JPH0438470B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 開示技術は光電部品のガラス板等の洗浄物を前
段で有機溶剤等により洗浄した後、洗剤等で洗浄
した後、市水による洗浄に続いて純水によるすす
ぎ洗浄を行つた後に行う乾燥の技術分野に属す
る。

〈要旨の概要〉 而して、この発明はコンピユータ、オーバーヘ
ツドプロジエクタ、光電式複写機等に用いられる
ガラス板等の部品の洗浄物が前段の有機溶剤によ
る超音波洗浄等をされた後に最終工程として市水
洗浄、及び、純水によるすすぎ洗浄が行われ、そ
の後クリーンエア内でエアの流動による乾燥が行
われる乾燥方法に関する発明であり、特に、純水
によるすすぎ洗浄を行うに際し、該純水を洗浄物
の耐熱温度内の温度に加熱された純水により行
い、当該すすぎ洗浄工程において、洗浄物を昇温
させ、その後のエア乾燥について洗浄物を支持し
ているホルダ等の支持部でブロア等により局部的
な吸引乾燥を行つて、洗浄物の表面に残溜する純
水の薄膜を形成させて確実に乾燥しみ等が生じな
いようにして完全な洗浄度保持した状態で洗浄の
仕上げ工程の乾燥を行う乾燥方法に係る発明であ
る。

〈従来技術〉 周知の如く、近時情報化社会がより高度に促進
され、各種の光電式情報処理装置等が開発されて
広く実用化されるようになつてくると、その各機
構部はより精密、且つ、マイクロ化されるように
なり、したがつて、各部品の清浄度はミクロン単
位の不純物の介在を許さないようにされており、
そのため、各部品の製造工程はその後の洗浄工程
に直結されて各種洗浄剤による超音波洗浄等を行
い複数段の洗浄工程を経て不純物の付着しない部
品とされるようにされてきている。

ところで、これらの洗剤等による複数段の洗浄
の最終工程では当然のことながら、当該洗剤自体
の剥離除去の洗浄が必要とされ、一般には市水に
よる洗浄や、更に、純水によるすすぎ洗浄を行つ
て最終的にはクリーンエア中に於ける乾燥を行う
ようにされている。

したがつて、一連の洗浄乾燥工程のうちの乾燥
工程は最後の最終工程にあるため、乾燥工程で不
適当な乾燥が行われると、所謂乾燥しみが生じて
それより前の複数の工程における洗浄が無意味と
なつて仕上がり工程における洗浄不良をきたす虞
がある。

〈発明が解決しようとする問題点〉 而して、従来態様における洗剤による洗浄工程
後の市水洗浄が終了した後の純水によるすすぎ洗
浄は常温で行われることから、その後の乾燥工程
での洗浄物表面に付着するすすぎ洗浄の純水の除
去には効率を促進させるべく通常IPAやフロン槽
の有機溶剤を用いて乾燥が行われている。

しかしながら、IPAは引火性であり、安全上好
ましくなく、又、フロンは近時大気汚染の問題が
クローズアツプしてくるために、不使用の方向に
ある。

ところで、従来の溶剤乾燥に代るものとして熱
風によるエア吹き付けの乾燥があるが、連続する
ガラス板等の洗浄物の乾燥にあつては１つのガラ
ス板表面の純水をエア吹き付けによる剥離を行つ
ても、除去された純水の飛沫が次のガラス板の洗
浄面に付着する等の不具合があつて、上述した如
く逆に乾燥しみが生ずるという欠点があつた。

蓋し、乾燥しみは洗浄物の表面に局部的に残溜
する微細な水滴によつて形成される場合が多いか
らである。

これに対処するに、所謂スピン乾燥等もある
が、遠心力による純水の飛沫が同様に洗浄物に再
付着する等の不具合があり、又、破損し易いよう
な洗浄物の場合にはアンバランスの遠心力により
当該洗浄物の破損が生ずるのなみらず、破損によ
る次の洗浄物への損傷を及ぼしかねないという難
点があつた。

〈発明の目的〉 この発明の目的は上述従来技術に基づく高度の
清浄度を要求される光電部品等の洗浄物の乾燥の
問題点を解決すべき技術的課題とし、市水洗浄に
続く、純水によるすすぎ洗浄を前提条件としなが
らも、熱による蒸散と従来とは逆のエア吸引によ
り連続する洗浄物の乾燥を行つて個々の洗浄物に
対する乾燥が何ら相隣る洗浄物に対する乾燥しみ
等を与えないようにして速やか、且つ、正確な設
計通りの乾燥を行うようにして各種精密機械装置
製造産業における洗浄技術利用分野に益する優れ
た洗浄物の乾燥方法を提供せんとするものであ
る。

〈問題点を解決するための手段・作用〉 上述目的に沿い先述特許請求の範囲を要旨とす
るこの発明の構成は前述問題点を解決するため
に、光電部品等の高度の清浄度を要求される洗浄
物が前段での洗剤による超音波洗浄等をされた後
の仕上げ洗浄工程において、市水洗浄をされた後
に純水によるすすぎ洗浄を行うに際し、該純水を
加熱状態にして洗浄物の本来的な性能に影響を与
えない程度の加熱温度状態にしてすすぎ洗浄を行
い、したがつて、そのプロセスにおいて、洗浄物
自身を加熱純水の温度に近く昇温させ、その後、
クリーンエア中に置いて乾燥を行うに際し、当該
洗浄物を所定の支持部で支持して乾燥するに、該
支持部の部分で局部的にブロア等によるエア吸引
を行つて洗浄物の表面に付着する残溜純水を吸引
して薄膜状にし、前段での純水によるすすぎ洗浄
工程で昇温された洗浄物の熱により薄膜状の残溜
純水を蒸散させると共に吸引エアによる強制的な
除去により設計通りの乾燥しみのない確実な乾燥
がスムースに行われるようにした技術的手段を講
じたものである。

〈実施例〉 次に、この発明の１実施例を図面に従つて説明
すれば以下の通りである。

当該実施例はオーバーヘツドプロジエクタ等に
用いる情報処理用の洗浄物としてのガラス板１の
乾燥の態様であり、前段の洗剤等による超音波洗
浄等を複段になされた洗浄物１に最終工程の市水
洗浄を行つた後に純水によるすすぎ洗浄を行うに
際し、該純水を予め、例えば、70〜80°の洗浄物
１の耐熱性を損わない温度に加熱してすすぎ洗浄
を行い、これによりガラス板１が70°前後から80°
前後に加熱昇温され、該温度ではガラス板１の性
能を何ら支障はないようにし、次いで、すすぎ洗
浄されたガラス板１をクリーンエア中で乾燥を行
うが、図面に示す様に、所定部位の箇所、即ち、
当該態様においては四隅に於いて支持部としての
ホルダ２，２……がガラス板１を支持しており、
該ホルダ２，２……に可及的に近接してエア吸引
口４，４……を配設してブロア３に接続し、そこ
で、該ブロア３を稼動させてエア吸引口４，４…
…からエア吸引を行うと、ガラス板１と支持部２
との接続部に局部的に付着している残溜純水は急
速に引き寄せられて吸引除去すると共にガラス板
１自身が上述した如く、70〜80°に昇温されてい
るために、薄膜状に残溜する純水はその熱により
蒸散され、そのため、連続する前や後の相隣るガ
ラス板１には純水の飛沫は何ら付着せず、したが
つて、各ガラス板１には純水による乾燥しみ等が
全く生ずることはない。

したがつて、上述乾燥工程では１つのガラス板
上面の残溜純水には何ら吹き付け作用や遠心力が
働かず、相隣るガラス板１に対する飛沫の再付着
等は生じない。

尚、この発明の実施態様は上述実施例に限るも
のでないことは勿論であり、例えば、洗浄物はガ
ラス板に限らず、金属部品でも良く、又、その前
段での純水によるすすぎ洗浄の昇温状態は当該洗
浄物の性能に支障をきたさない程度の昇温が出来
る等種々の態様が採用可能である。

〈発明の効果〉 以上、この発明によれば、高度の清浄度を要求
される情報処理装置その他装置のガラス部品等の
洗浄物の前段での洗剤等による超音波洗浄をなさ
れた後の市水洗浄後の純水によるすすぎ洗浄、及
び、その後の乾燥工程によつてしみ等が完全に着
かないようにされ、設計通りのミクロン単位の清
浄度を保証された洗浄がなされる洗浄物が得られ
るという優れた効果が奏される。

而して、乾燥工程においてはその前段の純水に
よるすすぎ洗浄工程で純水を所定温度に加熱して
おくことにより、洗浄物自身も昇温されて乾燥工
程中に洗浄物の表面に付着している残溜純水に対
し蒸散作用を与える効果があり、しかも、乾燥工
程中で支持しているホルダ等の支持部に対し従来
のエア吹き付けではなく、エア吸引を行うことに
より局部的に付着残溜純水の吸引流れが生じ、上
記蒸散と相俟つて洗浄物の表面から純水が除去さ
れ、しかも、全面に於いて平均してなされるため
に、乾燥しみ等が形成されず、完全な洗浄が保証
されるという優れた効果が奏される。

そして、フロン等の有機溶剤を用いないため
に、公害問題に対する虞れもなく、又、IPA等を
用いないために、引火等の虞もなく、安全に処理
出来るという効果が奏される。

そのため、得られる洗浄物の信頼度が高まると
いう利点もある。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の１実施例であり、第１図は乾
燥の平面図、第２図は同部分断面図である。 １……洗浄物、２……エア吸引口、３……ブロ
ア。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 前段で洗浄された洗浄物に対する水による洗
   浄後の純水によるすすぎ洗浄に次いで行う乾燥を
   エアで行う乾燥方法において、上記純水によるす
   すぎ洗浄を加熱された純水によつて行い、その後
   のエア乾燥を洗浄物の支持部で局部的なエア吸引
   で行うようにしたことを特徴とする洗浄物の乾燥
   方法。 ２ 上記エア吸引をクリーンエア中で行うように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の洗浄物の乾燥方法。 ３ 上記純水の温度を洗浄物の耐熱温度内の高温
   で行うようにしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の洗浄物の乾燥方法。