JPH05102284A - Ｌｓｉテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ロットサイズによらずテスタの使用効率を高
め、かつ次工程へ信頼性の高いチップを供給し、テスタ
の使用効率をチェックする。 【構成】 ロットサイズによって、ウェーハ１枚毎をス
キップの対象とする枚葉スキップと、ロット全体をスキ
ップの対象とするロットスキップとを使い分け、さらに
スキップの有無でのテスタ測定時間の比較機能を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩテスト装置に関
し、特に被測定ＬＳＩのテスト時間短縮のアルゴリズム
を有するＬＳＩテスト装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のＬＳＩテスト装置のテス
ト簡略化のアルゴリズムは、図４に示したフローチャー
トの如くなっていた。

【０００３】本例では、テストｍとテストｎがスキップ
の対象となるように条件を設定しているものとする。テ
ストスタート後、スキップの初期値を設定するために被
測定チップがロットの先頭か否かを判定するルーチン１
００で今から測定するチップがロットの先頭か否かを判
定し、先頭であればスキップ条件設定１で初期化のた
め、スキップの条件、即ち何個連続パスでスキップをか
けるか、スキップ対象のテストの設定等の条件を設定す
る。

【０００４】その後一つ一つのチップを、被測定チップ
の第１番目のテスト２から、第２番目のテスト３、ｍ＋
１番面のテスト５、ｎ＋１番目のテスト７を経てテスト
の終り８まで順に設定して行く。チップの測定数が増
え、やがてスキップ条件設定１で設定したスキップ条件
が、テストｍがスキップの条件を満足したかをチェック
するルーチン２１での判定で満足されると、テストｍが
スキップ対象４としてスキップされ、さらにテストｎが
スキップの条件を満足したかをチェックするルーチン２
２での判定で条件が満足されると、テストｎがスキップ
対象６としてスキップされる。条件が満足されないと、
該当するテストは、スキップされない。

【０００５】このようにスキップするテストを複数個設
定して、スキップ条件を満足したら、それより後のチッ
プにおいては、スキップ該当テストを実行しないように
してテストプログラムの実行時間を短縮し、ＬＳＩテス
ト装置の効率を上げていた。

【０００６】今、仮にウェーハ１枚当り１００個の良品
がとれることが期待されるＬＳＩが１ロットが５０枚で
構成されるＬＳＩが有り、あるテストのスキップ条件を
連続２００個パスと設定すると、同テストが連続２００
個パスだった場合、２０１個目のチップからは、同テス
トは実行されないことになる。即ち、３枚目以降のウェ
ーハにおいては、同テストは実行されなくなる。このよ
うにしてテスト時間の短縮を図っていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述したテスト簡略化
のアルゴリズムは、ロットの中の数量単位であるため、
次のような問題がある。

【０００８】即ち３枚目のウェーハにおいて製造工程で
の何らかの不具合が有り、同テストでの不良品が混入し
たとしても、それらの不良品は、除去できないことにな
り、次工程へ不良品を送ることになる。

【０００９】特に、１ロット当りのウェーハの枚数が少
ない場合、顧客に対し納期遅れとなる恐れが生ずる。特
にウェーハ製造工程において枚葉処理が多ければ、上記
恐れが生ずる確率が高くなる。

【００１０】一方、ＬＳＩテスタの使用効率の点から考
えると、例えば、１ロットが２枚のウェーハで構成され
ていた場合は、全くテストスキップがかからないことに
なり、テストの使用効率が悪くなる。

【００１１】また、全測定チップの何番目でスキップが
かかったのか、或はウェーハ何枚目でスキップがかかっ
たのか、テスタの使用効率は、スキップをかけなかった
場合に比べてどのくらい上がったのかを判定する機能も
なかった。

【００１２】本発明の目的は、テスタの使用効率を上げ
ると同時に、使用効率をモニタし、次工程に対し、より
信頼性の高いチップを供給するＬＳＩテスト装置を提供
することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るＬＳＩテスト装置においては、１ロッ
ト当り、複数枚のウェーハを有するＬＳＩであって、１
枚に複数個の同一機能のＬＳＩが作り込まれているウェ
ーハのテストに際して、予め設定されたテストで、予め
設定されたチップ数だけ連続して、パスしたら、該設定
されたチップ数の次のチップからは該設定されたテスト
を省略する機能（スキップ機能）を持ったＬＳＩテスト
装置であって、ウェーハの枚数単位でスキップをかける
か、ロット単位でスキップをかけるかの判断機能と、ロ
ット単位スキップの場合は、被測定ウェーハが更新され
る度にスキップ済みのテストでもウェーハの先頭数個で
スキップを解除して対象のテストをモニタし、さらに、
スキップの有無でのＬＳＩテスタの使用効率をシミュレ
ーションする機能とを有するものである。

