JPH05104438A - スライシング装置における目立てドレス方法及びその装置 - Google Patents
スライシング装置における目立てドレス方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH05104438A JPH05104438A JP26927791A JP26927791A JPH05104438A JP H05104438 A JPH05104438 A JP H05104438A JP 26927791 A JP26927791 A JP 26927791A JP 26927791 A JP26927791 A JP 26927791A JP H05104438 A JPH05104438 A JP H05104438A
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- Japan
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- cutting
- cutting resistance
- dressing
- work
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェハ切断時に切削抵抗を検出し、自動的に
内周刃をドレスして目立てを行なう。 【構成】 高速回転するブレード３の内周刃５に対して
ワーク８をブレード３の半径方向に移動させることによ
りワーク３を一定厚さに切断してウェハを切り出すよう
になっているスライシング装置において、ワーク切断時
の切削抵抗を検出し、該切削抵抗の大きさに基づいて、
内周刃５に対向して設けた電極１３とブレード３との間
に電圧を印加して内周刃５の電解ドレスを行ない、切削
抵抗を一定に保持する。この方法を実施する装置は、ワ
ーク保持部１０に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を
検出する切削抵抗検出手段１２と、内周刃５に対向して
配置した電極１３と、該電極１３とブレード３との間に
電解ドレス用の直流電圧を印加する電源装置１４と、前
記切削抵抗検出手段１２からの切削抵抗の大きさに基づ
いて電源装置１４をオン，オフする制御手段１５とを備
えている。
内周刃をドレスして目立てを行なう。 【構成】 高速回転するブレード３の内周刃５に対して
ワーク８をブレード３の半径方向に移動させることによ
りワーク３を一定厚さに切断してウェハを切り出すよう
になっているスライシング装置において、ワーク切断時
の切削抵抗を検出し、該切削抵抗の大きさに基づいて、
内周刃５に対向して設けた電極１３とブレード３との間
に電圧を印加して内周刃５の電解ドレスを行ない、切削
抵抗を一定に保持する。この方法を実施する装置は、ワ
ーク保持部１０に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を
検出する切削抵抗検出手段１２と、内周刃５に対向して
配置した電極１３と、該電極１３とブレード３との間に
電解ドレス用の直流電圧を印加する電源装置１４と、前
記切削抵抗検出手段１２からの切削抵抗の大きさに基づ
いて電源装置１４をオン，オフする制御手段１５とを備
えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワークを一定厚さに切断
して集積回路用シリコンウェハ等を切り出すスライシン
グ装置における目立てドレス方法及びその装置に関する
ものである。
して集積回路用シリコンウェハ等を切り出すスライシン
グ装置における目立てドレス方法及びその装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】スライシング装置は、円形開口縁部に内
周刃を有するブレードを回転させる一方、当該ブレード
の開口部にシリコンインゴットからなる円柱状のワーク
の先端部を導入して、半径方向に移動させることによ
り、ワークを一定厚さに切断してウェハを切り出すよう
になっている。このスライシング装置では、内周刃の刃
面の目詰まりにより切削能力が低下し、切断面の粗さが
低下したり、切り出されるウェハに反りが生じたりす
る。従来、このような目詰まりにより切削抵抗が増加す
ると、加工を停止して内周刃の刃面にホワイトストーン
を当てて手動によりドレスを行なっていた。
周刃を有するブレードを回転させる一方、当該ブレード
の開口部にシリコンインゴットからなる円柱状のワーク
の先端部を導入して、半径方向に移動させることによ
り、ワークを一定厚さに切断してウェハを切り出すよう
になっている。このスライシング装置では、内周刃の刃
面の目詰まりにより切削能力が低下し、切断面の粗さが
低下したり、切り出されるウェハに反りが生じたりす
る。従来、このような目詰まりにより切削抵抗が増加す
ると、加工を停止して内周刃の刃面にホワイトストーン
を当てて手動によりドレスを行なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ハ
ンドドレスによる目立てドレス方法では、ホワイトスト
ーンを当てる時間及びドレス量は経験値に基づいてお
り、その作業は熟練を必要とし、極めて困難であるとい
う問題があった。本発明はかかる問題点を解決するのを
