JP2996216B2 - 装置の検査方法 - Google Patents
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Debugging And Monitoring (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は装置の検査方法に係
り、特にソフトウェア制御の下で装置の各機能や性能を
自己点検する点検プログラムによるコンピュータ制御の
製造・検査装置の検査方法に関する。
り、特にソフトウェア制御の下で装置の各機能や性能を
自己点検する点検プログラムによるコンピュータ制御の
製造・検査装置の検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、点検プログラムによるコンピュー
タ制御の製造・検査装置の検査方法では、多くの点検項
目を所定の頻度（例えば２回／日）で一括して点検して
いたので、長い時間を必要として装置の稼働時間を妨げ
る問題があり、検査時間の短縮が望まれていた。
タ制御の製造・検査装置の検査方法では、多くの点検項
目を所定の頻度（例えば２回／日）で一括して点検して
いたので、長い時間を必要として装置の稼働時間を妨げ
る問題があり、検査時間の短縮が望まれていた。
【０００３】そこで、従来より、上記の問題を解決する
ために種々の装置検査方法が提案されている。図６は特
開昭６３−２０４４３８号公報に開示された従来の装置
の検査方法の一例を示すフローチャートである。この従
来方法では、コンピュータ制御の製造・検査装置を検査
する装置試験プログラムが、図６（Ｂ）に示すように、
各種の動作試験の集合６０であり、それぞれの動作試験
を図６（Ａ）に示すフローチャートのプログラムに従っ
て行うことにより、短時間で装置検査を行うようにした
ものである。
ために種々の装置検査方法が提案されている。図６は特
開昭６３−２０４４３８号公報に開示された従来の装置
の検査方法の一例を示すフローチャートである。この従
来方法では、コンピュータ制御の製造・検査装置を検査
する装置試験プログラムが、図６（Ｂ）に示すように、
各種の動作試験の集合６０であり、それぞれの動作試験
を図６（Ａ）に示すフローチャートのプログラムに従っ
て行うことにより、短時間で装置検査を行うようにした
ものである。
【０００４】すなわち、図６（Ａ）に示すように、まず
簡略試験を実行する（ステップ５０）。この簡略試験
は、その試験ｉ（ｉ＝１〜ｎ）での試験内容に対して最
も代表的な動作試験、あるいは最も代表的テストデータ
を用いて試験できるように試験手順を構成したものであ
り、具体的な故障個所を特定できなくても、できるだけ
短時間で故障の有無を検出できるようにした試験であ
る。
簡略試験を実行する（ステップ５０）。この簡略試験
は、その試験ｉ（ｉ＝１〜ｎ）での試験内容に対して最
も代表的な動作試験、あるいは最も代表的テストデータ
を用いて試験できるように試験手順を構成したものであ
り、具体的な故障個所を特定できなくても、できるだけ
短時間で故障の有無を検出できるようにした試験であ
る。
【０００５】この簡略試験に続いて、詳細試験モードに
設定するか否か決定する（ステップ５１）。詳細試験モ
ードを設定した場合にのみ、詳細試験を実行する（ステ
ップ５２）。詳細試験とは、簡略試験と異なり、各種の
小さな一つ一つの動作に対しそれぞれ各種のデータを用
いて丹念に試験するものであり、長時間を要するが詳細
な試験結果が得られ、故障部位の指摘能力に優れてい
る。
設定するか否か決定する（ステップ５１）。詳細試験モ
ードを設定した場合にのみ、詳細試験を実行する（ステ
ップ５２）。詳細試験とは、簡略試験と異なり、各種の
小さな一つ一つの動作に対しそれぞれ各種のデータを用
いて丹念に試験するものであり、長時間を要するが詳細
な試験結果が得られ、故障部位の指摘能力に優れてい
る。
【０００６】この従来方法によれば、通常の装置定期保
守作業時や装置修理後の動作確認等には簡略試験のみを
実施して試験を短時間で修了させることができ、また、
故障箇所の探索や装置の改造を実施したときなどでは、
多くの時間をとって試験できる場合は詳細試験を利用す
ることができ、簡略試験を補完する。
守作業時や装置修理後の動作確認等には簡略試験のみを
実施して試験を短時間で修了させることができ、また、
故障箇所の探索や装置の改造を実施したときなどでは、
多くの時間をとって試験できる場合は詳細試験を利用す
ることができ、簡略試験を補完する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来方
法では、簡略試験が代表的な動作試験あるいは代表的な
テストデータを用いて試験する簡略試験のみでは、短時
間に試験ができるが、装置の機能、性能の保証に欠ける
場合があることである。また、上記の従来方法では、装
置の機能、性能の完全な保証をする場合は長時間を必要
として装置の稼働時間を妨げるという問題もある。その
理由は、簡略試験と詳細試験とで全体を保証するので、
詳細試験は基本的に省略できないからである。
