JP3114753B2 - Lsiテスト方法 - Google Patents

Lsiテスト方法

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JP3114753B2
JP3114753B2 JP03313666A JP31366691A JP3114753B2 JP 3114753 B2 JP3114753 B2 JP 3114753B2 JP 03313666 A JP03313666 A JP 03313666A JP 31366691 A JP31366691 A JP 31366691A JP 3114753 B2 JP3114753 B2 JP 3114753B2
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test
lsi
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skipped
test method
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拓美 錦戸
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九州日本電気株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はLSIテスト装置に関
し、特に被測定LSIのテスト時間短縮のアルゴリズム
を有するLSIテスト装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のLSIテスト装置におけ
るテスト簡略化のアルゴリズムは、図2に示したフロー
チャートの如くなっていた。
【0003】本例では、テストmとテストnがスキップ
の対象となるように条件を設定しているものとする。測
定開始ステップ1でのテストスタート後、ルーチン10
で今から測定するチップがロットの先頭か否かを判定す
る。判定の結果、先頭であれば、スキップ条件設定ステ
ップ20において初期化のため、スキップの条件、即ち
何個連続パスでスキップをかけるか、スキップ対象のテ
ストの設定等の条件を設定する。
【0004】その後、一つ一つのチップを、被測定チッ
プの第1番目のテストステップ2でのテスト1から、テ
ストエンドステップ8まで順に測定していく。ステップ
13では、ロットの最後か否かをチェックする。チップ
の測定数が増え、やがてルーチン10で設定したスキッ
プ条件がルーチン11での判定で満足されると、m番目
のテストでスキップ対象4のテストmがスキップされ、
さらにルーチン12での判定で条件が満足されると、n
番目のテストでスキップ対象6のテストnがスキップさ
れる。
【0005】条件が満足されないと、該当するテスト
は、スキップされない。
【0006】このようにスキップするテストを複数個設
定して、スキップ条件を満足したら、それより後のチッ
プにおいては、スキップ該当テストを実行しないように
してテストプログラムの実行時間を短縮し、LSIテス
ト装置の効率を上げていた。
【0007】今、仮にウェーハ1枚当たり100個の良
品がとれることが期待されるLSIであって1ロットが
50枚で構成されるLSIが有り、あるテストのスキッ
プ条件を連続200個パスと設定すると、同テストが連
続200個パスだった場合に201個目のチップから
は、同テストが実行されないことになる。即ち、3枚目
以降のウェーハにおいては、同テストが実行されなくな
る。このようにしてテスト時間の短縮を図っていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上述したテスト簡略化
のアルゴリズムは、ロット中の数量単位であるため、次
のような問題がある。即ち、3枚目のウェーハにおいて
製造工程での何らかの不具合があり同テストでの不良品
が混入したとしても、それらの不良品は除去できないこ
とになり、次工程へ不良品を送ることになる。
【0009】特に、1ロット当たりのウェーハの枚数が
少ない場合、顧客に対し納期遅れとなる恐れが生ずる。
特にウェーハ製造工程において枚葉処理が多ければ、上
記恐れが生ずる確率が高くなる。
【0010】従って、本発明の目的とするところは、ウ
ェーハ単位での製造工程の不具合があっても、テスト時
間を短縮しつつ、それらの不具合をより高い確率で除去
することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るLSIテスト方法においては、複数個
のLSIを連続して測定するLSIテスト方法であっ
て、被テストLSIが、複数のテストを含むテストプロ
グラム中のあるテストにおいて所定の複数分連続してパ
スしたとき、その連続してパスしたテストの内容の一部
を簡略したテストプログラムを用いて、未だテストを行
っていないLSIをテストするものである。
【0012】
【作用】テストスキップがかかった後、DCテストかフ
ァンクションテストかを判断し、DCテストならば被測
定ピン数の削減、ファンクションテストならば、テスト
パタン数を圧縮する機能を有する。
【0013】
【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図1は、本発明の一実施例を示すフローチ
ャートである。
【0014】図1において、本例では、テストmとテス
トnがスキップ対象のテストである。テストmは、DC
パメトリックテストで被測定ピンが50本あり、DC測
定ユニットで1ピンずつシリアルに測定するものとす
る。テストnは、ファンクションテストで10万パタン
のテストベクトルを流すものとする。本例では、これら
のテストがスキップ条件を満足したら、90%スキップ
モードとする。
【0015】図を用いて説明する。図1のルーチン11
でスキップ条件が満足されたかどうかをチェックして満
足されたなら、次にチェックステップ14でDCテスト
かファンクションテストかを判断する。本例では、テス
トmはDCテストなので、被測定ピン数の削減決定ステ
ップ21で測定ピン数を90%削減して、5ピンのみの
測定となる。
【0016】さらにテストは流れ、ルーチン12でテス
トnがスキップ条件を満足したかどうかをチェックし、
満足したならば、チェックステップ15でDCテストか
ファンクションテストを調べる。
【0017】本例では、ファンクションテストなので、
テストパタン数の削減決定ステップ22でテストパタン
を90%削減して、1万パタンのテストベクトルが走る
ことになる。即ちスキップ後のテストmのテスト時間は
1/10,テストnも1/10となり、全体のテスト時
間短縮が可能となる。
【0018】しかもスキップ後は従来と異なり、スキッ
プ対象テストといえども全く測定しないわけではないの
で、次工程に対する品質保証も確保できるという利点が
ある。
【0019】本実施例の図1において、図2と同じ番号
のものは、図2と全く同じなので、説明は省略する。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明のLSIテス
ト方法は、あるテストでスキップがかかっても、同テス
トを完全にスキップするのではなく、DC測定ならば一
部の被測定ピンを残してスキップしたり、ファンクショ
ンテスト測定ならば、テストパタンを圧縮することによ
り、テスト時間の短縮を図り、かつ、一部の被測定ピ
ン,一部のテストパタンをケアすることにより、LSI
の出来,不出来をある程度モニタでき、次工程へ不良品
が流失する確率を下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例におけるテストプログラムの
流れを示すフローチャートである。
【図2】従来のテストプログラムの流れを示すフローチ
ャートである。
【符号の説明】
1 測定開始ステップ 2 被測定チップの第1番目のテストステップ 3 同第2番目のテストステップ 4 同m番目のテストでスキップ対象 5 同m+1番目のテストステップ 6 同n番目のテストでスキップ対象 7 同n+1番目のテストステップ 8 テストエンドステップ 10 スキップの初期値を設定するために被測定チップ
がロットの先頭か否かを判定するルーチン 11 テストmがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン 12 テストnがスキップの条件を満足したかをチェッ
クするルーチン 13 ロットの最後か否かをチェックステップ 14,15 DCテストかファンクションテストのチェ
ックステップ 20 スキップ条件設定ステップ 21 DCテストにおける被測定ピン数の削減決定ステ
ップ 22 ファンクションテストにおけるテストパタン数の
削減決定ステップ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数個のLSIを連続して測定するLS
    Iテスト方法であって、被テストLSIが、複数のテストを含むテストプログラ
    ム中のあるテストにおいて所定の複数分連続してパスし
    たとき、その連続してパスしたテストの内容の一部を簡
    略したテストプログラムを用いて、未だテストを行って
    いないLSIをテストする ことを特徴とするLSIテス
    ト方法。
JP03313666A 1991-10-31 1991-10-31 Lsiテスト方法 Expired - Lifetime JP3114753B2 (ja)

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