【００１４】

【作用】ロットサイズによって、ウェーハ１枚毎をスキ
ップの対象とする枚葉スキップと、ロット全体をスキッ
プの対象とするロットスキップとを使い分け、さらにス
キップの有無でのテスタ測定時間の比較機能を有してい
る。

【００１５】

【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。

【００１６】図１は、本発明の一実施例を示すＬＳＩテ
スト装置のブロック図である。

【００１７】図１において、１０１は、テスト装置全体
の制御及び本発明のスキップの制御、その他テストに関
わる全ての制御を司るものである。１０２は、タイミン
グ発生器で、被測定デバイス（以下、ＤＵＴという）に
印加する電圧，電流のタイミングを制御するものであ
る。

【００１８】１０３は、パターン発生器で、ＤＵＴの入
出力の期待値を発生するものである。１０４は、フォー
マットコントローラで、テストヘッドを通してＤＵＴへ
印加する電圧，電流波形及びＤＵＴから出力される波形
の制御を行うものである。

【００１９】１０５はＤＣユニットで、テストヘッドを
通してＤＵＴのＤＣパラメータをテストするものであ
る。１０６はＤＰＳで、ＤＵＴにバイアス電圧，電流を
供給するものである。

【００２０】１０７はレベラで、テストヘッドに内蔵さ
れＤＵＴにパルスを印加するパルスドライバのレベル、
及びＤＵＴのパルス出力の判定レベルを供給する。１０
８はテストヘッドで、ＤＵＴとテスト装置とのインター
フェイスとなるものである。

【００２１】本発明のスキップ機能の制御は、コントロ
ーラ１０１に格納されたプログラムまたは、コントロー
ラ１０１に組み込まれた専用ハードウェアで実行され
る。

【００２２】まず図２（Ａ）に示す、ロットのテストの
先頭でウェーハ枚数からロットスキップか枚葉スキップ
かを判断するルーチン２００において、小ロットか否か
を判断する。ただし、予め１ロット当りのウェーハ枚
数、及び小ロット、大ロットの判断基準はテスタに入力
しておく。

【００２３】その状態で小ロットの場合は枚葉スキッ
プ、小ロットでない場合はロットスキップをそれぞれ採
用する。

【００２４】まず、枚葉スキップであることを示すフラ
グ３００の小ロット対応、即ち枚葉スキップについて同
図（Ｂ）を用いて説明する。ウェーハ先頭チップのチェ
ック２０でウェーハの先頭のチップか否かを判断し、先
頭のチップならば、まず、スキップ条件設定１でスキッ
プの条件を設定する。

【００２５】この場合の設定条件は、例えば、ウェーハ
中の有効チップ数の２０％の数だけ連続して設定された
テストでパスとなったら、それ以降、同じく設定された
テストはスキップがかかる。但し、有効チップ数は、予
めテスタにインプットしておくものとする。

【００２６】本例では、テストｍがスキップの条件を満
足したかをチェックするルーチン２１でスキップの条件
が満足されたか否かをチェックし、満足されたら、テス
トｍをスキップ対象４としてスキップし、第ｍ＋１番目
のテスト５に移る。

【００２７】テストｎがスキップの条件を満足したかを
チェックするルーチン２２も、ルーチン２１と全く同じ
機能で条件が満足されたら、第ｎ番目のテスト６をスキ
ップし、第ｎ＋１番目のテスト７に移る。そして、テス
トエンドまで、プログラムは流れる。

【００２８】従って、枚葉スキップであることを示すフ
ラグ３００からテストの終わり８までを、ウェーハが更
新される度にスキップ条件を更新して、実行する。即
ち、１枚のウェーハの２０％程度でスキップの条件をチ
ェックし、条件が満足されれば、ウェーハの残り８０％
がスキップの対象となるのである。

【００２９】次に、ロットスキップであることを示すフ
ラグ４００のモニタ機能付きのロットスキップについて
図３を用いて説明する。

【００３０】図３において、図４と同じ番号のものは、
図３と全く同じなので、説明を省略する。また、図２
（Ａ），図２（Ｂ）と同じ番号のものも、それぞれ同じ
なので、説明を省略する。９は、スキップがかかった後
に被測定ウェーハが更新される度に先頭数個のチップを
スキップを解除して、スキップ対象のテストをする場合
のそのモニタ個数及びモニタでフェイルとなった場合再
びスキップモードに復帰しないようにするためのカウン
タの初期化を実施する。Ｃｍ，Ｃｎは、それぞれスキッ
プ対象テスト、テストｍとテストｎにおいてスキップを
一時解除してモニタするテストの回数のカウンタであ
り、本例では、モニタ回数は５回である。またＦｍ，Ｆ
ｎは、モニタテストでフェイルとなった場合再びスキッ
プモードへ復帰しないようにするためのフラグである。

