JP2632096B2

JP2632096B2 - ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力調整方法

Info

Publication number: JP2632096B2
Application number: JP21324091A
Authority: JP
Inventors: 裕行武藤; 肇太田; 美佐子清田
Original assignee: Azbil Corp
Current assignee: Azbil Corp
Priority date: 1991-07-31
Filing date: 1991-07-31
Publication date: 1997-07-16
Anticipated expiration: 2012-07-16
Also published as: JPH0534329A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラム内に充填された充
填剤とガスとの吸着性の差を利用してガス分析を行うガ
スクロマトグラフに関し、特にガスクロマトグラフにお
いてそのキャリアガスの圧力を調整する減圧弁を電磁弁
を介したキャリアガスの圧力で駆動する際に好適な減圧
弁のキャリアガス圧力調整方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】石油化学プロセスや鉄鋼プロセス等にお
いてプロセスガスに成分分析を行い、その分析結果に基
づいて各プロセス工程を監視したり、各種制御を行った
りするための検出装置としてガスクロマトグラフが従来
から一般的に用いられている。

【０００３】図７はこの種のガスクロマトグラフの基本
的構成を示す図で、恒温槽を形成し所定温度に保持され
るアナライザ本体１，サンプルバルブ２，カラム３，検
出器４，計量管５，ヘリウム等のキャリアガスＣＧを所
定圧に減圧する減圧弁６等を備え、測定時にサンプルバ
ルブ２の流路を実線の状態から破線の状態に切替えるこ
とにより、計量管５によって分取した測定すべきサンプ
ルガスＳＧをキャリアガスＣＧによってカラム３内に送
り込むようにしている。

【０００４】このカラム３にはサンプルガスＳＧに応じ
て異なるが、活性炭，活性アルミナ，モレキュラーシー
ブ等の粒度を揃えた粉末が固定相として充填されてお
り、この固定相とサンプルガス中の各ガス成分との吸着
性や分配係数の差異に基づく移動速度の差を利用して、
各ガス成分を相互に分離し、これを熱伝導度検出器等の
検出器４によって検出し電気信号に変換する。この電気
信号はガス成分濃度に比例し、これをコントローラ７に
より波形処理したり記録紙に記録する。一方、非測定時
にはサンプルバルブ２の流路を実線図示の状態に切替え
ることにより、キャリアガスＣＧをカラム３および検出
器４へ導いている。

【０００５】ここで減圧弁６は、キャリアガス供給流路
１３およびキャリアガス排出流路１４に連通する内室３
１，この内室３１を上下２つの室に仕切るダイヤフラム
３２，ポペット弁３３，圧縮コイルばね３４などを備え
る。この内室３１の上側の室にはダイヤフラム３２を下
側の室側に付勢する圧力設定用の圧縮コイルばね３５
と、圧縮コイルばね３５の上端を保持するばね受け部材
３６とが配設され、このばね受け部材３６を圧力設定用
ねじ３７によって上下動させると圧縮コイルばね３５の
ばね圧が調整される。そして下側の室側にはシートリン
ク（図示せず）とその流通孔を開閉制御するポペット弁
３３が圧縮コイルばね３４に対向して配設され、圧力調
節用ねじ３７を手動操作で回してキャリアガスＣＧの２
次圧Ｐ_O （出力圧）を設定圧力と等しくするものとなっ
ている。

【０００６】しかしながら、このようなガスクロマトグ
ラフにおいて、キャリアガスの１次圧変動，振動，負荷
変動，減圧弁６の周囲温度特性等によってキャリアガス
の２次側圧力Ｐ_Oが変動すると、その流量も変化するた
め、カラム３によるガス成分の分離状態および検出器４
におけるブリッジ回路のバランスが崩れ、これによりベ
ース電圧が変動し、分析値がシフトしたり測定不能にな
る場合が生じる。そのため、その都度圧力設定用ねじ３
７を回して減圧弁６の設定圧を変えているが、わざわざ
装置のところまで行き、圧力設定用ねじ３７を手動操作
することは非常に面倒で、圧力変動に迅速に対処できな
いという問題があった。

【０００７】このような問題を解消するため、同一出願
人は、キャリアガスの圧力調整を行う減圧弁６を電磁弁
を介したキャリアガスの圧力で駆動するキャリアガス流
量コントロール装置を提案しており、その基本構成を図
６に示す。

【０００８】この装置は、図６に示すように、内室１１
と，内室１１を上下２つの室１１Ａと１１Ｂに仕切るダ
イヤフラム１２と，内室１１に連通するキャリアガス供
給通路１３およびキャリアガス排出通路１４と，ポペッ
ト弁１５と，圧縮コイルばね１６等を備え、下側の室１
１Ａが圧力室、上側の室１１Ｂが背圧室をそれぞれ形成
している。そして、キャリアガス供給流路１３より送ら
れてくるキャリアガスＣＧの圧力を所定圧Ｐ₀ に減圧す
る背圧室１１Ｂには１つの出入口１７を有し、この出入
口１７はキャリアガス供給流路１３から分岐されキャリ
アガス排出流路１４に連通する背圧流路１８に分岐路１
９を介して連通されている。また、分岐路１９には焼結
金属等からなる固定絞り２０が配置されている。

【０００９】また、背圧流路１８には分岐路１９を挟ん
でその上流側と下流側に位置する２つの電磁弁２１，２
２が配置され、さらに下流側電磁弁２２の下流側には減
圧弁６の２次側圧力Ｐ_O を検出する圧力センサ７が設け
られている。従って、キャリアガスＣＧはキャリアガス
供給流路１３を経て減圧弁６の圧力室１１Ａ側に１次側
圧力Ｐ_S として送られると共に、上流側電磁弁２１を開
くと、背圧流路１８−分岐路１９−固定絞り２０を通っ
て背圧室１１Ｂにも背圧Ｐ_Nとして送られ、この背圧Ｐ_N
を、１次側圧力Ｐ_Sと圧縮コイルばね１６のばね圧の和
と対応させている。そして背圧Ｐ_N は下流側電磁弁２２
を開くと低下する。

【００１０】２９は減圧弁６を駆動してそのキャリアガ
ス圧力を任意の設定値に制御するためのキャリアガス流
量コントローラで、圧力センサ７からの検出値ＰＶと予
め設定されたキャリアガス圧力設定値（以下、設定値）
ＳＰとを比較し、その比較結果に基いて２つの電磁弁２
１，２２を開閉制御して、２次側圧力Ｐ_O が常に設定圧
となるようにしている。この場合、キャリアガスＣＧの
１次側圧力Ｐ_S ，背圧Ｐ_N および２次側圧力Ｐ_Oの関係
は、Ｐ_S≧Ｐ_N＞Ｐ_Oとなる。

【００１１】すなわち、圧力サンサ７の検出値ＰＶが設
定値ＳＰの下限値以下の場合、２次側圧力Ｐ_O は設定圧
力より低い。このとき、キャリアガス流量コントローラ
２９からの信号によって上流側電磁弁２１を開く一方、
下流側電磁弁２２を全閉状態に保持し、背圧室１１Ｂに
供給されるキャリアガスＣＧの圧力を増加させる。する
と、背圧Ｐ_N が増大し、ダイヤフラム１２を圧縮コイル
ばね１６に抗して下方に変位させ、ポペット弁１５を開
く。

【００１２】従って、圧力室１１ＡへのキャリアガスＣ
Ｇの圧力が増加し、２次側圧力Ｐ_Oを増大させる。２次
側圧力Ｐ_O が増加して設定圧力と一致すると、検出値Ｐ
Ｖが設定値ＳＰの範囲内に入るため上流側電磁弁２１を
閉鎖する。外乱等により２次側圧力Ｐ_O が設定圧力より
大きくなり、検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限値を越える
と、今度は下流側電磁弁２２を開いて背圧Ｐ_N を下げ
る。すると、その分だけダイヤフラム１２が上方に変位
してポペット弁１５が閉まり、２次側圧力Ｐ_O を低下さ
せる。そして２次側圧力Ｐ_O が設定圧と一致すると、下
流側電磁弁２２を閉鎖する。

【００１３】このように２つの電磁弁２１，２２で減圧
弁６の圧力調整を行う装置は、１次圧変動，振動，負荷
変動，減圧弁の周囲温度特性等のよってガスクロマトグ
ラフの分析値がドリフトしたりすることがなく、安定に
ガス分析を行うことができるとともに、減圧弁の設定圧
力を自動的に可変設定することができる等の利点を有し
ている。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ガスクロマ
トグラフは、一般的に図４に示すように、圧力調整Ａと
測定Ｂとを交互に繰り返すという動作を行っており、圧
力調整を行える時間Ｔａは１周期Ｔ（例えば３分程度）
に対し通常１０秒程度である。そのため、各々の電磁弁
２１，２２を駆動するパルス信号が一定のとき、減圧弁
６の固定絞り２０によっては、その２次側圧力Ｐ₀が、
図３(a)に示すように、０．９７・ＳＰ≦ＰＶ≦ＳＰの
範囲内に戻ってこなかったり、あるいは図３(b) に示す
ように、一度は戻ってきても、下がり方が大き過ぎてオ
ーバーシュートしてしまい、再度圧力調整動作を行って
しまうため、やはり０．９７・ＳＰ≦ＰＶ≦ＳＰの範囲
に入らない場合がある。そのため、圧力調整に時間がか
かるという問題点があった。

【００１５】本発明は以上の点に鑑み、かかる問題点を
解消するためになされたもので、その目的は、減圧弁の
圧力調整時間内に静止域内に確実に戻って、測定時にキ
ャリアガスの圧力を必ず決められた範囲内に設定できる
ガスクロマトグラフのキャリアガス圧力調整方法を提供
することにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るガスクロマトグラフのキャリアガス圧
力調整方法は、キャリアガスの供給側に接続された第１
の減圧室その第１の減圧室とポペット弁を介して連通
された第２の減圧室，前記ポペット弁が連動するダイヤ
フラムをはさんで前記第２の減圧室と隔離された背圧室
からなりキャリアガスの圧力を調整する減圧弁と、その
第２の減圧室より取り出されるキャリアガスが供給され
る減圧弁の２次側圧力を検出する圧力センサと、基準の
設定値とこの設定値に対して予め設定された上限値及び
下限値を有し、この設定値と圧力センサの検出値を比較
してその比較結果に基づき第１，第２の駆動信号を出力
するキャリアガス圧力制御手段と、キャリアガス供給側
より背圧室に接続する分岐路へ接続する第１の背圧流路
に配設され、第１の駆動信号により駆動されて第１の背
圧流路の開閉を行うキャリアガス圧力増加用電磁弁と、
減圧弁の２次側より分岐路へ接続する第２の背圧流路に
配設され、第２の駆動信号により駆動されて第２の背圧
流路の開閉を行うキャリアガス圧力減小用電磁弁とを備
え、圧力センサの検出値が前記下限値より小さいとき
は、前記第１の駆動信号により前記キャリアガス増加用
電磁弁を動作させ、圧力センサの検出値が前記上限値以
上にあるときは、オン動作のパルス幅が広いデューティ
比の第１のパルス信号とした前記第２の駆動信号により
前記キャリアガス圧力減少用電磁弁をオンオフ駆動し、
次いで前記検出値が基準の設定値と上限値の範囲内にあ
るときは、オン動作のパルス幅が狭いデューティ比の第
２のパルス信号とした第２の駆動信号により前記キャリ
アガス圧力減少用電磁弁をオンオフ駆動するようにした
ものである。

【００１７】

【作用】本発明においては、減圧弁の２次側圧力を、圧
力調整時間内に基準の設定値の許容範囲内に確実に設定
することができる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を説明するた
めのガスクロマトグラフの基本構成図である。この実施
例においてキャリアガスの圧力調整を行う減圧弁６を上
流側電磁弁２１と下流側電磁弁２２を介したキャリアガ
スＣＧの圧力で駆動するように構成されている点は上述
した図６のものと同様であるが、減圧弁６の２次側圧力
を検出する圧力センサ７の検出値ＰＶがＡ／Ｄ変換器２
７を経てコントローラとしてのＣＰＵ（マイクロコンピ
ュータ）２３に入力されている。そしてＣＰＵ２３は圧
力センサ７からの検出値ＰＶが圧力増加方向か、あるい
は圧力減少方向かを判断し、それに応じた第１及び第２
のゲートパルスＧＰ_L，ＧＰ_Hを駆動ゲート部２５に出力
するとともに、基準の設定値ＳＰをキャリアガス圧力制
御部２４に出力する。

【００１９】このキャリアガス圧力制御部２４は、基準
の設定値ＳＰに対して予め設定された所定の上限値ＳＰ
_U及び下限値ＳＰ_Dを有し、圧力センサ７の検出値ＰＶが
ＣＰＵ２３から送出される設定値ＳＰの許容範囲つまり
設定値ＳＰと下限値ＳＰ_D の範囲内にあるとき、キャリ
アガス圧力増加用の第１の電磁弁駆動信号ＶＬ_CO，キャ
リアガス圧力減少用の第２の電磁弁駆動信号ＶＨ_COを
「Ｌ」レベル（オフ信号）とし、検出値ＰＶが設定値Ｓ
Ｐの下限値ＳＰ_D 以下にあるときは第１の電磁弁駆動信
号ＶＬ_C0のみを「Ｈ」レベル（オン信号）とする。そし
て検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限値ＳＰ_U以上にある
か、あるいは設定値ＳＰと上限値ＳＰ_Uの範囲内にある
ときは第２の電磁弁駆動信号ＶＨ_C0のみを「Ｈ」レベル
（オン信号）とし、そのＶＬ_C0，ＶＨ_COの信号を駆動ゲ
ート部２５の各スイッチ２５₁，２５₂にそれぞれ入力す
る。

【００２０】また、駆動ゲート部２５はＣＰＵ２３から
出力されるキャリアガス圧力制御に対応した第１及び第
２のゲートパルスＧＰ_L ，ＧＰ_H によって第１及び第２
の電磁弁駆動信号ＶＬ_CO ，ＶＨ_C0 をそれぞれオン・オ
フ制御して所定のパルス幅をもつ信号に変換したうえ、
電磁弁駆動部２６に出力する。これにより電磁弁駆動部
２６は、駆動ゲート部２５より出力される図５(a) に示
すような所定のパルス幅Ｔ₁をもつ第１の電磁弁駆動信
号ＶＬによって上流側電磁弁２１を開閉制御するととも
に、駆動ゲート部２５より出力される図５(b)および(c)
に示すようなパルス幅Ｔ₂，Ｔ₃をもつ第２の電磁弁駆動
信号ＶＨによって下流側電磁弁２２を開閉制御する。

【００２１】すなわち、圧力センサ７の検出値ＰＶが設
定値ＳＰの下限値ＳＰ_D 以下にあるときは、図５(a)に
示す狭いパルス幅Ｔ₁の第１の電磁弁駆動信号ＶＬによ
り上流側電磁弁２１を駆動する。そして、圧力センサ７
の検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限値ＳＰ_U以上にあると
きは図５(b)に示す広いパルス幅Ｔ₂ の第２の電磁弁駆
動信号ＶＨによって下流側電磁弁２２を駆動し、しかる
後その検出値ＰＶが設定値ＳＰと上限値ＳＰ_U の範囲内
にあるときは図５(c)に示す狭いパルス幅Ｔ₃（ただしＴ
₁＝Ｔ₃）の第２の電磁弁駆動信号ＶＨによって下流側電
磁弁２２を駆動することにより、減圧弁６の２次側圧力
Ｐ₀ を調整するものとなっている。なお、図中同一符号
は同一または相当部分を示している。

【００２２】次に上記実施例の動作について説明する。
まずキャリアガス圧力制御部２４において圧力センサ７
の検出値ＰＶが設定値ＳＰの下限値ＳＰ_D以下の場合、
２次側圧力Ｐ_Oは設定圧力より低い。この時、ＣＰＵ２
３は圧力センサ７からの検出値ＰＶを受けて圧力増加方
向と判断し、その第１のゲートパルスＧＰ_L を駆動ゲー
ト部２５に出力する。そして、キャリアガス圧力制御部
２４は第１の電磁弁駆動信号ＶＬ_COのみを「Ｈ」レベル
（オン信号）とし、その信号ＶＬ_COが駆動ゲート部２５
のスイッチ２５₁ に入力されて第１のゲートパルスＧＰ
_Lでオン，オフ制御され、図５(a)に示すような狭いパル
ス幅Ｔ₁ の信号が電磁弁駆動部２６に入力される。

【００２３】これにより、電磁弁駆動部２６は図５(a)
に示すパルス幅Ｔ₁の信号ＶＬによって上流側電磁弁２
１を開く一方、下流側電磁弁２２を全閉状態に保持し、
減圧弁６の背圧室１１Ｂに供給されるキャリアガスＣＧ
の圧力を増加させる。すると、その背圧Ｐ_N が増大し、
ダイヤフラム１２を圧縮コイルばね１６に抗して下方に
変位させ、ポペット弁１５を開く。従って、圧力室１１
Ａへ供給されるキャリアガスＣＧの圧力が増加し、２次
側圧力Ｐ_Oを増加させる。２次側圧力Ｐ_Oが増加して設定
圧力と一致すると、検出値ＰＶが設定値ＳＰの下限値Ｓ
Ｐ_D 内に入るため上流側電磁弁２１を閉鎖する。

【００２４】一方減圧弁６の圧力調整時に、図２に示す
ように、圧力センサ７の検出値ＰＶが設定値ＳＰの上限
値ＳＰ_U を越えると、ＣＰＵ２３は圧力センサ７からの
検出値ＰＶを受けて圧力減少方向と判断し、それに応じ
た第２のゲートパルスＧＰ_Hを駆動ゲート部２５に出力
する。そして、キャリアガス圧力制御部２４は第２の電
磁弁駆動信号ＶＨ_COのみを「Ｈ」レベル（オン信号）と
し、その信号が駆動ゲート部２５のスイッチ２５₂ に入
力されてパルス幅の広い第２のゲートパルスＧＰ_Hでオ
ン・オフ制御され、図５(b)に示すような広いパルス幅
Ｔ₂ の信号ＶＬが電磁弁駆動部２６を通して下流側電磁
弁２２に入力される。

【００２５】これにより下流側電磁弁２２は開いて背圧
Ｐ_N を下げる。すると、その分だけダイヤフラム１２が
上方に変位してポペット弁１５が閉まり、２次側圧力Ｐ
_O を低下させる。その結果、２次側圧力Ｐ₀は次第に低
下する。そして検出値ＰＶが時点Ｑで上限値ＳＰ_U より
低下すると、ＣＰＵ２３はパルス幅の狭い第２のゲート
パルスＧＰ_H を駆動ゲート部２５に入力し、その制御ゲ
ート部２５から出力される図５(c)に示すような狭いパ
ルス幅Ｔ₃の信号ＶＨによって下流側電磁弁２２のみを
駆動する。これにより減圧弁６は上述と同様に動作し
て、２次側圧力Ｐ_Oが設定圧と一致すると、検出値ＰＶ
が設定値ＳＰの下限値ＳＰ_D 内に入り、第１及び第２の
電磁弁駆動信号ＶＬ，ＶＨが共に「Ｌ」レベル（オフ信
号）となり、下流側電磁弁２２を閉鎖する。

【００２６】このように本実施例によると、減圧弁６の
圧力調整時に、図２に示すように、設定値ＳＰに対して
の上限値ＳＰ_U をＳＰ＋０．１５Kgf／cm²とし、その下
限値ＳＰ_D を０．９７・ＳＰ（測定限界値３％）とした
とき、圧力センサ７の検出値ＰＶがその上限値ＳＰ_U 以
上にある場合（ＰＶ＞ＳＰ＋０．１５）、広いパルス幅
Ｔ₂の信号ＶＬとして例えばデューティ比５０％のパル
スによりキャリアガス圧力減少用の下流側電磁弁２２を
駆動する。

【００２７】そして、その検出値ＰＶが設定値ＳＰと上
限値ＳＰ_U の範囲内にあるとき（ＳＰ≦ＰＶ≦ＳＰ＋
０．１５）、狭いパルス幅Ｔ₃ の信号ＶＬとして例えば
デューティ比１０％のパルスによって下流側電磁弁２２
を駆動することにより、図２に示すように、減圧弁６の
２次側圧力Ｐ₀を圧力調整時間Ｔａ（１０秒）以内に静
止域（０．９７・ＳＰ≦ＰＶ＜ＳＰ）内に設定できる。
そのため、従来例の図３(a)及び(b)に示すように圧力調
整途中の状態で時間切れになることはなくなり、安定し
た状態で測定することができる。

【００２８】なお、このとき減圧弁６の２次側圧力Ｐ₀
が１回目の０．９７・ＳＰ≦ＰＶ＜ＳＰの状態になった
場合、その圧力調整時間内は更に圧力調整を行なわない
（ただし、ＰＶ＜０．９７・ＳＰとなったときは次の回
に圧力調整を行う）。

【００２９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、減圧弁の
圧力調整時に、圧力センサの検出値が基準の設定値に対
応して予め設定された上限値以上にあるときキャリアガ
ス圧力減少用の電磁弁をパルス幅の広い駆動信号で駆動
し、次いでその圧力センサの検出値が基準の設定値と上
限値の範囲内にあるときはさらにキャリアガス圧力減少
用電磁弁をパルス幅の狭い駆動信号によって駆動するこ
とにより、圧力調整時間内にその２次側圧力を静止域内
に確実に戻すことができる。そのため、たとえ減圧弁の
圧力調整を行っても、被測定ガスを測定するときには安
定した状態で測定ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を説明するためのガスクロマ
トグラフの基本構成図である。

【図２】本実施例の動作を説明するための図である。

【図３】図２と対比して示した従来例による動作説明図
である。

【図４】通常のガスクロマトグラフの圧力調整と測定の
動作態様を示す説明図である。

【図５】本実施例における各電磁弁を駆動するパルス信
号の波形図である。

【図６】従来技術におけるキャリアガス流量コントロー
ル装置の基本構成図である。

【図７】通常のガスクロマトグラフの基本構成図であ
る。

【符号の説明】

１アナライザ本体２サンプルバルブ３カラム４検出器６減圧弁７圧力センサ２１，２２電磁弁２３ＣＰＵ２４キャリアガス圧力制御部２５駆動ゲート部２６電磁弁駆動部

フロントページの続き (56)参考文献特開昭61−71352（ＪＰ，Ａ) 特開平３−74612（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−39615（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】キャリアガスを減圧弁およびサンプルバ
ルブを経てカラムに導き、該サンプルバルブの流路切替
によりサンプルガスをカラムに導いて各ガス成分に分離
し、これを検出器によって検出するガスクロマトグラフ
において、キャリアガスの供給側に接続された第１の減圧室，その
第１の減圧室とポペット弁を介して連通された第２の減
圧室，前記ポペット弁が連動するダイヤフラムをはさん
で前記第２の減圧室と隔離された背圧室からなり前記キ
ャリアガスの圧力を調整する減圧弁と、前記第２の減圧室より取り出されるキャリアガスが供給
される前記減圧弁の２次側圧力を検出する圧力センサ
と、基準の設定値とこの設定値に対して予め設定された上限
値及び下限値を有し、この設定値と前記圧力センサの検
出値を比較してその比較結果に基づき第１，第２の駆動
信号を出力するキャリアガス圧力制御手段と、前記キャリアガス供給側より前記背圧室に接続する分岐
路へ接続する第１の背圧流路に配置され、前記第１の駆
動信号により駆動されて前記第１の背圧流路の開閉を行
うキャリアガス圧力増加用電磁弁と、前記２次側より前記分岐路へ接続する第２の背圧流路に
配設され、前記第２の駆動信号により駆動されて前記減
圧弁の第２の背圧流路の開閉を行うキャリアガス圧力減
小用電磁弁とを備え、前記圧力センサの検出値が前記下限値より小さいとき
は、前記第１の駆動信号により前記キャリアガス増加用
電磁弁を動作させ、前記圧力センサの検出値が前記上限値以上にあるとき
は、オン動作のパルス幅が広いデューティ比の第１のパ
ルス信号とした前記第２の駆動信号により前記キャリア
ガス圧力減少用電磁弁をオンオフ駆動し、次いで前記検出値が前記基準の設定値と前記上限値の範
囲内にあるときは、オン動作のパルス幅が狭いデューテ
ィ比の第２のパルス信号とした前記第２の駆動信号によ
り前記キャリアガス圧力減小用電磁弁をオンオフ駆動す
ることにより、前記２次側圧力を前記設定値と前記下限
値の範囲内に設定することを特徴とするガスクロマトグ
ラフのキャリアガス圧力調整方法。