JPH05232097A - 減圧弁制御方法 - Google Patents

減圧弁制御方法

Info

Publication number
JPH05232097A
JPH05232097A JP4070097A JP7009792A JPH05232097A JP H05232097 A JPH05232097 A JP H05232097A JP 4070097 A JP4070097 A JP 4070097A JP 7009792 A JP7009792 A JP 7009792A JP H05232097 A JPH05232097 A JP H05232097A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
reducing valve
set value
pressure reducing
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4070097A
Other languages
English (en)
Inventor
Misako Kiyota
美佐子 清田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP4070097A priority Critical patent/JPH05232097A/ja
Publication of JPH05232097A publication Critical patent/JPH05232097A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電磁弁を用いて減圧弁の圧力,流量を調整す
る際にその昇圧時にダミーの設定値と不感帯を持たせる
ことにより、本来の基準の設定値の不感帯を有効に使用
することを可能にする。 【構成】 減圧弁の圧力調整時において、基準の設定値
をSP、その設定値SPより大きいダミーの設定値をD
SPとしたとき、昇圧時にはダミーの設定値DPSを目
指して昇圧し、そのダミーの不感帯DPSDの下側(点
1)で止める。そして、減圧弁の洩れ量が本来の基準
の設定値SPの不感帯SPDの下側(点P2)まで達した
らはじめて補正を行い、さらにその補正時には、再びダ
ミーの設定値DSPを目指して昇圧する。これによっ
て、基準の設定値SPの不感帯SPD を有効に使用し
て、補正回数を減らすことができ、減圧弁,電磁弁弁の
寿命を延ばすことが可能になる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスクロマトグラフな
どに使用される減圧弁調整方法に関し、特に電磁弁を用
いて減圧弁の流量,圧力を自動的に調整する際に好適な
減圧弁制御方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、流量および圧力調整はメカ設定式
減圧弁が通常良く用いられており、その減圧弁を例えば
ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力調整系に適用し
た場合を例にとり説明する。図5はそのガスクロマトグ
ラフの概略構成を示すものであり、恒温槽を形成し所定
温度に保持されるアナライザ本体40,サンプルバルブ
41,カラム42,検出器43,計量管44,ヘリウム
等のキャリアガスCGを所定圧に減圧する減圧弁30な
どを備え、測定時にサンプルバルブ41の流路を実線の
状態から破線の状態に切替えることにより、計量管44
によって分取した測定すべきサンプルガスSGをキャリ
アガスCGによってカラム42内に送り込むようにして
いる。そしてこのカラム42で分離した各ガス成分を熱
伝導度検出器等の検出器43によって検出し、その検出
信号をコントローラ45により波形処理したり記録紙に
記録してサンプルガスの分析を行うようになっている。
一方、非測定時にはサンプルバルブ41の流路を実線図
示の状態に切替えることにより、キャリアガスCGをカ
ラム42および検出器43へ導いている。
【0003】ここで減圧弁30は、キャリアガス供給流
路13およびキャリアガス排出流路14に連通する内室
31,この内室31を上下2つの室に仕切るダイヤフラ
ム32,ポペット弁33,圧縮コイルばね34などを備
える。この内室31の上側の室にはダイヤフラム32を
下側の室側に付勢する圧力設定用の圧縮コイルばね35
