JP2868347B2 - Ｌｓｉテスト装置 - Google Patents
Ｌｓｉテスト装置Info
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- JP2868347B2 JP2868347B2 JP3292412A JP29241291A JP2868347B2 JP 2868347 B2 JP2868347 B2 JP 2868347B2 JP 3292412 A JP3292412 A JP 3292412A JP 29241291 A JP29241291 A JP 29241291A JP 2868347 B2 JP2868347 B2 JP 2868347B2
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- Japan
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- test
- lot
- skip
- wafer
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩテスト装置に関
し、特に被測定ＬＳＩのテスト時間短縮のアルゴリズム
を有するＬＳＩテスト装置に関する。
し、特に被測定ＬＳＩのテスト時間短縮のアルゴリズム
を有するＬＳＩテスト装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のＬＳＩテスト装置のテス
ト簡略化のアルゴリズムは、図４に示したフローチャー
トの如くなっていた。
ト簡略化のアルゴリズムは、図４に示したフローチャー
トの如くなっていた。
【０００３】本例では、テストｍとテストｎがスキップ
の対象となるように条件を設定しているものとする。テ
ストスタート後、ルーチン１００において、スキップの
初期値を設定するために被測定チップがロットの先頭か
否かを判定し、被測定チップがロットの先頭であれば、
スキップ条件設定１で初期化のため、スキップの条件、
即ち何個連続パスでスキップをかけるか、スキップ対象
のテストの設定等の条件を設定する。
の対象となるように条件を設定しているものとする。テ
ストスタート後、ルーチン１００において、スキップの
初期値を設定するために被測定チップがロットの先頭か
否かを判定し、被測定チップがロットの先頭であれば、
スキップ条件設定１で初期化のため、スキップの条件、
即ち何個連続パスでスキップをかけるか、スキップ対象
のテストの設定等の条件を設定する。
【０００４】その後一つ一つのチップを、被測定チップ
の第１番目のテスト２から、第２番目のテスト３、ｍ＋
１番目のテスト５、ｎ＋１番目のテスト７を経てテスト
の終り８まで順に設定して行く。ルーチン２１におい
て、チップの測定数が増え、スキップ条件設定１で設定
したスキップ条件がｍ番目のテストで決定されたと判定
されると、ｍ番目のテスト４がスキップ対象としてスキ
ップされ、さらにルーチン２２において、ｎ番目のテス
ト６がスキップの条件を満足したかをチェックし、その
条件が満足されると、ｎ番目のテスト６がスキップ対象
としてスキップされる。ただし、ルーチン２１、２２に
おいて、判定条件が満足されないと、該当するテスト
は、スキップされない。
の第１番目のテスト２から、第２番目のテスト３、ｍ＋
１番目のテスト５、ｎ＋１番目のテスト７を経てテスト
の終り８まで順に設定して行く。ルーチン２１におい
て、チップの測定数が増え、スキップ条件設定１で設定
したスキップ条件がｍ番目のテストで決定されたと判定
されると、ｍ番目のテスト４がスキップ対象としてスキ
ップされ、さらにルーチン２２において、ｎ番目のテス
ト６がスキップの条件を満足したかをチェックし、その
条件が満足されると、ｎ番目のテスト６がスキップ対象
としてスキップされる。ただし、ルーチン２１、２２に
おいて、判定条件が満足されないと、該当するテスト
は、スキップされない。
【０００５】このようにスキップするテストを複数個設
定して、スキップ条件を満足したら、それより後のチッ
プにおいては、スキップ対象となるテストを実行しない
ようにしてテストプログラムの実行時間を短縮し、ＬＳ
Ｉテスト装置の測定効率を上げていた。
定して、スキップ条件を満足したら、それより後のチッ
プにおいては、スキップ対象となるテストを実行しない
ようにしてテストプログラムの実行時間を短縮し、ＬＳ
Ｉテスト装置の測定効率を上げていた。
【０００６】今、仮にウェーハ１枚から１００個の良品
が得られる可能性があるＬＳＩであって、１ロットが５
０枚で構成されるＬＳＩが有り、あるテストのスキップ
条件を連続して良品が２００個得られた場合にスキップ