【００３１】３１は、テストｍにおいて、モニタでフェ
イルになっていないかどうかのテストｍのフェイルフラ
グチェックであり、１０は、テストｍのスキップ解除後
のモニタ数カウント、４はテストｍのモニタ回数のチェ
ックである。

【００３２】５１は、モニタでフェイルの場合再びスキ
ップモードに復帰しないことのテストｍのモニタテスト
でのフェイルチェックである。

【００３３】３２，１４，４２，５２はテストｎに関
し、機能は、３１，１０，４１，５１と全く同じであ
る。３２はテストｎのフェイルフラグチェック、１４は
テストｎのモニタ数カウント、４２はテストｎのモニタ
回数チェック、５２はテストｎのモニタテストでのフェ
イルチェックである。

【００３４】以上を１ロットの全ウェーハ、全チップの
測定が終了するまで繰り返す。但し、スキップ条件設定
１での設定条件は、図４と同じである。

【００３５】このように従来のスキップ機能にウェーハ
が更新される度に数個のモニタ機能をもたせて、測定の
信頼性を上げている。

【００３６】以上説明したようにロットサイズにより、
枚葉スキップとロットスキップとを使い分け、これによ
りテスタ使用効率を高め、かつ従来スキップにウェーハ
毎のモニタ機能をもたせ、信頼性を確保している。ま
た、スキップの有無によるテスタの１ロット当りの測定
時間を比較することにより、テスタの使用効率の計算も
可能となる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように本発明のＬＳＩテス
ト装置は、ウェーハの枚数、ロット中の個数のどちらで
もスキップをかけることができ、効率の良いスキップ測
定が可能であるばかりでなく、ウェーハ枚数単位のスキ
ップにより、次工程に対し、より信頼性の高いチップを
供給することができる。さらにスキップの有無によるテ
スタの使用効率がモニタできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るＬＳＩテスト装置を示すブロック
図である。

【図２】（Ａ），（Ｂ）は、本発明に係るスキップの実
施例を示すフローチャートである。

【図３】本発明に係るスキップの実施例を示すフローチ
ャートである。

【図４】従来のテストプログラムの流れを示すフローチ
ャートである。

【符号の説明】

１ スキップ条件設定 ２ 被測定チップの第１番目のテスト ３ 被測定チップの第２番目のテスト ４ 被測定チップの第ｍ番目のテストでスキップ対象 ５ 被測定チップの第ｍ＋１番目のテスト ６ 被測定チップの第ｎ番目のテストでスキップ対象 ７ 被測定チップの第ｎ＋１番目のテスト ８ テストの終わり ９ スキップ解除してモニタする個数及びモニタ後フェ
イルの場合再びスキップモードに復帰しないようにする
ためのフラグの初期化 １０ テストｍのモニタ数カウント １１ ｍ番目のテスト １２ テストｍのフェイルフラグセット １３ １チップのテスト終了 １４ テストｎのモニタ数カウント １５ ｎ番目のテスト １６ テストｎのフェイルフラグセット ２０ ウェーハ先頭チップのチェック ２１ テストｍがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン ２２ テストｎがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン ３１ テストｍのフェイルフラグチェック ３２ テストｎのフェイルフラグチェック ４１ テストｍのモニタ回数チェック ４２ テストｎのモニタ回数チェック ５１ テストｍのモニタテストでのフェイルチェック ５２ テストｎのモニタテストでのフェイルチェック １００ スキップの初期値を設定するために被測定チッ
プがロットの先頭か否かを判定するルーチン １０１ コントローラ １０２ タイミング発生器 １０３ パターン発生器 １０４ フォーマットコントローラ １０５ ＤＣユニット １０６ ＤＰＳ １０７ レベラ １０８ テストヘッド ２００ ロットのテストの先頭でウェーハ枚数からロッ
トスキップか枚葉スキップかを判断するルーチン ３００ 枚葉スキップであることを示すフラグ ４００ ロットスキップであることを示すフラグ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １ロット当り、複数枚のウェーハを有す
   るＬＳＩであって、１枚に複数個の同一機能のＬＳＩが
   作り込まれているウェーハのテストにおいて、予め設定
   されたテストで、予め設定されたチップ数だけ連続し
   て、パスしたら、該設定されたチップ数の次のチップか
   らは該設定されたテストを省略する機能（スキップ機
   能）を持ったＬＳＩテスト装置であって、 ウェーハの枚数単位でスキップをかけるか、ロット単位
   でスキップをかけるかの判断機能と、 ロット単位スキップの場合は、被測定ウェーハが更新さ
   れる度にスキップ済みのテストでもウェーハの先頭数個
   でスキップを解除して対象のテストをモニタし、さら
   に、スキップの有無でのＬＳＩテスタの使用効率をシミ
   ュレーションする機能とを有することを特徴とするＬＳ
   Ｉテスト装置。