と、圧縮コイルばね35の上端を保持するばね受け部材
36とが配設され、このばね受け部材36を圧力設定用
ねじ37によって上下動させると圧縮コイルばね35の
ばね圧が調整される。そして下側の室側にはシートリン
ク(図示せず)とその流通孔を開閉制御するポペット弁
33が圧縮コイルばね34に対向して配設され、圧力調
節用ねじ37を手動操作で回してキャリアガスCGの2
次側圧力PO (出力圧)を設定圧力と等しくするものと
なっている。
【0004】しかしながら、このような減圧弁において
は、キャリアガスの1次圧変動や振動,負荷変動,減圧
弁の周囲温度特性等によってキャリアガスの2次側圧力
Oが変動すると、その流量も変化するため、カラム4
2によるガス成分の分離状態および検出器43における
ブリッジ回路のバランスが崩れ、これによりベース電圧
が変動し、その都度圧力設定用ねじ37を回して減圧弁
30の設定圧を変えているが、わざわざ装置のところま
で行き、圧力設定用ねじ37を手動操作することは非常
に面倒で、圧力変動に迅速に対処できないという問題が
あった。
【0005】このような問題を解消するため、同一出願
人は、電磁弁を利用して減圧弁の圧力,流量を自動的に
調整する装置を提案しており、その基本構成を図3に示
す。この装置は、図3に示すように、内室11と,内室
11を上下2つの室11Aと11Bに仕切るダイヤフラ
ム12と,内室11の入口及び出口にそれぞれ連通する
キャリアガス供給流路13およびキャリアガス排出流路
14と,ポペット弁15と,圧縮コイルばね16等から
なる減圧弁1を備え、下側の室11Aが圧力室、上側の
室11Bが背圧室をそれぞれ形成している。そして、キ
ャリアガス供給流路13より送られてくるキャリアガス
の圧力を所定圧P0 に減圧する背圧室11Bには1つの
出入口17を有し、この出入口17はキャリアガス供給
流路13から分岐されキャリアガス排出流路14に連通
する背圧流路18に分岐路19を介して連通されてい
る。また、分岐路19には焼結金属等からなる固定絞り
20が配置されている。
【0006】また、背圧流路18には分岐路19を挟ん
でその上流側と下流側に位置する第1,第2の電磁弁2
1及び22が配置され、さらに下流側電磁弁22の下流
側には減圧弁1の2次側圧力PO を検出する圧力センサ
2が設けられている。従って、キャリアガスCGはその
流路13を経て減圧弁1の圧力室11A側に1次側圧力
S として送られると共に、上流側電磁弁21を開く
と、背圧流路18−分岐路19−固定絞り20を通って
背圧室11Bにも背圧PN として送られ、この背圧PN
を、1次側圧力PSと圧縮コイルばね16のばね圧の和
と対応させている。そして背圧PN は下流側電磁弁22
を開くと低下する。
【0007】9は減圧弁1を駆動してその出力圧を任意
の設定値に制御するためのコントローラで、圧力センサ
2からの検出値PVと予め設定された基準の設定値SP
とを比較し、その比較結果に基いて2つの電磁弁21,
22を開閉制御して、2次側圧力PO が常に設定圧とな
るようにしている。この場合、キャリアガスの1次側圧
力PS ,背圧PN および2次側圧力POの関係は、PS
N>POとなる。すなわち、圧力サンサ2の検出値PV
が設定値SPの下限値以下の場合、2次側圧力PO は設
定圧力より低い。このとき、コントローラ9からの信号
によって上流側電磁弁21を開く一方、下流側電磁弁2
2を全閉状態に保持し、背圧室11Bに供給されるキャ
リアガスの圧力を増加させる。すると、背圧PN が増大
し、ダイヤフラム12を圧縮コイルばね16に抗して下
方に変位させ、ポペット弁15を開く。
【0008】従って、圧力室11Aへのキャリアガスの
圧力が増加し、2次側圧力PO を増大させる。2次側圧
力PO が増加して設定圧力と一致すると、検出値PVが
設定値SPの範囲内に入るため上流側電磁弁21を閉鎖
する。外乱等により2次側圧力PO が設定圧力より大き
くなり、検出値PVが設定値SPを越えると、今度は下
流側電磁弁22を開いて背圧PN を下げる。すると、そ
の分だけダイヤフラム12が上方に変位してポペット弁
15が閉まり、2次側圧力PO を低下させる。そして2
次側圧力PO が設定圧と一致すると、下流側電磁弁22
を閉鎖する。このように2つの電磁弁21,22を利用
して減圧弁1の圧力調整を行う装置は、1次圧変動や振