法では、簡略試験が代表的な動作試験あるいは代表的な
テストデータを用いて試験する簡略試験のみでは、短時
間に試験ができるが、装置の機能、性能の保証に欠ける
場合があることである。また、上記の従来方法では、装
置の機能、性能の完全な保証をする場合は長時間を必要
として装置の稼働時間を妨げるという問題もある。その
理由は、簡略試験と詳細試験とで全体を保証するので、
詳細試験は基本的に省略できないからである。
【０００８】更に、上記の従来方法では、装置の異常が
検出された場合に該当装置によって製造・検査された製
品の品質保証に欠ける場合があることである。その理由
は、試験間隔が考慮されておらず、装置の異常を検出し
たときに製品の是正が困難であることから、異常な製品
を市場に流出させる可能性があるからである。
検出された場合に該当装置によって製造・検査された製
品の品質保証に欠ける場合があることである。その理由
は、試験間隔が考慮されておらず、装置の異常を検出し
たときに製品の是正が困難であることから、異常な製品
を市場に流出させる可能性があるからである。
【０００９】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
装置の自己点検を効果的に行って機能、性能の完全な保
証を行い、該当装置によって製造・検査された製品の信
頼性を向上させる装置の検査方法を提供することを目的
とする。
装置の自己点検を効果的に行って機能、性能の完全な保
証を行い、該当装置によって製造・検査された製品の信
頼性を向上させる装置の検査方法を提供することを目的
とする。
【００１０】また、本発明の他の目的は、点検時間を短
縮して装置の生産性を向上させる装置の検査方法を提供
することにある。
縮して装置の生産性を向上させる装置の検査方法を提供
することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、装置の故障間隔の長さを基準にして複数の
点検プログラムをグループ分けし、かつ、故障間隔の長
さに応じて各グループの各点検プログラムの実行間隔を
決め、同じグループの複数の点検プログラムの各実行時
において一つの点検プログラムでも点検結果が不良のと
きはそのグループの点検動作を終了することを特徴とす
る。本発明では、比較的少ない総点検実行時間で公昭検
出ができ、特に各グループの各点検プログラムの実行間
隔を、故障間隔が長いグループの各点検プログラムの実
行間隔ほど長くすることで、効率良く故障検出ができ
る。
成するため、装置の故障間隔の長さを基準にして複数の
点検プログラムをグループ分けし、かつ、故障間隔の長
さに応じて各グループの各点検プログラムの実行間隔を
決め、同じグループの複数の点検プログラムの各実行時
において一つの点検プログラムでも点検結果が不良のと
きはそのグループの点検動作を終了することを特徴とす
る。本発明では、比較的少ない総点検実行時間で公昭検
出ができ、特に各グループの各点検プログラムの実行間
隔を、故障間隔が長いグループの各点検プログラムの実
行間隔ほど長くすることで、効率良く故障検出ができ
る。
【００１２】また、本発明は、各グループの各点検プロ
グラムの実行間隔は、最も実行間隔の短いグループの各
点検プログラムの実行間隔の正の整数倍とすることが、
同時国に点検プログラムが起動されて実行内容の退避と
実行内容の回復がムダ無くできる点で望ましい。
グラムの実行間隔は、最も実行間隔の短いグループの各
点検プログラムの実行間隔の正の整数倍とすることが、
同時国に点検プログラムが起動されて実行内容の退避と
実行内容の回復がムダ無くできる点で望ましい。
【００１３】また、本発明は、各グループの前記各点検
プログラムの実行順序は、最も実行間隔の短いグループ
の各点検プログラムを最初とし、以後実行間隔が長いグ
ループの点検プログラムほど後とすることが、各グルー
プの点検プログラムが同時に起動された時に故障頻度の
高い点検を先行してできる。
プログラムの実行順序は、最も実行間隔の短いグループ
の各点検プログラムを最初とし、以後実行間隔が長いグ
ループの点検プログラムほど後とすることが、各グルー
プの点検プログラムが同時に起動された時に故障頻度の
高い点検を先行してできる。
【００１４】更に、本発明は、各グループの各点検プロ
グラムの実行間隔の最も長い点検プログラムの実行間隔
は、該当装置によって製造または検査される製品の最も
短い仕掛かり期間より短期間であるようにしたため、点
検の結果、装置の異常が検出された場合でも製品の製品
の是正を可能にできる。
グラムの実行間隔の最も長い点検プログラムの実行間隔
は、該当装置によって製造または検査される製品の最も
短い仕掛かり期間より短期間であるようにしたため、点
検の結果、装置の異常が検出された場合でも製品の製品
の是正を可能にできる。
【００１５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面と共に説明する。図１は本発明になる装置の検
査方法の一実施の形態のフローチャート、図２は本発明
方法が適用されるコンピュータ制御の製造・検査装置の
