JPH0545350A - ガスクロマトグラフの減圧弁調整方法 - Google Patents

ガスクロマトグラフの減圧弁調整方法

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JPH0545350A
JPH0545350A JP22636391A JP22636391A JPH0545350A JP H0545350 A JPH0545350 A JP H0545350A JP 22636391 A JP22636391 A JP 22636391A JP 22636391 A JP22636391 A JP 22636391A JP H0545350 A JPH0545350 A JP H0545350A
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pressure
reducing valve
valve
column
pressure reducing
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JP22636391A
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Misako Kiyota
美佐子 清田
Hiroyuki Muto
裕行 武藤
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Azbil Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電磁弁を用いて減圧弁の圧力調整をする際
に、カラムのつまりを自動的に診断するとともに、その
つまり検出がガスクロマトグラフとしての測定時間に影
響を与えないようにする。。 【構成】 減圧弁6の圧力調整を行う場合、あらかじめ
第1の駆動信号VLにより上流側電磁弁21を駆動して
その電磁弁を開いて、圧力センサ7で検出される減圧弁
6の2次側圧力P0 を測定する。そして、その検出値P
Vとカラム3毎に設定された基準値を比較し、その結果
に基づいてカラム3のつまりを測定し診断する。従っ
て、カラム3につまりが生じると、減圧弁6の2次側圧
力の立ち上がり時定数が遅れるので、その時定数を測定
することによりカラム3の劣化度合いを検出できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はカラム内に充填された充
填剤とガスとの吸着性の差を利用してガス分析を行うガ
スクロマトグラフの減圧弁調整方法に関し、特にプロセ
スガスクロマトグラフにおいてキャリアガスの圧力を調
整する減圧弁の圧力調整を行う際にカラムのつまりを自
動的に診断する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】石油化学プロセスや鉄鋼プロセス等にお
いてプロセスガスに成分分析を行い、その分析結果に基
づいて各プロセス工程を監視したり、各種制御を行った
りするための検出装置としてガスクロマトグラフが従来
から一般的に用いられている。
【0003】図10はこの種のガスクロマトグラフの基
本的構成を示す図で、恒温槽を形成し所定温度に保持さ
れるアナライザ本体1,サンプルバルブ2,カラム3,
検出器4,計量管5,ヘリウム等のキャリアガスCGを
所定圧に減圧する減圧弁6等を備え、測定時にサンプル
バルブ2の流路を実線の状態から破線の状態に切替える
ことにより、計量管5によって分取した測定すべきサン
プルガスSGをキャリアガスCGによってカラム3内に
送り込むようにしている。
【0004】このカラム3にはサンプルガスSGに応じ
て異なるが、活性炭,活性アルミナ,モレキュラーシー
ブ等の粒度を揃えた粉末が固定相として充填されてお
り、この固定相とサンプルガス中の各ガス成分との吸着
性や分配係数の差異に基づく移動速度の差を利用して、
各ガス成分を相互に分離し、これを熱伝導度検出器等の
検出器4によって検出し電気信号に変換する。この電気
