JPH05118857A - 振動ジヤイロの製造方法 - Google Patents
振動ジヤイロの製造方法Info
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- JPH05118857A JPH05118857A JP3283274A JP28327491A JPH05118857A JP H05118857 A JPH05118857 A JP H05118857A JP 3283274 A JP3283274 A JP 3283274A JP 28327491 A JP28327491 A JP 28327491A JP H05118857 A JPH05118857 A JP H05118857A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】測定精度を向上させ、信頼性を高めた振動ジャ
イロを製造する。 【構成】駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサをそれぞれ圧電材上に複数個の部分電極を着膜
して形成し、こうして得られた駆動用トランスデューサ
および検出用トランスデューサを振動子に貼着する。 【効果】駆動用、検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成して得られた
圧電材を振動子にそのまま貼着すればよく、貼着の位置
のバラツキを低く抑えることが可能となる。このように
して振動ジャイロの測定精度を向上させ、信頼性を高め
ることができる。
イロを製造する。 【構成】駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサをそれぞれ圧電材上に複数個の部分電極を着膜
して形成し、こうして得られた駆動用トランスデューサ
および検出用トランスデューサを振動子に貼着する。 【効果】駆動用、検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成して得られた
圧電材を振動子にそのまま貼着すればよく、貼着の位置
のバラツキを低く抑えることが可能となる。このように
して振動ジャイロの測定精度を向上させ、信頼性を高め
ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は飛行体、船舶、車両、ロ
ボットなどの位置、姿勢制御に適した振動ジャイロの製
造方法に関し、特に、測定精度を向上させ、信頼性を高
めた振動ジャイロの製造方法に係わる。
ボットなどの位置、姿勢制御に適した振動ジャイロの製
造方法に関し、特に、測定精度を向上させ、信頼性を高
めた振動ジャイロの製造方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図２に示すように、ｘ軸方向
に運動している物体にｚ軸回りに角速度Ωが加わるとｙ
軸方向にコリオリＦcの力が発生することが知られてい
る。この原理を利用し、支持ピン２０で支持された振動
子２１をｘ軸面２１ｘに貼着された駆動用トランスデュ
ーサ２２によりｘ軸方向に屈曲振動を起こさせて速度を
与え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発
生するコリオリの力Ｆcにより起きる屈曲振動をｙ軸面
２１ｙに貼着された検出用トランスデューサ２３により
検知することにより、この角速度Ωを測定する振動ジャ
イロが提案されている（特開昭６２−１０６３１５号、
特開平１−２５００１４号、特開平２−５１０６６号、
特開平２−８０９１１号、特開平２−８２１６４号、特
開平２−１８７６２１号、特開平２−１８７６２２号、
特開平２−２０１２１８号公報）。
に運動している物体にｚ軸回りに角速度Ωが加わるとｙ
軸方向にコリオリＦcの力が発生することが知られてい
る。この原理を利用し、支持ピン２０で支持された振動
子２１をｘ軸面２１ｘに貼着された駆動用トランスデュ
ーサ２２によりｘ軸方向に屈曲振動を起こさせて速度を
与え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発
生するコリオリの力Ｆcにより起きる屈曲振動をｙ軸面
２１ｙに貼着された検出用トランスデューサ２３により
検知することにより、この角速度Ωを測定する振動ジャ
イロが提案されている（特開昭６２−１０６３１５号、
特開平１−２５００１４号、特開平２−５１０６６号、
特開平２−８０９１１号、特開平２−８２１６４号、特
開平２−１８７６２１号、特開平２−１８７６２２号、