一例のブロック図を示す。まず、図２と共にコンピュー
タ制御の製造・検査装置について説明する。
て、図面と共に説明する。図１は本発明になる装置の検
査方法の一実施の形態のフローチャート、図２は本発明
方法が適用されるコンピュータ制御の製造・検査装置の
一例のブロック図を示す。まず、図２と共にコンピュー
タ制御の製造・検査装置について説明する。
【００１６】図２に示すコンピュータ制御の製造・検査
装置は、ソフトウェア制御の下で装置の各機能や性能を
自己点検する点検プログラムによる検査方法を採用して
おり、集積回路を自動的に電気検査するための集積回路
の検査装置を例示している。
装置は、ソフトウェア制御の下で装置の各機能や性能を
自己点検する点検プログラムによる検査方法を採用して
おり、集積回路を自動的に電気検査するための集積回路
の検査装置を例示している。
【００１７】この集積回路の検査装置はあらかじめオペ
レーション・システムのサポートで動作しているものと
する。中央演算処理装置３４は主記憶装置３１から集積
回路の検査を行うための検査プログラムを入力して、パ
ターン発生装置３２、バイアス電源装置３３、タイミン
グ発生装置３５、ドライバ・レシーバ装置３６に検査の
実行指示をする。
レーション・システムのサポートで動作しているものと
する。中央演算処理装置３４は主記憶装置３１から集積
回路の検査を行うための検査プログラムを入力して、パ
ターン発生装置３２、バイアス電源装置３３、タイミン
グ発生装置３５、ドライバ・レシーバ装置３６に検査の
実行指示をする。
【００１８】すると、バイアス電源装置３３とドライバ
・レシーバ装置３６は試料接続装置３７に設置された被
検査試料に電気検査条件を与える一方で、被検査試料か
ら送出される電気信号をドライバ・レシーバ装置３６で
受け取って検査を実施する。このように集積回路の検査
装置は、中央演算処理装置３４に制御されて、順次に被
検査試料に対して電気検査の繰り返し動作を実行する。
・レシーバ装置３６は試料接続装置３７に設置された被
検査試料に電気検査条件を与える一方で、被検査試料か
ら送出される電気信号をドライバ・レシーバ装置３６で
受け取って検査を実施する。このように集積回路の検査
装置は、中央演算処理装置３４に制御されて、順次に被
検査試料に対して電気検査の繰り返し動作を実行する。
【００１９】ところで、このような集積回路の検査装置
の例で見られるように、一般にコンピュータ制御の製造
・検査装置は自己点検を行うことができること、そし
て、使用しているパーツや設計条件、製作条件、使用条
件によって故障間隔が一様ではないことが知られてい
る。
の例で見られるように、一般にコンピュータ制御の製造
・検査装置は自己点検を行うことができること、そし
て、使用しているパーツや設計条件、製作条件、使用条
件によって故障間隔が一様ではないことが知られてい
る。
【００２０】次に、図１のフローチャート（Ａ）、
（Ｂ）を参照して本発明の最良の実施の形態について説
明する。図１（Ａ）に示すフローチャートは、コンピュ
ータ制御の製造・検査装置を自己点検する場合の手順を
示している。さて、いま中央演算処理装置３４は被検査
試料に対して、電気検査の繰り返し動作を開始するもの
とすると、まず、条件設定問い合わせに対して、オペレ
ータからの条件の設定、変更の有無を判断する（ステッ
プ１１）。
（Ｂ）を参照して本発明の最良の実施の形態について説
明する。図１（Ａ）に示すフローチャートは、コンピュ
ータ制御の製造・検査装置を自己点検する場合の手順を
示している。さて、いま中央演算処理装置３４は被検査
試料に対して、電気検査の繰り返し動作を開始するもの
とすると、まず、条件設定問い合わせに対して、オペレ
ータからの条件の設定、変更の有無を判断する（ステッ
プ１１）。
【００２１】条件設定、変更する場合は、点検プログラ
ムの条件、点検プログラムの起動条件を設定、変更する
（ステップ１２）。条件設定、変更しない場合か、条件
設定、変更が終了した場合は、条件一致の問い合わせに
対して、条件の一致を判断する（ステップ１３）。条件
が一致しなければ条件設定の問い合わせ（ステップ１
１）に戻り、条件が一致すれば、実行内容退避を行う
（ステップ１４）。
ムの条件、点検プログラムの起動条件を設定、変更する
（ステップ１２）。条件設定、変更しない場合か、条件
設定、変更が終了した場合は、条件一致の問い合わせに
対して、条件の一致を判断する（ステップ１３）。条件
が一致しなければ条件設定の問い合わせ（ステップ１
１）に戻り、条件が一致すれば、実行内容退避を行う
（ステップ１４）。
【００２２】実行内容退避については本発明の主旨では
ないので簡略説明に止めるが、実行中の検査プログラム
を一単位とする仕事が終了した時点で、電気検査の繰り
返し動作を中断して、それまで実行した検査結果や検査
プログラムなどを一旦、主記憶装置３１などへ退避させ
ることである。
ないので簡略説明に止めるが、実行中の検査プログラム
を一単位とする仕事が終了した時点で、電気検査の繰り
返し動作を中断して、それまで実行した検査結果や検査
プログラムなどを一旦、主記憶装置３１などへ退避させ
ることである。
【００２３】次に、中央演算処理装置３４は点検プログ
ラムの種別や点検プログラムの起動条件に沿って自己点
検を実施する（ステップ１５）。自己点検が終了する
と、点検ＰＡＳＳ問い合わせに対して、ＰＡＳＳである
か否かを判定する（ステップ１６）。ＰＡＳＳであれば
実行内容回復を行い、先に中断してステップ１４で実行
内容退避したその内容を回復させると共に、電気検査の
繰り返し動作を継続する（ステップ１７）。
ラムの種別や点検プログラムの起動条件に沿って自己点
検を実施する（ステップ１５）。自己点検が終了する
と、点検ＰＡＳＳ問い合わせに対して、ＰＡＳＳである
か否かを判定する（ステップ１６）。ＰＡＳＳであれば
実行内容回復を行い、先に中断してステップ１４で実行
内容退避したその内容を回復させると共に、電気検査の
繰り返し動作を継続する（ステップ１７）。
【００２４】一方、ステップ１６での点検ＰＡＳＳ問い
合わせに対する判定において、ＰＡＳＳでないと判定し
たときには、警告を発生して停止する（ステップ１
８）。
合わせに対する判定において、ＰＡＳＳでないと判定し
たときには、警告を発生して停止する（ステップ１
８）。
【００２５】次に、図１（Ａ）に於けるステップ１２の
条件設定の条件である点検プログラムの実行条件、点検
プログラムの起動条件に関して以下に説明する。
条件設定の条件である点検プログラムの実行条件、点検
プログラムの起動条件に関して以下に説明する。
【００２６】最初に点検プログラムの実行条件に関し
て、図１（Ｂ）と図４（Ａ）を用いて説明する。図１
（Ｂ）はステップ１５での点検実行の単位をある基準に
則してグループ分けした例を示している。図４（Ａ）は
点検プログラムの１単位時間が１時間であり、その時間
構成をそれぞれＭＴＢＦ（平均故障間隔）を基準にして
区分すると、３００Ｈ以上１０００Ｈ未満が０．２時
間、１０００Ｈ以上３０００Ｈ未満が０．２時間、３０
００Ｈ以上１００００Ｈ未満が０．３時間、１００００
Ｈ以上が０．３時間である。それぞれの点検グループｊ
は図１（Ｂ）に示す通り、一つの点検を実行し（ステッ
プ２１）、続いてその点検結果がＰＡＳＳであるか否か
判定し（ステップ２２）、ＰＡＳＳであれば次の点検を
実行し（ステップ２３）、その点検結果がＰＡＳＳであ
るか否か判定することを繰り返し、複数の点検のうち、
どれか一つでもその点検結果がＰＡＳＳでなければ点検
グループｊを終了するようにしている。
て、図１（Ｂ）と図４（Ａ）を用いて説明する。図１
（Ｂ）はステップ１５での点検実行の単位をある基準に
則してグループ分けした例を示している。図４（Ａ）は
点検プログラムの１単位時間が１時間であり、その時間
構成をそれぞれＭＴＢＦ（平均故障間隔）を基準にして
区分すると、３００Ｈ以上１０００Ｈ未満が０．２時
間、１０００Ｈ以上３０００Ｈ未満が０．２時間、３０
００Ｈ以上１００００Ｈ未満が０．３時間、１００００
Ｈ以上が０．３時間である。それぞれの点検グループｊ
は図１（Ｂ）に示す通り、一つの点検を実行し（ステッ
プ２１）、続いてその点検結果がＰＡＳＳであるか否か
判定し（ステップ２２）、ＰＡＳＳであれば次の点検を
実行し（ステップ２３）、その点検結果がＰＡＳＳであ
るか否か判定することを繰り返し、複数の点検のうち、
どれか一つでもその点検結果がＰＡＳＳでなければ点検
グループｊを終了するようにしている。
【００２７】次に起動条件に関して、図５を用いて点検
プログラムを起動する日時と点検グループｊとの関係を
示した。〇印は点検実行、×印は未実施を示している。
プログラムを起動する日時と点検グループｊとの関係を
示した。〇印は点検実行、×印は未実施を示している。
【００２８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００２９】（第１の実施例）図４（Ａ）は故障間隔に
応じて複数の点検プログラムをグループ分けする例を示
す。例えば、図４（Ａ）中の囲み点検実行時間４１は、
ＭＴＢＦが３００Ｈ以上１０００Ｈ未満の点検を１２Ｈ
間隔で、ＭＴＢＦが１０００Ｈ以上３０００Ｈ未満の点
検を２４Ｈ間隔で、ＭＴＢＦが３０００Ｈ以上１０００
０Ｈ未満の点検を３６Ｈ間隔で、ＭＴＢＦが１００００
Ｈ以上の点検を４８Ｈ間隔で実行する方法である。この
ことは、１万時間に合計３９６時間の点検時間を必要と
し、その間に４８回（＝１００００／ＭＴＢＦ）の故障
検出回数を数えることを意味する。
応じて複数の点検プログラムをグループ分けする例を示
す。例えば、図４（Ａ）中の囲み点検実行時間４１は、
ＭＴＢＦが３００Ｈ以上１０００Ｈ未満の点検を１２Ｈ
間隔で、ＭＴＢＦが１０００Ｈ以上３０００Ｈ未満の点
検を２４Ｈ間隔で、ＭＴＢＦが３０００Ｈ以上１０００
０Ｈ未満の点検を３６Ｈ間隔で、ＭＴＢＦが１００００
Ｈ以上の点検を４８Ｈ間隔で実行する方法である。この
ことは、１万時間に合計３９６時間の点検時間を必要と
し、その間に４８回（＝１００００／ＭＴＢＦ）の故障
検出回数を数えることを意味する。
【００３０】また、点検時間間隔は図５に示すように、
Ｇｒｐ１（グループ１）は１２時間間隔で、Ｇｒｐ２
（グループ２）は２４時間間隔で、Ｇｒｐ３（グループ
３）は３６時間間隔で、Ｇｒｐ４（グループ４）は４８
時間間隔で起動する例である。このようにグループ分け
はＭＴＢＦを基準にしてｎ（１≦ｎ、ｎは整数）通りに
分け、また実行時間間隔はｍ（０＜ｍ、ｍは整数）時間
とする方法である。
Ｇｒｐ１（グループ１）は１２時間間隔で、Ｇｒｐ２
（グループ２）は２４時間間隔で、Ｇｒｐ３（グループ
３）は３６時間間隔で、Ｇｒｐ４（グループ４）は４８
時間間隔で起動する例である。このようにグループ分け
はＭＴＢＦを基準にしてｎ（１≦ｎ、ｎは整数）通りに
分け、また実行時間間隔はｍ（０＜ｍ、ｍは整数）時間
とする方法である。
【００３１】（第２の実施例）前記各グループの前記各
点検プログラムの実行間隔は、前記平均故障間隔が長い
ほど長くする。すなわち、グループｊの実行間隔＜グル
ープ（ｊ＋１）の実行間隔とする方法である。
点検プログラムの実行間隔は、前記平均故障間隔が長い
ほど長くする。すなわち、グループｊの実行間隔＜グル
ープ（ｊ＋１）の実行間隔とする方法である。
【００３２】（第３の実施例）前記各グループの前記各
点検プログラムの実行間隔は、最も実行間隔の短い点検
プログラムの実行間隔の整数倍とする。すなわち、グル
ープｊの実行間隔をＴとすると、グループ（ｊ＋１）の
実行間隔をＴの整数倍とする方法である。
点検プログラムの実行間隔は、最も実行間隔の短い点検
プログラムの実行間隔の整数倍とする。すなわち、グル
ープｊの実行間隔をＴとすると、グループ（ｊ＋１）の
実行間隔をＴの整数倍とする方法である。
【００３３】（第４の実施例）前記各グループの前記各
点検プログラムの実行順序は、最も実行間隔の短い点検
プログラムを最初に実行し、以下、実行間隔が長い点検
プログラムほど後に実行する順序とする。すなわち、グ
ループｊがＭＴＢＦｊ、グループ（ｊ＋１）がＭＴＢＦ
（ｊ＋１）であり、グループｊとグループ（ｊ＋１）が
同時に起動されたとき、グループｊを先にグループ（ｊ
＋１）をその後に起動する方法である。
点検プログラムの実行順序は、最も実行間隔の短い点検
プログラムを最初に実行し、以下、実行間隔が長い点検
プログラムほど後に実行する順序とする。すなわち、グ
ループｊがＭＴＢＦｊ、グループ（ｊ＋１）がＭＴＢＦ
（ｊ＋１）であり、グループｊとグループ（ｊ＋１）が
同時に起動されたとき、グループｊを先にグループ（ｊ
＋１）をその後に起動する方法である。
【００３４】（第５の実施例）前記各グループの前記各
点検プログラムの実行間隔の最も長い点検プログラムの
実行間隔は、該当装置によって製造または検査される製
品の最も短い仕掛かり期間より短期間とする。すなわ
ち、（製品の最も短い仕掛かり期間）＞（点検プログラ
ムの実行間隔の最も長い点検プログラムの実行間隔）と
する方法である。
点検プログラムの実行間隔の最も長い点検プログラムの
実行間隔は、該当装置によって製造または検査される製
品の最も短い仕掛かり期間より短期間とする。すなわ
ち、（製品の最も短い仕掛かり期間）＞（点検プログラ
ムの実行間隔の最も長い点検プログラムの実行間隔）と
する方法である。
【００３５】次に、以上の実施の形態及び実施例の総合
効果について説明する。図４（Ａ）において囲み点検実
行時間４２は、ＭＴＢＦによる区分をすること無く１２
時間毎に一括して点検を実施する方法で、便宜上“一括
法（１）”と称する。
効果について説明する。図４（Ａ）において囲み点検実
行時間４２は、ＭＴＢＦによる区分をすること無く１２
時間毎に一括して点検を実施する方法で、便宜上“一括
法（１）”と称する。
【００３６】次に、囲み点検実行時間４１は、本発明の
方法であり、便宜上“本発明”と称する。そして、例え
ば、製品の仕掛かり期間が３日以上であることを前提
に、製品の是正を考慮するが、ＭＴＢＦによる区分をす
ること無く４８時間毎に一括して点検を実施する囲み点
検実行時間４３の方法を、便宜上“一括法（２）”と称
する。
方法であり、便宜上“本発明”と称する。そして、例え
ば、製品の仕掛かり期間が３日以上であることを前提
に、製品の是正を考慮するが、ＭＴＢＦによる区分をす
ること無く４８時間毎に一括して点検を実施する囲み点
検実行時間４３の方法を、便宜上“一括法（２）”と称
する。
【００３７】この場合、総点検実行時間は“一括法
（２）”＜“本発明”＜“一括法（１）”の関係である
ことが分かる。ただし、点検時間は１００００時間×単
位時間／ＭＴＢＦで算出した。すなわち、本発明では点
検プログラムの実行頻度を故障間隔の長さに応じて設定
しているので、例えば図４（Ａ）の囲み点検実行時間４
２は１２時間毎に点検を実行する”一括法（１）”では
総点検時間が８３４時間であるのに対して、本発明に係
る図４（Ａ）の囲み点検実行時間４１の総点検時間は３
９６時間に短縮される。
（２）”＜“本発明”＜“一括法（１）”の関係である
ことが分かる。ただし、点検時間は１００００時間×単
位時間／ＭＴＢＦで算出した。すなわち、本発明では点
検プログラムの実行頻度を故障間隔の長さに応じて設定