信号はガス成分濃度に比例し、これをコントローラ7に
より波形処理したり記録紙に記録する。一方、非測定時
にはサンプルバルブ2の流路を実線図示の状態に切替え
ることにより、キャリアガスCGをカラム3および検出
器4へ導いている。
【0005】ここで減圧弁6は、キャリアガス供給流路
13およびキャリアガス排出流路14に連通する内室3
1,この内室31を上下2つの室に仕切るダイヤフラム
32,ポペット弁33,圧縮コイルばね34などを備え
る。この内室31の上側の室にはダイヤフラム32を下
側の室側に付勢する圧力設定用の圧縮コイルばね35
と、圧縮コイルばね35の上端を保持するばね受け部材
36とが配設され、このばね受け部材36を圧力設定用
ねじ37によって上下動させると圧縮コイルばね35の
ばね圧が調整される。そして下側の室側にはシートリン
ク(図示せず)とその流通孔を開閉制御するポペット弁
33が圧縮コイルばね34に対向して配設され、圧力調
節用ねじ37を手動操作で回してキャリアガスCGの2
次圧PO (出力圧)を設定圧力と等しくするものとなっ
ている。
【0006】しかしながら、このようなガスクロマトグ
ラフにおいて、キャリアガスの1次圧変動,振動,負荷
変動,減圧弁6の周囲温度特性等によってキャリアガス
の2次側圧力PO が変動すると、その流量も変化するた
め、カラム3によるガス成分の分離状態および検出器4
におけるブリッジ回路のバランスが崩れ、これによりベ
ース電圧が変動し、分析値がシフトしたり測定不能にな
る場合が生じる。そのため、その都度圧力設定用ねじ3
7を回して減圧弁6の設定圧を変えているが、わざわざ
装置のところまで行き、圧力設定用ねじ37を手動操作
することは非常に面倒で、圧力変動に迅速に対処できな
いという問題があった。
【0007】このような問題を解消するため、同一出願
人は、キャリアガスの圧力調整を行う減圧弁6を電磁弁
を介したキャリアガスの圧力で駆動するキャリアガス流
量コントロール装置を提案しており、その基本構成を図
9に示す。
【0008】この装置は、図9に示すように、内室11
と,内室11を上下2つの室11Aと11Bに仕切るダ
イヤフラム12と,内室11に連通するキャリアガス供
給通路13およびキャリアガス排出通路14と,ポペッ
ト弁15と,圧縮コイルばね16等を備え、下側の室1
1Aが圧力室、上側の室11Bが背圧室をそれぞれ形成
している。そして、キャリアガス供給流路13より送ら
れてくるキャリアガスCGの圧力を所定圧P0 に減圧す
る背圧室11Bには1つの出入口17を有し、この出入
口17はキャリアガス供給流路13から分岐されキャリ
アガス排出流路14に連通する背圧流路18に分岐路1
9を介して連通されている。また、分岐路19には焼結
金属等からなる固定絞り20が配置されている。
【0009】また、背圧流路18には分岐路19を挟ん
でその上流側と下流側に位置する2つの電磁弁21,2
2が配置され、さらに下流側電磁弁22の下流側には減
圧弁6の2次側圧力PO を検出する圧力センサ7が設け
られている。従って、キャリアガスCGはキャリアガス
供給流路13を経て減圧弁6の圧力室11A側に1次側
圧力PS として送られるとともに、上流側電磁弁21を
開くと、背圧流路18−分岐路19−固定絞り20を通
って背圧室11Bにも背圧PN として送られ、この背圧
Nを、1次側圧力PSと圧縮コイルばね16のばね圧の
和と対応させている。そして背圧PN は下流側電磁弁2
2を開くと低下する。
【0010】29は減圧弁6を駆動してそのキャリアガ
ス圧力を任意の設定値に制御するためのキャリアガス流
量コントローラで、圧力センサ7からの検出値PVと予
め設定されたキャリアガス圧力設定値(以下、設定値)
SPとを比較し、その比較結果に基いて2つの電磁弁2
1,22を開閉制御して、2次側圧力PO が常に設定圧
となるようにしている。この場合、キャリアガスCGの
1次側圧力PS ,背圧PNおよび2次側圧力POの関係
は、PS≧PN>PO となる。
【0011】すなわち、圧力サンサ7の検出値PVが設