対象として設定すると、同テストが連続して良品を２０
０個測定した場合、２０１個目のチップからは、同テス
トは実行されないことになる。即ち、３枚目以降のウェ
ーハにおいては、同テストは実行されなくなる。このよ
うにしてテスト時間の短縮を図っていた。
が得られる可能性があるＬＳＩであって、１ロットが５
０枚で構成されるＬＳＩが有り、あるテストのスキップ
条件を連続して良品が２００個得られた場合にスキップ
対象として設定すると、同テストが連続して良品を２０
０個測定した場合、２０１個目のチップからは、同テス
トは実行されないことになる。即ち、３枚目以降のウェ
ーハにおいては、同テストは実行されなくなる。このよ
うにしてテスト時間の短縮を図っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述したテスト簡略化
のアルゴリズムは、ロット中の数量単位であるため、次
のような問題がある。
のアルゴリズムは、ロット中の数量単位であるため、次
のような問題がある。
【０００８】即ち３枚目のウェーハにおいて製造工程で
の何らかの不具合が有り、同テストでの不良品が混入し
たとしても、それらの不良品は、除去できないことにな
り、次工程へ不良品が混入されてしまうという問題があ
る。
の何らかの不具合が有り、同テストでの不良品が混入し
たとしても、それらの不良品は、除去できないことにな
り、次工程へ不良品が混入されてしまうという問題があ
る。
【０００９】特に、１ロット当りのウェーハの枚数が少
ない場合、上述のように、次工程に不良品が混入されて
しまうと、その不良品を取除くために時間を費やし、顧
客に対し納期遅れとなる恐れが生ずる。特にウェーハ製
造工程において枚葉処理が多ければ、上記恐れが生ずる
確率が高くなる。
ない場合、上述のように、次工程に不良品が混入されて
しまうと、その不良品を取除くために時間を費やし、顧
客に対し納期遅れとなる恐れが生ずる。特にウェーハ製
造工程において枚葉処理が多ければ、上記恐れが生ずる
確率が高くなる。
【００１０】一方、ＬＳＩテスタの使用効率の点から考
えると、例えば、１ロットが２枚のウェーハで構成され
ていた場合は、スキップ対象のテストが設定されなくな
り、全てのテストが実行されてしまうため、テスタの使
用効率が悪くなる。
えると、例えば、１ロットが２枚のウェーハで構成され
ていた場合は、スキップ対象のテストが設定されなくな
り、全てのテストが実行されてしまうため、テスタの使
用効率が悪くなる。
【００１１】また、全測定チップの何番目でスキップが
かかったのか、或はウェーハ何枚目でスキップがかかっ
たのか、テスタの使用効率は、スキップをかけなかった
場合に比べてどのくらい上がったのかを判定する機能も
なかった。
かかったのか、或はウェーハ何枚目でスキップがかかっ
たのか、テスタの使用効率は、スキップをかけなかった
場合に比べてどのくらい上がったのかを判定する機能も
なかった。
【００１２】本発明の目的は、テスタの使用効率を上げ
ると同時に、使用効率をモニタし、次工程に対し、より
信頼性の高いチップを供給するＬＳＩテスト装置を提供
することにある。
ると同時に、使用効率をモニタし、次工程に対し、より
信頼性の高いチップを供給するＬＳＩテスト装置を提供
することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るＬＳＩテスト装置は、１枚のウェーハ
に形成された同一機能をもつ複数個のＬＳＩを検査する
ＬＳＩテスト装置であって、 予め１ロット当りのウェー
ハ枚数、及び小ロット、大ロットの判断基準を装置本体
に入力しておく手段と、 １ロット当りのウェーハ枚数
と、ウェーハ１枚当りの良品が得られる数値との関係か
ら、ＬＳＩの検査を小ロット又は大ロットのいずれで行
うかの判断をし、 小ロットの場合に枚葉処理を、大ロッ
トの場合にロット処理をそれぞれ使い分ける手段と、 前
記枚葉処理が選択された場合に、ウェーハ単位でＬＳＩ
の検査を行ない設定数の良品が連続して得られたとき
に、不要なテストをスキップして検査を実行する手段
と、 前記ロット処理が選択された場合に、ロット単位で
ＬＳＩの検査を行ない、設定数の良品が連続して得られ
たときに、不要なテストをスキップして検査を実行する
手段とを有するものである。
め、本発明に係るＬＳＩテスト装置は、１枚のウェーハ
に形成された同一機能をもつ複数個のＬＳＩを検査する
ＬＳＩテスト装置であって、 予め１ロット当りのウェー
ハ枚数、及び小ロット、大ロットの判断基準を装置本体
に入力しておく手段と、 １ロット当りのウェーハ枚数
と、ウェーハ１枚当りの良品が得られる数値との関係か
ら、ＬＳＩの検査を小ロット又は大ロットのいずれで行
