JPH064142A - 減圧弁制御方法 - Google Patents

減圧弁制御方法

Info

Publication number
JPH064142A
JPH064142A JP18057492A JP18057492A JPH064142A JP H064142 A JPH064142 A JP H064142A JP 18057492 A JP18057492 A JP 18057492A JP 18057492 A JP18057492 A JP 18057492A JP H064142 A JPH064142 A JP H064142A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
solenoid valve
valve
reducing valve
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18057492A
Other languages
English (en)
Inventor
Hajime Ota
肇 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Priority to JP18057492A priority Critical patent/JPH064142A/ja
Publication of JPH064142A publication Critical patent/JPH064142A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電磁弁を用いて減圧弁の圧力,流量を調整す
る際にその昇圧時にダミーの設定値と不感帯を持たせる
ことにより、本来の基準の設定値の不感帯を有効に使用
することを可能にすることを目的とする。 【構成】 検出値PVが不感帯に入ってからも、CPU
43からの直接の制御により供給用電磁弁22もしくは
排出用電磁弁23を動作させ、検出値PVが不感帯の中
央に来るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスクロマトグラフな
どに使用される減圧弁制御方法に関し、特に電磁弁を用
いて減圧弁の流量,圧力を自動的に調整する際に好適な
減圧弁制御方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ガスクロマトグラフは、種々の有機化合
物から構成される液体や気体を分析するときに有用な装
置である。ガスクロマトグラフでは、分析する液体中に
溶解している複数の物質を分離し、加えてその量を各々
検出できるので、定性分析と定量分析が同時にできる。
ガスクロマトグラフは、分析対象の溶液を加熱して気体
にしてこれをキャリアガスにより構造の異なる化合物を
分離するカラム(固定層)を通す。気体となった分析対
象の溶液中に溶解していた複数の化合物は、キャリアガ
スに運ばれてカラムを通過することにより分離され、カ
ラムの出口に配置される検出器によって、その各々の分
量が計測される。この計測結果は、図5に示すようなク
ロマトグラムとなって表され、このクロマトグラムの山
のでてくる位置により化合物の同定が可能となり、山の
高さにより化合物の量が判る。
【0003】ガスクロマトグラフは以上のように構成さ
れているので、ガス状態の分析対象物を運ぶキャリアガ
スの流量,流速,圧力などの状態が分析をする度に変化
していると、この分析によって得られた結果は再現性の
低いものとなる。このキャリアガスの状態を一定に保つ
キャリアガス圧力調整系は、減圧弁とそれを調整する減
圧弁調整部分とから構成されている。図4はそのガスク
ロマトグラフに使用される従来のキャリアガス圧力調整
系の構成を示す構成図である。図4において、1は減圧
弁、11は減圧弁1の内室、12は内室11の内部を上
下に移動するダイヤフラムであり、このダイヤフラム1
2は内室11を背圧室11Bとその下の部屋11Cとに
仕切っている。また、13は内室11の圧力室11Aの
入口に連設するキャリアガスCGの供給経路、14は内
室11の部屋11Cの出口に連設するキャリアガスCG
の排出経路、15は圧力室11Aと部屋11Cの連通孔
を開閉するポペット弁、16はポペット弁15を押上げ
る第1の圧縮コイルばね、17はダイヤフラム12を圧
力室11A側のポペット弁15に対して所定圧で押圧す
るように第1の圧縮コイルばね16のばね圧kよりも大
きいばね圧K(但しK>k)を有する第2の圧縮コイル
ばねであり、以上の部品により減圧弁1は構成されてい
る。
【0004】また、18aは一端が排出経路14に連通
し他端が弁を介して分岐点20に連通する背圧流路、1