特開平２−２０１２１８号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これらの振動ジャイロ
にはその振動子に着目すれば音叉型や図示のような音片
型等色々の種類があるが、何れも振動子２１に駆動用ト
ランスデューサ２２によりｘ軸方向に屈曲運動の振動を
起こさせ、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向
に発生するコリオリの力Ｆcにより起きる振動を検出用
トランスデューサ２３により検知し、角速度Ωを測定す
るものである。この場合、ｘ軸方向の駆動用トランスデ
ューサ２２を励振して振動子２１にｘ軸方向に圧縮、伸
びの屈曲振動を起こさせて速度を与えたとき、振動子２
１におけるｚ軸回りの角速度Ω＝０の時にはｙ軸方向の
検出用トランスデューサ２３には漏れ電圧（null電圧）
が現れないのが理想的である。しかしながら、実際に
は、振動子２１の振動方向は必ずしもｘ軸方向、ｙ軸方
向（励起振動ｆx、コリオリの力により起きる屈曲振動
ｆy）になるのではなく、図３に示すように振動モード
はｆxy、ｆyxの２対の振動モードの合成として存在しｘ
ｙ、ｙｘ方向の対角方向になることがある。このため漏
れ電圧（null電圧）が発生する。
にはその振動子に着目すれば音叉型や図示のような音片
型等色々の種類があるが、何れも振動子２１に駆動用ト
ランスデューサ２２によりｘ軸方向に屈曲運動の振動を
起こさせ、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向
に発生するコリオリの力Ｆcにより起きる振動を検出用
トランスデューサ２３により検知し、角速度Ωを測定す
るものである。この場合、ｘ軸方向の駆動用トランスデ
ューサ２２を励振して振動子２１にｘ軸方向に圧縮、伸
びの屈曲振動を起こさせて速度を与えたとき、振動子２
１におけるｚ軸回りの角速度Ω＝０の時にはｙ軸方向の
検出用トランスデューサ２３には漏れ電圧（null電圧）
が現れないのが理想的である。しかしながら、実際に
は、振動子２１の振動方向は必ずしもｘ軸方向、ｙ軸方
向（励起振動ｆx、コリオリの力により起きる屈曲振動
ｆy）になるのではなく、図３に示すように振動モード
はｆxy、ｆyxの２対の振動モードの合成として存在しｘ
ｙ、ｙｘ方向の対角方向になることがある。このため漏
れ電圧（null電圧）が発生する。
【０００４】そこで振動ジャイロを実際に制作するにあ
たっては、励起振動ｆx、コリオリの力により起きる屈
曲振動ｆyをｘ軸方向、ｙ軸方向に安定させるために、
図４に示すように振動子２１の側面２１ａを切削する方
法が考えられている。また、図５に示すようにｘ軸方向
の駆動用トランスデューサ２２およびｙ軸方向の検出用
トランスデューサ２３を分割し、所謂「輪郭屈曲振動」
を励起して励起振動ｆx、コリオリの力により起きる屈
曲振動ｆyをｘ軸方向、ｙ軸方向に安定させる方法も考
えられている。このトランスデューサ構成では、ｆyxの
対角モードについて言えば、振動の中性面に対して同じ
側に逆位相の電圧を加えることになり、対角モードの振
動を抑圧することになる。
たっては、励起振動ｆx、コリオリの力により起きる屈
曲振動ｆyをｘ軸方向、ｙ軸方向に安定させるために、
図４に示すように振動子２１の側面２１ａを切削する方
法が考えられている。また、図５に示すようにｘ軸方向
の駆動用トランスデューサ２２およびｙ軸方向の検出用
トランスデューサ２３を分割し、所謂「輪郭屈曲振動」
を励起して励起振動ｆx、コリオリの力により起きる屈
曲振動ｆyをｘ軸方向、ｙ軸方向に安定させる方法も考
えられている。このトランスデューサ構成では、ｆyxの
対角モードについて言えば、振動の中性面に対して同じ
側に逆位相の電圧を加えることになり、対角モードの振
動を抑圧することになる。
【０００５】しかしながら、この分割トランスデューサ
の構成を採用することにより、各分割トランスデューサ
の貼着位置の偏りや寸法上のバラツキ等の影響を受ける
のみならず、断面２次モーメントに対しても不平衡で振
動子２１の姿態が軸方向から傾いたものとなり、これが
反って角速度検出時の測定誤差を招く一因となり、逆効
果であった。
の構成を採用することにより、各分割トランスデューサ
の貼着位置の偏りや寸法上のバラツキ等の影響を受ける
のみならず、断面２次モーメントに対しても不平衡で振
動子２１の姿態が軸方向から傾いたものとなり、これが
反って角速度検出時の測定誤差を招く一因となり、逆効
果であった。
【０００６】
【目的】本発明は叙上の難点に鑑みなされたもので、そ