うかの判断をし、 小ロットの場合に枚葉処理を、大ロッ
トの場合にロット処理をそれぞれ使い分ける手段と、 前
記枚葉処理が選択された場合に、ウェーハ単位でＬＳＩ
の検査を行ない設定数の良品が連続して得られたとき
に、不要なテストをスキップして検査を実行する手段
と、 前記ロット処理が選択された場合に、ロット単位で
ＬＳＩの検査を行ない、設定数の良品が連続して得られ
たときに、不要なテストをスキップして検査を実行する
手段とを有するものである。
【００１４】
【作用】ロットサイズによって、ウェーハ１枚単位でテ
ストのスキップ判断を行う枚葉処理と、ロット全体でテ
ストのスキップ判断を行うロット処理とを使い分け、さ
らにスキップの有無でのテスタ測定時間の比較を行な
う。
ストのスキップ判断を行う枚葉処理と、ロット全体でテ
ストのスキップ判断を行うロット処理とを使い分け、さ
らにスキップの有無でのテスタ測定時間の比較を行な
う。
【００１５】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。
て説明する。
【００１６】図１は本発明の一実施例に係るＬＳＩテス
ト装置を示すブロック図である。
ト装置を示すブロック図である。
【００１７】図１において、１０１は、テスト装置全体
の制御及び本発明における枚葉処理とロット処理の制
御、その他テストに関わる全ての制御を行うコントロー
ラである。１０２は、タイミング発生器で、被測定デバ
イス（以下、ＤＵＴという）に印加する電圧，電流のタ
イミングを制御するものである。
の制御及び本発明における枚葉処理とロット処理の制
御、その他テストに関わる全ての制御を行うコントロー
ラである。１０２は、タイミング発生器で、被測定デバ
イス（以下、ＤＵＴという）に印加する電圧，電流のタ
イミングを制御するものである。
【００１８】１０３は、パターン発生器で、ＤＵＴの入
出力の期待値を発生するものである。１０４は、フォー
マットコントローラで、テストヘッドを通してＤＵＴへ
印加する電圧，電流波形及びＤＵＴから出力される波形
の制御を行うものである。
出力の期待値を発生するものである。１０４は、フォー
マットコントローラで、テストヘッドを通してＤＵＴへ
印加する電圧，電流波形及びＤＵＴから出力される波形
の制御を行うものである。
【００１９】１０５はＤＣユニットで、テストヘッドを
通してＤＵＴのＤＣパラメータをテストするものであ
る。１０６はＤＰＳで、ＤＵＴにバイアス電圧，電流を
供給するものである。
通してＤＵＴのＤＣパラメータをテストするものであ
る。１０６はＤＰＳで、ＤＵＴにバイアス電圧，電流を
供給するものである。
【００２０】１０７はレベラで、テストヘッドに内蔵さ
れＤＵＴにパルスを印加するパルスドライバのレベル、
及びＤＵＴのパルス出力の判定レベルを調整制御するも
のである。１０８はテストヘッドで、ＤＵＴとテスト装
置とのインターフェイスとなるものである。
れＤＵＴにパルスを印加するパルスドライバのレベル、
及びＤＵＴのパルス出力の判定レベルを調整制御するも
のである。１０８はテストヘッドで、ＤＵＴとテスト装
置とのインターフェイスとなるものである。
【００２１】本発明における枚葉処理とロット処理との
制御は、コントローラ１０１に格納されたプログラムま
たは、コントローラ１０１に組み込まれた専用ハードウ
ェアで実行される。
制御は、コントローラ１０１に格納されたプログラムま
たは、コントローラ１０１に組み込まれた専用ハードウ
ェアで実行される。
【００２２】まず図２（Ａ）に示すように、ルーチン２
００において、テスト対象のロットが小ロットか否かを
判断する。尚、予め１ロット当りのウェーハ枚数、及び
小ロット、大ロットの判断基準はテスタに入力してお
く。
００において、テスト対象のロットが小ロットか否かを
判断する。尚、予め１ロット当りのウェーハ枚数、及び
小ロット、大ロットの判断基準はテスタに入力してお
く。
【００２３】その状態で小ロットの場合は枚葉処理３０
０、小ロットでない（大ロット）場合はロット処理４０
０をそれぞれ採用する。
０、小ロットでない（大ロット）場合はロット処理４０
０をそれぞれ採用する。
【００２４】まず、枚葉処理３００であることを示すフ
ラグ３００の小ロット対応、即ち枚葉処理３００につい
て同図（Ｂ）を用いて説明する。ルーチン２０におい
て、ウェーハの先頭のチップか否かを判断し、先頭のチ
ップならば、まず、スキップ条件設定１でスキップの条
件を設定する。
ラグ３００の小ロット対応、即ち枚葉処理３００につい
て同図（Ｂ）を用いて説明する。ルーチン２０におい
て、ウェーハの先頭のチップか否かを判断し、先頭のチ
ップならば、まず、スキップ条件設定１でスキップの条