8bは一端が分岐点20aに連通し他端が弁を介して大
気に開放される排出流路、19は背圧室11Bのガスの
出入口、20は一端が出入口19に連通し他端が分岐点
20aに連通している分岐路、21は分岐路20に配置
されている焼結金属などからなる固定絞り、22は背圧
流路18aに設置される供給用電磁弁、23は排出流路
18bの大気に開放される側に設置される排出用電磁弁
である。
【0005】そして、2は減圧弁1から排出されるキャ
リアガスCGの圧力(2次側圧力PO )を検出してそれ
に比例する信号を出力する圧力センサ、3は圧力センサ
2の出力するアナログ信号をデジタル信号に変換するA
/D変換器、41aは排出用電磁弁23を制御する駆動
信号を出力する第1のコンパレータ、41bは供給用電
磁弁22を制御する駆動信号を出力する第2のコンパレ
ータ、42はパルス駆動により第1と第2のコンパレー
タ41a,41bからの駆動信号をパルス信号にするゲ
ート部である。第1のコンパレータ41aでは、+側に
圧力センサ2からの検出信号PVが入力し、−側に設定
値であるSPが入力する。また、第2のコンパレータ4
1bでは、+側に設定値SPの99%の値の信号が入力
し、−側に圧力センサ2からの検出信号PVが入力す
る。
【0006】また、43aはデジタルに変換された検出
信号PVを入力するとともに、設定値SPを出力し、ゲ
ート部42をパルス駆動するパルス信号を出力するCP
Uである。CPU43aでは、デジタル変換された圧力
センサ2からの検出値PVを常時監視していて、設定値
SPにその値が近い場合は小さい幅のパルスのパルス信
号をゲート部42に送り、検出値PVが設定値SPから
離れている場合は大きい幅のパルスのパルス信号をゲー
ト部42に出力する。
【0007】ここで、減圧弁1で出力する2次側の圧力
O の設定値は、大気圧より高く、減圧弁1に入力され
る1次側の圧力PS より低く、また、2次側の圧力PO
がまだ設定値に達していないものとする。このときは圧
力センサ2の検出する2次側の圧力PO は、まだ設定値
に達していないので、圧力センサ2の検出する検出値P
Vは第1のコンパレータ41aの−側に入力する設定値
SPより低く、第1のコンパレータ41aは排出用電磁
弁23の駆動信号を出力しない。一方、第2のコンパレ
ータ41bでは、+側に入力する設定値SPの99%の
信号より−側に入力する検出値PVが低いので、供給用
電磁弁22の駆動信号を出力する。
【0008】すなわち、減圧弁1の2次側の圧力PO
が、設定してある圧力の99%より低い段階では、排出
用電磁弁23は閉じていて、供給用電磁弁22は開いて
おり、背圧室11Bと部屋11Cの圧力は等しくなって
いる。この状態では、ダイヤフラム12はこれを押し下
げる第2の圧縮コイルばね17の方がポペット弁15を
介して押上げる第1の圧縮コイルばね16のばね圧より
大きいので、ダイヤフラム12は押し下げられた状態と
なっており、同時にポペット弁15も押し下げられ、圧
力室11Aと部屋11Cの連通孔は開放した状態となっ
ている。従って、供給されるキャリアガスCGは圧力室
11Aから部屋11Cを介して減圧弁1の2次側に供給
され、また、排出経路14から供給用電磁弁22を介し
て背圧室11Bにも供給される。このまま、キャリアガ
スCGの供給量が増加し続けて、これに伴い減圧弁1の
2次側の圧力PO も上昇して圧力センサ2の検出する検
出値PVが設定値SPの99%を越えると、この検出値
PVが−側に入力する第2のコンパレータ41bでは、
供給用電磁弁22の駆動信号の出力を停止する。
【0009】一方、減圧弁1の2次側の圧力PO を圧力
センサ2が検出した検出値PVの値が設定値SPより大
きくなっている場合は、第1のコンパレータ41aでは
+側に入力する検出値PVの方が−側に入力する設定値
SPより大きいので、排出用電磁弁23の駆動信号を出
力している。このとき、第2のコンパレータ41bで
は、−側に入力する検出値PVの方が+側に入力する設
定値SPの99%より大きいので、供給用電磁弁22の
駆動信号は出力していない。この状態では、供給用電磁
弁22が閉じていて排出用電磁弁23が開いているの
で、減圧弁1では背圧室11B内のガスが排出用電磁弁
23を介して大気に開放され、その背圧室11B内の圧
力PN は低下する。
【0010】背圧室11Bの圧力PN が低下すると、ダ
イヤフラム12はその下の部屋11Cの圧力(2次側の
圧力PO )により押上げられ、同時にポペット弁15も
上に移動して圧力室11Aと部屋11Cの連通孔は狭め
られ、これにより圧力室11Aからポペット弁15を介
して2次側に供給されるキャリアガスCGの部屋11C
への流入量が減少する。そして、背圧室11Bの圧力P
N が減少し、その圧力PN と第2の圧縮コイルばね17
のばね圧の合計が、ダイヤフラム12の下の部屋11C
の圧力PO と第1の圧縮コイルばね16のばね圧の合計
より小さくなり、ポペット弁15が上に移動して最終的
にポペット弁15が閉じて圧力室11Aから部屋11C
へのキャリアガスCGの流入を停止する。
【0011】キャリアガスCGの減圧弁1の2次側への
供給量が減少するかもしくは停止すると、2次側の圧力
O は低下し、圧力センサ2が検出する検出値PVも低
下する。検出値PVが低下して設定値SPより小さくな
ると、第1のコンパレータ41aでは、+側に入力する
検出値PVが−側に入力する設定値SPより小さくなる
ので、排出用電磁弁23の駆動信号の出力を停止する。
これにより、排出用電磁弁23は閉じて、背圧室11B
の圧力PN の低下は停止する。
【0012】この後、このキャリアガスCGの流路の
“洩れ”などにより、減圧弁1の圧力PO が徐々に低下
して圧力センサ2の検出する検出値PVが設定値SPの
99%より低くなると、第2のコンパレータ41bで
は、−側に入力する検出値PVが+側に入力する0.9
9SPより小さくなるので、供給用電磁弁22の駆動信
号を出力し、これにより供給用電磁弁22が開放する。
排出用電磁弁23が閉鎖した状態で供給用電磁弁22が
開放することにより、減圧弁1の2次側のダイヤフラム
12の下の部屋11Cの圧力PO と背圧室11Bの圧力
N とが同じになる。
【0013】ところで、ダイヤフラム12には、ポペッ
ト弁15を介して、圧力PN ,圧力PO ,第2の圧縮コ
イルばね17のばね圧、おおび第1の圧縮コイルばね1
6のばね圧がかかっている。上述の状態では、圧力PN
と圧力PO とが等しい状態であり、また、第2の圧縮コ
イルばね17のばね圧は第1の圧縮コイルばね16のば
ね圧より大きいので、ダイヤフラム12は第2の圧縮コ
イルばね17により押し下げられ、これによりポペット
弁15も押し下げられる。ポペット弁15が押し下げら
れ開くことにより、圧力室11AからキャリアガスCG
が減圧弁1の2次側(部屋11C)に供給されることに
なり、2次側の圧力PO は減少から上昇に転じる。な
お、供給用電磁弁22と排出用電磁弁23とを駆動する
駆動信号は、ゲート部42によりパルス信号として供給
用電磁弁22と排出用電磁弁23とに送られている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】従来の減圧弁制御方法
は以上のように構成されており、上述した減圧弁1では
昇圧時に圧力調整を行う場合、図7に示すように、目標
とする基準の設定値つまり設定値をSPとすると、この
設定値SPに対してその99%の値SPD と設定値SP
の間の範囲を不感帯として設定してある。そのため、圧
力調整を行っているとき圧力センサ2の検出値PVが増
加して設定値の不感帯下限SPD =0.99・SPに達
すると、供給用電磁弁22は止まってしまい、キャリア
ガスCGのガス圧の増加は停止してしまう。また、CP
U43aから出力されるゲート部42を駆動するパルス
信号は、検出値PVが不感帯に近づくと幅に小さなパル
ス信号になり、供給用電磁弁22と排出用電磁弁23は
細かい上昇幅(下降幅)で圧力調整動作を行うようにな
る。従って、検出値PVが増加して不感帯下限SPD
達したときは、検出値PVの値が不感帯下限SPD ぎり
ぎりの所となる。しかし、減圧弁1などキャリアガスの
流路には“洩れ”があるため、不感帯内で圧力は下降し
ていき、検出値PVが下降して不感帯下限SPD を出る
と、また圧力増加動作が行われる。
【0015】ところで、ガスクロマトグラフにおいて
は、図6に示すように、減圧弁の圧力調整(減圧弁稼
働)と分析とを交互に行っており、圧力調整を行える時
間Taは1周期T(例えば3分程度)に対して通常10
秒程度である。分析中は、電磁弁による圧力調整による
圧力の変動があると、分析により得られたクロマトグラ
ムが信頼性の低いものとなるので、電磁弁による圧力調
整は停止している。1周期Tの間では、電磁弁による圧
力調整を行える時間帯は短く圧力調整をしない時間帯が
長いので、圧力調整が不感帯下限SPD ぎりぎりの所で
停止してしまう状態では、分析時間帯で設定値(不感
帯)から外れる圧力の低下が起こり、分析結果に支障を
きたすことになり、本来の不感帯の役割を果たしていな
いことになる。また、圧力調整を行う時間帯では減圧弁
1と供給用電磁弁22と排出用電磁弁23とが頻繁に動
作することになり、減圧弁及び電磁弁の寿命が縮まると
いう問題点があった。
【0016】本発明は以上の点に鑑み、上記のような課
題を解決するためになされたもので、その目的は、電磁