動,負荷変動,減圧弁の周囲温度特性等の影響が少な
く、減圧弁の設定圧力を自動的に可変設定できる等の利
点を有している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ガスクロマ
トグラフにおいては、図6に示すように、減圧弁の圧力
調整Aと分析Bとを交互に行っており、圧力調整を行え
る時間Taは1周期T(例えば3分程度)に対し通常1
0秒程度である。また、上述した減圧弁1では昇圧時に
圧力調整を行う場合、図4(a) に示すように、目標とす
る基準の設定値つまりセットポイントをSPとすると、
このセットポイントSPに対し不感帯SPD を下に1%
程度持っている。そのため、圧力センサ2の検出値PV
がセットポイントの不感帯SPD =0.99・SPに達する
と、圧力調整用の電磁弁21が止まっていまい、実質、
不感帯を持たない状態になってしまう。
【0010】すなわち、減圧弁1の圧力調整時におい
て、下降時の1パルス当たりの降圧をPD、昇圧時の1
パルス当たりの昇圧をPUとし、このPUに比べてPD
が非常に大きいとき(ここでは便宜上PD>PUで表
す)、1パルス当たりの昇圧PUが小さいので、圧力調
整時に不感帯の下側で止まる(図4(a) )。しかし、減
圧弁には“洩れ”があるため、不感帯内で圧力は下降し
ていく(図4(b) )。そして、下降して不感帯SPD
出ると、また補正動作が行われる。例えば、“洩れ”が
大きいと毎回補正動作を行う可能性がある(図4(c)
)。つまり、不感帯が全く活かされていないことにな
る。これは、不感帯のSPD =0.99・SPが実際に
はセットポイントとして働いていまっているためであ
る。しかし、セットポイントSPのプラス(上)側に不
感帯を持たせるのは難しい。従って、減圧弁調整時には
毎周期にわたって補正動作を行ってしまい、減圧弁及び
電磁弁の寿命が縮まるという問題点があった。
【0011】本発明は以上の点に鑑み、上記のような課
題を解決するためになされたもので、その目的は、電磁
弁を用いて減圧弁の圧力,流量を調整する際にその昇圧
時にダミーの設定値と不感帯を持たせることにより、本
来の基準の設定値の不感帯を有効に使用することを可能
にした減圧弁制御方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る減圧弁制御方法は、減圧弁の2次側圧
力を検出する圧力センサと、この圧力センサの検出値と
基準の設定値を比較し、その比較結果に基づいて第1,
第2の駆動信号を出力する制御手段と、前記第1の駆動
信号によって駆動され減圧弁の2次側圧力を増加させる
ための圧力増加用の第1の電磁弁と、前記第2の駆動信
号によって駆動され減圧弁の2次側圧力を減少させるた
めの圧力減少用の第2の電磁弁とを備え、減圧弁の圧力
調整を行う際、その昇圧時に基準の設定値より大きいダ
ミーの設定値を設定することにより、昇圧時の目標圧力
が基準の設定値とその不感帯との中間付近にくるように
第1の電磁弁を駆動制御するようにしたものである。
【0013】
【作用】したがって本発明によると、減圧弁の圧力調整
時において、図2に示すように基準の設定値(以下基準
値と略称する。)をSP、ダミーの設定値(以下ダミー
値と略称する。)をDSPとしたとき、昇圧時にはダミ
ーの設定値DPSを目指して昇圧し、そのダミーの不感
帯DPSD の下側で止める。そして、減圧弁の洩れ量が
本来の基準値SPの不感帯SPD の下側まで達したらは
じめて補正を行い、さらにその補正時には、再びダミー
の設定値DSPを目指して昇圧する。これによって、基
準値SPの不感帯SPD を有効に使用して、補正回数を
減らすことができる。
【0014】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図1は本発明による減圧弁制御方法を
ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力調整系に適用し
たときの一実施例を示す基本構成図である。この実施例
において、キャリアガスの圧力調整を行う減圧弁1を上
流側電磁弁21と下流側電磁弁22を介したキャリアガ
スCGの圧力で駆動するように構成されている点は上述
した図3のものと同様であるが、減圧弁1の2次側圧力
を検出する圧力センサ2の検出値PVがA/D変換器3
を経てコントローラとしてのCPU(マイクロコンピュ