定値SPの下限値以下の場合、2次側圧力PO は設定圧
力より低い。このとき、キャリアガス流量コントローラ
29からの信号によって上流側電磁弁21を開く一方、
下流側電磁弁22を全閉状態に保持し、背圧室11Bに
供給されるキャリアガスCGの圧力を増加させる。する
と、背圧PN が増大し、ダイヤフラム12を圧縮コイル
ばね16に抗して下方に変位させ、ポペット弁15を開
く。
【0012】従って、圧力室11AへのキャリアガスC
Gの圧力が増加し、2次側圧力POを増大させる。2次
側圧力PO が増加して設定圧力と一致すると、検出値P
Vが設定値SPの範囲内に入るため上流側電磁弁21を
閉鎖する。外乱等により2次側圧力PO が設定圧力より
大きくなり、検出値PVが設定値SPの上限値を越える
と、今度は下流側電磁弁22を開いて背圧PN を下げ
る。すると、その分だけダイヤフラム12が上方に変位
してポペット弁15が閉まり、2次側圧力PO を低下さ
せる。そして2次側圧力PO が設定圧と一致すると、下
流側電磁弁22を閉鎖する。
【0013】このように2つの電磁弁21,22で減圧
弁6の圧力調整を行う装置は、1次圧変動,振動,負荷
変動,減圧弁の周囲温度特性等のよってガスクロマトグ
ラフの分析値がドリフトしたりすることがなく、安定に
ガス分析を行うことができるとともに、減圧弁の設定圧
力を自動的に可変設定することができる等の利点を有し
ている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】ところで、プロセスガ
スクロマトグラフは、石油化学プロセス等においてプラ
ントの運転状態を常時制御または監視するために連続的
に分析を行うようになっている。しかし、そのサンプル
中の重質共存成分が長期間使用中にカラムに蓄積した
り、あるいはカラム充填材の経年変化などにより測定成
分の分離が悪くなると、測定が不能になることから、そ
のカラムを容易に診断する方法が望まれていた。
【0015】本発明は以上の点に鑑みてなされたもの
で、2つの電磁弁を用いて減圧弁の圧力調整を行う際
に、カラムのつまりを自動的に診断するとともに、その
検出がガスクロマトグラフとしての測定時間に影響を与
えなくするようにしたガスクロマトグラフの減圧弁調整
方法を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るガスクロマトグラフの減圧弁調整方法
は、キャリアガスの圧力を調整する減圧弁の2次側圧力
を検出する圧力センサと、この圧力センサの検出値と基
準の設定値を比較し、その比較結果に基づいて第1,第
2の駆動信号を出力するキャリアガス圧力制御手段と、
前記第1の駆動信号によって駆動され減圧弁の2次側圧
力を増加させるためのキャリアガス圧力増加用の第1の
電磁弁と、前記第2の駆動信号によって駆動され減圧弁
の2次側圧力を減少させるためのキャリアガス圧力減少
用の第2の電磁弁とを備え、減圧弁の圧力調整を行う際
に、あらかじめ前記第1の電磁弁を開いてその減圧弁の
2次側圧力を検出し、次いでその検出値とカラム毎に決
められた基準値とを比較して、その比較結果に基づきカ
ラムのつまりを診断する工程を含むことを特徴とするも
のである。
【0017】
【作用】本発明においては、カラムにつまりが生じる
と、減圧弁の2次側圧力の立ち上がり特性いわゆる時定
数が遅れることを利用して、その時定数を測定すること
によりカラムの劣化度合が検出でき、カラムのつまりを
自動的に診断できる。
【0018】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を説明するた
めのガスクロマトグラフの基本構成図である。この実施
例においてキャリアガスの圧力調整を行う減圧弁6を上
流側電磁弁21と下流側電磁弁22を介したキャリアガ
スCGの圧力で駆動するように構成されている点は上述
した図9のものと同様であるが、減圧弁6の2次側圧力
を検出する圧力センサ7の検出値PVがA/D変換器2
7を経てコントローラとしてのCPU(マイクロコンピ
ュータ)23に入力されている。そしてCPU23は圧
力センサ7からの検出値PVが圧力増加方向か、あるい
は圧力減少方向かを判断し、それに応じた第1及び第2
のゲートパルスGPL,GPHを駆動ゲート部25に出力
するとともに、基準の設定値SPをキャリアガス圧力制
御部24に出力したり、さらに圧力センサ7の検出値P
Vによりカラム3のつまりを診断する機能を有してい
る。
【0019】このキャリアガス圧力制御部24は、圧力
センサ7の検出値PVがCPU23から送出される設定
値SPの許容範囲内にあるとき、キャリアガス圧力増加
用の第1の電磁弁駆動信号VLCO,キャリアガス圧力減
少用の第2の電磁弁駆動信号VHCOを「L」レベル(オ
フ信号)とし、検出値PVが設定値SP以下にあるとき
は第1の電磁弁駆動信号VLC0のみを「H」レベル(オ
ン信号)とする。そして検出値PVが設定値SP以上に
あるときは第2の電磁弁駆動信号VHC0のみを「H」レ
ベル(オン信号)とし、そのVLC0,VHCOの信号を駆
動ゲート部25の各スイッチ251,252にそれぞれ入
力する。
【0020】また、駆動ゲート部25はCPU23から
出力されるキャリアガス圧力制御に対応した第1及び第
2のゲートパルスGPL,GPHによって第1及び第2の
電磁弁駆動信号VLCO,VHC0をそれぞれオン・オフ制
御して所定のパルス幅をもつ信号に変換したうえ、電磁
弁駆動部26に出力する。これにより電磁弁駆動部26
は、駆動ゲート部25のスイッチ251 より出力される
所定のパルス幅をもつ第1の電磁弁駆動信号VLによっ
て上流側電磁弁21を開閉制御するとともに、駆動ゲー
ト部25のスイッチ252 より出力される所定のパルス
幅をもつ第2の電磁弁駆動信号VHによって下流側電磁
弁22を開閉制御することにより、減圧弁6の2次側圧
力P0 を設定圧SPに調整するものとなっている。
【0021】この場合、CPU23は、減圧弁6の圧力
調整を行うに際し、あらかじめ第1の電磁弁駆動信号V
Lにより上流側電磁弁21を駆動してその電磁弁を開い
て、圧力センサ7で検出される減圧弁6の2次側圧力P
0 を測定する。そしてその検出値PVとカラム3毎に設
定された基準値とを比較したうえ、その比較結果に基づ
きカラム3のつまりを測定して診断するものとなってい
る。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示して
いる。
【0022】次に上記実施例の動作について説明する。
ここで、ガスクロマトグラフは、一般的に図2に示すよ
うに減圧弁6の圧力調整Aと測定Bとを交互に繰り返す
動作を行っており、例えば1周期Tを3分としたとき減
圧弁6の圧力調整時間Aを1分とする。そして、減圧弁
6の2次側圧力P0 は、図3に示すように、カラム3が
新品のとき立ち上がりの速い特性aを有し、半年後,1
年後とカラム3のつまりに伴って立ち上がりの遅い特性
b,cを有しており、その時定数がカラム3のつまりに
応じて遅れてくる。また、カラム毎に圧力の設定値SP
は決められており、減圧弁6の2次側圧力P0 はその設
定値SPで調整されているものとする。
【0023】しかして、減圧弁6の圧力調整時におい
て、まず圧力センサ7が減圧弁6の2次側圧力P0 を検
出してCPU23に入力すると、CPU23は前記設定
値SPに対応した検出値をPV1 として読み込む(図4
参照)。次に、キャリア圧力制御部24はその検出値P
1 を受けて第1の電磁弁駆動信号VLを駆動ゲート部
25のスイッチ251 を通して電磁弁駆動部26へ入力
し、上流側電磁弁21のみを駆動する。するとこの電磁
弁21は開動作して、前述したように減圧弁6の2次側
圧力P0 が図4に示すように増加する。この時CPU2
3は、所定時間t(例えば5秒)の経過後の2次側圧力
を検出し、その検出値をPV2 として読み込む。なお、
このとき上流側電磁弁21のみをt秒間開動作して、そ
の後検出値PV2 を測定してもよい。
【0024】これにより、CPU23は各々の検出値P
2とPV1の差Pnを求めたうえ、その差Pnとカラム
3に応じて決められた所定の基準値Pa(図5参照)と
を比較する。すなわち、新品のカラムにおける基準値P
aはあらかじめ測定してCPU23のROM23a内に
貯えておくと、このPaとPnとを比較し、その結果に
基づきカラム3のつまりを検出する。例えば、Pn<
0.5・Paとなると、カラム交換を行うなど自己診断
に利用できる。また、このカラム診断の頻度としては月
1回位が好適である。図5中Pb,Pcはそれぞれ半
年,1年後のカラム3に対応した基準値を示している。
【0025】なお、カラム3のつまりを検出する場合、
別の方法としては上記初期値PV1=0としてt秒後の
測定値PV2 までのスパン(SPAN)分のみ検出し比
較することも可能である。このとき、tを適当な値に設
定すると、図6に示すように、カラムつまり検出時間T
b(例えば10秒)の経過後の圧力調整時間Tc(例え
ば50秒)を利用して設定値SPへの復帰は十分可能で
ある。ただし、PV2>SPとなるので、圧力調整は必
須となる。
【0026】次に、このようにしてカラム3のつまりを
診断したのち、前述と同様に減圧弁6の圧力調整を行
う。すなわち、例えば図7に示すように、まずキャリア
ガス圧力制御部24において圧力センサ7の検出値PV
が下限値SPD 以下の場合、2次側圧力PO は設定圧力
より低い。すると、CPU23は圧力センサ7からの検
出値PVを受けて圧力増加方向と判断し、その第1のゲ
ートパルスGPL を駆動ゲート部25に出力する。そし
てキャリアガス圧力制御部24は第1の電磁弁駆動信号
VLCOのみを「H」レベル(オン信号)とし、その信号
VLCOが駆動ゲート部25のスイッチ251に入力され
て第1のゲートパルスGPLでオン,オフ制御され、そ
の信号が電磁弁駆動部26に入力される。
【0027】これにより、電磁弁駆動部26はその信号
VLによって上流側電磁弁21を開く一方、下流側電磁
弁22を全閉状態に保持し、減圧弁6の背圧室11Bに
供給されるキャリアガスCGの圧力を増加させる。する
と、その背圧PN が増大し、ダイヤフラム12を圧縮コ
イルばね16に抗して下方に変位させ、ポペット弁15
を開く。したがって、圧力室11Aへ供給されるキャリ
アガスCGの圧力が増加し、2次側圧力POを増加させ
る。2次側圧力POが増加して設定圧力と一致すると、
検出値PVが設定値SPの下限値SPD 内に入るため上
流側電磁弁21を閉鎖する。
【0028】また、図7に示すように、圧力センサ7の
検出値PVが設定値SPの上限値SPU を越えると、C
PU23は圧力センサ7からの検出値PVを受けて圧力
減少方向と判断し、それに応じた第2のゲートパルスG
H を駆動ゲート部25に出力する。そしてキャリアガ
ス圧力制御部24は第2の電磁弁駆動信号VHCOのみを
「H」レベル(オン信号)とし、その信号が駆動ゲート
部25のスイッチ252に入力されてパルス幅の広い第
2のゲートパルスGPHでオン・オフ制御され、広いパ
ルス幅の信号VHが電磁弁駆動部26を通して下流側電
磁弁22に入力される。
【0029】これにより下流側電磁弁22は開いて背圧
N を下げる。すると、その分だけダイヤフラム12が
上方に変位してポペット弁15が閉まり、2次側圧力P
O を低下させる。そのため、2次側圧力P0は次第に低
下し上限値SPUより低下すると、CPU23はパルス
幅の狭い第2のゲートパルスGPH を駆動ゲート部25
に入力し、その制御ゲート部25から出力される狭いパ
ルス幅の信号VHによって下流側電磁弁22のみを駆動
する。これにより減圧弁6は上述と同様に動作して、2
次側圧力PO が設定圧と一致すると、検出値PVが設定
値SPの下限値SPD 内に入り、第1及び第2の電磁弁
駆動信号VL,VHが共に「L」レベル(オフ信号)と
なり、下流側電磁弁22を閉鎖する。
【0030】このように、減圧弁6の圧力調整時に、図
7に示すように、設定値SPに対して上限値SPU をS
P+0.15Kgf /cm2 とし、その下限値SPD を0.
