JPH047459B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH047459B2
JPH047459B2 JP58122455A JP12245583A JPH047459B2 JP H047459 B2 JPH047459 B2 JP H047459B2 JP 58122455 A JP58122455 A JP 58122455A JP 12245583 A JP12245583 A JP 12245583A JP H047459 B2 JPH047459 B2 JP H047459B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
arm
pressure
tuning fork
arms
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP58122455A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5924230A (ja
Inventor
Deingaa Ruudorufu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asulab AG
Original Assignee
Asulab AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asulab AG filed Critical Asulab AG
Publication of JPS5924230A publication Critical patent/JPS5924230A/ja
Publication of JPH047459B2 publication Critical patent/JPH047459B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
    • G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、圧力センサで使用するための検知素
子に関する。例えば本発明は、1.50〜2.25mmHg
（２〜3mbar）から少なくとも750mmHg（1bar）の
範囲の圧力を測定するための装置に関する。
従来技術 この範囲の圧力を測定するために、測定しよう
とする圧力で薄い仕切板が変形させられることを
利用する圧力ゲージ（またはマノメータ）が使用
されてきた。したがつて基本的な現象は機械的で
ある。これらの圧力ゲージは、まずかさばり、さ
らに変形される仕切板と表示手段との間の継手が
完全に機械的であるので、圧力測定値を遠隔読み
取りできない。前述の圧力範囲において、圧電抵
抗センサまたは圧電抵抗センサ群を利用する装置
も使用されている。この種の装置の欠点は、第１
に高価で過圧力による破壊をもたらすこと、第２
に後続の数値処理をできるようにするためにはデ
ジタル形態に変換されなければならないアナログ
信号を供給することである。その結果、大部分排
気した室を利用する装置にはこの範囲の圧力を測
定するための装置が設けられず、これによりその
動作上の信頼性に悪影響を及ぼす。
発明の解決すべき問題点 したがつて本発明の第１の目的は、1.50〜2.25
mmHg（２〜3mbar）から少なくとも750mmHg
（1bar）までの範囲の圧力を検知し、直線性およ
び感度が良く、しかも圧力測定に関する情報を疑
似デジタル値の形態で、例えば周波数の形態で供
給できる圧力検知素子を提供することである。
課題を解決するための手段 この課題は、検知素子が圧電部材から成る、一
対のアームを有する同調用フオーク形振動子を含
むようにし、前記アームはそれぞれ一対の互いに
平行な側面を有しており、 さらに前記同調用フオーク形振動子にはその頂
面および底面ならびに側面に、前記アームを該ア
ームの側面と実質的に垂直の方向へ屈曲モードで
振動させるための電極が配置されており、 さらに各アームの自由端部分に、前記アームの
側面と平行に延在する少なくとも１つの細長い溝
が設けられており、該溝の側面も前記アームの運
動方向と実質的に垂直になるようにし、かつ該溝
が前記アームを該アームの厚さの方向へ垂直に貫
通して延在するようにし、 さらに前記電極は、前記溝の設けられた各アー
ムの自由端部分には設けられないようにしたこと
により解決される。
上記の構成を有する同調用フオーク形振動子で
は、慣用の同調用フオーク形振動子の圧力係数に
関して、圧力の影響が相当増大し得る。更に、こ
のような同調用フオーク形振動子の構成はエツチ
ングによる製造従つて検知素子の大量生産に役立
つ。
さらに本発明の第２の目的は、上述した検知素
子を使用しかつ検知素子から供給された信号を処
理するための電子回路が極めて簡単である、ガス
の圧力を測定するためのセンサを提供することで
ある。
この課題を解決するために、上述したような検
知素子と、圧力を測定しようとするガスを受け入
れる孔を有し、同調用フオーク形振動子が内側に
緊着されているケースと、電極へ電圧を印加しか
つ前記圧力の影響で前記同調用フオーク形振動子
の共振周波数を受けるための手段と、前記周波数
の振動を圧力表示に変換するための手段とをセン
サに設けるようにすると有利である。
本発明による検知素子に用いられている「一対
のアーム」は、他の同調用フオーク形振動子と同
様に、実質的に同一のかつ中央面に関して左右対
称である。このような「一対のアーム」を、例え
ば水晶から成る圧電部材の同調用振動子として用
いる理由は以下のとおりである。第一は、この形
式の振動子を用いることにより、高い精度で圧力
を測定できる。第二にこの種のセンサは、時計用
の同調用フオーク形振動子と同じ方法で製造する
ことができるため大量生産が可能であり、そのた
め安い費用で製造可能である。第三にこの種の振
動子の共振周波数は低く（77kHzあるいは32kHz
でさえ可能）できて、しかもセンサにおける温度
補償を必要としない。そのため振動子は信号を直
接、デイジタル形式で供給するのでなおさら、こ
の種のセンサの電子回路を簡単にすることができ
る。
実施例の説明 第１図に示す従来の同調用フオーク形振動子
は、ベース２並びに破線で示したベース平面８か
ら突出する一対の平行アーム４および６を備え
る。これらのアームは、長さＬ，幅Ｗおよび厚さ
ｔ並びに側面Ｓを持つ。このような同調用フオー
ク形振動子が屈曲モードで励振される時、すなわ
ちこのアームが矢印f′で示したように振動する
時、圧力ｐの関数としての共振子の共振周波数
Δfの変化は下記の式で表わされる。
Δf／ｆ＝k1・ｐ／ｖ・Ｓ／ｍ・１／ω 式中、ｆは同調用フオーク形振動子の振動の周
波数であり、ｖは同調用フオーク形振動子を囲む
ガス分子の熱エネルギーの平均速度であり（ガス
は圧力ｐにある）、ｓは一方の側面Ｓの面積すな
わち運動方向と直角な１つの表面の面積であり、
ｍは同調用フオーク形振動子の運動質量すなわち
アームの外形および平面８によつて定められたア
ームの質量であり、ωは共振時の脈動であつて
2πfに等しく、Δfは共振周波数であり。そしてk1
は定数である。
Ｓおよびｍのための上述した定義から、これら
の２つの大きさは下記のように表わせる。
Ｓ＝Ｌ×ｔそしてｍ＝fL×ｔ×Ｗである。た
だし、ｆは水晶の密度である。
上式中のＳおよびｍを置換すると、下記の式が
得られる。
Δf／ｆ＝k2・ｐ／ｖ・１／Ｗ・１／ω ただし、k2は定数である。
この式からわかるように、圧力の関数としての
周波数の相対変化は、寸法の大きさについて、ア
ームの幅Ｗの逆数だけに依存する。しかしなが
ら、脈動ωは周知のようにアームの長さＬおよび
幅Ｗに依存する。
同調用フオーク形振動子の圧力に対する感度を
増すためには、アームの幅Ｗを狭くして脈動ωを
小さくしなければならない。こような解決策（同
調用フオーク形振動子のアーム）は同調用フオー
ク形振動子に非常に小さなダイナミツク・キヤパ
シタンスを持たせ、そのような設計を実施し難い
ものにする。
第２ａ図に示した同調用フオーク形振動子はベ
ース１０並びに一対のアーム１２および１４を有
する。両方のアームの自由端部分にはアームの長
さ方向に延びる細長い溝１６が形成される。ここ
では各アームに４つの溝が形成され、各溝は長さ
がｌで幅がｅである。したがつて溝１６の側面１
６ａは、圧力測定の一部を果す同調用フオーク形
振動子のアームの側面Ｓと平行である。更に、溝
１６の幅ｅは、その値がガス分子の平均自由工程
よりも明らかに大きくなるように設定される。同
調用フオーク形振動子は屈曲モードで励振され、
溝１６の側面１６ａはアームの運動と垂直な方向
にある。
次に、アームの自由端部分に細長い溝１６を設
けた理由について詳細に説明する。
圧力を測定すべきガス中を屈曲モードで励振す
る同調用フオーク形振動子の場合、前述の比
Δf／ｆと感度とは、運動方向に対して垂直な一
対のアームのうちの一方のアーム（あるいは両
方）の全表面積に実質的に比例する。その際、各
アーム（あるいは両方のアーム）の質量が減少す
ると、前述の比および感度が増加する。このこと
は容易に理解することができる。全表面積が大き
くなればなるほど、この表面に衝突する分子数が
多くなり、アームの質量が小さくなればなるほ
ど、アームを運動させる分子の衝撃が効率よくな
る。
溝を設けることによつて、アームの運動方向に
対して垂直であるアーム全表面積を増加させるこ
とができるとともに、アームの質量を減らすこと
ができる。その結果、アームの幅を小さくしなく
ても振動子の感度を著しく高めることができる。
溝をアームの自由端部近傍に、つまりアームが
最も自由にかつ大きく運動する場所に設けると非
常に効果的であることは明らかである。
一方、ガス分子の平均自由行程（ガス分子が一
回衝突してから次に衝突する間に走行する距離の
平均値）が溝の幅のオーダーであるかあるいはそ
れよりも大きい場合、換言すればガス圧力ならび
に密度が低ければ、溝の中に侵入するガス分子の
個数は少なく、したがつてガス分子と溝の側面と
が衝突する回数も僅かになり、大部分のガス分子
は溝から逸れてしまう。このような場合この溝は
もはや、アームの運動に対して垂直な表面積を増
加させるには寄与せず、アームの質量を減少させ
るだけであつて、圧力の測定はエラーを有するよ
うになる。この場合には明らかに、圧力に対する
測定不可能な下限が生じてしまう。このことを回
避するため前途のように、溝１６の幅ｅの値は、
ガス分子の平均自由行程よりも大きくなるように
設定される。
第２ｂ図に示したように、アーム１２および１
４は各々、その頂面および底面に一対の電極１８
および１８′を持つと共にその側面Ｓに一対の側
面電極２０および２０′を持つ。第２ｂ図に示し
たように、共通の電位が対面電極の各対に印加さ
れる。
この場合、溝が設けられていても、電極を形成
する金属を被着する際の妨げにはならない。それ
は、周知のように、部分屈曲モードで励振される
のを避けるためには、同調用フオーク形振動子の
アームの先端には電極を設けないようにしなけれ
ばならないためである。
なお、第２ａ図および第２ｂ図に示されている
ように、この実施例では同調用フオーク形振動子
のアームの断面を長方形としたが、これはこの種
の形状を有するアームが著しく容易に形成できし
たがつて最も一般的であるからである。さらにこ
のようなアームの形状は、著しく効率のよいセン
サを得るためにおそらく最も適したものであろ
う。しかし本発明による同調用フオーク形振動子
はこのようなアームの形状に限定されるものでは
なく、例えば六角形のように、他の形状の断面を
有するアームでも実現可能である。また、第２ｂ
図に示されている電極の配置は、実質的にＺカツ
トでありかつ長方形の断面を有するフオーク形振
動子に適したものである。したがつてそのほかの
カツトおよび／または別の形状の振動子に対して
も、これと全く同じようにあるいは類似させて電
極を配置する必要はない。
第３図の特性曲線Ｉは、第２ａおよび２ｂ図に
示されている同調用フオーク形振動子の動作を示
す。この特性曲線は、ミリバールで表わされた圧
力ｐの関数として、ppmで表わされた周波数の相
対変化、 Δf／ｆ を示す。腕時計に使用するのに適したサイズの同
調用フオーク形振動子のアームは2.7mm程度の長
さＬ、215μmの幅Ｗおよび125μmの厚さｔを持つ
ている。各溝１６は１mmの長さ１および30μmの
幅ｅを持つている。特性曲線Ｉは、1.50〜2.25mm
Hg（２〜3mbar）ないし約750mmHg（1bar）の範
囲において同調用フオーク形振動子の周波数の相
対変化と圧力（約0.8413ppm／mmHg（63／ppm／
bar）の圧力変化係数を有する）の間に非常に直
線的な関係が得られることを示す。この値は同様
な特性を有するが、溝が形成されない慣用の水晶
製同調用フオーク形振動子と同一の圧力係数
250ppm／℃と比較されるべきである。特性曲線
は、Ｌが2400μmで、Ｗが220μmでかつｔが
125μmであるような同調用フオーク形振動子に相
当する。従つて、圧力の影響がかなり増大するこ
とが認められる。
さらに、このようにして作られた同調用フオー
ク形振動子は約77kHzの共振周波数を有する。も
し同調用フオーク形振動子の長さを長くして同調
用フオーク形振動子の共振周波数を約32kHzまで
低くすると、前述した最後の式は圧力に対する依
存係数が少なくとも２倍されることを示す。従つ
て、第２ａおよび２ｂ図による同調用フオーク形
振動子では、1.50〜2.25mmHg（２〜3mbar）から
少なくとも750mmHg（1bar）の範囲内で圧力の関
数としての周波数の相対変化が約1.60ppm／mm
Hg（1200ppm／bar）の圧力係数を有する圧力検
知素子を作ることが可能である。圧力はこのよう
にして正確に測定できる。
第４図に簡単化した形態で示す圧力測定用セン
サは、本発明による検知素子を含む。検知素子
は、例えば円筒形スリーブ状真鍮製カバー３０お
よび少なくとも部分的に絶縁性である支持体３２
から成るケースの中に収容される。このケースの
内部を測定しようとする圧力に曝するためにカバ
ー３０に孔３３が設けられる。支持体３２を貫通
して２本の導電ストリツプ３４および３４′がカ
バー３０内部へ延び出ており、これらの導電スト
リツプはカバー３０内に位置する方の端部におい
て同調用フオーク形振動子のベースと固定的に接
続されている。これによりそれらのストリツプ
は、アーム１２，１４に設けられた２組の電極
（＋，−）のうちの一方の電極へそれぞれ接続され
る（第２図も参照のこと）。他方、導電ストリツ
プ３４，３４′の、カバー３０外部に位置する方
の端部は、それぞれ導体３６，３８へ接続されて
いる。これらの導体３６および３８を介して、振
動子の振動周波数を表わす信号が処理・給電回路
４０へ供給され、次にこの処理・給電回路４０
は、検知素子によつて測定された圧力を表示する
ための表示手段４２を制御する。なお、処理・給
電回路４０の詳細については第５図を用いて以下
で説明するが、第４図の処理・給電回路４０の一
部である同調用フオーク形振動子を振動させる駆
動手段は、周知の水晶共振器のための駆動装置と
同様、振動子の振動周波数を検出しその周波数を
有する電気信号を送出する検出手段としても構成
されている。このような駆動／検出手段は、後述
の第５図のドライブ回路４６を構成するものであ
る。
処理・給電回路４０の目的は、第１に周囲圧力
に対して共振周波数で検知素子を駆動すること、
第２に周波数の変化から圧力の値を誘導するよう
に周波数信号を処理することである。
第５図は処理・給電回路４０を設計するための
例を示す。２本の導体３６および３８は慣用のド
ライブ回路４６へ接続されている。このドライブ
回路４６は、測定されなければならない圧力に依
存する周波数ｆの信号を出力端子に供給する。信
号ｆはANDゲート４８の一方の入力端子へ印加
され、ANDゲート４８の他方の入力端子は信号
発生器５０の供給した信号を受ける。信号発生器
５０は例えば100ミリ秒の持続時間および１秒の
周期を持つ信号を発生する。ANDゲート４８の
出力端子はカウンタ５２のクロツク入力端子CK
へ接続されている。カウンタ５２の出力信号（カ
ウンタに状態を表わす）は、ラツチ５４の入力端
子へ印加される。ラツチ５４からの出力信号は計
算回路５６へ印加され、その出力信号は表示手段
４２のための符号化回路５８を制御する。信号発
生器５０の出力端子は検出回路６０の入力端子６
０ａへも接続されている。検出回路６０は、信号
の立下りが入力端子６０ａへ印加される毎にパル
スを出力端子６０ｂに供給する。検出回路６０の
出力端子６０ｂは一対のインバータ６２および６
２′（これらは遅延回路として働く）を介して点
Ｂへ接続される。この点Ｂは、一対のインバータ
６４および６４′（矢張り遅延回路として働く）
を介してカウンタ５２のゼロ・リセツト入力端子
CLへ接続されかつラツチ５４のイネーブル入力
端子Enへ接続される。
処理・給電回路４０の動作は以上の説明から明
らかである。信号発生器５０から発する信号が低
レベル論理状態にある限り、ANDゲート４８は
閉じていてカウンタ５２はインクリメントされな
い。しかし、信号発生器５０から信号の立上りを
受けると、ANDゲート４８は開いてカウンタ５
２は周波数ｆの信号のパルスをそのクロツク入力
端子CKを通して受ける。信号発生器５０の出力
が高レベル論理状態から低レベル論理状態に変る
と、ANDゲート４８は閉じてカウンタ５２はも
はやインクリメントされない。これと同時に、検
出回路６０はパルスを発し、このパルスは少しの
遅延の後でカウンタ５２の内容をラツチ５４へ転
送させる。従つて、その内容は、信号発生器５０
から供給された信号の持続時間の間すなわち約
100ミリ秒の間周波数ｆの信号中に含まれたパル
スの数に等しい。
ラツチ５４の内容は、従つて検知素子の周波数
をデジタル形態で表わす。その後、検出回路６０
によつて供給されたパルスはカウンタ５２をゼロ
にリセツトし、信号発生器５０によつて供給され
る信号の次のパルスが到着する時に新しい測定を
行わせる。ラツチ５４の２進デジタル形態での内
容は、この周波数を或る数例えばミリバールに変
換するように計算回路５６によつて処理される。
この計算回路５６は、従つて基準圧力での周波数
の値を考慮するために計数されたパルスの数から
例えば調整手段６６によつて設定された所定値を
減算しかつこの結果を一定の或は制御可能な係数
で割つてミリバールの数と周波数の変化との比を
提供するのに役立つにすぎない。この計算の結果
は符号化回路５８へ与えられ、もつて表示手段４
２によつて表示される圧力を制御する。
周知のように、水晶結晶によつて供給される周
波数は温度に依存する。事実上Ｚ切断の同調用フ
オーク形振動子の場合には、すなわ主面が水晶の
光学Ｚ軸と実質的に垂直である場合には、温度の
関数として相対周波数変化を表わす特性曲線は実
質的に放物線状であり、その頂点は同調用フオー
ク形振動子上の反転温度に相当する。圧力センサ
の普通の動作範囲に関してこの反転温度が集中さ
れ得るように切断角θを選ぶことが可能である。
例えば、もし同調用フオーク形振動子の主面に対
する法線が水晶のＺ方向に対して2°の角をなすな
らば、反転温度は25°になる。この状態下で温度
の関数としての周波数の相対変化は約34・10-9／
℃に等しい温度係数βによつて与えられる。発明
の結果として得られた圧力係数とこの温度係数の
比較から明らかなように、もし温度が反転温度の
両側で妥当な範囲内に留るならば、温度の影響は
圧力測定に意味ある仕方で悪影響を及ぼさない。
上述した動作範囲すなわち1.50〜2.25mmHg（２
〜3mbar）〜75.0mmHg（1bar）は、これだけに制
限されるべきでない。これは、精巧な電子回路を
要さないように同調用フオーク形振動子の満足な
動作に相当する。圧力ｐが増すと、圧力に対する
直線性の感度は良好なままであるが、これを低下
させるのは共振子のＱである。しかしながら、本
発明による検知素子を使用するセンサの動作範囲
は、電子回路を適用することによつて3750mmHg
（5bar）まで増大され得ることに注目されたい。
以上の説明から明らかなように、圧力検知素子
は開示された問題に対する満足な回答を提供す
る。
第１に、共振子の製造は時計用共振子の生産に
おいて通常要求される技術を使用し、さらに溝に
対する要求によつて、水晶のエツチングまたは電
極の取り付けが非常に複雑になることはない。第
２に、検知素子は750mmHg（1bar）までの範囲で
極めて満足に働き、これは既知のセンサが遠隔測
定を実施できない範囲である。第３に、検知素子
の圧力に対する感度が極めて良いことに留意すれ
ば、温度補償を行う必要が無く、従つてセンサの
構造、特に電子回路の構造を簡単化する。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の同調用フオーク形振動の斜視
図、第２ａ図は本発明による検知素子で使用され
る同調用フオーク形振動子の斜視図、第２ｂ図は
同調用フオーク形振動子のアームの縦断面図であ
つて、同調用フオーク形振動子を屈曲モードで励
振するのに電極を合わせる１つの方法を示す。第
３図は本発明による検知素子の動作を例示するグ
ラフ図、第４図は本発明による検知素子を使用す
る圧力測定用センサを簡単化した形態で示す図、
第５図は第２図ないし第４図による検知素子によ
つて供給された信号を処理するための回路を示す
ブロツク図である。 １２，１４……アーム、Ｓ……側面、１８，１
８′，２０，２０′……電極、１６……溝、１６ａ
……溝の側面、ｔ……アームの厚さ、３３……
孔、３０……カバー、３２……支持体、４０……
処理・給電回路、４２……表示手段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 圧力センサで使用するための検知素子におい
    て、 該検知素子は圧電部材から成る、一対のアーム
    １２，１４を有する同調用フオーク形振動子を含
    むようにし、前記アーム１２，１４はそれぞれ一
    対の互いに平行な側面Ｓを有しており、 さらに前記同調用フオーク形振動子にはその頂
    面および底面ならびに側面に、前記アーム１２，
    １４を該アームの側面Ｓと実質的に垂直の方向へ
    屈曲モードで振動させるための電極１８，１８′，
    ２０，２０′が配置されており、 さらに各アーム１２，１４の自由端部分に、前
    記アーム１２，１４の側面Ｓと平行に延在する少
    なくとも１つの細長い溝１６が設けられており、
    該溝１６の側面１６ａも前記アーム１２，１４の
    運動方向と実質的に垂直になるようにし、かつ該
    溝１６が前記アーム１２，１４を該アームの厚さ
    ｔの方向へ垂直に貫通して延在するようにし、 さらに前記電極１８，１８′，２０，２０′は、
    前記溝１６の設けられた各アーム１２，１４の自
    由端部分には設けられないようにしたことを特徴
    とする、圧力センサで使用するための検知素子。 ２ 前記同調用フオーク形振動子は水晶から成
    り、該同調用フオーク形振動子のアームの側面は
    前記水晶のＺ方向に対して実質的に平行であるよ
    うにした特許請求の範囲第１項記載の検知素子。
JP58122455A 1982-07-13 1983-07-07 検知素子 Granted JPS5924230A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8212532 1982-07-13
FR8212532A FR2530338A1 (fr) 1982-07-13 1982-07-13 Element sensible a la pression et capteur de pression en faisant application

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5924230A JPS5924230A (ja) 1984-02-07
JPH047459B2 true JPH047459B2 (ja) 1992-02-12

Family

ID=9276064

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58122455A Granted JPS5924230A (ja) 1982-07-13 1983-07-07 検知素子

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4507970A (ja)
EP (1) EP0099330B1 (ja)
JP (1) JPS5924230A (ja)
DE (1) DE3363269D1 (ja)
FR (1) FR2530338A1 (ja)
HK (1) HK49589A (ja)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4644796A (en) * 1983-06-21 1987-02-24 Quartztronics, Inc. Pressure measurement apparatus and method
JPS61201129A (ja) * 1985-03-04 1986-09-05 Toyo Commun Equip Co Ltd ガス圧力センサ
US4734609A (en) * 1986-07-25 1988-03-29 Calogic Corporation Gas density transducer
US4936147A (en) * 1986-12-29 1990-06-26 Halliburton Company Transducer and sensor apparatus and method
US4802370A (en) * 1986-12-29 1989-02-07 Halliburton Company Transducer and sensor apparatus and method
CH687276A5 (de) * 1989-01-23 1996-10-31 Balzers Hochvakuum Stimmgabelquarz-Manometer.
CH687277A5 (de) * 1989-01-23 1996-10-31 Balzers Hochvakuum Stimmgabelquarz-Manometer.
DE58905634D1 (de) * 1989-01-23 1993-10-21 Balzers Hochvakuum Gasdruck-Messgerät.
US5012151A (en) * 1989-09-12 1991-04-30 Halliburton Company Thermally matched strip mounted resonator and related mounting method
JPH05117960A (ja) * 1991-10-25 1993-05-14 Koshin Kk 毛布の連続漂白方法
JPH09105U (ja) * 1991-10-29 1997-02-25 東洋通信機株式会社 ガス圧力センサ
US5221873A (en) * 1992-01-21 1993-06-22 Halliburton Services Pressure transducer with quartz crystal of singly rotated cut for increased pressure and temperature operating range
CH685659B5 (fr) * 1994-03-04 1996-03-15 Asulab Sa Montre indiquant une prevision meteorologique.
JP3969442B2 (ja) * 2005-09-26 2007-09-05 エプソントヨコム株式会社 圧力センサ
JP4973718B2 (ja) * 2009-01-27 2012-07-11 セイコーエプソン株式会社 圧力検出ユニット、及び圧力センサー
JP2011232263A (ja) * 2010-04-29 2011-11-17 Seiko Epson Corp 圧電センサー、圧電センサー素子及び圧電振動片
PT2458357E (pt) * 2010-11-29 2014-06-11 Air Prod & Chem Método e aparelho para medir a pressão de um gás
PL2458377T3 (pl) 2010-11-29 2020-02-28 Air Products And Chemicals, Inc. Sposób i urządzenie do pomiaru masy cząsteczkowej gazu
PL2458348T3 (pl) 2010-11-29 2014-01-31 Air Prod & Chem Sposób i urządzenie do mierzenia masowego natężenia przepływu
JP2012120014A (ja) * 2010-12-02 2012-06-21 Seiko Epson Corp 圧電振動素子、その製造方法、圧電振動子及び圧電発振器
PL2667176T3 (pl) 2012-05-24 2015-07-31 Air Prod & Chem Urządzenie do mierzenia rzeczywistej zawartości butli z gazem pod ciśnieniem
ES2663244T3 (es) 2012-05-24 2018-04-11 Air Products And Chemicals, Inc. Método y aparato para proporcionar una mezcla de gases
PL2667159T3 (pl) 2012-05-24 2022-05-02 Air Products And Chemicals, Inc. Sposób oraz urządzenie dla mierzenia masowego natężenia przepływu gazu
PL2667276T3 (pl) 2012-05-24 2018-04-30 Air Products And Chemicals, Inc. Sposób i urządzenie do dostarczania mieszaniny gazu
EP2667160B1 (en) 2012-05-24 2020-11-18 Air Products And Chemicals, Inc. Method of, and Apparatus for, Regulating the Mass Flow Rate of a Gas
ES2556783T3 (es) 2012-05-24 2016-01-20 Air Products And Chemicals, Inc. Método y aparato para medir las propiedades físicas de fluidos bifásicos
JP2014240789A (ja) * 2013-06-12 2014-12-25 ソニー株式会社 圧電デバイス及び電子機器
US10110198B1 (en) 2015-12-17 2018-10-23 Hrl Laboratories, Llc Integrated quartz MEMS tuning fork resonator/oscillator

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5031878A (ja) * 1973-07-19 1975-03-28
JPS55164324A (en) * 1979-06-04 1980-12-22 Rockwell International Corp Soundwave sensor

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3257850A (en) * 1963-11-26 1966-06-28 Rosemount Eng Co Ltd Pressure responsive vibrating tube
US3902355A (en) * 1972-07-31 1975-09-02 Gauting Gmbh Apparatebau Apparatus for the electronic-digital measurement of gas pressure
JPS5323589A (en) * 1976-08-18 1978-03-04 Seiko Epson Corp Crystal vibrator
JPS54113297A (en) * 1978-01-26 1979-09-04 Seiko Epson Corp Tuning fork-type crystal vibrator
JPS5679221A (en) * 1979-11-30 1981-06-29 Yokogawa Hokushin Electric Corp Force-frequency converting element
JPS57136130A (en) * 1981-02-17 1982-08-23 Sharp Corp Pressure gage

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5031878A (ja) * 1973-07-19 1975-03-28
JPS55164324A (en) * 1979-06-04 1980-12-22 Rockwell International Corp Soundwave sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5924230A (ja) 1984-02-07
DE3363269D1 (en) 1986-06-05
FR2530338A1 (fr) 1984-01-20
EP0099330A2 (fr) 1984-01-25
US4507970A (en) 1985-04-02
EP0099330A3 (en) 1984-02-22
FR2530338B1 (ja) 1984-12-14
EP0099330B1 (fr) 1986-04-30
HK49589A (en) 1989-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH047459B2 (ja)
JP4757026B2 (ja) 加速度センサの特性調整方法
US5511427A (en) Cantilevered microbeam temperature sensor
US4215570A (en) Miniature quartz resonator force transducer
JP4814715B2 (ja) マイクロ機械的リング振動子の温度補償機構
RU2271603C2 (ru) Генератор эталонного времени на основе интегрального микромеханического настраиваемого камертонного резонатора
US4644804A (en) Quartz resonating force and pressure transducer
US4498344A (en) Sensitive element for use in a strain sensor and a sensor comprising such an element
EP0161533A2 (en) Resonator temperature transducer
JPS5954916A (ja) 物理量を測定するためのセンサ
US4435986A (en) Pressure transducer of the vibrating element type
US20120096945A1 (en) Pressure sensor
US10788358B2 (en) Surface acoustic wave scale that automatically updates calibration information
JP5013250B2 (ja) 加速度センサ
US4531073A (en) Piezoelectric crystal resonator with reduced impedance and sensitivity to change in humidity
JP5135566B2 (ja) 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器及びそれらの製造方法
JP2004328701A (ja) 水晶発振器の製造方法
Dong et al. Self-temperature-testing of the quartz resonant force sensor
JP4836016B2 (ja) 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器
JP2008039662A (ja) 加速度センサ
JP4784436B2 (ja) 加速度センサ
SU883681A1 (ru) Датчик давлени с частотным выходом
JPH035876Y2 (ja)
JPS6033057A (ja) 加速度センサ
JPS602655Y2 (ja) 水晶振動子