JPH04348865A - スリーブ軸受加工方法 - Google Patents
スリーブ軸受加工方法Info
- Publication number
- JPH04348865A JPH04348865A JP3120041A JP12004191A JPH04348865A JP H04348865 A JPH04348865 A JP H04348865A JP 3120041 A JP3120041 A JP 3120041A JP 12004191 A JP12004191 A JP 12004191A JP H04348865 A JPH04348865 A JP H04348865A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- tool
- machining
- bearing
- inner circumferential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 46
- 238000004513 sizing Methods 0.000 abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 18
- 230000008961 swelling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 18
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 2
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 2
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D—WORKING OR PROCESSING OF SHEET METAL OR METAL TUBES, RODS OR PROFILES WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21D17/00—Forming single grooves in sheet metal or tubular or hollow articles
- B21D17/04—Forming single grooves in sheet metal or tubular or hollow articles by rolling
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B39/00—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor
- B24B39/02—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working internal surfaces of revolution
- B24B39/023—Burnishing machines or devices, i.e. requiring pressure members for compacting the surface zone; Accessories therefor designed for working internal surfaces of revolution the working tool being composed of a plurality of working rolls or balls
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/02—Parts of sliding-contact bearings
- F16C33/04—Brasses; Bushes; Linings
- F16C33/06—Sliding surface mainly made of metal
- F16C33/10—Construction relative to lubrication
- F16C33/1025—Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
- F16C33/106—Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
- F16C33/107—Grooves for generating pressure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B19/00—Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
- G11B19/20—Driving; Starting; Stopping; Control thereof
- G11B19/2009—Turntables, hubs and motors for disk drives; Mounting of motors in the drive
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/52—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with simultaneous movement of head and record carrier, e.g. rotation of head
- G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2370/00—Apparatus relating to physics, e.g. instruments
- F16C2370/12—Hard disk drives or the like
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/47—Burnishing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49636—Process for making bearing or component thereof
- Y10T29/49639—Fluid bearing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49636—Process for making bearing or component thereof
- Y10T29/49643—Rotary bearing
- Y10T29/49647—Plain bearing
- Y10T29/49668—Sleeve or bushing making
- Y10T29/49671—Strip or blank material shaping
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、内周面にグルーブ(動
圧溝)を形成した動圧形ラジアル軸受部を有し、特にV
TRやFDD装置の回転部に使用される高精度なスリー
ブ軸受を加工するためのスリーブ軸受加工方法に関する
。
圧溝)を形成した動圧形ラジアル軸受部を有し、特にV
TRやFDD装置の回転部に使用される高精度なスリー
ブ軸受を加工するためのスリーブ軸受加工方法に関する
。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のスリーブ軸受加工方法は
、図2(b)のスリーブ加工工程により、図12(a)
のような施削仕上げ加工された筒状のブランク材11の
内周面12に、図12(b)のように外周部に小径鋼球
22を複数個対向固着保持し、その対向させた一対の小
径鋼球22間の距離25をブランク材11の内周面12
に加工する溝深さに対応させた溝加工工具20によって
溝(グルーブ)13を加工(グルーブ加工)する。この
溝加工の際、溝加工工具20の小径鋼球22は、内周面
12に溝13を形成すると同時に、溝13の両側にブラ
ンク材11の肉の盛り上がりを生じさせる。この内周面
12の溝13部に生じた盛り上がりを、内周面の仕上げ
の径より数μm〜十数μm大きな外径を持つ鋼球35を
通過させて除去し、仕上げを行う(図12(c):ボー
ルサイジング)。同時に施削加工のブランク材11の内
周面12の面粗さは、鋼球35通過の塑性加工により向
上する。
、図2(b)のスリーブ加工工程により、図12(a)
のような施削仕上げ加工された筒状のブランク材11の
内周面12に、図12(b)のように外周部に小径鋼球
22を複数個対向固着保持し、その対向させた一対の小
径鋼球22間の距離25をブランク材11の内周面12
に加工する溝深さに対応させた溝加工工具20によって
溝(グルーブ)13を加工(グルーブ加工)する。この
溝加工の際、溝加工工具20の小径鋼球22は、内周面
12に溝13を形成すると同時に、溝13の両側にブラ
ンク材11の肉の盛り上がりを生じさせる。この内周面
12の溝13部に生じた盛り上がりを、内周面の仕上げ
の径より数μm〜十数μm大きな外径を持つ鋼球35を
通過させて除去し、仕上げを行う(図12(c):ボー
ルサイジング)。同時に施削加工のブランク材11の内
周面12の面粗さは、鋼球35通過の塑性加工により向
上する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のスリーブ軸受加工方法では、内周面12へのグル
ーブ加工での盛り上がりの除去,仕上加工に鋼球35を
通過させる(ボールサイジング)ため、スリーブ軸受が
薄肉である時は、一度に鋼球35を通して仕上げようと
する場合に、かえって軸受部の形状精度を低下させてし
まう問題がある。またボールサイジングでの面粗さは、
後で詳述するが、ブランク材11の内周面12の面粗さ
(図10(a))の半分程度(図10(b))にしか仕
上げられず、スリーブ軸受の耐久性に影響を及ぼす問題
もあった。
従来のスリーブ軸受加工方法では、内周面12へのグル
ーブ加工での盛り上がりの除去,仕上加工に鋼球35を
通過させる(ボールサイジング)ため、スリーブ軸受が
