JPH04359810A

JPH04359810A - 誘電体磁器組成物ならびに誘電体磁器組成物を用いた誘電体フィルタおよびその製造方法

Info

Publication number: JPH04359810A
Application number: JP3132562A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Wada; 達也和田; Seiichi Nakatani; 誠一中谷
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1991-06-04
Filing date: 1991-06-04
Publication date: 1992-12-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、比較的低い温度で焼成
できる誘電体磁器組成物ならびにその組成物を使用し内
部導体に銅を用いた誘電体フィルタおよびその製造方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンデンサなどの電子部品は、小
形化に対する要望から積層したチップ部品化が急速に進
んでいる。電子部品に対する小形化の要求は永続的であ
り、そのためには使用する誘電体磁器の比誘電率はでき
るだけ大きくなければならない。また高周波用としては
誘電損失や静電容量の温度係数も小さくなければならな
い。

【０００３】また、多積層化にともない導体に使用され
る白金、パラジウムなどの高価な金属のコストにしめる
割合が大きくなってきた。最近では、これらの貴金属に
代わり、銀パラジウム合金、ニッケル、銅等の比較的安
価な金属への置き換えが図られている（たとえば特開昭
４９−１９３９９号公報、特開平１−２４８３２６号公
報および特開平１−２２７３０５号公報参照）しかし、
これらの金属が使用できる誘電体磁器は、比誘電率は大
きいが、誘電損失や静電容量の温度係数は比較的大きい
ものが主であった。

【０００４】また、高周波帯域で使用する誘電体磁器に
用いる導体としては、導電率が高く、はんだ付け性や耐
イオンマイグレーション性の良い銅が有効であるが、銅
を導体として同時焼成するためには、銅の融点以下でし
かも銅が酸化されないように窒素中で焼成する必要があ
る。また出発原料として金属銅を使用した場合でも、焼
成工程において、酸素が多いと銅が酸化され、逆に少な
いと有機バインダが十分に分解されず良好な導体化が得
られないので適確な酸素分圧にコントロールする必要が
ある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では、焼成工程での適確な酸素分圧にコントロ
ールすることが困難であるという問題点、また有機バイ
ンダを焼却する工程で、銅の酸化による体積膨張で素体
に亀裂が発生するという問題点を有していた。

【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、１０００℃以下の低い温度で焼成でき、しかも銅が
酸化しないような低い酸素分圧化の焼成条件でも、誘電
率が１０以上で、高いＱ（誘電損失値の逆数）と高い比
抵抗をもち、静電容量の温度変化率も非常に小さい誘電
体磁器組成物を提供することを第１の目的とする。また
銅などの卑金属を導体にした安価で信頼性の高い高周波
用の誘電体フィルタおよびその製造方法をを提供するこ
とを第２の目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】第１の目的を達成するた
めに本発明の誘電体磁器組成物は、Ａｌ２Ｏ３と、Ｓｉ
Ｏ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ−ＭｇＯ−
Ｋ２Ｏ系と、ＢａＯ−ＴｉＯ２系またはＢａＯ−Ｎｂ２
Ｏ３−ＴｉＯ２系またはＢａＯ−Ｓｍ２Ｏ３−ＴｉＯ２
系からなる組成で、かつ各成分量を所定範囲内に限定し
た構成を有している。

【０００８】第２の目的を達成するために本発明の誘電
体フィルタおよびその製造方法は上述の誘電体磁器組成
物と銅の内部導体を備えた構成および上述の誘電体磁器
組成物を無機成分とし有機バインダと可塑剤を含む第１
のグリーンシートを作製し、そのグリーンシート上にＣ
ｕＯを主成分とするペースト組成物で印刷してパターン
を形成し、第１のグリーンシートとは別のパターンを形
成した第２のグリーンシートを所定の枚数だけ積層して
多層化するか、もしくはグリーンシート上にＣｕＯペー
ストの印刷と、グリーンシートの無機組成物と同一の組
成の誘電体ペーストの印刷を所定の回数だけ繰り返し行
い多層化する未焼成積層体形成工程と、大気中もしくは
酸素雰囲気中で多層体内部の有機成分を焼却する熱処理
工程と、水素もしくは水素と窒素との混合気体中で金属
銅にする還元工程と、窒素中の焼成工程からなる構成を
有している。