件を設定する。
【００２５】この場合の設定条件は、例えば、ウェーハ
中の有効チップ数の２０％の数だけテストで連続して良
品が得られたならば、それ以降、同じく設定されたテス
トはスキップ対象とする。但し、有効チップ数は、予め
テスタにインプットしておくものとする。
中の有効チップ数の２０％の数だけテストで連続して良
品が得られたならば、それ以降、同じく設定されたテス
トはスキップ対象とする。但し、有効チップ数は、予め
テスタにインプットしておくものとする。
【００２６】本例ではルーチン２１において、ｍ番目の
テスト４がスキップの条件を満足したか否かをチェック
し、満足されたら、ｍ番目のテスト４をスキップ対象と
してスキップし、第ｍ＋１番目のテスト５に移る。
テスト４がスキップの条件を満足したか否かをチェック
し、満足されたら、ｍ番目のテスト４をスキップ対象と
してスキップし、第ｍ＋１番目のテスト５に移る。
【００２７】次にルーチン２２において、ｎ番目のテス
ト６がスキップの条件を満足したかをチェックし、ルー
チン２１と全く同じ機能で条件が満足されたら、第ｎ番
目のテスト６をスキップし、第ｎ＋１番目のテスト７に
移る。そして、テストエンド８まで、プログラムを実行
する。
ト６がスキップの条件を満足したかをチェックし、ルー
チン２１と全く同じ機能で条件が満足されたら、第ｎ番
目のテスト６をスキップし、第ｎ＋１番目のテスト７に
移る。そして、テストエンド８まで、プログラムを実行
する。
【００２８】従って、枚葉処理３００であることを示す
フラグ３００からテストエンド８までを、ウェーハが更
新される度にスキップ条件を更新して、実行する。即
ち、１枚のウェーハの２０％程度でスキップの条件をチ
ェックし、条件が満足されれば、ウェーハの残り８０％
がスキップの対象となるのである。
フラグ３００からテストエンド８までを、ウェーハが更
新される度にスキップ条件を更新して、実行する。即
ち、１枚のウェーハの２０％程度でスキップの条件をチ
ェックし、条件が満足されれば、ウェーハの残り８０％
がスキップの対象となるのである。
【００２９】次に、ロット処理４００であることを示す
フラグ４００のモニタ機能付きのロットスキップについ
て図３を用いて説明する。
フラグ４００のモニタ機能付きのロットスキップについ
て図３を用いて説明する。
【００３０】図３において、図４と同じ番号のものは、
図３と全く同じなので、説明を省略する。また、図２
（Ａ），図２（Ｂ）と同じ番号のものも、それぞれ同じ
であり、その説明を省略する。９は、スキップがかかっ
た後に被測定ウェーハが更新される度に先頭数個のチッ
プをスキップを解除して、スキップ対象のテストをする
場合のそのモニタ個数及びモニタでフェイルとなった場
合再びスキップモードに復帰しないようにするためのカ
ウンタの初期化を実施する。Ｃｍ，Ｃｎは、それぞれス
キップ対象テスト、テストｍとテストｎにおいてスキッ
プを一時解除してモニタするテストの回数のカウンタで
あり、本例では、モニタ回数は５回である。またＦｍ，
Ｆｎは、モニタテストでフェイルとなった場合再びスキ
ップモードへ復帰しないようにするためのフラグであ
る。
図３と全く同じなので、説明を省略する。また、図２
（Ａ），図２（Ｂ）と同じ番号のものも、それぞれ同じ
であり、その説明を省略する。９は、スキップがかかっ
た後に被測定ウェーハが更新される度に先頭数個のチッ
プをスキップを解除して、スキップ対象のテストをする
場合のそのモニタ個数及びモニタでフェイルとなった場
合再びスキップモードに復帰しないようにするためのカ
ウンタの初期化を実施する。Ｃｍ，Ｃｎは、それぞれス
キップ対象テスト、テストｍとテストｎにおいてスキッ
プを一時解除してモニタするテストの回数のカウンタで
あり、本例では、モニタ回数は５回である。またＦｍ，
Ｆｎは、モニタテストでフェイルとなった場合再びスキ
ップモードへ復帰しないようにするためのフラグであ
る。
【００３１】３１は、テストｍにおいて、モニタでフェ
イルになっていないかどうかのテストｍのフェイルをチ
ェックするルーチンであり、１０は、テストｍのスキッ
プ解除後のモニタ数カウント、４はテストｍのモニタ回
数のチェックを行うルーチンである。
イルになっていないかどうかのテストｍのフェイルをチ
ェックするルーチンであり、１０は、テストｍのスキッ
プ解除後のモニタ数カウント、４はテストｍのモニタ回
数のチェックを行うルーチンである。
【００３２】５１は、モニタでフェイルの場合再びスキ
ップモードに復帰しないことのテストｍのモニタテスト
でのフェイルをチェックするルーチンである。
ップモードに復帰しないことのテストｍのモニタテスト
でのフェイルをチェックするルーチンである。