の目的は、測定精度を向上させ、信頼性を高めた振動ジ
ャイロの製造方法を提供せんとするものである。
の目的は、測定精度を向上させ、信頼性を高めた振動ジ
ャイロの製造方法を提供せんとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の振動ジャイロの製造方法は、振動子をｘ軸方
向に振動させて速度を与える駆動用トランスデューサ
と、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生
するコリオリの力により起きる振動を検知する検出用ト
ランスデューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着し、
このｙ軸方向の振動を検知することにより角速度Ωを測
定する振動ジャイロを製造するにあたり、駆動用トラン
スデューサおよび検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成し、こうして
得られた駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサを振動子に貼着するものである。
に本発明の振動ジャイロの製造方法は、振動子をｘ軸方
向に振動させて速度を与える駆動用トランスデューサ
と、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生
するコリオリの力により起きる振動を検知する検出用ト
ランスデューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着し、
このｙ軸方向の振動を検知することにより角速度Ωを測
定する振動ジャイロを製造するにあたり、駆動用トラン
スデューサおよび検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成し、こうして
得られた駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサを振動子に貼着するものである。
【０００８】
【作用】予じめ部分電極と同じパターンのマスキングを
介して圧電材上に金属を蒸着し、部分電極を着膜する。
この圧電材上に部分電極を着膜する際にマスキングを使
用し、よって極めて正確な電極パターンで金属を蒸着し
て部分電極を構成することができる。こうして得られた
駆動用トランスデューサおよび検出用トランスデューサ
は振動子のｘ軸面、ｙ軸面に貼着される。このため振動
子に圧電材をそのまま貼着すればよく、貼着の位置のバ
ラツキを低く抑えることが可能となる。このようにして
振動ジャイロの測定精度を向上させ、信頼性を高めるこ
とができる。
介して圧電材上に金属を蒸着し、部分電極を着膜する。
この圧電材上に部分電極を着膜する際にマスキングを使
用し、よって極めて正確な電極パターンで金属を蒸着し
て部分電極を構成することができる。こうして得られた
駆動用トランスデューサおよび検出用トランスデューサ
は振動子のｘ軸面、ｙ軸面に貼着される。このため振動
子に圧電材をそのまま貼着すればよく、貼着の位置のバ
ラツキを低く抑えることが可能となる。このようにして
振動ジャイロの測定精度を向上させ、信頼性を高めるこ
とができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の振動ジャイロの製造方法を音
片型に適用した実施例につき図面を参照して説明する。
図１において、振動ジャイロは横断面４角形の直方体の
音片で構成された振動子１をｘ軸方向に屈曲運動の振動
を起こさせて速度を与え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けた
ときにｙ軸方向に発生するコリオリの力Ｆcによる振動
を検知することにより、この角速度Ωを測定するもので
ある。
片型に適用した実施例につき図面を参照して説明する。
図１において、振動ジャイロは横断面４角形の直方体の
音片で構成された振動子１をｘ軸方向に屈曲運動の振動
を起こさせて速度を与え、ｚ軸回りに角速度Ωを受けた
ときにｙ軸方向に発生するコリオリの力Ｆcによる振動
を検知することにより、この角速度Ωを測定するもので
ある。
【００１０】本発明の製造方法による振動ジャイロにお
いて、振動子１をｘ軸方向に振動させて速度を与える駆
動用トランスデューサ２と、ｚ軸回りに角速度Ωを受け
たときにｙ軸方向に発生するコリオリの力Ｆcによる振
動を検知する検出用トランスデューサ３とがそれぞれｘ
軸面１x、ｙ軸面１yに貼着されている。なお、図１には