課題とし、ウェハ切断時に切削抵抗を検出し、自動的に
内周刃のドレスを行なって目立てすることができるスラ
イシング装置における目立てドレス方法及びその装置を
提供することを目的とする。
ンドドレスによる目立てドレス方法では、ホワイトスト
ーンを当てる時間及びドレス量は経験値に基づいてお
り、その作業は熟練を必要とし、極めて困難であるとい
う問題があった。本発明はかかる問題点を解決するのを
課題とし、ウェハ切断時に切削抵抗を検出し、自動的に
内周刃のドレスを行なって目立てすることができるスラ
イシング装置における目立てドレス方法及びその装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る目立てドレス方法は、高速回転するブ
レードの内周刃に対してワークをブレードの半径方向に
移動させることによりワークを一定厚さに切断してウェ
ハを切り出すようにしたスライシング装置において、ワ
ーク保持部に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を検出
し、該切削抵抗の大きさに基づいて、内周刃に対向して
設けた電極とブレードとの間に電圧を印加して内周刃の
電解ドレスを行ない、切削抵抗を一定に保持するもので
ある。また、本発明に係る目立てドレス装置は、前記ス
ライシング装置において、ワーク切断時の切削抵抗を検
出する切削抵抗検出手段と、内周刃に対向して配置した
電極と、該電極とブレードとの間に電解ドレス用の直流
電圧を印加する電源装置と、前記切削抵抗検出手段から
の切削抵抗の大きさに基づいて電源装置をオン，オフす
る制御手段とを備えたものである。
め、本発明に係る目立てドレス方法は、高速回転するブ
レードの内周刃に対してワークをブレードの半径方向に
移動させることによりワークを一定厚さに切断してウェ
ハを切り出すようにしたスライシング装置において、ワ
ーク保持部に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を検出
し、該切削抵抗の大きさに基づいて、内周刃に対向して
設けた電極とブレードとの間に電圧を印加して内周刃の
電解ドレスを行ない、切削抵抗を一定に保持するもので
ある。また、本発明に係る目立てドレス装置は、前記ス
ライシング装置において、ワーク切断時の切削抵抗を検
出する切削抵抗検出手段と、内周刃に対向して配置した
電極と、該電極とブレードとの間に電解ドレス用の直流
電圧を印加する電源装置と、前記切削抵抗検出手段から
の切削抵抗の大きさに基づいて電源装置をオン，オフす
る制御手段とを備えたものである。
【０００５】
【作用】一般に、スライシング装置では、内周刃に目詰
まりが生じると、切削能力が低下し、ワークの送りに対
して切削速度が遅れ、ワークの保持部における切削抵抗
が増加する。したがって、本発明に係る目立てドレス方
法において、切削抵抗を検出すれば、その切削抵抗の増
加によって刃面に目詰まりが生じたことが検出される。
そして、この切削抵抗の大きさに基づいて電極とブレー
ドとの間に電圧を印加すれば、刃面が電解ドレスされ、
目立てが行なわれる。この結果、内周刃の切れ味が良く
なって切削抵抗が減少し、切削能力が回復する。
まりが生じると、切削能力が低下し、ワークの送りに対
して切削速度が遅れ、ワークの保持部における切削抵抗
が増加する。したがって、本発明に係る目立てドレス方
法において、切削抵抗を検出すれば、その切削抵抗の増
加によって刃面に目詰まりが生じたことが検出される。
そして、この切削抵抗の大きさに基づいて電極とブレー
ドとの間に電圧を印加すれば、刃面が電解ドレスされ、
目立てが行なわれる。この結果、内周刃の切れ味が良く
なって切削抵抗が減少し、切削能力が回復する。
【０００６】また、本発明に係る目立てドレス装置で
は、切削抵抗検出手段が切削抵抗を検出すると、制御装
置はこの切削抵抗が許容値以上であれば電源装置をオン
する。この結果、電源装置より電極とブレードとの間に
直流電圧が印加され、内周刃の刃面が電解ドレスされて
目立てが行なわれる。これにより、内周刃の切れ味が良
くなって切削抵抗が減少し、切削能力が回復する。
は、切削抵抗検出手段が切削抵抗を検出すると、制御装
置はこの切削抵抗が許容値以上であれば電源装置をオン
する。この結果、電源装置より電極とブレードとの間に
直流電圧が印加され、内周刃の刃面が電解ドレスされて
目立てが行なわれる。これにより、内周刃の切れ味が良
くなって切削抵抗が減少し、切削能力が回復する。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例を添付図面に従って説
明する。図１は本発明に係る目立てドレス装置を備えた
スライシング装置を示す。皿形のディスク１は主軸２の
端部に固着され、ブレード３はディスク１の外周端部に
その外周縁が支持されている。このブレード３の中央に
は、開口部４（図３参照）が形成され、該開口部４の縁
に内周刃５が設けられている。内周刃５は、図２に示す
ように、ダイヤモンドからなる切刃６をニッケル等の金
属製ボンド７によって固着したものである。前記ブレー
ド３は、ディスク１が主軸２と一体に回転駆動すると、
図３に示すように、矢印ｒ方向に高速回転するようにな
っている。
明する。図１は本発明に係る目立てドレス装置を備えた