しているので、例えば図４（Ａ）の囲み点検実行時間４
２は１２時間毎に点検を実行する”一括法（１）”では
総点検時間が８３４時間であるのに対して、本発明に係
る図４（Ａ）の囲み点検実行時間４１の総点検時間は３
９６時間に短縮される。
【００３８】次に、図４（Ｂ）に於いて故障解析時間と
製品の是正時間について考察する。故障の検出回数は点
検実行間隔とは無関係に（本ケースでは１００００／Ｍ
ＴＢＦ）４８回であり、仮に一回あたりの故障解析時間
が１時間である場合、総解析時間は４８時間である。
製品の是正時間について考察する。故障の検出回数は点
検実行間隔とは無関係に（本ケースでは１００００／Ｍ
ＴＢＦ）４８回であり、仮に一回あたりの故障解析時間
が１時間である場合、総解析時間は４８時間である。
【００３９】さらに図４（Ｂ）において製品の是正時間
について検証すると、囲み製品の是正時間４５は、ＭＴ
ＢＦによる区分をすること無く１２時間毎に一括して点
検を実施する方法で、便宜上“一括法（１）”と称す
る。次に囲み製品の是正時間４４は本発明の方法であ
り、便宜上“本発明”と称する。そして、例えば、製品
の仕掛かり期間が３日以上であることを前提に、製品の
是正を考慮するが、ＭＴＢＦによる区分をすること無く
４８時間毎に一括して点検を実施する囲み製品の是正時
間４６の方法を、便宜上“一括法（２）”と称する。
について検証すると、囲み製品の是正時間４５は、ＭＴ
ＢＦによる区分をすること無く１２時間毎に一括して点
検を実施する方法で、便宜上“一括法（１）”と称す
る。次に囲み製品の是正時間４４は本発明の方法であ
り、便宜上“本発明”と称する。そして、例えば、製品
の仕掛かり期間が３日以上であることを前提に、製品の
是正を考慮するが、ＭＴＢＦによる区分をすること無く
４８時間毎に一括して点検を実施する囲み製品の是正時
間４６の方法を、便宜上“一括法（２）”と称する。
【００４０】この場合、総是正時間は“一括法（２）”
＞“本発明”＞“一括法（１）”の関係であることが分
かる。ただし、製品の是正の手順は、例えば製品母体数
の３％を抜き取って再検査を実施して、（１、０）判定
を行って異常が検出されれば製品母体の全数を再検査す
る方法を仮定した。
＞“本発明”＞“一括法（１）”の関係であることが分
かる。ただし、製品の是正の手順は、例えば製品母体数
の３％を抜き取って再検査を実施して、（１、０）判定
を行って異常が検出されれば製品母体の全数を再検査す
る方法を仮定した。
【００４１】従って、点検実行間隔が長ければ長いほど
点検実行時間は少なくなるが、是正時間は長くなる。ま
た、設備の故障個所によっては製品の合否への影響が大
きいことがあり、製品母体の全数再検査の割合も上昇す
ることがある。図４（Ｂ）の総是正時間は最悪のケース
であり、製品母体の４０％を再検査すると仮定した。一
般に、製品母体の全数再検査の割合は数％未満である。
点検実行時間は少なくなるが、是正時間は長くなる。ま
た、設備の故障個所によっては製品の合否への影響が大
きいことがあり、製品母体の全数再検査の割合も上昇す
ることがある。図４（Ｂ）の総是正時間は最悪のケース
であり、製品母体の４０％を再検査すると仮定した。一
般に、製品母体の全数再検査の割合は数％未満である。
【００４２】このように故障検出時の装置の不稼働時間
は総点検時間と解析時間と総是正時間との和で構成され
る。図３は設備不稼働時間（割合）比較を示す。図３に
おいて、“一括法（１）”を基準にして“一括法
（２）”、“本発明”の不稼働時間割合を縦軸に、製品
母体の再検査割合を１％から４０％に変化させた是正対
象割合を横軸に示す。図３から明らかなように、“本発
明”の不稼働時間割合が最小となることが分かる。
は総点検時間と解析時間と総是正時間との和で構成され
る。図３は設備不稼働時間（割合）比較を示す。図３に
おいて、“一括法（１）”を基準にして“一括法
（２）”、“本発明”の不稼働時間割合を縦軸に、製品
母体の再検査割合を１％から４０％に変化させた是正対
象割合を横軸に示す。図３から明らかなように、“本発
明”の不稼働時間割合が最小となることが分かる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
点検プログラムの実行頻度を故障間隔の長さに応じて設
定しているため、比較的少ない点検実行時間で効率よく
故障を検出できる。
点検プログラムの実行頻度を故障間隔の長さに応じて設
定しているため、比較的少ない点検実行時間で効率よく
故障を検出できる。
【００４４】また、本発明によれば、各点検プログラム
の実行間隔を最も短い点検プログラムの実行間隔の整数
倍としているので、同時刻に点検が起動されて実行内容
の退避と実行内容の回復のムダ時間を省くことができる
ため、点検実施に伴うムダ時間を短縮できる。
の実行間隔を最も短い点検プログラムの実行間隔の整数
倍としているので、同時刻に点検が起動されて実行内容
の退避と実行内容の回復のムダ時間を省くことができる
ため、点検実施に伴うムダ時間を短縮できる。
【００４５】また、本発明によれば、故障頻度の高い部
分を先行して点検することができるため、故障検出に要
する時間を短縮できることである。
分を先行して点検することができるため、故障検出に要
する時間を短縮できることである。
【００４６】更に、本発明によれば、（製品の最も短い
仕掛かり期間）＞（点検プログラムの実行間隔の最も長
い点検プログラムの実行間隔）とし、製品の是正を可能
にしたため、点検の結果、装置の異常が検出された場合
でも製品の不具合流出を防止できる。
仕掛かり期間）＞（点検プログラムの実行間隔の最も長
い点検プログラムの実行間隔）とし、製品の是正を可能
にしたため、点検の結果、装置の異常が検出された場合
でも製品の不具合流出を防止できる。
【００４７】以上より、本発明によれば、装置の自己点
検を効果的に行って機能、性能の完全な保証を行い、該
当装置によって製造・検査された製品の信頼性を向上さ
せると共に、点検時間を短縮して装置の生産性を向上さ
せ、また、故障検出時の装置の不稼働時間を短縮させる
効果を有する。
検を効果的に行って機能、性能の完全な保証を行い、該
当装置によって製造・検査された製品の信頼性を向上さ
せると共に、点検時間を短縮して装置の生産性を向上さ
せ、また、故障検出時の装置の不稼働時間を短縮させる
効果を有する。
【図１】本発明の検査方法の一実施の形態のフローチャ
ートである。
ートである。
【図２】本発明方法が適用される装置の一例のブロック
図である。
図である。
【図３】本発明の効果を説明するグラフである。
【図４】本発明による点検実行間隔とＭＴＢＦとの関係
の一例を説明する図である。
の一例を説明する図である。
【図５】本発明による故障間隔に応じた複数の点検プロ
グラムのグループ分けを説明する図である。
グラムのグループ分けを説明する図である。
【図６】従来方法の一例を示すフローチャートである。
３１ 主記憶装置 ３２ パターン発生装置 ３３ バイアス電源装置 ３４ 中央演算処理装置 ３５ タイミング発生装置 ３６ ドライバ・レシーバ装置 ３７ 試料接続装置 ４１ 本発明の一例の点検実行時間 ４２、４３ 一括法による点検実行時間 ４４ 本発明の一例の製品の是正時間 ４５、４６ 一括法による製品の是正時間
Claims (5)
- 【請求項１】 装置の故障間隔の長さを基準にして複数
の点検プログラムをグループ分けし、かつ、前記故障間
隔の長さに応じて前記各グループの前記各点検プログラ
ムの実行間隔を決め、同じグループの前記複数の点検プ
ログラムの各実行時において一つの点検プログラムでも
点検結果が不良のときはそのグループの点検動作を終了
することを特徴とする装置の検査方法。 - 【請求項２】 前記各グループの前記各点検プログラム
の実行間隔は、前記故障間隔が長いグループの各点検プ
ログラムの実行間隔ほど長くすることを特徴とする請求
項１記載の装置の検査方法。 - 【請求項３】 前記各グループの前記各点検プログラム
の実行間隔は、最も実行間隔の短いグループの各点検プ
ログラムの実行間隔の正の整数倍としたことを特徴とす
る請求項１記載の装置の検査方法。 - 【請求項４】 前記各グループの前記各点検プログラム
の実行順序は、最も実行間隔の短いグループの各点検プ
ログラムを最初とし、以後実行間隔が長いグループの点
検プログラムほど後とすることを特徴とする請求項１記
載の装置の検査方法。 - 【請求項５】 前記各グループの前記各点検プログラム
の実行間隔のうち最も長い点検プログラムの実行間隔
は、該当装置によって製造または検査される製品の最も
短い仕掛かり期間より短期間であることを特徴とする請
求項１記載の装置の検査方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9242581A JP2996216B2 (ja) | 1997-09-08 | 1997-09-08 | 装置の検査方法 |
| SG9803377A SG87771A1 (en) | 1997-09-08 | 1998-08-31 | Apparatus checking method and apparatus to which the same is applied |
| GB9819470A GB2329991B (en) | 1997-09-08 | 1998-09-07 | Method of checking apparatus |
| CN98117492A CN1211007A (zh) | 1997-09-08 | 1998-09-08 | 装置检查方法和使用该方法的装置 |
| US09/149,773 US6081771A (en) | 1997-09-08 | 1998-09-08 | Apparatus checking method and apparatus to which the same is applied |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9242581A JP2996216B2 (ja) | 1997-09-08 | 1997-09-08 | 装置の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1185557A JPH1185557A (ja) | 1999-03-30 |
| JP2996216B2 true JP2996216B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=17091199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9242581A Expired - Fee Related JP2996216B2 (ja) | 1997-09-08 | 1997-09-08 | 装置の検査方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6081771A (ja) |
| JP (1) | JP2996216B2 (ja) |
| CN (1) | CN1211007A (ja) |
| GB (1) | GB2329991B (ja) |
| SG (1) | SG87771A1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6618825B1 (en) * | 2000-04-20 | 2003-09-09 | Hewlett Packard Development Company, L.P. | Hierarchy of fault isolation timers |
| JP4715732B2 (ja) * | 2006-11-24 | 2011-07-06 | ミツミ電機株式会社 | 情報処理装置、及び、情報処理装置の検査方法 |
| US8103916B2 (en) * | 2008-12-01 | 2012-01-24 | Sap Ag | Scheduling of checks in computing systems |
| JP5849491B2 (ja) | 2011-07-22 | 2016-01-27 | 富士通株式会社 | ディスク制御装置、ディスク装置異常検出方法、及びプログラム |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US31582A (en) * | 1861-02-26 | weimer | ||
| US4502324A (en) * | 1982-11-15 | 1985-03-05 | Bear Automotive Service Equipment Company | Engine analyzer power check apparatus |
| JPS63204438A (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-24 | Nec Corp | 装置試験方式 |
| JP2836347B2 (ja) * | 1992-02-04 | 1998-12-14 | 日産自動車株式会社 | 故障診断装置 |
| US5548718A (en) * | 1994-01-07 | 1996-08-20 | Microsoft Corporation | Method and system for determining software reliability |
| US5633879A (en) * | 1996-01-19 | 1997-05-27 | Texas Instruments Incorporated | Method for integrated circuit design and test |
-
1997
- 1997-09-08 JP JP9242581A patent/JP2996216B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-31 SG SG9803377A patent/SG87771A1/en unknown
- 1998-09-07 GB GB9819470A patent/GB2329991B/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-08 CN CN98117492A patent/CN1211007A/zh active Pending
- 1998-09-08 US US09/149,773 patent/US6081771A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6081771A (en) | 2000-06-27 |
| CN1211007A (zh) | 1999-03-17 |
| GB9819470D0 (en) | 1998-10-28 |
| SG87771A1 (en) | 2002-04-16 |
| GB2329991A (en) | 1999-04-07 |
| JPH1185557A (ja) | 1999-03-30 |
| GB2329991B (en) | 1999-10-13 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |