JPH05283328A - レジスト膜塗布装置 - Google Patents

レジスト膜塗布装置

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JPH05283328A
JPH05283328A JP7973192A JP7973192A JPH05283328A JP H05283328 A JPH05283328 A JP H05283328A JP 7973192 A JP7973192 A JP 7973192A JP 7973192 A JP7973192 A JP 7973192A JP H05283328 A JPH05283328 A JP H05283328A
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resist film
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gas
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Yukihiro Yanabe
幸博 矢鍋
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】レジスト膜塗布前に行なわれる溶剤蒸気処理を
行なうチャンバ内の蒸気濃度をモニタすることにより、
レジスト膜の密着性低下を防止する。 【構成】チャンバ３内のガスの一部を配管５ｂ，５ｃに
より取出してガス検知器７に導入し、チャンバ３内の溶
剤蒸気の濃度を検出し、濃度異常時にアラームを出す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレジスト膜塗布装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレジスト膜塗布装置は、半導体ウ
ェーハを装着するチャンバと、このチャンバ内に溶剤蒸
気を導入する配管と、使用済の溶剤蒸気を排気する排管
とを有しており、チャンバ内に導入した溶剤蒸気により
レジスト膜塗布前の半導体ウェーハの表面を処理してレ
ジスト膜との密着性を強化していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のレジスト膜塗布
装置では溶剤蒸気を送っている配管がはずれたり、溶剤
が欠乏したりしてチャンバ内に溶剤蒸気が送られず、半
導体ウェーハの表面の処理が実行されない場合でも、リ
アルタイムで欠陥を発見することができずに被害を大き
なものにしていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のレジスト膜塗布
装置は、チャンバ内に半導体ウェーハを装着し、前記チ
ャンバ内に導入した溶剤蒸気によりレジスト膜塗布前の
半導体ウェーハの表面を処理するレジスト膜塗布装置に
おいて、前記チャンバ内のガスの一部を取出して前記溶
剤蒸気の濃度を検出するガス検知器を備えている。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
【０００６】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。
【０００７】図１は示すように、半導体ウェーハ１を装
着するプレート２と、プレート２を内蔵し、配管５ａよ
り溶剤蒸気を導入してレジスト膜塗布前の半導体ウェー
ハ１の表面にレジスト膜との密着性を強化するための表
面処理を行なうチャンバ３と、処理済の廃ガスを外部へ
導出する排気管６とチャンバ３内のガスの一部を配管５
ｂ，５ｃにより取出して溶剤蒸気の濃度を検出して異常
時にアラームを出すガス検知器７とを備えて構成され
る。なお、バブリングタンク４は溶剤９の中にキャリア
ガス１０を吹込んで溶剤９を気化した溶剤蒸気８を配管
５ａによりチャンバ３内へ送るためのものである。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、溶剤蒸気
濃度をモニタリングするガス検知器を取り付けたことに
より、チャンバ内での溶剤蒸気の濃度異常を即座に発見
できるという効果をする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図。
【符号の説明】
１ 半導体ウェーハ ２ プレート ３ チャンバ ４ バブリングタンク ５ａ，５ｂ，５ｃ 配管 ６ 排気管 ７ ガス検知器 ８ 溶剤蒸気 ９ 溶剤 １０ キャリアガス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 チャンバ内に半導体ウェーハを装着し、
    前記チャンバ内に導入した溶剤蒸気により前記半導体ウ
    ェーハの表面を処理するレジスト膜塗布装置において、
    前記チャンバ内のガスの一部を取出して前記溶剤蒸気の
    濃度を検出するガス検知器を備えたことを特徴とするレ
    ジスト膜塗布装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07142311A (ja) * 1993-06-30 1995-06-02 Sony Corp シランカップリング剤を用いた基板処理方法及び基板処理装置
JP2005334810A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Alps Electric Co Ltd スプレーコート装置及びスプレーコート方法

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JP4602699B2 (ja) * 2004-05-28 2010-12-22 アルプス電気株式会社 スプレーコート装置及びスプレーコート方法

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