I図、第2図は第1図中におけるレベリング装置部分を
抽出して拡大した状態の平面図、第3図は同側面図であ
る。 図中の主な符合 A・拳・・争弾性体 B・・・・・レベリング装置 C・・・・・制振装置 l・・・・・上架台 2・φ・・拳下架台 3・−・・Φ空気ばね部 4−・・・・水平調整用レバー 5.6.7・・eバルブ部 11拳・・拳調節部 12 、 13 、 14 会 ・ 拳 弁
。
I図、第2図は第1図中におけるレベリング装置部分を
抽出して拡大した状態の平面図、第3図は同側面図であ
る。 図中の主な符合 A・拳・・争弾性体 B・・・・・レベリング装置 C・・・・・制振装置 l・・・・・上架台 2・φ・・拳下架台 3・−・・Φ空気ばね部 4−・・・・水平調整用レバー 5.6.7・・eバルブ部 11拳・・拳調節部 12 、 13 、 14 会 ・ 拳 弁
。
Claims (2)
- (1)水平調整機能更には制振機能を必要とする各種機
構体(例えば上架台と下架台等有して成る適宜機器類の
防振装置等)に用いられ、レベリング装置Bを空気ばね
等からなる弾性体Aと空気ばね方式等からなる制振装置
Cとに連動して成る機構のレベリング装置において、 前記レベリング装置Bを、被水平調整体(例えば適宜防
振装置の上架台)の振動或いは揺動を感知するように構
成した水平調整用レバー4と、圧縮空気源に連通し且つ
前記水平調整用レバーの感知状態に即応しながら前記弾
性体Aへの空気供給機能を有し二方弁からなるバルブ部
5と、弾性体Aと連通し且つ前記水平調整用レバーの感
知状態に即応して弾性体からの空気排気機能を有し二方
弁からなるバルブ部6と、前記制振装置C及び圧縮空気
源と連通し且つ前記バルブ部6の排気と同時作動して制
振装置に対する空気供給若しくは排気機能を有し三方弁
からなるバルブ部7とから構成し、被水平調整体のレベ
ルを常時自動的に調整維持できるようにしたと同時に該
レベル調整と連動して被水平調整体を自動的に制振でき
るようにしたことを特徴とする防振装置等のレベリング
装置。 - (2)水平調整機能を必要とする各種機構体(例えば上
架台と下架台等有して成る適宜機器類の防振装置等)に
用いられ、レベリング装置Bを空気ばね等からなる弾性
体Aに連動して成る機構のレベリング装置において、 前記レベリング装置Bを、被水平調整体(例えば適宜防
振装置の上架台)の振動或いは揺動を感知するように構
成した水平調整用レバー4と、圧縮空気源に連通し且つ
前記水平調整用レバーの感知状態に即応しながら前記弾
性体Aへの空気供給機能を有し二方弁からなるバルブ部
5と、弾性体Aと連通し且つ前記水平調整用レバーの感
知状態に即応して弾性体からの空気排気機能を有し二方
弁からなるバルブ部6とから構成し、被水平調整体のレ
ベルを常時自動的に調整維持できるようにしたことを特
徴とする防振装置等のレベリング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12889387A JPH01303335A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 防振装置等のレベリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12889387A JPH01303335A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 防振装置等のレベリング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01303335A true JPH01303335A (ja) | 1989-12-07 |
Family
ID=14995952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12889387A Pending JPH01303335A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 防振装置等のレベリング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01303335A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100796896B1 (ko) * | 2007-02-01 | 2008-01-22 | 창원대학교 산학협력단 | 테이블의 수평유지 시스템 |
CN102055381A (zh) * | 2009-10-28 | 2011-05-11 | Sfa工程股份有限公司 | 磁力悬浮传送系统 |
KR101256191B1 (ko) * | 2009-10-28 | 2013-04-19 | 주식회사 에스에프에이 | 자기부상식 이송시스템 |
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JPS60168933A (ja) * | 1984-02-09 | 1985-09-02 | Bridgestone Corp | 防振架台 |
JPS6110133A (ja) * | 1984-06-23 | 1986-01-17 | Yakumo Kogyo Kk | 自動制振装置 |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP12889387A patent/JPH01303335A/ja active Pending
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