薄肉である時は、一度に鋼球35を通して仕上げようと
する場合に、かえって軸受部の形状精度を低下させてし
まう問題がある。またボールサイジングでの面粗さは、
後で詳述するが、ブランク材11の内周面12の面粗さ
(図10(a))の半分程度(図10(b))にしか仕
上げられず、スリーブ軸受の耐久性に影響を及ぼす問題
もあった。
【0004】このように上記の問題を有する従来のスリ
ーブ軸受加工方法は、スリーブ軸受の短筒化,薄肉化に
よる回転部の小型化,軽量化に応じられないものであっ
た。
ーブ軸受加工方法は、スリーブ軸受の短筒化,薄肉化に
よる回転部の小型化,軽量化に応じられないものであっ
た。
【0005】本発明の目的は、このような従来の問題を
解決するものであり、短筒化,薄肉化したスリーブ軸受
の形状精度と表面粗さを改善したスリーブ軸受加工方法
を提供することにある。
解決するものであり、短筒化,薄肉化したスリーブ軸受
の形状精度と表面粗さを改善したスリーブ軸受加工方法
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、筒状に加工されたブランク材の内周面
に工具軸の外周部に小径鋼球を複数個固着した溝加工工
具により溝を形成し、溝加工による内周面の盛り上がり
を鋼球を通して除去するが、形状精度を保つために加工
量は盛り上がり分だけとする。次に工具先端部に回転自
在に保持された、テーパ状ローラを複数個有する仕上工
具により、スリーブ軸受の動圧形ラジアル軸受部を仕上
げ加工する。
達成するために、筒状に加工されたブランク材の内周面
に工具軸の外周部に小径鋼球を複数個固着した溝加工工
具により溝を形成し、溝加工による内周面の盛り上がり
を鋼球を通して除去するが、形状精度を保つために加工
量は盛り上がり分だけとする。次に工具先端部に回転自
在に保持された、テーパ状ローラを複数個有する仕上工
具により、スリーブ軸受の動圧形ラジアル軸受部を仕上
げ加工する。
【0007】
【作用】上記の手段によれば、溝加工(グルーブ加工)
時に生じる内周面の盛り上がりを、鋼球を通し除去(ボ
ールサイジング)加工するが、形状精度(真円)を保つ
ように、その盛り上がり分のみを加工するようにする。 しかる後にテーパ状ローラを持つ仕上工具で軸受内周面
の仕上加工(ローラバニッシュ)を行うが、この時、ワ
ークとなるブランク材を高速で回転させておき、仕上工
具は自在に回転する構成にしておけば、ワークの回転に
対し加工中に自転・公転を、その複数個から成るテーパ
状ローラがすることになり、スリーブ軸受の軸受部は、
その径と面粗さが良好に仕上げられる。
時に生じる内周面の盛り上がりを、鋼球を通し除去(ボ
ールサイジング)加工するが、形状精度(真円)を保つ
ように、その盛り上がり分のみを加工するようにする。 しかる後にテーパ状ローラを持つ仕上工具で軸受内周面
の仕上加工(ローラバニッシュ)を行うが、この時、ワ
ークとなるブランク材を高速で回転させておき、仕上工
具は自在に回転する構成にしておけば、ワークの回転に
対し加工中に自転・公転を、その複数個から成るテーパ
状ローラがすることになり、スリーブ軸受の軸受部は、
その径と面粗さが良好に仕上げられる。
【0008】
【実施例】図1(a)〜(d)は本発明の一実施例によ
るスリーブ軸受加工工程と、この加工工程において用い
られる加工装置の説明図、図2(a)は本実施例の工程
を示すブロック図である。
るスリーブ軸受加工工程と、この加工工程において用い
られる加工装置の説明図、図2(a)は本実施例の工程
を示すブロック図である。
【0009】図1(a)はブランク材11と、その軸受
部を構成する円筒孔の内周面12を示している。図1(
b)はグルーブ加工を示し、ブランク材11の内周面1
2を外周部に小径鋼球22を設けた溝加工工具20によ
ってグルーブ(動圧溝)13を加工する。溝加工工具2
0はグルーブ13の本数及び角度に応じ、時計方向及び
反時計方向に回転すると同時に上下に移動してグルーブ
13を形成する。
部を構成する円筒孔の内周面12を示している。図1(
b)はグルーブ加工を示し、ブランク材11の内周面1
2を外周部に小径鋼球22を設けた溝加工工具20によ
ってグルーブ(動圧溝)13を加工する。溝加工工具2
0はグルーブ13の本数及び角度に応じ、時計方向及び
反時計方向に回転すると同時に上下に移動してグルーブ
13を形成する。
【0010】図1(c)は、ボールサイジング加工を示
し、鋼球(ボール)35を加圧軸36で加圧してグルー
ブ13の加工された円筒孔の内周面12へ通過させる。 ボール35の通過後のグルーブ13は盛りが除去された
グルーブ13′となる。
し、鋼球(ボール)35を加圧軸36で加圧してグルー
ブ13の加工された円筒孔の内周面12へ通過させる。 ボール35の通過後のグルーブ13は盛りが除去された
グルーブ13′となる。
【0011】図1(d)は、ローラバニッシュ加工を示
し、複数のテーパ状ローラ41を有する仕上加工工具4
0により内周面12(グルーブ13″)の仕上げ加工を
する。仕上げ加工により内周面12は所定の面状態にな
る。
し、複数のテーパ状ローラ41を有する仕上加工工具4