スライシング装置を示す。皿形のディスク１は主軸２の
端部に固着され、ブレード３はディスク１の外周端部に
その外周縁が支持されている。このブレード３の中央に
は、開口部４（図３参照）が形成され、該開口部４の縁
に内周刃５が設けられている。内周刃５は、図２に示す
ように、ダイヤモンドからなる切刃６をニッケル等の金
属製ボンド７によって固着したものである。前記ブレー
ド３は、ディスク１が主軸２と一体に回転駆動すると、
図３に示すように、矢印ｒ方向に高速回転するようにな
っている。
【０００８】シリコンインゴット等からなる円柱状のワ
ーク８は、その基端が送りテーブル９に主軸２と平行に
進退可能に設けられた保持部材１０に保持されている。
そして、この保持部材１０をブレード３に向かって進出
させることによりワーク８の先端がブレード３の開口部
４に導入されて裏側に突出するとともに、送りテーブル
９を水平に移動させることにより、図３に示すように、
ｘ方向に横送りされ、高速回転する内周刃５によって所
定の厚さに切断され、ウェハが切り出されるようになっ
ている。なお、ワーク８の切落とし側にはカーボン製の
スライスベース１１が接着され、切離し時にワーク８に
欠損が生じないようになっている。
ーク８は、その基端が送りテーブル９に主軸２と平行に
進退可能に設けられた保持部材１０に保持されている。
そして、この保持部材１０をブレード３に向かって進出
させることによりワーク８の先端がブレード３の開口部
４に導入されて裏側に突出するとともに、送りテーブル
９を水平に移動させることにより、図３に示すように、
ｘ方向に横送りされ、高速回転する内周刃５によって所
定の厚さに切断され、ウェハが切り出されるようになっ
ている。なお、ワーク８の切落とし側にはカーボン製の
スライスベース１１が接着され、切離し時にワーク８に
欠損が生じないようになっている。
【０００９】このスライシング装置には、切削抵抗検出
センサ１２と、電解ドレス用電極１３と、電源装置１４
と、制御装置１５とからなる目立てドレス装置が設けら
れている。切削抵抗検出センサ１２は、ワーク８の保持
部材１０に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を検出し
てその大きさに応じた信号を出力するようになってい
る。電解ドレス電極１３は、ワーク８の切断位置と反対
側の位置において、図２に示すように、内周刃５の刃面
を取り囲むように近接して配置されている。そして、こ
の電極１３と内周刃５との間にクーラントが流通するよ
うにクーラント噴射ノズル１６が配設されている。
センサ１２と、電解ドレス用電極１３と、電源装置１４
と、制御装置１５とからなる目立てドレス装置が設けら
れている。切削抵抗検出センサ１２は、ワーク８の保持
部材１０に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を検出し
てその大きさに応じた信号を出力するようになってい
る。電解ドレス電極１３は、ワーク８の切断位置と反対
側の位置において、図２に示すように、内周刃５の刃面
を取り囲むように近接して配置されている。そして、こ
の電極１３と内周刃５との間にクーラントが流通するよ
うにクーラント噴射ノズル１６が配設されている。
【００１０】電源装置１４は、その＋側がブレード３に
接続され、−側が電極１３に接続され、ブレード３と電
極１３の間に直流電圧を印加するようになっている。制
御装置１５は、データベース１７と、マイクロプロセッ
サ１８とからなっている。マイクロプロセッサ１８は、
切削抵抗検出センサ１２からの信号とデータベース１７
に記憶されたデータとを比較して、その切削抵抗が許容
値以上であれば電源装置１４をオンしてブレード３と電
極１３の間に直流電圧を印加させるようになっている。
接続され、−側が電極１３に接続され、ブレード３と電
極１３の間に直流電圧を印加するようになっている。制
御装置１５は、データベース１７と、マイクロプロセッ
サ１８とからなっている。マイクロプロセッサ１８は、
切削抵抗検出センサ１２からの信号とデータベース１７
に記憶されたデータとを比較して、その切削抵抗が許容
値以上であれば電源装置１４をオンしてブレード３と電
極１３の間に直流電圧を印加させるようになっている。
【００１１】以上の構成からなるスライシング装置にお
いて、高速回転するブレード３の内周刃５に対してワー
ク８をブレード３の半径方向に送ると、図４に示すよう
に、切削抵抗は切込み開始時点より増加してゆき、ワー
ク８の中心を切断する時点で最大となり、その後ウェハ
が切離されるまで低下する。このワーク８の切断中に、
内周刃５の刃面が摩耗や目づまりを起こしてその切れ味
が悪くなって来ると、図４中破線で示すように、切削抵
抗が増加し始める。切削抵抗検出センサ１２は、ワーク
８の最大切削抵抗Ｒを検出してその大きさに応じた信号
を検出する。制御装置１５のマイクロプロセッサ１８
は、切削抵抗検出センサ１２からの信号とデータベース
１７のデータとを比較し、切削抵抗が許容値以内である
か否かを判定し、許容値を越えていれば電源装置１４を
オンする。
いて、高速回転するブレード３の内周刃５に対してワー
ク８をブレード３の半径方向に送ると、図４に示すよう
に、切削抵抗は切込み開始時点より増加してゆき、ワー
ク８の中心を切断する時点で最大となり、その後ウェハ