ータ)4に入力されている。そして、CPU4は圧力セ
ンサ2からの検出値PVが圧力増加方向か、あるいは圧
力減少方向かを判断し、その判断結果に基づき降圧時に
基準値SPを、昇圧時にその基準値SPより大きいダミ
ーの設定値DSPをキャリアガス圧力制御部5に出力す
るとともに、パルス幅の異なる第1及び第2のゲートパ
ルスGPL,GPHを駆動ゲート部6に出力するものとな
っている。
【0015】このキャリアガス圧力制御部5は、各基準
値SP,ダミー値DSPに対してそれぞれ下側に所定の
不感帯SPD,DSPDを有し、圧力センサ2の検出値P
Vが昇圧時にダミー値DSPの許容範囲内つまりダミー
値DSPとその不感帯の下限値DSPDの範囲にあると
き、あるいは降圧時に基準値SPとその下限値SPD
範囲にあるときは、キャリアガス圧力増加用の第1の電
磁弁駆動信号VLCO,キャリアガス圧力減少用の第2の
電磁弁駆動信号VHCOをともに「L」レベル(オフ信
号)とする。そして検出値PVが昇圧時にダミー値DS
Pの下限値DSPD以下にあるとき、またはその昇圧時
の検出値PVが基準値SPの下限値SPD より低下した
ときは第1の電磁弁駆動信号VLC0のみを「H」レベル
(オン信号)とし、さらに検出値PVが降圧時に基準値
SP以上にあるときは第2の電磁弁駆動信号VHC0のみ
を「H」レベル(オン信号)とし、そのVLC0,VHCO
の信号を駆動ゲート部25の各スイッチ61,62にそれ
ぞれ入力する。
【0016】また、駆動ゲート部6はCPU4から出力
されるキャリアガス圧力制御に対応した第1及び第2の
ゲートパルスGPL,GPHによって第1及び第2の電磁
弁駆動信号VLCO,VHC0をそれぞれオン・オフ制御し
て所定のパルス幅をもつ信号に変換したうえ、電磁弁駆
動部7に出力する。これにより電磁弁駆動部7は、駆動
ゲート部6のスイッチ61 より出力される狭いパルス幅
をもつ第1の電磁弁駆動信号VLによって上流側電磁弁
21を開閉制御するとともに、駆動ゲート部6のスイッ
チ62 より出力される広いパルス幅をもつ第2の電磁弁
駆動信号VHによって下流側電磁弁22を開閉制御する
ことにより、減圧弁1の2次側圧力P0を制御するもの
となっている。なお、図中同一符号は同一または相当部
分を示している。
【0017】次に上記実施例の動作について図2を参照
して説明する。減圧弁1の圧力調整時において、圧力セ
ンサ2の検出値PVが基準値SPの下限値SPD 以下の
場合、2次側圧力PO は設定圧力より低い。すると、C
PU4は圧力センサ2からの検出値PVを受けて圧力増
加方向と判断し、その第1のゲートパルスGPL を駆動
ゲート部6に出力する。そしてキャリアガス圧力制御部
5は第1の電磁弁駆動信号VLCOのみを「H」レベル
(オン信号)とし、その信号VLCOが駆動ゲート部6の
スイッチ61 に入力されて第1のゲートパルスGPL
オン,オフ制御され、その信号が電磁弁駆動部7に入力
される。
【0018】これにより、電磁弁駆動部7はその信号V
Lによって上流側電磁弁21を開く一方、下流側電磁弁
22を全閉状態に保持し、減圧弁1の背圧室11Bに供
給されるキャリアガスCGの圧力を増加させる。する
と、その背圧PN が増大し、ダイヤフラム12を圧縮コ
イルばね16に抗して下方に変位させ、ポペット弁15
を開く。したがって、圧力室11Aへ供給されるキャリ
アガスCGの圧力が増加し、2次側圧力POを増加させ
る。2次側圧力POが増加してダミー値DSPの下限値
DSPDと一致すると(図2の点P1参照)、検出値PV
がダミー値DSPの下限値DSPD 内に入るため上流側
電磁弁21を閉鎖する。その後、減圧弁1の洩れ量が本
来の基準値SPの下限値SPD 以下まで達したら補正を
行い(図2の点P2 参照)、この補正時には再びダミー
値DSPを目指して同様に昇圧の制御を行う。
【0019】また、圧力センサ2の検出値PVが基準値
SPを越えると、CPU4は圧力センサ2からの検出値
PVを受けて圧力減少方向と判断し、それに応じた第2
のゲートパルスGPH を駆動ゲート部6に出力する。そ
してキャリアガス圧力制御部5は第2の電磁弁駆動信号
VHCOのみを「H」レベル(オン信号)とし、その信号
が駆動ゲート部6のスイッチ62 に入力されてパルス幅
の広い第2のゲートパルスGPH でオン・オフ制御さ
れ、広いパルス幅の信号VHが電磁弁駆動部7を通して