0により内周面12(グルーブ13″)の仕上げ加工を
する。仕上げ加工により内周面12は所定の面状態にな
る。
【0012】図3はグルーブ加工装置の構成図であり、
ワークのブランク材11はチャック瓜26にクランプさ
れる。チャック瓜26はエアー配管27により供給され
るエアーにより、ワーク11の締め付けと開放動作をす
る。溝加工工具20は、グルーブ加工装置の主軸に固定
され、順逆回転29及び上下動30をする。またグルー
ブ加工装置は加工中に油を加工部へ供給するノズル28
を備えている。
ワークのブランク材11はチャック瓜26にクランプさ
れる。チャック瓜26はエアー配管27により供給され
るエアーにより、ワーク11の締め付けと開放動作をす
る。溝加工工具20は、グルーブ加工装置の主軸に固定
され、順逆回転29及び上下動30をする。またグルー
ブ加工装置は加工中に油を加工部へ供給するノズル28
を備えている。
【0013】図4はボールサイジング装置の構成図であ
り、ワーク11は台座37上に置かれ、円筒孔にボール
35が載せられる。ボール35は加圧軸36によって方
向39に加圧され円筒孔を通過させられる。ボールサイ
ジング装置もノズル38を備えて、ボール35に油を供
給する。
り、ワーク11は台座37上に置かれ、円筒孔にボール
35が載せられる。ボール35は加圧軸36によって方
向39に加圧され円筒孔を通過させられる。ボールサイ
ジング装置もノズル38を備えて、ボール35に油を供
給する。
【0014】図5はローラバニッシュ装置の構成図であ
り、ワーク11はスピンドル49にクランパ50により
クランプされ、スピンドル49と共に回転をする。仕上
加工工具40は、ローラバニッシュ装置の主軸に固定さ
れ、ワーク11が方向52へ回転を始めるとワーク11
の方向53へ移動し、仕上げ加工をする。51はローラ
バニッシュ装置の給油ノズルで加工部へ加工油を供給す
る。
り、ワーク11はスピンドル49にクランパ50により
クランプされ、スピンドル49と共に回転をする。仕上
加工工具40は、ローラバニッシュ装置の主軸に固定さ
れ、ワーク11が方向52へ回転を始めるとワーク11
の方向53へ移動し、仕上げ加工をする。51はローラ
バニッシュ装置の給油ノズルで加工部へ加工油を供給す
る。
【0015】図6はグルーブ加工工具20の構成を詳細
に示す一部断面図であり、工具軸21には先端から小径
軸23が圧入されている。小径鋼球22は、軸23の周
辺にリング24に対で圧入保持されると同時に、軸23
に接するように圧入保持され、一対の小径鋼球22間の
距離25は、規制されていると同時に、グルーブ13の
深さに対応した寸法になっている。
に示す一部断面図であり、工具軸21には先端から小径
軸23が圧入されている。小径鋼球22は、軸23の周
辺にリング24に対で圧入保持されると同時に、軸23
に接するように圧入保持され、一対の小径鋼球22間の
距離25は、規制されていると同時に、グルーブ13の
深さに対応した寸法になっている。
【0016】図7は仕上加工工具40の構成を詳細に示
す一部断面図であり、仕上加工工具40の構造は、先端
加工部にテーパ状ローラ41を、等間隔に複数個、回転
自在にフレーム42に保持しているが、中心部にテーパ
ローラ41とは逆テーパを持つマンドレル43が通って
、テーパローラ41の位置を決め、ツール径48を規制
している。またマンドレル43は、加工寸法に応じてシ
ャンク47に組込まれた、アジャストリング46のハウ
ジング45を回転することで上下動し、テーパローラ4
1のツール径48を微調可能とする。
す一部断面図であり、仕上加工工具40の構造は、先端
加工部にテーパ状ローラ41を、等間隔に複数個、回転
自在にフレーム42に保持しているが、中心部にテーパ
ローラ41とは逆テーパを持つマンドレル43が通って
、テーパローラ41の位置を決め、ツール径48を規制
している。またマンドレル43は、加工寸法に応じてシ
ャンク47に組込まれた、アジャストリング46のハウ
ジング45を回転することで上下動し、テーパローラ4
1のツール径48を微調可能とする。
【0017】一方、フレーム42はハウジング45に保
持されるが、フレーム42とハウジング45はスプリン
グ44によって図7で上方に押え付けられるが、加工中
にスプリング44の力を超える力がテーパローラ41に
働いた時、フレーム42はわずかな傾きを生じる。この
作用により仕上加工工具40は調心機能を有している。
持されるが、フレーム42とハウジング45はスプリン
グ44によって図7で上方に押え付けられるが、加工中
にスプリング44の力を超える力がテーパローラ41に
働いた時、フレーム42はわずかな傾きを生じる。この
作用により仕上加工工具40は調心機能を有している。
【0018】図8は仕上加工工具40の先端加工部の断
面図であり、ワーク11の内周面12にテーパローラ4
1が、マンドレル43にツール径48を規制されると同
時に圧力を加えつつ、加工している状態を示している。 ワーク11の回転52により、テーパローラ41は同じ
方向に自転をするが、反対方向に公転する遊星運動を行
う。このテーパローラ41の運動が、加工される内周面