が切離されるまで低下する。このワーク８の切断中に、
内周刃５の刃面が摩耗や目づまりを起こしてその切れ味
が悪くなって来ると、図４中破線で示すように、切削抵
抗が増加し始める。切削抵抗検出センサ１２は、ワーク
８の最大切削抵抗Ｒを検出してその大きさに応じた信号
を検出する。制御装置１５のマイクロプロセッサ１８
は、切削抵抗検出センサ１２からの信号とデータベース
１７のデータとを比較し、切削抵抗が許容値以内である
か否かを判定し、許容値を越えていれば電源装置１４を
オンする。
【００１２】これにより、電源装置１４よりブレード３
と電極１３の間に直流電圧が印加され、内周刃５の刃面
が電解ドレスされる。すなわち、刃面のニッケルボンド
７がイオン化されてクーラント液中に溶出し、また刃面
が電気的に活性化されて刃先６間の切り屑等が流出する
ことにより、刃先６が突出して目立てが行なわれる。こ
の結果、内周刃５の切れ味が良くなり、切削抵抗が減少
する。そして、切削抵抗が許容値以下になれば、マイク
ロプロセッサ１８が電源装置１４をオフするので、内周
刃５の電解ドレスが終了する。
と電極１３の間に直流電圧が印加され、内周刃５の刃面
が電解ドレスされる。すなわち、刃面のニッケルボンド
７がイオン化されてクーラント液中に溶出し、また刃面
が電気的に活性化されて刃先６間の切り屑等が流出する
ことにより、刃先６が突出して目立てが行なわれる。こ
の結果、内周刃５の切れ味が良くなり、切削抵抗が減少
する。そして、切削抵抗が許容値以下になれば、マイク
ロプロセッサ１８が電源装置１４をオフするので、内周
刃５の電解ドレスが終了する。
【００１３】なお、前記実施例では、制御装置１５のマ
イクロプロセッサ１８は、切削抵抗が許容値を越えてい
るか否かによって電源装置１４をオン，オフするように
したが、これに限らず、以下の種々の方法で制御するこ
とも可能である。すなわち、第一の方法は、予め切削抵
抗に対応する電解ドレス時間を設定してこれをデータベ
ース１７に記憶させておき、切削抵抗検出センサ１２で
検出された切削抵抗に応じた電解ドレス時間を選定し
て、その電解ドレス時間の間、電源装置１４をオンす
る。
イクロプロセッサ１８は、切削抵抗が許容値を越えてい
るか否かによって電源装置１４をオン，オフするように
したが、これに限らず、以下の種々の方法で制御するこ
とも可能である。すなわち、第一の方法は、予め切削抵
抗に対応する電解ドレス時間を設定してこれをデータベ
ース１７に記憶させておき、切削抵抗検出センサ１２で
検出された切削抵抗に応じた電解ドレス時間を選定し
て、その電解ドレス時間の間、電源装置１４をオンす
る。
【００１４】第二の方法は、予め切削抵抗に対応して電
解ドレス時の電流値とドレス時間を設定してこれをデー
タベース１７に記憶させておき、現実の切削抵抗に応じ
てこれらを選定し、その電流値になるように電源装置１
４内の抵抗を変化させて、選定されたドレス時間の間、
電解ドレスを行なう。第三の方法としては、予め切削抵
抗に対応して単位時間当たりのオン時間割合すなわちデ
ューティ比とドレス時間を設定してこれをデータベース
１７に記憶させておき、現実の切削抵抗に応じてデュー
ティ比とドレス時間を選定して、その選定されたデュー
ティ比で電源装置１４をオン，オフさせつつ、選定され
た時間の間、電解ドレスを行なうのである。
解ドレス時の電流値とドレス時間を設定してこれをデー
タベース１７に記憶させておき、現実の切削抵抗に応じ
てこれらを選定し、その電流値になるように電源装置１
４内の抵抗を変化させて、選定されたドレス時間の間、
電解ドレスを行なう。第三の方法としては、予め切削抵
抗に対応して単位時間当たりのオン時間割合すなわちデ
ューティ比とドレス時間を設定してこれをデータベース
１７に記憶させておき、現実の切削抵抗に応じてデュー
ティ比とドレス時間を選定して、その選定されたデュー
ティ比で電源装置１４をオン，オフさせつつ、選定され
た時間の間、電解ドレスを行なうのである。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ワーク切断時に検出した切削抵抗に応じて、
内周刃が電解ドレスによって自動的にドレスされるの
で、熟練を要することなく、迅速かつ正確に目立てが行
なわれ、省力化が図られるという効果を有している。
によれば、ワーク切断時に検出した切削抵抗に応じて、
内周刃が電解ドレスによって自動的にドレスされるの
で、熟練を要することなく、迅速かつ正確に目立てが行
なわれ、省力化が図られるという効果を有している。
【図１】 本発明に係る目立てドレス装置を備えたスラ
イシング装置のブロック図である。
イシング装置のブロック図である。
【図２】 図１の部分拡大図である。
【図３】 図１のＩ−Ｉ線断面図である。
【図４】 ワークの送りと切削抵抗の関係を示す図であ
る。
る。
３…ブレード、 ５…内周刃、 １０…保持部材、 １２…切削抵抗検出センサ、 １３…電極、 １４…電源装置、 １５…制御装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２８Ｄ 1/22 Ｂ 7041−3Ｃ
Claims (2)
- 【請求項１】 高速回転するブレードの内周刃に対して
ワークをブレードの半径方向に移動させることによりワ
ークを一定厚さに切断してウェハを切り出すようにした
スライシング装置において、ワーク切断時の切削抵抗を
検出し、該切削抵抗の大きさに基づいて、内周刃に対向
して設けた電極とブレードとの間に電圧を印加して内周
刃の電解ドレスを行ない、切削抵抗を一定に保持するこ
とを特徴とするスライシング装置における目立てドレス
方法。 - 【請求項２】 高速回転するブレードの内周刃に対して
ワークをブレードの半径方向に移動させることによりワ
ークを一定厚さに切断してウェハを切り出すようにした
スライシング装置において、ワーク保持部に設けられ、
ワーク切断時の切削抵抗を検出する切削抵抗検出手段
と、内周刃に対向して配置した電極と、該電極とブレー
ドとの間に電解ドレス用の直流電圧を印加する電源装置
と、前記切削抵抗検出手段からの切削抵抗の大きさに基
づいて電源装置をオン，オフする制御手段とを備えたこ
とを特徴とするスライシング装置における目立てドレス
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26927791A JPH05104438A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | スライシング装置における目立てドレス方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26927791A JPH05104438A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | スライシング装置における目立てドレス方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05104438A true JPH05104438A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17470118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26927791A Pending JPH05104438A (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | スライシング装置における目立てドレス方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05104438A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000013870A1 (fr) * | 1998-09-04 | 2000-03-16 | Riken | Procede et dispositif de coupe et de polissage miroir de carbure de silicium monocristallin |
| EP1120217A2 (en) * | 2000-01-26 | 2001-08-01 | Riken | Apparatus and method for cutting ingots |
| JP2007196312A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Japan Fine Steel Co Ltd | ソーワイヤ及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-10-17 JP JP26927791A patent/JPH05104438A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000013870A1 (fr) * | 1998-09-04 | 2000-03-16 | Riken | Procede et dispositif de coupe et de polissage miroir de carbure de silicium monocristallin |
| US6699105B1 (en) | 1998-09-04 | 2004-03-02 | Riken | Method and apparatus for cutting and grinding single crystal SiC |
| EP1120217A2 (en) * | 2000-01-26 | 2001-08-01 | Riken | Apparatus and method for cutting ingots |
| US6539932B2 (en) | 2000-01-26 | 2003-04-01 | Riken | Apparatus and method for cutting ingots |
| EP1120217A3 (en) * | 2000-01-26 | 2004-03-03 | Riken | Apparatus and method for cutting ingots |
| JP2007196312A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Japan Fine Steel Co Ltd | ソーワイヤ及びその製造方法 |
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