【００３３】３２，１４，４２，５２はテストｎに関す
るルーチンであり、そのルーチンでの機能は、ルーチン
３１，１０，４１，５１と全く同じである。３２はテス
トｎのフェイルをチェックするルーチン、１４はテスト
ｎのモニタ数カウント、４２はテストｎのモニタ回数チ
ェック、５２はテストｎのモニタテストでのフェイルを
チェックするルーチンである。
るルーチンであり、そのルーチンでの機能は、ルーチン
３１，１０，４１，５１と全く同じである。３２はテス
トｎのフェイルをチェックするルーチン、１４はテスト
ｎのモニタ数カウント、４２はテストｎのモニタ回数チ
ェック、５２はテストｎのモニタテストでのフェイルを
チェックするルーチンである。
【００３４】以上を１ロットの全ウェーハ、全チップの
測定が終了するまで繰り返す。但し、スキップ条件設定
１での設定条件は、図４と同じである。
測定が終了するまで繰り返す。但し、スキップ条件設定
１での設定条件は、図４と同じである。
【００３５】このように従来のスキップ機能にウェーハ
が更新される度に数個のモニタ機能をもたせて、測定の
信頼性を上げている。
が更新される度に数個のモニタ機能をもたせて、測定の
信頼性を上げている。
【００３６】以上説明したようにロットサイズにより、
枚葉処理とロット処理とを使い分け、これによりテスタ
使用効率を高め、かつ従来スキップにウェーハ毎のモニ
タ機能をもたせ、信頼性を確保している。また、スキッ
プの有無によるテスタの１ロット当りの測定時間を比較
することにより、テスタの使用効率の計算も可能とな
る。
枚葉処理とロット処理とを使い分け、これによりテスタ
使用効率を高め、かつ従来スキップにウェーハ毎のモニ
タ機能をもたせ、信頼性を確保している。また、スキッ
プの有無によるテスタの１ロット当りの測定時間を比較
することにより、テスタの使用効率の計算も可能とな
る。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のＬＳＩテス
ト装置は、ウェーハの枚数、ロット中の個数のどちらで
もスキップをかけることができ、効率のよいスキップ測
定が可能であるばかりでなく、ウェーハ枚数単位のスキ
ップにより、次工程に対し、より信頼性の高いチップを
供給することができる。さらにスキップの有無によるテ
スタの使用効率がモニタできる。
ト装置は、ウェーハの枚数、ロット中の個数のどちらで
もスキップをかけることができ、効率のよいスキップ測
定が可能であるばかりでなく、ウェーハ枚数単位のスキ
ップにより、次工程に対し、より信頼性の高いチップを
供給することができる。さらにスキップの有無によるテ
スタの使用効率がモニタできる。
【図１】本発明に係るＬＳＩテスト装置を示すブロック
図である。
図である。
【図２】（Ａ），（Ｂ）は、本発明に係るスキップの実
施例を示すフローチャートである。
施例を示すフローチャートである。
【図３】本発明に係るスキップの実施例を示すフローチ
ャートである。
ャートである。
【図４】従来のテストプログラムの流れを示すフローチ
ャートである。
ャートである。
１ スキップ条件設定 ２ 被測定チップの第１番目のテスト ３ 被測定チップの第２番目のテスト ４ 被測定チップの第ｍ番目のテストでスキップ対象 ５ 被測定チップの第ｍ＋１番目のテスト ６ 被測定チップの第ｎ番目のテストでスキップ対象 ７ 被測定チップの第ｎ＋１番目のテスト ８ テストエンド ９ スキップ解除してモニタする個数及びモニタ後フェ
イルの場合再びスキップモードに復帰しないようにする
ためのフラグの初期化 １０ テストｍのモニタ数カウント １１ ｍ番目のテスト １２ テストｍのフェイルフラグセット １３ １チップのテスト終了 １４ テストｎのモニタ数カウント １５ ｎ番目のテスト １６ テストｎのフェイルフラグセット ２０ ウェーハ先頭チップのチェック ２１ テストｍがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン ２２ テストｎがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン ３１ テストｍのフェイルフラグチェックのルーチン ３２ テストｎのフェイルフラグチェックのルーチン ４１ テストｍのモニタ回数チェックのルーチン ４２ テストｎのモニタ回数チェックのルーチン ５１ テストｍのモニタテストでのフェイルチェックの
ルーチン ５２ テストｎのモニタテストでのフェイルチェックの
ルーチン １００ スキップの初期値を設定するために被測定チッ
プがロットの先頭か否かを判定するルーチン １０１ コントローラ １０２ タイミング発生器 １０３ パターン発生器 １０４ フォーマットコントローラ １０５ ＤＣユニット １０６ ＤＰＳ １０７ レベラ １０８ テストヘッド ２００ロットのテストの先頭でウェーハ枚数からロット
