JP2004053411A - Icテスタ及びicのテスト方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パターンメモリに格納される3種類のパターン(DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターン)のうち、CMPパターンの部分をパターンメモリ以外のハードウエアに代替させることによって、パターンメモリの容量を小さくして、原価の低いICテスタを提供する。
【解決手段】被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路36から発生するICテスタ。
【選択図】図1
【解決手段】被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路36から発生するICテスタ。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定デバイスから得られるデータと期待値信号とを比較して、一致する場合は良、一致しない場合は、不良と判定するICテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のICテスタは、ICテストによってテストボード上の被測定デバイスから得られるデータと期待値信号とが一致するか否かを比較し、この比較結果を用いて、MASK信号に従った良否を判定している。
この種のICテスタとしては、特開平2001−337140号公報に記載のものが知られている。
上記のICテスタでは良否判定において、ICテスタは、被測定デバイスから得られるデータと期待値信号とが一致する場合は良、一致しない場合は、不良と判定する。
【0003】
以下、従来のICテスタ1の構成及びその動作を図5を用いて説明する。
図5は、従来のICテスタ1の内部構成を示すブロック図であり、ICテスタ1は、試験部2、テストボード3、コントローラ4から構成される。
試験部2は、基本制御回路21、クロック発生回路22、電源回路23、コンパレータ24から構成され、電源回路23を除く各部はバス25によって接続される。
【0004】
基本制御回路21は、電源回路23から所定の電源が供給され、クロック発生回路22により発生される基本クロック信号に基づいてICテストに必要な被測定デバイスの入力となる各種テストパターン信号(DRVパターン)を発生させる。
また、被測定デバイスからの出力に対する期待値信号(CMPパターン)及び判定を行うか否かを決定するMASK信号(MASKパターン)をコンパレータ24に出力する。
そして、基本制御回路21は、コンパレータ24内の良否判定回路247から入力される良否判定信号をコントローラ4に出力する。
【0005】
コンパレータ24は、図6に示すように、テストパターンラッチ回路241、期待値信号ラッチ回路242、DRV/CMP回路243、比較回路244、MASK信号ラッチ回路245、クロック制御回路246、良否判定回路247、不良検出回路248から構成される。テストパターンラッチ回路241は、基本制御回路21から入力されたテストパターン信号(DRVパターン)をラッチして、ラッチしたテストパターン信号をDRV/CMP回路243に出力する。
【0006】
期待値信号ラッチ回路242は、基本制御回路21から入力された期待値信号(CMPパターン)をラッチして、ラッチした期待値信号を比較回路244と不良検出回路248とに出力する。
DRV/CMP回路243は、図示しないドライバ回路及びコンパレータ回路を備えており、テストパターンラッチ回路241から入力されたテストパターン信号を増幅してテストボード3上の図示しない被測定デバイスに印加する。
また、テストボード3上の被測定デバイスから入力される返りIO信号と基準信号とを比較し、比較信号を比較回路244と不良検出回路248とに出力する。
【0007】
比較回路244は、期待値信号ラッチ回路242から入力された期待値信号(CMPパターン)とDRV/CMP回路243から入力された比較信号とを比較し、比較結果信号を良否判定回路247に出力する。
MASK信号ラッチ回路245は、基本制御回路21から入力されたMASK信号(MASKパターン)をラッチして、ラッチしたMASK信号を良否判定回路247に出力する。
【0008】
クロック制御回路246は、クロック発生回路22から入力された基本クロック信号を制御して、良否判定動作に必要なクロック信号を良否判定回路247に供給する。
良否判定回路247は、MASK信号ラッチ回路245から入力されるMASK信号に従って、比較回路244から入力される比較結果信号の良否判定を行い、クロック制御回路246から入力されるクロック信号のタイミングに同期して基本制御回路21と不良検出回路248とに良否判定信号を出力する。
【0009】
そして、パターンメモリと被測定デバイスとの具体的な関係は図4に示す構成となっている。
図4において、31はDRVパターン、32はMASKパターン、33はCMPパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
また、34は被測定デバイスであって、該被測定デバイス34には、DRVパターンが入力(IN)され、該被測定デバイスからの出力信号(OUT)を良否判定回路35でCMPパターン(期待値パターン)と対比して測定結果を出力する構成となっている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上述の構成において、DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターンは図示しないパターンメモリに格納されているが、このパターンメモリは被測定デバイスのテストの実行時には、テストの実行速度に対して十分高速で動作しなければならない。
このため、パターンメモリには高速で動作が可能なメモリを使用する必要があるが、高速で動作するメモリは高価であると共に、被測定デバイスの回路規模が複雑化するにともなって、前記各パターンが長大化してパターンメモリには大容量化が必要となって、その結果として、ICテスタの原価を引き上げるという問題があった。
【0011】
本発明の課題
(目的)は、パターンメモリに格納される3種類のパターン(DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターン)のうち、CMPパターンの部分をパターンメモリ以外のハードウエアに代替させることによって、パターンメモリの容量を小さくして、原価の低いICテスタを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路から発生する構成とする。(請求項1)
【0013】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号を、既にテストされた良品デバイスに対して前記テストパターン信号を与え、当該良品デバイスから得られる出力データから得る構成とする。(請求項2)
【0014】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与え、該3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定する良品判定回路に与えて被測定デバイスの良否を判定する。(請求項3)
【0015】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方法であって、
既にテストされた良品デバイスを期待値パターン発生手段として選択するステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとに対してテストパターン信号を与えるステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとの出力データを比較するステップとで被測定デバイスのテストを実行する。(請求項4)
【0016】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方であって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与えるステップと、前記3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定するステップとで被測定デバイスのテストを実行する。(請求項5)
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態であるパターンメモリと被測定デバイスとの関係について図1を用いて説明する。
図1において、31はDRVパターン、32はMASKパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
また、36はハードウエアによって構成されるCMPパターン発生回路であって、プログラムカウンタ(PC)によって制御され、DRVパターンに同期してCMPパターンを発生することができる。
そして、該被測定デバイス34には、DRVパターンが入力(IN)され、該被測定デバイスからの出力信号(OUT)を、良否判定回路35で前記CMPパターン発生回路36から発生されたCMPパターンと対比して測定結果を出力する構成となっている。
【0018】
このように、図1に示すICテスタの構成では、ハードウエアで構成されるCMPパターン発生回路を、被測定デバイスとDRVパターンの組合せに対してのみCMPパターンを発生できればよいので、当該ICテスタでテストする被測定デバイスによっては無駄なCMPパターンを用意する必要がないので、CMPパターン発生回路の回路規模を小さくすることが予想できると共に、パターンメモリの容量を小さくでき、ICテスタの原価を下げることが可能になる。
【0019】
次に、本発明の第2の実施の形態であるパターンメモリと被測定デバイスとの関係について図2を用いて説明する。
図2において、31はDRVパターン、32はMASKパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
また、37は既にテストされて良品と判断されている良品デバイスであって、当該良品デバイスに対してDRVパターンを入力(IN)すると、出力(OUT)として期待値(CMPパターン)に相当する出力が得られる。
そして、該被測定デバイス34及び良品デバイス37には、DRVパターンが入力(IN)され、被測定デバイスからの出力信号(OUT)及び良品デバイスからのCMPパターンに相当する出力とを、良否判定回路35対比して測定結果を出力する構成となっている。
【0020】
このように、図2に示すICテスタの構成では、既にテストされて良品と判断されている良品デバイスをCMPパターン発生回路の代わりに用いるので、CMPパターン発生回路を必要とせず、且つ、パターンメモリの容量を小さくできるので、ICテスタの原価をより下げることが可能になる。
【0021】
また、本発明の第3の実施の形態であるパターンメモリと被測定デバイスとの関係について図3を用いて説明する。
図3において、31はDRVパターン、32はMASKパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
そして、複数の被測定デバイス34−1,34−2,34−3には、DRVパターンが入力(IN)され、それぞれの被測定デバイスからの出力信号(OUT)を多数決良否判定回路に入力して、多数決論理判断をして測定結果を出力する構成となっている。
【0022】
このように、図3に示すICテスタの構成では、3個以上の被測定デバイスを同時にテストすることによって被測定デバイスの良否を判定するので、CMPパターン発生回路を必要とせず、且つ、パターンメモリの容量を小さくできるので、ICテスタの原価をより下げることが可能になる。
【0023】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路から発生する構成とすることによって、従来ではパターンメモリに格納される3種類のパターン(DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターン)のうち、CMPパターンの部分をパターンメモリ以外のハードウエアに代替させることによって、パターンメモリの容量を小さくして、原価の低いICテスタを提供することができる。
【0024】
また、請求項2に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号を、既にテストされた良品デバイスに対して前記テストパターン信号を与え、当該良品デバイスから得られる出力データから得る構成であるので、期待値パターン発生回路を省略することができる。
【0025】
また、請求項3に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与え、該3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定する良品判定回路に与えて被測定デバイスの良否を判定するので、請求項2に記載の発明と同様に期待値パターン発生回路を省略できると共に、良品デバイスを選定する必要がない。
【0026】
また、請求項4に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方法であって、既にテストされた良品デバイスを期待値パターン発生手段として選択するステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとに対してテストパターン信号を与えるステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとの出力データを比較するステップとで被測定デバイスのテストを実行するので、期待値パターン発生回路をを用いずに被測定デバイスのテストができる。
【0027】
また、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方であって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与えるステップと、前記3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定するステップとで被測定デバイスのテストを実行するので、請求項4に記載の発明と同様に期待値パターン発生回路を省略できると共に、良品デバイスを選定する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】CMPパターン発生回路として用いたICテスタの構成を示す図である。
【図2】良品デバイスをCMPパターン発生回路とするICテスタの構成を示す図である。
【図3】多数決論理によって良品デバイスの判定を行うICテスタの構成を示す図である。
【図4】パターンメモリと被測定デバイスとの関係ぞ示す図である。
【図5】従来のICテスタ1の基本的な構成を示す図である。
【図6】図5のコンパレータボードの詳細な構成を示す図である。
【符号の説明】
31 DRVパターン
32 MASKパターン
33 CMPパターン
34 被測定デバイス(DUT)
35 良否判定回路
36 CMPパターン発生回路
37 プログラムカウンタ(PC)
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定デバイスから得られるデータと期待値信号とを比較して、一致する場合は良、一致しない場合は、不良と判定するICテスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のICテスタは、ICテストによってテストボード上の被測定デバイスから得られるデータと期待値信号とが一致するか否かを比較し、この比較結果を用いて、MASK信号に従った良否を判定している。
この種のICテスタとしては、特開平2001−337140号公報に記載のものが知られている。
上記のICテスタでは良否判定において、ICテスタは、被測定デバイスから得られるデータと期待値信号とが一致する場合は良、一致しない場合は、不良と判定する。
【0003】
以下、従来のICテスタ1の構成及びその動作を図5を用いて説明する。
図5は、従来のICテスタ1の内部構成を示すブロック図であり、ICテスタ1は、試験部2、テストボード3、コントローラ4から構成される。
試験部2は、基本制御回路21、クロック発生回路22、電源回路23、コンパレータ24から構成され、電源回路23を除く各部はバス25によって接続される。
【0004】
基本制御回路21は、電源回路23から所定の電源が供給され、クロック発生回路22により発生される基本クロック信号に基づいてICテストに必要な被測定デバイスの入力となる各種テストパターン信号(DRVパターン)を発生させる。
また、被測定デバイスからの出力に対する期待値信号(CMPパターン)及び判定を行うか否かを決定するMASK信号(MASKパターン)をコンパレータ24に出力する。
そして、基本制御回路21は、コンパレータ24内の良否判定回路247から入力される良否判定信号をコントローラ4に出力する。
【0005】
コンパレータ24は、図6に示すように、テストパターンラッチ回路241、期待値信号ラッチ回路242、DRV/CMP回路243、比較回路244、MASK信号ラッチ回路245、クロック制御回路246、良否判定回路247、不良検出回路248から構成される。テストパターンラッチ回路241は、基本制御回路21から入力されたテストパターン信号(DRVパターン)をラッチして、ラッチしたテストパターン信号をDRV/CMP回路243に出力する。
【0006】
期待値信号ラッチ回路242は、基本制御回路21から入力された期待値信号(CMPパターン)をラッチして、ラッチした期待値信号を比較回路244と不良検出回路248とに出力する。
DRV/CMP回路243は、図示しないドライバ回路及びコンパレータ回路を備えており、テストパターンラッチ回路241から入力されたテストパターン信号を増幅してテストボード3上の図示しない被測定デバイスに印加する。
また、テストボード3上の被測定デバイスから入力される返りIO信号と基準信号とを比較し、比較信号を比較回路244と不良検出回路248とに出力する。
【0007】
比較回路244は、期待値信号ラッチ回路242から入力された期待値信号(CMPパターン)とDRV/CMP回路243から入力された比較信号とを比較し、比較結果信号を良否判定回路247に出力する。
MASK信号ラッチ回路245は、基本制御回路21から入力されたMASK信号(MASKパターン)をラッチして、ラッチしたMASK信号を良否判定回路247に出力する。
【0008】
クロック制御回路246は、クロック発生回路22から入力された基本クロック信号を制御して、良否判定動作に必要なクロック信号を良否判定回路247に供給する。
良否判定回路247は、MASK信号ラッチ回路245から入力されるMASK信号に従って、比較回路244から入力される比較結果信号の良否判定を行い、クロック制御回路246から入力されるクロック信号のタイミングに同期して基本制御回路21と不良検出回路248とに良否判定信号を出力する。
【0009】
そして、パターンメモリと被測定デバイスとの具体的な関係は図4に示す構成となっている。
図4において、31はDRVパターン、32はMASKパターン、33はCMPパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
また、34は被測定デバイスであって、該被測定デバイス34には、DRVパターンが入力(IN)され、該被測定デバイスからの出力信号(OUT)を良否判定回路35でCMPパターン(期待値パターン)と対比して測定結果を出力する構成となっている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上述の構成において、DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターンは図示しないパターンメモリに格納されているが、このパターンメモリは被測定デバイスのテストの実行時には、テストの実行速度に対して十分高速で動作しなければならない。
このため、パターンメモリには高速で動作が可能なメモリを使用する必要があるが、高速で動作するメモリは高価であると共に、被測定デバイスの回路規模が複雑化するにともなって、前記各パターンが長大化してパターンメモリには大容量化が必要となって、その結果として、ICテスタの原価を引き上げるという問題があった。
【0011】
本発明の課題
(目的)は、パターンメモリに格納される3種類のパターン(DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターン)のうち、CMPパターンの部分をパターンメモリ以外のハードウエアに代替させることによって、パターンメモリの容量を小さくして、原価の低いICテスタを提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路から発生する構成とする。(請求項1)
【0013】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号を、既にテストされた良品デバイスに対して前記テストパターン信号を与え、当該良品デバイスから得られる出力データから得る構成とする。(請求項2)
【0014】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与え、該3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定する良品判定回路に与えて被測定デバイスの良否を判定する。(請求項3)
【0015】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方法であって、
既にテストされた良品デバイスを期待値パターン発生手段として選択するステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとに対してテストパターン信号を与えるステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとの出力データを比較するステップとで被測定デバイスのテストを実行する。(請求項4)
【0016】
被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方であって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与えるステップと、前記3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定するステップとで被測定デバイスのテストを実行する。(請求項5)
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態であるパターンメモリと被測定デバイスとの関係について図1を用いて説明する。
図1において、31はDRVパターン、32はMASKパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
また、36はハードウエアによって構成されるCMPパターン発生回路であって、プログラムカウンタ(PC)によって制御され、DRVパターンに同期してCMPパターンを発生することができる。
そして、該被測定デバイス34には、DRVパターンが入力(IN)され、該被測定デバイスからの出力信号(OUT)を、良否判定回路35で前記CMPパターン発生回路36から発生されたCMPパターンと対比して測定結果を出力する構成となっている。
【0018】
このように、図1に示すICテスタの構成では、ハードウエアで構成されるCMPパターン発生回路を、被測定デバイスとDRVパターンの組合せに対してのみCMPパターンを発生できればよいので、当該ICテスタでテストする被測定デバイスによっては無駄なCMPパターンを用意する必要がないので、CMPパターン発生回路の回路規模を小さくすることが予想できると共に、パターンメモリの容量を小さくでき、ICテスタの原価を下げることが可能になる。
【0019】
次に、本発明の第2の実施の形態であるパターンメモリと被測定デバイスとの関係について図2を用いて説明する。
図2において、31はDRVパターン、32はMASKパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
また、37は既にテストされて良品と判断されている良品デバイスであって、当該良品デバイスに対してDRVパターンを入力(IN)すると、出力(OUT)として期待値(CMPパターン)に相当する出力が得られる。
そして、該被測定デバイス34及び良品デバイス37には、DRVパターンが入力(IN)され、被測定デバイスからの出力信号(OUT)及び良品デバイスからのCMPパターンに相当する出力とを、良否判定回路35対比して測定結果を出力する構成となっている。
【0020】
このように、図2に示すICテスタの構成では、既にテストされて良品と判断されている良品デバイスをCMPパターン発生回路の代わりに用いるので、CMPパターン発生回路を必要とせず、且つ、パターンメモリの容量を小さくできるので、ICテスタの原価をより下げることが可能になる。
【0021】
また、本発明の第3の実施の形態であるパターンメモリと被測定デバイスとの関係について図3を用いて説明する。
図3において、31はDRVパターン、32はMASKパターンであって、それぞれ図示しないパターンメモリに格納されている。
そして、複数の被測定デバイス34−1,34−2,34−3には、DRVパターンが入力(IN)され、それぞれの被測定デバイスからの出力信号(OUT)を多数決良否判定回路に入力して、多数決論理判断をして測定結果を出力する構成となっている。
【0022】
このように、図3に示すICテスタの構成では、3個以上の被測定デバイスを同時にテストすることによって被測定デバイスの良否を判定するので、CMPパターン発生回路を必要とせず、且つ、パターンメモリの容量を小さくできるので、ICテスタの原価をより下げることが可能になる。
【0023】
【発明の効果】
請求項1に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路から発生する構成とすることによって、従来ではパターンメモリに格納される3種類のパターン(DRVパターン、CMPパターン及びMASKパターン)のうち、CMPパターンの部分をパターンメモリ以外のハードウエアに代替させることによって、パターンメモリの容量を小さくして、原価の低いICテスタを提供することができる。
【0024】
また、請求項2に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号を、既にテストされた良品デバイスに対して前記テストパターン信号を与え、当該良品デバイスから得られる出力データから得る構成であるので、期待値パターン発生回路を省略することができる。
【0025】
また、請求項3に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与え、該3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定する良品判定回路に与えて被測定デバイスの良否を判定するので、請求項2に記載の発明と同様に期待値パターン発生回路を省略できると共に、良品デバイスを選定する必要がない。
【0026】
また、請求項4に記載の発明では、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方法であって、既にテストされた良品デバイスを期待値パターン発生手段として選択するステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとに対してテストパターン信号を与えるステップと、前記良品デバイスと被測定デバイスとの出力データを比較するステップとで被測定デバイスのテストを実行するので、期待値パターン発生回路をを用いずに被測定デバイスのテストができる。
【0027】
また、被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方であって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与えるステップと、前記3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定するステップとで被測定デバイスのテストを実行するので、請求項4に記載の発明と同様に期待値パターン発生回路を省略できると共に、良品デバイスを選定する必要がない。
【図面の簡単な説明】
【図1】CMPパターン発生回路として用いたICテスタの構成を示す図である。
【図2】良品デバイスをCMPパターン発生回路とするICテスタの構成を示す図である。
【図3】多数決論理によって良品デバイスの判定を行うICテスタの構成を示す図である。
【図4】パターンメモリと被測定デバイスとの関係ぞ示す図である。
【図5】従来のICテスタ1の基本的な構成を示す図である。
【図6】図5のコンパレータボードの詳細な構成を示す図である。
【符号の説明】
31 DRVパターン
32 MASKパターン
33 CMPパターン
34 被測定デバイス(DUT)
35 良否判定回路
36 CMPパターン発生回路
37 プログラムカウンタ(PC)
Claims (5)
- 被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号をハードウエアで構成された期待値パターン発生回路から発生することを特徴とするICテスタ。 - 被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
前記期待値パターン信号を、既にテストされた良品デバイスに対して前記テストパターン信号を与え、当該良品デバイスから得られる出力データから得ることを特徴とするICテスタ。 - 被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICテスタであって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与え、該3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定する良品判定回路に与えて被測定デバイスの良否を判定するICテスタ。 - 被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データと期待値パターン信号との比較によって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方法であって、
既にテストされた良品デバイスを期待値パターン発生手段として選択するステップと、
前記良品デバイスと被測定デバイスとに対してテストパターン信号を与えるステップと、
前記良品デバイスと被測定デバイスとの出力データを比較するステップと、
を含むことを特徴とするICのテスト方法。 - 被測定デバイスに対してテストパターン信号を与え、該被測定デバイスから得られる出力データによって、当該被測定デバイスの良否を判定するICのテスト方であって、
3以上の被測定デバイスに対して同一のテストパターン信号を与えるステップと、
前記3以上の被測定デバイスから得られるそれぞれの出力データを多数決論理で判定するステップと、
を含むことを特徴とするICのテスト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002211160A JP2004053411A (ja) | 2002-07-19 | 2002-07-19 | Icテスタ及びicのテスト方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002211160A JP2004053411A (ja) | 2002-07-19 | 2002-07-19 | Icテスタ及びicのテスト方法 |
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JP2002211160A Pending JP2004053411A (ja) | 2002-07-19 | 2002-07-19 | Icテスタ及びicのテスト方法 |
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JP (1) | JP2004053411A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103344854A (zh) * | 2013-06-24 | 2013-10-09 | 国家电网公司 | 一种逻辑功能装置的自动测试系统及方法 |
-
2002
- 2002-07-19 JP JP2002211160A patent/JP2004053411A/ja active Pending
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