明示されていないが、ｘ軸面１x、ｙ軸面１yの両側に駆
動用トランスデューサ２、検出用トランスデューサ３を
貼着し、従って各軸面に２個のトランスデューサを貼着
することが一般的であり対称性の上で好ましい。図１に
示すように、振動子１は支持棒Ｓにより支持される。
いて、振動子１をｘ軸方向に振動させて速度を与える駆
動用トランスデューサ２と、ｚ軸回りに角速度Ωを受け
たときにｙ軸方向に発生するコリオリの力Ｆcによる振
動を検知する検出用トランスデューサ３とがそれぞれｘ
軸面１x、ｙ軸面１yに貼着されている。なお、図１には
明示されていないが、ｘ軸面１x、ｙ軸面１yの両側に駆
動用トランスデューサ２、検出用トランスデューサ３を
貼着し、従って各軸面に２個のトランスデューサを貼着
することが一般的であり対称性の上で好ましい。図１に
示すように、振動子１は支持棒Ｓにより支持される。
【００１１】この振動子１は温度特性を考慮して一般的
には恒弾性のＮｉ−ＳＰＡＮ−Ｃまたはエリンバなどの
金属、石英、特殊な例として水晶、セラミックなどの電
気絶縁物で構成されている。恒弾性の電気絶縁物として
はヤング率の温度係数が小さく線膨張係数が小さい絶縁
物で、ガラスが好適に採用される。ガラスは恒弾性であ
る他、メカニカルＱが大きく等方的であり、振動子とし
て必要な特性を備えている。ガラスとしては、鉛を含む
低膨張のガラスが特に好ましい。例えば、鉛を含むガラ
スとしては、PbO-SiO2、PbO-B2O3、PbO-P2O5系、R2O-Pb
O-SiO2、R2O-CaO-PbO-SiO2、R2O-ZnO-PbO-SiO2、R2O-Ba
O-PbO-SiO2、R2O-Al2O3-PbO-SiO2(R2O:Na2O、K2O)系ま
たはこれらのSiO2分をB2O3若しくはP2O5で置換した系が
採用できる。
には恒弾性のＮｉ−ＳＰＡＮ−Ｃまたはエリンバなどの
金属、石英、特殊な例として水晶、セラミックなどの電
気絶縁物で構成されている。恒弾性の電気絶縁物として
はヤング率の温度係数が小さく線膨張係数が小さい絶縁
物で、ガラスが好適に採用される。ガラスは恒弾性であ
る他、メカニカルＱが大きく等方的であり、振動子とし
て必要な特性を備えている。ガラスとしては、鉛を含む
低膨張のガラスが特に好ましい。例えば、鉛を含むガラ
スとしては、PbO-SiO2、PbO-B2O3、PbO-P2O5系、R2O-Pb
O-SiO2、R2O-CaO-PbO-SiO2、R2O-ZnO-PbO-SiO2、R2O-Ba
O-PbO-SiO2、R2O-Al2O3-PbO-SiO2(R2O:Na2O、K2O)系ま
たはこれらのSiO2分をB2O3若しくはP2O5で置換した系が
採用できる。
【００１２】一般に、振動ジャイロの製造方法に使用す
る振動子は特に断面２次モーメントの関係で厳密に正ｎ
角形（ｎは３以上の正の整数）である必要があるので、
断面の角度精度、寸法精度等を厳格に規定するため、切
削、研磨して調整を行なう際に、恒弾性絶縁物、特にガ
ラスではその作業が容易である。本発明による振動ジャ
イロの製造方法において、駆動用トランスデューサ２お
よび検出用トランスデューサ３は、それぞれ圧電材４上
に複数個の部分電極２ａ、２ｂ（３ａ、３ｂ）を着膜し
て形成される。この圧電材としてはPZT系、ZnO系、BaTi
O3系などの材料が採用され、電極としては錫、銅、金の
ような金属が使用される。
る振動子は特に断面２次モーメントの関係で厳密に正ｎ
角形（ｎは３以上の正の整数）である必要があるので、
断面の角度精度、寸法精度等を厳格に規定するため、切
削、研磨して調整を行なう際に、恒弾性絶縁物、特にガ
ラスではその作業が容易である。本発明による振動ジャ
イロの製造方法において、駆動用トランスデューサ２お
よび検出用トランスデューサ３は、それぞれ圧電材４上
に複数個の部分電極２ａ、２ｂ（３ａ、３ｂ）を着膜し
て形成される。この圧電材としてはPZT系、ZnO系、BaTi
O3系などの材料が採用され、電極としては錫、銅、金の
ような金属が使用される。
【００１３】成膜方法としては、予じめ部分電極２ａ、
２ｂと同じパターンのマスク（図示せず）を介して圧電
材４上に前記の金属を蒸着し、部分電極２ａ、２ｂを着
膜する。この圧電材４上に部分電極２ａ、２ｂを着膜す
る際にマスキングを使用し、よって極めて正確な電極パ
ターンで金属を蒸着して部分電極２ａ、２ｂ、３ａ、３
ｂを構成することができる。
２ｂと同じパターンのマスク（図示せず）を介して圧電
材４上に前記の金属を蒸着し、部分電極２ａ、２ｂを着
膜する。この圧電材４上に部分電極２ａ、２ｂを着膜す