97・SP(測定限界値3%)としたとき、圧力センサ
7の検出値PVがその上限値SPU 以上にある場合(P
V>SP+0.15)、広いパルス幅の信号VHとして
例えばデューティ比50%のパルスによりキャリアガス
圧力減少用の下流側電磁弁22を駆動する。
【0031】そして、その検出値PVが設定値SPと上
限値SPU の範囲内にあるとき(SP≦PV≦SP+
0.15)、狭いパルス幅の信号VHとして例えばデュ
ーティ比10%のパルスによって下流側電磁弁22を駆
動することにより、図7に示すように、減圧弁6の2次
側圧力P0 を所定の圧力調整時間Ta以内に静止域
(0.97・SP≦PV<SP)内に設定できる。その
ため、圧力調整途中の状態で時間切れになることはなく
なり、安定した状態で測定することができる。
【0032】なお、このような減圧弁6の圧力調整にお
いて、より制御性を高めるために、下流側電磁弁22が
1回開動作したときの圧力増加量(図7のピーク点Q
1 )を減らすことも有効である。すなわち、図8に示す
ように、上流側電磁弁21と下流側電磁弁22との間に
ダイオード28を挿入して、上流側電磁弁21が開動作
にあるとき、下流側電磁弁22も同時に開動作させる。
これにより、減圧弁6の2次側圧力を、図7の太線に示
すように、上流側電磁弁21のみを開動作させたときに
比べて、例えば2/3位の圧力上昇とすることができる
(図7のピーク点Q2 )。
【0033】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ガスクロ
マトグラフにおいて減圧弁の圧力調整時を行う際に、カ
ラムのつまりに応じて減圧弁の2次側圧力の立ち上がり
時定数が遅れることを利用して、その時定数を測定する
ことによりカラムの劣化度合が検出できる。そのため、
カラムのつまりを自動的に診断できるとともに、そのカ
ラムつまり検出がガスクロマトグラフとしての測定時間
に影響を与えないので、高速測定の可能なガスクロマト
グラフに有効である。
【0034】また、本発明の別の発明によれば、キャリ
アガス圧力増加用の第1の電磁弁とキャリアガス圧力減
少用の第2の電磁弁によって減圧弁の圧力調整を行う場
合、その第1の電磁弁を開くとき第2の電磁弁も同時に
開くことにより、その制御性を高めることができる利点
を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を説明するためのガスクロマ
トグラフの基本構成図である。
【図2】本実施例の説明に供する減圧弁の圧力調整と測
定の動作態様を示す図である。
【図3】本実施例の説明に供するカラムのつまりによる
減圧弁の2次側圧力の立ち上がり特性を示す図である。
【図4】本実施例の動作を説明するための説明図であ
る。
【図5】本実施例の動作を説明するための説明図であ
る。
【図6】本実施例の動作を説明するための説明図であ
る。
【図7】本実施例の動作を説明するための説明図であ
る。
【図8】本実施例の減圧弁を駆動する駆動部の変形例を
示す概略図である。
【図9】従来技術におけるキャリアガス流量コントロー
ル装置の基本構成図である。
【図10】通常のガスクロマトグラフの基本構成図であ
る。
【符号の説明】
1 アナライザ本体 2 サンプルバルブ 3 カラム 4 検出器 6 減圧弁 7 圧力センサ 21 第1の電磁弁 22 第2の電磁弁 23 CPU 24 キャリアガス圧力制御部 25 駆動ゲート部 26 電磁弁駆動部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 キャリアガスを減圧弁およびサンプルバ
    ルブを経てカラムに導き、該サンプルバルブの流路切替
    によりサンプルガスをカラムに導いて各ガス成分に分離
    し、これを検出器によって検出するガスクロマトグラフ
    において、 前記減圧弁の2次側圧力を検出する圧力センサと、該圧
    力センサの検出値と基準の設定値を比較し、その比較結
    果に基づいて第1,第2の駆動信号を出力するキャリア
    ガス圧力制御手段と、前記第1の駆動信号によって駆動
    され前記減圧弁の2次側圧力を増加させるためのキャリ
    アガス圧力増加用の第1の電磁弁と、前記第2の駆動信
    号によって駆動され前記減圧弁の2次側圧力を減少させ
    るためのキャリアガス圧力減少用の第2の電磁弁とを備
    え、前記減圧弁の圧力調整を行う際に、あらかじめ前記
    第1の電磁弁を開いてその減圧弁の2次側圧力を前記圧
    力センサで検出し、次いでその検出値とカラム毎に決め
    られた基準値とを比較して、その比較結果に基づき前記
    カラムのつまりを診断する工程を含むことを特徴とする
    ガスクロマトグラフの減圧弁調整方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において、第1及び第2の駆動
    信号に応じてそれぞれ第1,第2の電磁弁を駆動して減
    圧弁の圧力調整を行う場合、第1の電磁弁を開くとき、
    第2の電磁弁も同時に開くことを特徴とするガスクロマ
    トグラフの減圧弁調整方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7559227B2 (en) * 2006-12-15 2009-07-14 Agilent Technologies, Inc. Pneumatic testing for gas chromatograph inlet
CN114127551A (zh) * 2018-12-10 2022-03-01 株式会社日立高新技术 液相色谱质谱分析装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7559227B2 (en) * 2006-12-15 2009-07-14 Agilent Technologies, Inc. Pneumatic testing for gas chromatograph inlet
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