スキップか枚葉スキップかを判断するルーチン ３００ 枚葉処理 ４００ ロット処理
イルの場合再びスキップモードに復帰しないようにする
ためのフラグの初期化 １０ テストｍのモニタ数カウント １１ ｍ番目のテスト １２ テストｍのフェイルフラグセット １３ １チップのテスト終了 １４ テストｎのモニタ数カウント １５ ｎ番目のテスト １６ テストｎのフェイルフラグセット ２０ ウェーハ先頭チップのチェック ２１ テストｍがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン ２２ テストｎがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン ３１ テストｍのフェイルフラグチェックのルーチン ３２ テストｎのフェイルフラグチェックのルーチン ４１ テストｍのモニタ回数チェックのルーチン ４２ テストｎのモニタ回数チェックのルーチン ５１ テストｍのモニタテストでのフェイルチェックの
ルーチン ５２ テストｎのモニタテストでのフェイルチェックの
ルーチン １００ スキップの初期値を設定するために被測定チッ
プがロットの先頭か否かを判定するルーチン １０１ コントローラ １０２ タイミング発生器 １０３ パターン発生器 １０４ フォーマットコントローラ １０５ ＤＣユニット １０６ ＤＰＳ １０７ レベラ １０８ テストヘッド ２００ロットのテストの先頭でウェーハ枚数からロット
スキップか枚葉スキップかを判断するルーチン ３００ 枚葉処理 ４００ ロット処理
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 G01R 31/26
Claims (1)
- 【請求項１】 １枚のウェーハに形成された同一機能を
もつ複数個のＬＳＩを検査するＬＳＩテスト装置であっ
て、 予め１ロット当りのウェーハ枚数、及び小ロット、大ロ
ットの判断基準を装置本体に入力しておく手段と、 １ロット当りのウェーハ枚数と、ウェーハ１枚当りの良
品が得られる数値との関係から、ＬＳＩの検査を小ロッ
ト又は大ロットのいずれで行うかの判断をし、小ロット
の場合に枚葉処理を、大ロットの場合にロット処理をそ
れぞれ使い分ける手段と、 前記枚葉処理が選択された場合に、ウェーハ単位でＬＳ
Ｉの検査を行ない設定数の良品が連続して得られたとき
に、不要なテストをスキップして検査を実行する手段
と、 前記ロット処理が選択された場合に、ロット単位でＬＳ
Ｉの検査を行ない、設定数の良品が連続して得られたと
きに、不要なテストをスキップして検査を実行する手段
とを有する ことを特徴とするＬＳＩテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3292412A JP2868347B2 (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | Ｌｓｉテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3292412A JP2868347B2 (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | Ｌｓｉテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05102284A JPH05102284A (ja) | 1993-04-23 |
| JP2868347B2 true JP2868347B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=17781455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3292412A Expired - Lifetime JP2868347B2 (ja) | 1991-10-11 | 1991-10-11 | Ｌｓｉテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868347B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1991
- 1991-10-11 JP JP3292412A patent/JP2868347B2/ja not_active Expired - Lifetime
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