る際にマスキングを使用し、よって極めて正確な電極パ
ターンで金属を蒸着して部分電極２ａ、２ｂ、３ａ、３
ｂを構成することができる。
【００１４】こうして得られた駆動用トランスデューサ
２および検出用トランスデューサ３は振動子１のｘ軸面
１x、ｙ軸面１yに貼着される。この場合、圧電材４はｘ
軸面１x、ｙ軸面１yと同じ寸法のものとする。このこと
で振動子１に圧電材４をそのまま貼着すればよく、貼着
の位置のバラツキを低く抑えることが可能となる。図１
に示すように、圧電材４の長手方向（ｚ軸方向）の長さ
は振動子１の長手方向（ｚ軸方向）の長さＬの０．６倍
のときに、容量比が最小になるので、最も効率がよい。
２および検出用トランスデューサ３は振動子１のｘ軸面
１x、ｙ軸面１yに貼着される。この場合、圧電材４はｘ
軸面１x、ｙ軸面１yと同じ寸法のものとする。このこと
で振動子１に圧電材４をそのまま貼着すればよく、貼着
の位置のバラツキを低く抑えることが可能となる。図１
に示すように、圧電材４の長手方向（ｚ軸方向）の長さ
は振動子１の長手方向（ｚ軸方向）の長さＬの０．６倍
のときに、容量比が最小になるので、最も効率がよい。
【００１５】また図１に示すように、部分電極２ａ、２
ｂの幅（ｘまたはｙ方向）は全体の幅ｄの１／３になる
ように設定される。このとき所謂「輪郭屈曲振動」の容
量比が最小になるので好ましい。このように構成された
横断面４角形の直方体の音片からなる本発明の振動子１
と、図２に示す振動子２１（比較例１）と、図５に示す
振動子２１（比較例２）とでそれぞれ同寸法の振動ジャ
イロを作成し、ｚ軸回りの角速度Ω＝０のときｘ軸方向
に入力電圧Ｖ1を印加し、ｙ軸方向に発生する出力電圧
Ｖ2の比を測定したところ、表１の結果を得た。
ｂの幅（ｘまたはｙ方向）は全体の幅ｄの１／３になる
ように設定される。このとき所謂「輪郭屈曲振動」の容
量比が最小になるので好ましい。このように構成された
横断面４角形の直方体の音片からなる本発明の振動子１
と、図２に示す振動子２１（比較例１）と、図５に示す
振動子２１（比較例２）とでそれぞれ同寸法の振動ジャ
イロを作成し、ｚ軸回りの角速度Ω＝０のときｘ軸方向
に入力電圧Ｖ1を印加し、ｙ軸方向に発生する出力電圧
Ｖ2の比を測定したところ、表１の結果を得た。
【００１６】
【表１】
【００１７】表１からも明らかなように従来の振動ジャ
イロに比較して対角モードを抑圧する電極構成とするこ
とが可能であり、貼着の位置のバラツキが小さいので、
漏れ電圧（null電圧）を低く抑えることができる。この
ように、この振動ジャイロの製造方法では駆動用トラン
スデューサおよび検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成し、こうして
得られた駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサを振動子に貼着するため、測定精度を向上させ
ることが可能で、信頼性を高くすることができる。
イロに比較して対角モードを抑圧する電極構成とするこ
とが可能であり、貼着の位置のバラツキが小さいので、
漏れ電圧（null電圧）を低く抑えることができる。この
ように、この振動ジャイロの製造方法では駆動用トラン
スデューサおよび検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成し、こうして
得られた駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサを振動子に貼着するため、測定精度を向上させ
ることが可能で、信頼性を高くすることができる。
【００１８】なお、以上の実施例では振動ジャイロの製
造方法を４角形の直方体振動子を使用した音片型に適用
した例について説明したが、本発明の振動ジャイロの製
造方法は横断面ｎ角形（ｎは３または５以上）の多辺体
の音片型にも適用でき、音叉型等に応用する場合につい
ても等しく適用できる。この場合、ｘ軸方向、ｙ軸方向
とはその横断面ｎ角形のｘ軸方向、ｙ軸方向成分をいう
ものとする。
造方法を４角形の直方体振動子を使用した音片型に適用
した例について説明したが、本発明の振動ジャイロの製
造方法は横断面ｎ角形（ｎは３または５以上）の多辺体
の音片型にも適用でき、音叉型等に応用する場合につい
ても等しく適用できる。この場合、ｘ軸方向、ｙ軸方向
とはその横断面ｎ角形のｘ軸方向、ｙ軸方向成分をいう
ものとする。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の振動ジャイロの製造方法によれば、振動子をｘ軸方
向に振動させて速度を与える駆動用トランスデューサ
と、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生
するコリオリの力により起きる振動を検知する検出用ト
ランスデューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着し、
このｙ軸方向の振動を検知することにより角速度Ωを測
定する振動ジャイロを製造するにあたり、駆動用トラン
スデューサおよび検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成し、こうして
得られた駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサを振動子に貼着することにより、測定精度を向
上させ、信頼性を高くすることができる。
明の振動ジャイロの製造方法によれば、振動子をｘ軸方
向に振動させて速度を与える駆動用トランスデューサ
と、ｚ軸回りに角速度Ωを受けたときにｙ軸方向に発生
するコリオリの力により起きる振動を検知する検出用ト
ランスデューサとをそれぞれｘ軸面、ｙ軸面に貼着し、
このｙ軸方向の振動を検知することにより角速度Ωを測
定する振動ジャイロを製造するにあたり、駆動用トラン
スデューサおよび検出用トランスデューサをそれぞれ圧
電材上に複数個の部分電極を着膜して形成し、こうして
得られた駆動用トランスデューサおよび検出用トランス
デューサを振動子に貼着することにより、測定精度を向
上させ、信頼性を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の製造方法による振動ジャイロの斜視
図。
図。
【図２】従来の振動ジャイロの斜視図。
【図３】振動ジャイロの動作を説明する図。
【図４】従来の振動ジャイロの平面図。
【図５】従来の他の振動ジャイロの平面図。
１……振動子 １x……ｘ軸面 １y……ｙ軸面 ２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ……部分電極 ２……駆動用トランスデューサ ３……検出用トランスデューサ ４……圧電材 Ｆc……コリオリの力 Ω……角速度
Claims (1)
- 【請求項１】振動子をｘ軸方向に振動させて速度を与え
る駆動用トランスデューサと、ｚ軸回りに角速度Ωを受
けたときにｙ軸方向に発生するコリオリの力により起き
る振動を検知する検出用トランスデューサとをそれぞれ
ｘ軸面、ｙ軸面に貼着し、このｙ軸方向の振動を検知す
ることにより角速度Ωを測定する振動ジャイロを製造す
るにあたり、前記駆動用トランスデューサおよび前記検
出用トランスデューサをそれぞれ圧電材上に複数個の部
分電極を着膜して形成し、こうして得られた駆動用トラ
ンスデューサおよび検出用トランスデューサを前記振動
子に貼着することを特徴とする振動ジャイロの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283274A JPH05118857A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | 振動ジヤイロの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3283274A JPH05118857A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | 振動ジヤイロの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118857A true JPH05118857A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17663338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3283274A Pending JPH05118857A (ja) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | 振動ジヤイロの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05118857A (ja) |
-
1991
- 1991-10-29 JP JP3283274A patent/JPH05118857A/ja active Pending
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