【０００９】

【作用】この構成によって、１０００℃以下の比較的低
い焼成温度で、しかも銅が酸化されないような低い酸素
分圧下の焼成条件においても、１０以上の比誘電率、高
いＱ、高い比抵抗、小さい静電容量の温度係数を持つ誘
電体磁器組成物および内部導体として銅を用いた誘電体
フィルタとすることとなる。

【００１０】

【実施例】以下本発明の実施例について説明する。

【００１１】（実施例１）工業用原料のＴｉＯ２、Ａｌ
２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＰｂＯ、ＣａＯ、Ｂ２Ｏ３、Ｎａ２
Ｏ、ＭｇＯ、Ｋ２ＯおよびＢａＣＯ３はＢａＯの量を（
表１）の組成比になるように所定の量を秤量した。

【００１２】

【表１】

【００１３】ＢａＣＯ３とＴｉＯ２を十分に混練した後
、アルミナ磁器製のるつぼに入れ、同質の蓋をして炉で
仮焼した。仮焼した粉体はポリエチレン製の容器に純水
とジルコニア製の玉石とともに入れ、湿式粉砕した。粉
砕した試料をポリエチレン容器からステンレス製の容器
に取り出し、乾燥機で十分に乾燥した。次に、ＳｉＯ２
、ＰｂＯ、ＣａＯ、Ｂ２Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、ＭｇＯおよび
Ｋ２Ｏを十分に混練した後、アルミナ磁器製のるつぼに
入れ同質の蓋をして炉で溶融し、急冷してガラス化した
。ガラス化した試料は、ポリエチレン製の容器に純水と
ジルコニア製の玉石とともに入れ湿式粉砕した後、前述
の方法と同様にして十分に乾燥した。次に、仮焼した試
料、ガラス化した試料およびＡｌ２Ｏ３をポリエチレン
製の容器に純水とジルコニア製の玉石とともに入れ湿式
混練した後、容器から取り出し十分に乾燥した。

【００１４】このような方法で作製した試料粉にポリビ
ニルアルコール水溶液を加え、乳鉢で十分に混練し、３
２メッシュのふるいで製粒した。製粒粉を金型に入れ、
１平方センチ当り約１トンの圧力で加圧成形して、円板
状の試料を作製した。この試料をアルミナ質敷板にのせ
て、窒素ガスを流した炉中の雰囲気を銅が酸化しないよ
うな酸素分圧に制御し、所定の温度で焼成した。

【００１５】焼成した試料の両面にＩｎ−Ｇａ合金を塗
着し、試料の静電容量、Ｑ、絶縁抵抗、静電容量の温度
変化率を測定した。静電容量とＱは、２０℃で１Ｖ印加
、周波数１ＭＨｚで測定した。絶縁抵抗は、５０Ｖ直流
電圧を３０秒印加し、１分後の値を測定した。静電容量
の温度変化率は、−２５℃から＋８５℃までの範囲で測
定し、＋２０℃での静電容量を基準にして算出した。（表２）にそれらの結果を示す。判定基準としては、最
適焼成温度が１０００℃以下で、比誘電率は１０以上、
Ｑは２０００以上、比抵抗は１０１３Ω・ｃｍ以上、静
電容量の温度変化率は１℃当り±２００ｐｐｍ以内のも
のを採用した。

【００１６】

【表２】

【００１７】試料番号１および３の試料は、Ｑと比抵抗
が判定基準外および焼成温度が１０００℃よりも高いの
で、このＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２
Ｏ−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系の組成比を発明の範囲外とした。試料番号１５の試料は、比誘電率が１０よりも低いので
、このＡｌ２Ｏ３の組成比を発明の範囲外とした。試料
番号１７および１８の試料は、比誘電率が１０よりも低
く、静電容量の温度変化率が絶対値で２００ｐｐｍ／℃
よりも大きいので、このＡｌ２Ｏ３およびＢａＯ−Ｔｉ
Ｏ２系の組成比を発明の範囲外とした。そのほかの試料
は、判定基準の特性を十分に満たしているので、各組成
比を本発明の範囲内とした。

【００１８】（実施例２）工業用原料のＴｉＯ２が３２
．２５重量％、Ａｌ２Ｏ３が５．０重量％、ＳｉＯ２が
２７．０重量％、ＰｂＯが８．１０重量％、ＣａＯが３
．６０重量％、Ｂ２Ｏ３が２．７０重量％、Ｎａ２Ｏが
１．３５重量％、ＭｇＯが１．３５重量％、Ｋ２Ｏが０
．９０重量％およびＢａＣＯ３はＢａＯが１７．７５重
量％となるように所定の量を秤量した。ＢａＣＯ３とＴ
ｉＯ２を十分に混練した後、アルミナ磁器製のるつぼに
入れ、同質の蓋をして炉で仮焼した。仮焼した粉体はポ
リエチレン製の容器に純水とジルコニア製の玉石ととも
に入れ、湿式粉砕した。粉砕した試料をポリエチレン容
器からステンレス製の容器に取り出し、乾燥機で十分に
乾燥した。次に、ＳｉＯ２、ＰｂＯ、ＣａＯ、Ｂ２Ｏ３
、Ｎａ２Ｏ、ＭｇＯおよびＫ２Ｏを十分に混練した後、
アルミナ磁器製のるつぼに入れ同質の蓋をして炉で溶融
し、急冷してガラス化した。ガラス化した試料は、ポリ
エチレン製の容器に純水とジルコニア製の玉石とともに
入れ湿式粉砕した後、前述の方法と同様にして十分に乾
燥した。次に、仮焼した試料、ガラス化した試料とＡｌ
２Ｏ３をポリエチレン製の容器に純水とジルコニア製の
玉石とともに入れ湿式混練した後、容器から取り出し十
分に乾燥した。

【００１９】次に導体ペーストはＣｕＯ粉末に対しガラ
スフリットを５重量％加えたものを無機成分とし、有機
バインダであるエチルセルロースをターピネオールに溶
かしたビヒクルとともに加えて、３段ロールにより混合
した。

【００２０】次に、このようにして作製した粉体を無機
成分とし、有機バインダとしてポリビニルブチラール、
可塑剤としてジ−ｎ−ブチルフタレート、溶剤として、
トルエンとイソプロピルアルコールの混合液（３０対７
０重量比）を（表３）のような組成比で混合しスラリー
とした。

【００２１】

【表３】

【００２２】このスラリーをドクターブレード法で有機
フィルム上にシート成型した。次に、乾燥、打ち抜き、
スルーホール加工を実施した。このグリーンシート上に
前記のＣｕＯペーストを用いてスクリーン印刷法により
導体パターンを形成した。このグリーンシートを所定の
枚数重ねて熱圧着し積層体を作製した。

【００２３】次に、この積層体を大気中で６００℃の温
度に上げて２時間保持し、有機成分を焼却した。さらに
この積層体を純水素あるいは水素と窒素の混合気体中で
１７５〜４００℃の温度で５時間熱処理し、導体部の還
元を実施した。次に、この積層体を窒素中で９２５℃の
温度で１時間焼成した。

【００２４】このようにして作製した積層体において、
内部導体のシート抵抗は２ｍΩ／□でＣｕＯが完全にメ
タル化されていることを示していた。またこの積層体の
比誘電率とＱは測定周波数１ＭＨｚでそれぞれ２０、１
００００であり、比抵抗は１×１０１４Ω・ｃｍであっ
た。またこのような方法で作製した誘電体フィルタは共
振周波数が９３０ＭＨｚ、無負荷Ｑが８０、挿入損失が
３ｄＢであった。

【００２５】（実施例３）工業用原料のＮｄ２Ｏ３、Ｔ
ｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＰｂＯ、ＣａＯ、Ｂ２
Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、ＭｇＯ、Ｋ２ＯおよびＢａＣＯ３はＢ
ａＯの量を（表４）の組成比になるように所定の量を秤
量した。

【００２６】

【表４】

【００２７】ＢａＣＯ３、Ｎｄ２Ｏ３およびＴｉＯ２を
十分に混練した後、アルミナ磁器製のるつぼに入れ、同
質の蓋をして炉で仮焼した。

【００２８】以降の処理工程を実施例１と同様に処理し
て試料を作成し、実施例１と同様に諸特性を測定し、そ
の結果を（表５）に示した。

【００２９】

【表５】

【００３０】判定基準としては、最適焼成温度が１００
０℃以下で、比誘電率は１０以上、Ｑは２０００以上、
比抵抗は１０１３Ω・ｃｍ以上、静電容量の温度変化率
は１℃当り±３０ｐｐｍ以内のものを採用した。

【００３１】試料番号１９の試料は、焼成温度が１００
０℃よりも高く、Ｑと比抵抗も判定基準から外れている
ので、このＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ
２Ｏ−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系の組成比を発明の範囲外とした
。試料番号２０および２１の試料は、Ｑが２０００より
も低く比抵抗も１０１３Ω・ｃｍよりも低いので、この
Ａｌ２Ｏ３の組成比を発明の範囲外とした。試料番号３
１の試料は比誘電率が１０よりも低いので、このＡｌ２
Ｏ３の組成比を発明の範囲外とした。試料番号３５の試
料は、静電容量の温度変化率が判定基準を外れているの
で、このＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２
Ｏ−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系組成比を発明の範囲外とした。試
料番号３６の試料は、比誘電率と静電容量の温度変化率
が判定基準を外れているので、このＢａＯ−Ｎｄ２Ｏ３
−ＴｉＯ２系組成比を発明の範囲外とした。そのほかの
試料は、判定基準の特性を十分に満たしているので、各
組成比を本発明の範囲内とした。

【００３２】（実施例４）工業用原料のＮｄ２Ｏ３が１
６．１０重量％、ＴｉＯ２が１７．１０重量％、Ａｌ２
Ｏ３が１７．５重量％、ＳｉＯ２が２５．５重量％、Ｐ
ｂＯが７．６５重量％、ＣａＯが３．４％重量％、Ｂ２
Ｏ３が２．５５重量％、Ｎａ２Ｏが１．２７５重量％、
ＭｇＯが１．２７５重量％、Ｋ２Ｏが０．８５重量％お
よびＢａＣＯ３はＢａＯが６．８０重量％となるように
所定の量を秤量した。ＢａＣＯ３、Ｎｄ２Ｏ３およびＴ
ｉＯ２を十分に混練した後、アルミナ磁器製のるつぼに
入れ、同質の蓋をして炉で仮焼した。

【００３３】以降の工程処理を実施例２と同様に処理し
て作製した積層体を実施例２と同様に諸特性を測定した
。その測定結果は、内部導体のシート抵抗は２ｍΩ／□
でＣｕＯが完全にメタル化されていることを示していた
。またこの積層体の比誘電率とＱは測定周波数１ＭＨｚ
でそれぞれ１４、１００００であり、比抵抗は１×１０
１４Ω・ｃｍであった。またこのような方法で作製した
誘電体フィルタは共振周波数が９３０ＭＨｚ、無負荷Ｑ
が８０、挿入損失が３ｄＢであった。

【００３４】（実施例５）工業用原料のＳｍ２Ｏ３、Ｔ
ｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＰｂＯ、ＣａＯ、Ｂ２
Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、ＭｇＯ、Ｋ２ＯおよびＢａＣＯ３はＢ
ａＯの量を、（表６）の組成比になるように所定の量を
秤量した。

【００３５】

【表６】

【００３６】ＢａＣＯ３、Ｓｍ２Ｏ３およびＴｉＯ２を
十分に混練した後、アルミナ磁器製のるつぼに入れ、同
質の蓋をして炉で仮焼した。

【００３７】以降の処理工程を実施例１と同様に処理し
て試料を作成し、実施例１と同様に諸特性を測定し、そ
の結果を（表７）に示した。

【００３８】

【表７】

【００３９】判定基準としては、実施例３と同じ最適焼
成温度が１０００℃以下で、比誘電率は１０以上、Ｑは
２０００以上、比抵抗は１０１３Ω・ｃｍ以上、静電容
量の温度変化率は１℃当り０±３０ｐｐｍ以内のものを
採用した。

【００４０】試料番号３７の試料は、焼成温度が１００
０℃よりも高く、比抵抗も判定基準から外れているので
、このＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ
−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系組成比を発明の範囲外とした。試料
番号３８および３９の試料は、Ｑが２０００よりも低く
比抵抗も１０１３Ω・ｃｍよりも低いので、このＡｌ２
Ｏ３の組成比を発明の範囲外とした。試料番号４９の試
料は、比誘電率が１０よりも低いので、このＡｌ２Ｏ３
の組成比を発明の範囲外とした。試料番号５３の試料は
、静電容量の温度変化率が判定基準を外れているので、
このＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ−
ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系組成比を発明の範囲外とした。試料番
号５４の試料は、比誘電率と静電容量の温度変化率が判
定基準を外れているので、このＢａＯ−Ｓｍ２Ｏ３−Ｔ
ｉＯ２系組成比を本発明の範囲外とした。そのほかの試
料は、判定基準の特性を十分に満たしているので各組成
比を本発明の範囲内とした。

【００４１】（実施例６）工業用原料のＳｍ２Ｏ３が１
６．４０重量％、ＴｉＯ２が１６．９０重量％、Ａｌ２
Ｏ３が１７．５重量％、ＳｉＯ２が２５．５重量％、Ｐ
ｂＯが７．６５重量％、ＣａＯが３．４重量％、Ｂ２Ｏ
３が２．５５重量％、Ｎａ２Ｏが１．２７５重量％、、
ＭｇＯが１．２７５重量％、Ｋ２Ｏが０．８５重量％お
よびＢａＣＯ３はＢａＯが６．７０重量％となるように
所定の量を秤量した。ＢａＣＯ３、Ｓｍ２Ｏ３およびＴ
ｉＯ２を十分に混練した後、アルミナ磁器製のるつぼに
入れ、同質の蓋をして炉で仮焼した。

【００４２】以降の工程処理を実施例２と同様に処理し
て作製した積層体を実施例２と同様に諸特性を測定した
。その結果は、内部導体のシート抵抗は２ｍΩ／□でＣ
ｕＯが完全にメタル化されていることを示していた。またこの積層体の比誘電率とＱは測定周波数１ＭＨｚで
それぞれ１４、１００００であり、比抵抗は１×１０１
４Ω・ｃｍであった。またこのような方法で作製した誘
電体フィルタは共振周波数が９３０ＭＨｚ、無負荷Ｑが
８０、挿入損失が３ｄＢであった。

【００４３】

【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に本発明は、Ａｌ２Ｏ３と、ＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ
−Ｂａ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系と、ＢａＯ
−ＴｉＯ２系またはＢａＯ−Ｎｂ２Ｏ３−ＴｉＯ２系ま
たはＢａＯ−Ｓｍ２Ｏ３−ＴｉＯ２系からなる組成で、
かつ各成分量を所定範囲内に限定した構成、ならびに前
記の誘電体磁器組成物と銅の内部導体を備えた構成およ
び前記の誘電体磁器組成物を無機成分とし有機バインダ
と可塑在を含む第１のグリーンシートを作製し、そのグ
リーンシート上にＣｕＯを主成分とするペースト組成物
で印刷してパターンを形成し、第１のグリーンシートと
は別のパターンを形成した第２のグリーンシートを所定
の枚数だけ積層して多層化するか、もしくはグリーンシ
ート上にＣｕＯペーストの印刷とグリーンシートの無機
組成物と同一の誘電体ペーストの印刷を所定の回数だけ
繰り返し行い多層化する未焼成積層体形成工程と、大気
中もしくは酸素雰囲気中で多層体内部の有機成分を焼却
する熱処理工程と、水素もしくは水素と窒素との混合気
体中で金属銅にする還元工程と、窒素中の焼成工程とか
らなる構成により、１００００℃以下の低い温度で焼成
でき、しかも銅が酸化しないような低い酸素分圧下の焼
成条件でも、誘電率が１０以上で、高いＱと高い比抵抗
をもち、静電容量の温度変化率を非常に小さくした優れ
た誘電体磁器組成物、ならびに銅などの卑金属を導体に
した安価で信頼性を高くした高周波用の優れた誘電体フ
ィルタおよびその製造方法を実現できるものである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＢａＯ−ＴｉＯ２系とＡｌ２Ｏ３とＳｉＯ
２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ−ＭｇＯ−Ｋ
２Ｏ系からなる組成で、かつＢａＯを８．８５〜１９．
５重量％、ＴｉＯ２を１６．１５〜３５．５重量％、Ａ
ｌ２Ｏ３を５．０〜２０．０重量％、ＳｉＯ２を２４．
０〜３３．０重量％、ＰｂＯを７．２０〜９．９０重量
％、ＣａＯを３．２０〜４．４０重量％、Ｂ２Ｏ３を２
．４０〜３．３０重量％、Ｎａ２Ｏを１．２０〜１．６
５重量％、ＭｇＯを１．２０〜１．６５重量％およびＫ
２Ｏを０．８０〜１．１０重量％の範囲とし、各成分の
合計が１００重量％からなる誘電体磁器組成物。
【請求項２】ＢａＯ−Ｎｄ２Ｏ３−ＴｉＯ２系とＡｌ２
Ｏ３とＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ
−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系からなる組成で、かつＢａＯを３．
４０〜６．８０重量％、Ｎｄ２Ｏ３を８．０５〜１６．
１０重量％、ＴｉＯ２を８．５５〜１７．１０重量％、
Ａｌ２Ｏ３を１５．０〜３５．０重量％、ＳｉＯ２を２
４．０〜３３．０重量％、ＰｂＯを７．２０〜９．９０
重量％、ＣａＯを３．２０〜４．４０重量％、Ｂ２Ｏ３
を２．４０〜３．３０重量％、Ｎａ２Ｏを１．２０〜１
．６５重量％、ＭｇＯを１．２０〜１．６５重量％およ
びＫ２Ｏを０．８０〜１．１０重量％の範囲とし、各成
分の合計が１００重量％からなる誘電体磁器組成物。
【請求項３】ＢａＯ−Ｓｍ２Ｏ３−ＴｉＯ２系とＡｌ２
Ｏ３とＳｉＯ２−ＰｂＯ−ＣａＯ−Ｂ２Ｏ３−Ｎａ２Ｏ
−ＭｇＯ−Ｋ２Ｏ系からなる組成で、かつＢａＯを３．
３５〜６．７０重量％、Ｓｍ２Ｏ３を８．２０〜１６．
４０重量％、ＴｉＯ２を８．４５〜１６．９０重量％、
Ａｌ２Ｏ３を１５．０〜３５．０重量％、ＳｉＯ２を２
４．０〜３３．０重量％、ＰｂＯを７．２０〜９．９０
重量％、ＣａＯを３．２０〜４．４０重量％、Ｂ２Ｏ３
を２．４０〜３．３０重量％、Ｎａ２Ｏを１．２０〜１
．６５重量％、ＭｇＯを１．２０〜１．６５重量％およ
びＫ２Ｏを０．８０〜１．１０重量％の範囲とし、各成
分の合計が１００重量％からなる誘電体磁器組成物。
【請求項４】請求項１，２，３のいずれかに記載の誘電
体磁器組成物と、銅の内部導体を備えた誘電体フィルタ
。
【請求項５】請求項１，２，３のいずれかに記載の誘電
体磁器組成物からなる無機成分に有機バインダと可塑剤
を含むグリーンシートを作製し、前記グリーンシート上
にＣｕＯを主成分とするペースト組成物でスクリーン印
刷によりパターンを形成し、前記グリーンシートとは別
のパターンを前記ペースト組成物で形成したグリーンシ
ートを所定の枚数だけ積層して多層化する未焼成積層体
形成工程と、大気中もしくは酸素雰囲気中で前記多層体
内部の有機成分を焼却する熱処理工程と、前記ＣｕＯを
水素もしくは水素と窒素との混合気体中で金属銅にする
還元工程と、窒素雰囲気中の焼成工程とからなる請求項
４記載の誘電体フィルタの製造方法。
【請求項６】請求項１，２のいずれかに記載の誘電体磁
器組成物の組成物からなる無機成分に有機バインダと可
塑剤を含むグリーンシートを作製し、前記グリーンシー
ト上にＣｕＯを主成分とするペーストのスクリーン印刷
と、前記グリーンシートの無機組成物と同一の組成の誘
電体ペーストのスクリーン印刷を所定の回数だけ繰り返
し行い多層化する未焼成積層体形成工程と、大気中もし
くは酸素雰囲気中で前記多層体内部の有機成分を焼却す
る熱処理工程と、前記ＣｕＯを水素もしくは水素と窒素
との混合気体中で金属銅にする還元工程と、窒素雰囲気
中の焼成工程とからなる請求項４記載の誘電体フィルタ
の製造方法。