下流側電磁弁22に入力される。
【0020】これにより下流側電磁弁22は開いて背圧
N を下げる。すると、その分だけダイヤフラム12が
上方に変位してポペット弁15が閉まり、2次側圧力P
O を低下させる。そのため、2次側圧力P0 は次第に低
下し基準値SPより低下すると、CPU4は、検出値P
Vが基準値SP内に入り、第1及び第2の電磁弁駆動信
号VL,VHが共に「L」レベル(オフ信号)となり、
下流側電磁弁22を閉鎖する。
【0021】このように本実施例によると、減圧弁1の
圧力調整に際し、図2に示すように、基準値SPに対し
その不感帯の下限値SPD を0.99・SP(測定限界
値1%)とし、ダミー値DSPに対して不感帯の下限値
DSPD を0.99・DSPとしたとき、昇圧時にはダ
ミー値DSPを目指して昇圧し、ダミー値の不感帯DS
Dの下側(点P1)で止める。そして、減圧弁1の洩れ
量が本来の基準値SPの不感帯SPDの下側(点P2)ま
で達したらはじめて補正を行い、さらにこの補正時には
再度ダミー値DSPを目指して昇圧する。これによっ
て、基準値SPの不感帯SPD を有効に使用して、補正
回数を減らすことができる。ただし、降圧時の基準値S
Pと不感帯SPD は変更しないものとする。
【0022】
【発明の効果】以上のように本発明の減圧弁制御方法に
よれば、電磁弁を用いて減圧弁の流量,圧力を調整する
際に、昇圧時にダミーの設定値と不感帯を持たせること
により、本来の基準の設定値の不感帯を有効に使用し
て、その補正回数を減らすことができるので、減圧弁,
電磁弁の寿命を延ばすことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による減圧弁制御方法をガスクロマトグ
ラフのキャリアガス圧力調整系に適用したときの一実施
例を示す基本構成図である。
【図2】本実施例の動作を説明するための図である。
【図3】従来技術におけるキャリアガス流量コントロー
ル装置の基本構成図である。
【図4】図3の従来技術の動作を説明するための図であ
る。
【図5】通常のメカ設定式減圧弁をガスクロマトグラフ
に適用したときの一例を示す概略図である。
【図6】ガスクロマトグラフにおける減圧弁と分析の動
作手順を示す説明図である。
【符号の説明】
1 減圧弁 2 圧力センサ 4 CPU(コントローラ) 5 キャリア圧力制御部 6 駆動ゲート部 7 電磁弁駆動部 11 内室 11A 圧力室 11B 背圧室 12 ダイヤフラム 13 キャリアガス供給流路 14 キャリアガス排出流路 18 背圧流路 21 第1の電磁弁 22 第2の電磁弁

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 減圧弁の2次側圧力を検出する圧力セン
    サと、この圧力センサの検出値と基準の設定値を比較
    し、その比較結果に基づいて第1,第2の駆動信号を出
    力する制御手段と、前記第1の駆動信号によって駆動さ
    れ前記減圧弁の2次側圧力を増加させるための圧力増加
    用の第1の電磁弁と、前記第2の駆動信号によって駆動
    され前記減圧弁の2次側圧力を減少させるための圧力減
    少用の第2の電磁弁とを備え、前記減圧弁の圧力調整を
    行う際、その昇圧時に前記基準の設定値より大きいダミ
    ーの設定値を設定することにより、昇圧時の目標圧力が
    前記基準の設定値とその不感帯との中間付近にくるよう
    に前記第1の電磁弁を駆動制御することを特徴とする減
    圧弁制御方法。
JP4070097A 1992-02-21 1992-02-21 減圧弁制御方法 Pending JPH05232097A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4070097A JPH05232097A (ja) 1992-02-21 1992-02-21 減圧弁制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4070097A JPH05232097A (ja) 1992-02-21 1992-02-21 減圧弁制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05232097A true JPH05232097A (ja) 1993-09-07

Family

ID=13421692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4070097A Pending JPH05232097A (ja) 1992-02-21 1992-02-21 減圧弁制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05232097A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104626148A (zh) * 2013-11-14 2015-05-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种基于力的气动方式控制的骨科机械手系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6171352A (ja) * 1984-09-14 1986-04-12 Sord Comput Corp 自動ガス圧制御装置
JPH0442053A (ja) * 1990-06-07 1992-02-12 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6171352A (ja) * 1984-09-14 1986-04-12 Sord Comput Corp 自動ガス圧制御装置
JPH0442053A (ja) * 1990-06-07 1992-02-12 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104626148A (zh) * 2013-11-14 2015-05-20 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种基于力的气动方式控制的骨科机械手系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI534577B (zh) 壓力式流量控制裝置
JPH0823516B2 (ja) 流体管路に配置された二つの弁の気密試験を実施する方法及び装置
NL1010815C2 (nl) Inrichting en werkwijze voor het regelen van de druk van een gasstroom.
US5516366A (en) Supply control system for semiconductor process gasses
CN111434956B (zh) 电磁阀系统
JPH09330128A (ja) マスフローコントローラ
JPH05232097A (ja) 減圧弁制御方法
EP0973080B1 (en) Gas flow rate control apparatus
JPH0997116A (ja) 電磁弁の駆動制御方法および空気圧レギュレータ
JP2632096B2 (ja) ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力調整方法
JP2527645B2 (ja) ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力コントロ―ル装置
JP3206705B2 (ja) 排気ガスサンプリング装置
JPH0545350A (ja) ガスクロマトグラフの減圧弁調整方法
JP2775207B2 (ja) 減圧弁調整装置
JP3875596B2 (ja) 機能性超純水の製造方法及びそれに用いる装置
JPH0580040A (ja) ガスクロマトグラフの自動校正方法
JP2550427B2 (ja) ガスクロマトグラフ
US4863691A (en) Gas-passage change-over apparatus
JP2003167635A (ja) 背圧制御弁
JPH064142A (ja) 減圧弁制御方法
JP2818215B2 (ja) 熱分析装置のガス供給装置
JP3005734B2 (ja) 昇圧ガスクロマトグラフ
JPH064143A (ja) 減圧弁制御方法
JPH08101176A (ja) ガスクロマトグラフ
JPH06289001A (ja) ガスクロマトグラフ

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees