JPH0473958A - 半導体装置用リードフレーム - Google Patents

半導体装置用リードフレーム

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Publication number
JPH0473958A
JPH0473958A JP18757090A JP18757090A JPH0473958A JP H0473958 A JPH0473958 A JP H0473958A JP 18757090 A JP18757090 A JP 18757090A JP 18757090 A JP18757090 A JP 18757090A JP H0473958 A JPH0473958 A JP H0473958A
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JP
Japan
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lead frame
lead
external lead
external
semiconductor device
Prior art date
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Pending
Application number
JP18757090A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Uchida
喬 内田
Yukio Tamura
田村 幸男
Masanobu Nakayama
中山 正展
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Goto Seisakusho KK
Original Assignee
Goto Seisakusho KK
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Publication date
Application filed by Goto Seisakusho KK filed Critical Goto Seisakusho KK
Priority to JP18757090A priority Critical patent/JPH0473958A/ja
Publication of JPH0473958A publication Critical patent/JPH0473958A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、IC,LSI等の半導体装置用のリードフレ
ームの改良に関するものである。
(従来の技術) 従来の半導体装置用のリードフレーム1は、第1図に示
すように、チップ搭載部2、ワイヤボンディング部3及
び外部リード部4を有する導電材から構成されている。
即ち、リードフレーム1は、例えばF e −N i合
金、Cu−Fe合金、Cu−8u合金、Cu −N i
 −S n合金等の導電性板材をプレス成型して製作さ
れ、そのチップ搭載部2、ワイヤボンディング部3には
ボンディング用にAu、Ag、Pd等の部分メツキが施
され(メツキエリアA)、外部リード部4には外装用に
半田メツキ等が施される(メツキエリアB)。
なお、半導体装置の高密度化、他機能化に対応して、リ
ードフレーム1の外部リード部4の数は増大し、その間
隔は益々狭小化(現在0.351〜0゜4■ピツチまで
実現している。)する傾向にある。
しかして、リードフレーム1は、チップ搭載部2に半導
体チップを搭載してモールド樹脂等により封止した後に
、半導体装置の単位毎に切り離される。そして、第2図
(A)、(B)に示すように、外部リード部4は、回路
への接続面を形成するために型にて屈折成型(リードフ
ォーミング)される。
(発明が解決しようとする課題) 上記従来のリードフレーム1においては、外部リード部
4に施される半田メツキが軟質であるため、リードフォ
ーミングの際に型にて押し潰されると、第3図に示すよ
うに、隣接する外部リード部4,4同士が接触してしま
うおそれがあるし。
リードの平坦度が損なわれて実装の障害をもたらすとい
う問題点がある。
従って本発明は、リードフォーミングの際に型にて押し
潰されるおそれがなく、しかも回路への半田付けの際に
半田ヌレ性の良好な外部リード部を備えたリードフレー
ムを提供することを課題としている。
(課題を解決するための手段) 本発明においては、上記課題を解決するため、少なくと
も外部リード部4の表面を、外部リード部4の屈折成型
時の型の押圧力により圧潰されることのない硬度を保有
し、かつ半田ヌレ性の良好な金属で被覆して半導体装置
用リードフレーム1を構成した。そして、外部リード部
4の被覆手段の一例として、PdまたはPd合金メツキ
、若しくはRuまたはRu合金メツキを採用した。
(作 用) 本発明においては、PdまたはPd合金メツキ、若しく
はRuまたはRu合金メツキのような比較的硬い金属で
外部リード部4が被覆されているため、リードフォーミ
ングの際に型にて押し潰されることがなく、隣接リード
部4,4間が接触したり、リードの平坦度が損なわれた
りするおそれがない。しかも、外部リード部4の被覆金
属は半田ヌレ性が良好であるから、回路への半田付けは
容易かつ確実に行なわれる。
(実施例) 本発明の半導体装置用のリードフレーム1は、従来のも
のとその基本的構造は異ならない、即ち、第1図に示す
ように、チップ搭載部2、ワイヤボンディング部3及び
外部リード部4を有する導電材から構成されている。そ
して、チップ搭載部2、ワイヤボンディング部3のエリ
アAにはボンディング用にAu、Ag、Pd等の部分メ
ツキが施されている。しかし、外部リード部4のメツキ
エリアBには、半田メツキに代えてPdまたはPd合金
若しくはRuまたはRu合金のような、比較的硬質で、
半田ヌレ性の良好な金属メツキが施されている。
しかして、リードフレーム1は、チップ搭載部2に半導
体チップを搭載してモールド樹脂等により封止した後に
、半導体装置の単位毎に切り離される。そして、第2図
(A)、(B)に示すように、外部リード部4は、回路
への接続面を形成するために型にて屈折成型される。こ
のリードフォーミングの際に、外部リード部4は型にて
圧搾されるが、その表面が、PdまたはPd合金メツキ
若しくはRuまたはRu合金メツキのような比較的硬い
金属で被覆されているため、型にて押し潰されることが
なく、従って、隣接リード部4,4の間隔が極めて狭小
であっても両者が接触したり、リードの平坦度が損なわ
れたりするおそれがない。
しかも、外部リード部4の被覆金属は半田ヌレ性が良好
であるから1回路への半田付けは容易かつ確実に行なわ
れる。
(発明の効果) 以上のように、本発明においては、少なくとも外部リー
ド部4の表面を、外部リード部4の屈折成型時の型の押
圧力により圧潰されることのない硬度を保有し、かつ半
田ヌレ性の良好な金属で被覆して半導体装置用リードフ
レーム1を構成し、また、外部リード部4の被覆手段の
一例として、PdまたはPd合金メツキ、若しくはRu
またはRu合金メツキを採用したため、リードフォーミ
ングの際に外部リード部4が型にて押し潰されるおそれ
がなく、従って、隣接リード部4,4の接触、リードの
平坦度の欠落がなく、しかも回路への半田付けの際に半
田ヌレ性の良好な外部リード部を備えたリードフレーム
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はリードフレームの平面図、第2図は半導体装置
の説明図、第3図は従来のリードフレームにおける外部
リード部の一部の拡大平面図である。 1−・・リードフレーム、2・・・チップ搭載部、3・
・・ワイヤボンディング部、4・・・外部リード部。 特許出願人 株式会社後藤製作所 代理人 弁理士   大  塚   忠第1図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)チップ搭載部、ワイヤボンディング部及び外部リ
    ード部を有する導電材から成る半導体置用リードフレー
    ムにおいて、少なくとも外部リード部の表面を、外部リ
    ード部の屈折成型時の型の押圧力により圧潰されること
    のない硬度を保有し、かつ半田ヌレ性の良好な金属で被
    覆したことを特徴とする半導体装置用リードフレーム。
  2. (2)チップ搭載部、ワイヤボンディング部及び外部リ
    ード部を有する導電材から成る半導体置用リードフレー
    ムにおいて、少なくとも外部リード部の表面を、Pdま
    たはPd合金で被覆したことを特徴とする半導体装置用
    リードフレーム。
  3. (3)チップ搭載部、ワイヤボンディング部及び外部リ
    ード部を有する導電材から成る半導体置用リードフレー
    ムにおいて、少なくとも外部リード部の表面を、Ruま
    たはRu合金で被覆したことを特徴とする半導体装置用
    リードフレーム。
JP18757090A 1990-07-16 1990-07-16 半導体装置用リードフレーム Pending JPH0473958A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100269238B1 (ko) * 1997-12-29 2000-10-16 이중구 류테늄도금리드프레임
KR100269237B1 (ko) * 1997-12-29 2000-10-16 이중구 다중 도금층을 가진 반도체 리드프레임과 그 제조방법

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS639957A (ja) * 1986-07-01 1988-01-16 Furukawa Electric Co Ltd:The 半導体リ−ドフレ−ム
JPH03283556A (ja) * 1990-03-30 1991-12-13 Hitachi Cable Ltd 1c用リードフレーム

Patent Citations (2)

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