弁を用いて減圧弁の圧力,流量を調整する際にその昇圧
時にダミーの設定値と不感帯を持たせることにより、本
来の基準の設定値の不感帯を有効に使用することを可能
にした減圧弁制御方法を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る減圧弁制御方法は、減圧弁の2次側圧
力を検出する圧力センサと、この圧力センサの検出値と
設定されている基準となる2つの設定値とを比較し、そ
の比較結果に基づいて第1,第2の駆動信号を出力する
制御手段と、第1の駆動信号により駆動され、基準とな
る2つの設定値の間に検出値が入ったときは、その動作
が停止される減圧弁の2次側圧力を増加させるための第
1の電磁弁と、第2の駆動信号により駆動され、基準と
なる2つの設定値の間に検出値が入ったときは、その動
作が停止される減圧弁の2次側圧力を減少させるための
第2の電磁弁とを備え、減圧弁の圧力調整を行う際、基
準となる2つの設定値の間に検出値が入った場合は、第
1,第2の電磁弁どちらかを駆動させ、このときの検出
値が2つの設定値の中心の値となるまで圧力調整を行う
ことを特徴とする。
【0018】
【作用】したがって本発明によると、減圧弁の圧力調整
時において、圧力の検出値が2つの設定値の中心の値と
なるまで圧力調整を行うので、第1,第2の電磁弁の動
作が停止している期間が長くなり、圧力を設定値に保持
するための調整回数を減らすことができる。
【0019】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。 (実施例1)図1は本発明による減圧弁制御方法をガス
クロマトグラフのキャリアガス圧力調整系に適用したと
きの1実施例を示す基本構成図である。図1において、
43はA/D変換器3からのデジタル信号に変換された
検出値PVと設定値SPとを比較することにより供給用
電磁弁22と排出用電磁弁23とを駆動するパルス駆動
信号と設定値SPとを出力するCPU、44a,44b
はORゲートであり他は図4と同様である。
【0020】この発明の減圧弁制御方法においても、圧
力センサ2が検出する検出値PVの値が設定値SPの値
と設定値SPの99%の値SPD とで規定される不感帯
に入らない場合は、従来の図4に示すキャリアガス圧力
調整装置と同様に供給用電磁弁22と排出用電磁弁23
とを制御駆動して圧力調整を行う。しかし、この発明の
減圧弁制御方法では、減圧弁1の2次側圧力PO を圧力
センサ2が検出した検出値PVが、設定値SPとその9
9%の値SPD とで規定される不感帯に入ったとき、C
PU43からのパルス駆動信号により引き続き供給用電
磁弁22もしくは排出用電磁弁23を駆動させ、検出値
PVが不感帯の中央値になるように制御する。
【0021】すなわち、減圧弁1の2次側の圧力PO
設定値より低い場合は、従来と同様に第2のコンパレー
タ41bからの駆動信号により供給用電磁弁22が開放
していて背圧室11BにキャリアガスCGが送り込まれ
てその圧力は上昇し、ダイヤフラム12を押し下げ、同
時にポペット弁15を押し下げ、それにより引き続き減
圧弁1の2次側の圧力PO は上昇し続ける。2次側の圧
力PO が上昇して不感帯として設定されている領域の下
限SPD で表される圧力まで高くなると、第2のコンパ
レータ41bからは駆動信号が出力されなくなるが、2
次側の圧力PO が圧力センサ2により検出された検出値
PVを監視しているCPU43は、検出値PVが設定値
SPの99%になったところでゲート部42のパルス駆
動を停止し、パルス駆動信号をORゲート44bに出力
する。ORゲート44bでは、第2のコンパレータ41
bからの駆動信号は停止しているが、CPU43からの
駆動信号を入力しているので、供給用電磁弁22へのパ
ルス駆動信号は出力されることになる。これにより、検
出値PVが設定値SPの99%の値SPD になっても引
き続き減圧弁1の2次側に圧力は上昇し続けることにな
る。
【0022】CPU43は、検出値PVが設定値SPの
99.5%(不感帯の中心部)になったところでORゲ
ート44bへのパルス駆動信号の出力を停止し、これに
より供給用電磁弁22は閉じる。供給用電磁弁22が閉
じると、前述したように、減圧弁1の2次側の圧力PO
が徐々に背圧室11Bの圧力PN より高くなり、ダイヤ
フラム12は押上げられ、同時にポペット弁15も押上
げられ、キャリアガスGCの圧力室11Aからの供給量
は減少する。しかしこの実施例では、供給用電磁弁22
と排出用電磁弁23とが閉じるときの2次側の圧力PO
が、不感帯の中心にきているので、キャリアガスCGの
流路の“洩れ”などによる2次側の圧力PO の低下が発
生しても、すぐには不感帯から検出値PVの値がはずれ
ることはないので、供給用電磁弁22や排出用電磁弁2
3の頻繁なオンオフ動作は無くなる。
【0023】(実施例2)上記実施例では、供給用電磁
弁22と排出用電磁弁23を駆動するパルス駆動信号
を、CPU43からも出力することでその供給用電磁弁
22と排出用電磁弁23とを制御して減圧弁1の2次側
の圧力PO を制御したが、これに限るものではなく、図
2に示すように、第2のコンパレータ41bの+側に、
設定値SPの99%の信号と設定値SPの99.5%の
信号とを切り換えて入力するようにしても良い。図2に
おいて、45は設定値SPの99%の信号と99.5%
の信号とが入力し、それらをCPU43からの信号によ
り切り換えて出力する不感帯切り換え部であり、他は図
1と同様である。図2に示すように、第2のコンパレー
タ41bの+側に設定値SPの99%の信号と設定値S
Pの99.5%の信号とが不感帯切り換え部45を介し
て入力する。
【0024】CPU43では、A/D変換器3でデジタ
ル信号に変換された検出値PVと設定値SPとを比較す
ることにより不感帯切り換え部45を制御する。供給用
電磁弁22と排出用電磁弁23とで減圧弁1を調整して
キャリアガスCGの減圧弁1の2次側圧力を調整してい
るとき、検出値PVが設定値SPの99.5%になるま
では、不感帯切り換え部45からは設定値SPの99.
5%の信号が出力される。一方、検出値PVがその設定
値の99.5%になってからは、キャリアガスCGの流
路の“洩れ”などによる減圧弁1の2次側の圧力変動で
検出値PVが不感帯から外れるまでは、不感帯切り換え
部45からは設定値SPの99%の信号が出力される。
【0025】(実施例3)なお、第2のコンパレータ4
1bの+側に入力する設定値SPの99%の信号と設定
値SPの99.5%の信号との切り換えを、図3に示す
ように、第1の抵抗46aと、抵抗値が第1の抵抗46
aの1/99である第2の抵抗46bと、CPU43か
らの信号により動作するスイッチ47とで、第2のコン
パレータ41bの+側に入力する信号を切り換えるよう
にしても良い。スイッチ47がオンの状態では設定値S
Pの約99.5%の信号が第2のコンパレータ41bの
+側に入力し、スイッチ47がオフの状態では設定値S
Pの99%の信号が第2のコンパレータ41bの+側に
入力する。CPU43では、減圧弁1の2次側圧力の検
出値PVをいつも監視していて、この検出値PV変化に
よりスイッチ47のオンオフを制御する。
【0026】
【発明の効果】以上のように本発明の減圧弁制御方法に
よれば、電磁弁を用いた減圧弁によるキャリアガスの圧
力を調整する際に、その圧力値が本来電磁弁の動作が停
止する不感帯に入っても電磁弁を動作させ、不感帯の中
心点まで圧力を調整するようにしたので、本来の基準の
設定値の不感帯を有効に使用してその圧力の調整のため
の電磁弁の動作を減らすことができるので、減圧弁,電
磁弁の寿命を延ばすことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による減圧弁制御方法をガスクロマトグ
ラフのキャリアガス圧力調整系に適用したときの1実施
例を示す構成図である。
【図2】本発明の他の実施例を示すキャリアガス圧力調
整系の構成図である。
【図3】本発明の他の実施例を示すキャリアガス圧力調
整系の構成図である。
【図4】従来のキャリアガス調整系の構成を示す構成図
である。。
【図5】ガスクロマトグラフによる分析結果の1例を示
すガスクロマトグラムである。
【図6】ガスクロマトグラフにおける減圧弁と分析の動
作手順を示す説明図である。
【図7】従来のキャリアガス調整系における圧力変動の
状態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 減圧弁 2 圧力センサ 3 A/D変換器 11 内室 11A 圧力室 11B 背圧室 11C 部屋 12 ダイヤフラム 13 供給経路 14 排出経路 15 ポペット弁 16 第1の圧縮コイルばね 17 第2の圧縮コイルばね 18a 背圧流路 18b 排出流路 19 出入口 20 分岐路 20a 分岐点 21 固定絞り 22 供給用電磁弁 23 排出用電磁弁 41a 第1のコンパレータ 41b 第2のコンパレータ 42 ゲート部 43 CPU 44a,44b ORゲート

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 減圧弁の2次側圧力を検出する圧力セン
    サと、 この圧力センサの検出値と設定されている基準となる2
    つの設定値とを比較し、その比較結果に基づいて第1,
    第2の駆動信号を出力する制御手段と、 前記第1の駆動信号により駆動され、前記基準となる2
    つの設定値の間に前記検出値が入ったときはその動作が
    停止される、前記減圧弁の2次側圧力を増加させるため
    の第1の電磁弁と、 前記第2の駆動信号により駆動され、前記基準となる2
    つの設定値の間に前記検出値が入ったときはその動作が
    停止される、前記減圧弁の2次側圧力を減少させるため
    の第2の電磁弁とを備え、 前記減圧弁の圧力調整を行う際、前記基準となる2つの
    設定値の間に前記検出値が入った場合は、前記第1,第
    2の電磁弁どちらかを駆動させ、このときの検出値が前
    記2つの設定値の中心の値となるまで圧力調整を行うこ
    とを特徴とする減圧弁制御方法。
JP18057492A 1992-06-16 1992-06-16 減圧弁制御方法 Pending JPH064142A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18057492A JPH064142A (ja) 1992-06-16 1992-06-16 減圧弁制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18057492A JPH064142A (ja) 1992-06-16 1992-06-16 減圧弁制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH064142A true JPH064142A (ja) 1994-01-14

Family

ID=16085661

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18057492A Pending JPH064142A (ja) 1992-06-16 1992-06-16 減圧弁制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH064142A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0827056B1 (en) Inner loop valve spool positioning control apparatus and method
US5172722A (en) Stop valve for a vacuum apparatus
RU2527672C2 (ru) Многоступенчатый регулятор текучей среды
NL1010815C2 (nl) Inrichting en werkwijze voor het regelen van de druk van een gasstroom.
JPS6326475A (ja) 安全圧力逃しシステム
TW201537324A (zh) 壓力式流量控制裝置
US10670163B1 (en) Electrically-controlled large-capacity proportional valve
JPH064142A (ja) 減圧弁制御方法
JPH0997116A (ja) 電磁弁の駆動制御方法および空気圧レギュレータ
JPH064143A (ja) 減圧弁制御方法
JP3005734B2 (ja) 昇圧ガスクロマトグラフ
JP3206705B2 (ja) 排気ガスサンプリング装置
JPH06194355A (ja) 減圧弁の制御方法
JPH06332543A (ja) 圧力制御装置
JP2527645B2 (ja) ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力コントロ―ル装置
JPH05232097A (ja) 減圧弁制御方法
JPH08271493A (ja) キャリアガス圧力調整系の診断方法
JP2632096B2 (ja) ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力調整方法
JPH0740175Y2 (ja) 流量制御装置
JP2005351717A (ja) グラジエント送液システム
JPH0545350A (ja) ガスクロマトグラフの減圧弁調整方法
JPS56106032A (en) Apparatus for controlling amount of by-pass exhaust gas used in engine equipped with supercharger
SU404060A1 (ru) Регулятор давления газа
JPH0580040A (ja) ガスクロマトグラフの自動校正方法
JP2775207B2 (ja) 減圧弁調整装置