12の面粗さを均一に、鏡面仕上する効果を与える。
面図であり、ワーク11の内周面12にテーパローラ4
1が、マンドレル43にツール径48を規制されると同
時に圧力を加えつつ、加工している状態を示している。 ワーク11の回転52により、テーパローラ41は同じ
方向に自転をするが、反対方向に公転する遊星運動を行
う。このテーパローラ41の運動が、加工される内周面
12の面粗さを均一に、鏡面仕上する効果を与える。
【0019】図9は仕上加工工具40のワーク11への
加工中の状態を示す説明図であり、テーパローラ41は
工具先端が大きなテーパをなし、上記の加工内周面12
の面粗さを良好に加工する効果と同じ効果を有する。
加工中の状態を示す説明図であり、テーパローラ41は
工具先端が大きなテーパをなし、上記の加工内周面12
の面粗さを良好に加工する効果と同じ効果を有する。
【0020】また、加工終了後、ワーク11から仕上加
工工具40を抜き去る時に、マンドレル43を後退させ
、ツール径48を縮小させ、抜き出しを容易にするよう
に構成させることが可能である。
工工具40を抜き去る時に、マンドレル43を後退させ
、ツール径48を縮小させ、抜き出しを容易にするよう
に構成させることが可能である。
【0021】図10(a)〜(c)は触針式の粗さ測定
器による軸受部の内周面12の粗さを工程毎に示す説明
図であり、図10(a)は施削仕上加工のブランク材1
1の内周面12のもの、図10(b)はボールサイジン
グ後の内周面12のもの、図10(c)はローラバニッ
シュ後の内周面12のものである。図10(a)→図1
0(b)→図10(c)の順に表面粗さが改善していく
。
器による軸受部の内周面12の粗さを工程毎に示す説明
図であり、図10(a)は施削仕上加工のブランク材1
1の内周面12のもの、図10(b)はボールサイジン
グ後の内周面12のもの、図10(c)はローラバニッ
シュ後の内周面12のものである。図10(a)→図1
0(b)→図10(c)の順に表面粗さが改善していく
。
【0022】図11(a)〜(c)は触針式の真円度計
による軸受部の内周面12の真円度を工程毎に示す説明
図であり、図11(a)はブランク材11の軸受円筒孔
の真円度を、図11(b)はグルーブ加工による真円度
とグルーブ加工による内周面12の盛り上がり56を示
している。図11(c)はボールサイジング後の内周面
12の真円度を示し、ボールサイジングにより内周面1
2の盛り上がり56を除去している。
による軸受部の内周面12の真円度を工程毎に示す説明
図であり、図11(a)はブランク材11の軸受円筒孔
の真円度を、図11(b)はグルーブ加工による真円度
とグルーブ加工による内周面12の盛り上がり56を示
している。図11(c)はボールサイジング後の内周面
12の真円度を示し、ボールサイジングにより内周面1
2の盛り上がり56を除去している。
【0023】次に、上記の実施例の動作について説明す
る。
る。
【0024】ブランク材11は、軸受に適した金属であ
り、加工性の良い銅系合金からなり、スリーブ軸受の軸
受長さを有し、筒長が軸径の3倍以内、肉厚(スリーブ
軸受の外筒一内筒)が軸径と同等以内の短筒で薄肉であ
る。この内周面12に溝加工工具20でグルーブ(動圧
溝)を加工するが、グルーブの本数や角度や、幅と深さ
は設計軸受剛性によって決まり、一般的には、グルーブ
本数は6〜12本、角度は10°〜25°、幅は0.1
〜0.3mmで、深さは数μm〜十数μmである。
り、加工性の良い銅系合金からなり、スリーブ軸受の軸
受長さを有し、筒長が軸径の3倍以内、肉厚(スリーブ
軸受の外筒一内筒)が軸径と同等以内の短筒で薄肉であ
る。この内周面12に溝加工工具20でグルーブ(動圧
溝)を加工するが、グルーブの本数や角度や、幅と深さ
は設計軸受剛性によって決まり、一般的には、グルーブ
本数は6〜12本、角度は10°〜25°、幅は0.1
〜0.3mmで、深さは数μm〜十数μmである。
【0025】従って、溝加工工具20の小径鋼球22の
径は0.8〜1.5mmで、グルーブ本数の半分の個数
が対として軸23の周囲に固着されている。加工径25
は軸受円筒孔の径にグルーブ深さを2倍した値をプラス
した値にするように、軸23で一対の小径鋼球22の距
離が規制される。このように設定された条件によりグル
ーブ加工はなされるが、グルーブ加工による内周面12
に発生した盛り上がり56は、グルーブ深さのほぼ1/
5から1/2程になり、円筒孔は小さくなっている(図
11(b))。
径は0.8〜1.5mmで、グルーブ本数の半分の個数
が対として軸23の周囲に固着されている。加工径25
は軸受円筒孔の径にグルーブ深さを2倍した値をプラス
した値にするように、軸23で一対の小径鋼球22の距
離が規制される。このように設定された条件によりグル
ーブ加工はなされるが、グルーブ加工による内周面12
に発生した盛り上がり56は、グルーブ深さのほぼ1/
5から1/2程になり、円筒孔は小さくなっている(図
11(b))。
【0026】ボールサイジングは、ブランク材11の円
筒孔の径より数μm程大きな径を持つ鋼球35を、円筒
孔の内周面12を通過させる。鋼球35は油圧により加
圧軸36によって一定速度で押込まれる。従って、グル
ーブ部の盛り上り56は除去され、軸受円筒孔の径がほ
ぼブランク材11の初期の円筒孔の径と同じに加工され
る。しかも上記の加工量においては、上記の薄肉のスリ
ーブ軸受の軸受円筒孔の内周面12の真円度が損われず
、真円を保って(図11(c))加工がなされる。
筒孔の径より数μm程大きな径を持つ鋼球35を、円筒
孔の内周面12を通過させる。鋼球35は油圧により加
圧軸36によって一定速度で押込まれる。従って、グル
ーブ部の盛り上り56は除去され、軸受円筒孔の径がほ
ぼブランク材11の初期の円筒孔の径と同じに加工され
る。しかも上記の加工量においては、上記の薄肉のスリ
ーブ軸受の軸受円筒孔の内周面12の真円度が損われず
、真円を保って(図11(c))加工がなされる。
【0027】しかし図2(b)の従来の加工工程を示す
ブロック図のようにボールサイジングのみで仕上げ加工
を行うには、軸受円筒孔を通過させる鋼球35の径を、
前記鋼球35の径よりさらに数μm程度大きくする必要
があるため、軸受円筒孔の真円度が損われてしまう。ま
たボールサイジングではワークを回転させないので鏡面
仕上はできず、図10(b)の触針式粗さ測定器による
測定結果に示したように、軸受内周面12の面粗さは耐
久性を十分に保つには不十分である。
ブロック図のようにボールサイジングのみで仕上げ加工
を行うには、軸受円筒孔を通過させる鋼球35の径を、
前記鋼球35の径よりさらに数μm程度大きくする必要
があるため、軸受円筒孔の真円度が損われてしまう。ま
たボールサイジングではワークを回転させないので鏡面
仕上はできず、図10(b)の触針式粗さ測定器による
測定結果に示したように、軸受内周面12の面粗さは耐
久性を十分に保つには不十分である。
【0028】次にボールサイジングによってグルーブ部
の盛り上がり56が除去された内周面12を仕上加工工
具40によって仕上加工(ローラバニッシュ)する。こ
のローラバニッシュは、上記の説明による仕上加工工具
40の構成とテーパローラ41の遊星運動により、内周
面12を鏡面にする(図10(c))と同時に、ツール
径48は軸受円筒孔の仕上径より3〜数μm程大きく規
制され加工する。従って、軸受円筒孔の真円度を保ちつ
つ、その径をブランク材11の径より2〜3μm大きく
仕上げる。
の盛り上がり56が除去された内周面12を仕上加工工
具40によって仕上加工(ローラバニッシュ)する。こ
のローラバニッシュは、上記の説明による仕上加工工具
40の構成とテーパローラ41の遊星運動により、内周
面12を鏡面にする(図10(c))と同時に、ツール
径48は軸受円筒孔の仕上径より3〜数μm程大きく規
制され加工する。従って、軸受円筒孔の真円度を保ちつ
つ、その径をブランク材11の径より2〜3μm大きく
仕上げる。
【0029】ここで、図2(c)の加工工程を示すブロ
ック図のようにボールサイジングを除いた加工をした場
合は、内周面12に、グルーブ加工の盛り上がり56が
残っているため、仕上加工工具40は盛り上がり56に
振られて真円度は悪くなり、短筒の動圧形ラジアル軸受
における軸受剛性は低下してしまい、高精度なスリーブ
軸受は加工できない。
ック図のようにボールサイジングを除いた加工をした場
合は、内周面12に、グルーブ加工の盛り上がり56が
残っているため、仕上加工工具40は盛り上がり56に
振られて真円度は悪くなり、短筒の動圧形ラジアル軸受
における軸受剛性は低下してしまい、高精度なスリーブ
軸受は加工できない。
【0030】このように上記の実施例によれば、軸受内
周面12のグルーブ加工による盛り上がり56を除去し
、軸受円筒孔の径を仕上げるのに、ボールサイジング加
工とローラバニッシュ加工を組合せて仕上加工するよう
にし、それぞれの加工量を内周面の真円度などの形状精
度を損わずに、最良の面粗さを得るように設定して加工
するようにしたものであり、ボールサイジングによる真
円度を保持しながらの加工と、ローラバニッシュによる
鏡面仕上げの効果を有効に結びつけ、短筒で薄肉のスリ
ーブ軸受を高精度に加工し、装置回転部の小型,軽量化
を可能にすることができる。
周面12のグルーブ加工による盛り上がり56を除去し
、軸受円筒孔の径を仕上げるのに、ボールサイジング加
工とローラバニッシュ加工を組合せて仕上加工するよう
にし、それぞれの加工量を内周面の真円度などの形状精
度を損わずに、最良の面粗さを得るように設定して加工
するようにしたものであり、ボールサイジングによる真
円度を保持しながらの加工と、ローラバニッシュによる
鏡面仕上げの効果を有効に結びつけ、短筒で薄肉のスリ
ーブ軸受を高精度に加工し、装置回転部の小型,軽量化
を可能にすることができる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
グルーブ加工後の仕上加工工程を、グルーブ加工の内周
面の盛り上がりを除去するボールサイジング加工と、軸
受円筒孔の径を仕上げて、内周面を鏡面加工するローラ
バニッシュ加工の組合せ仕上げとしたものであり、この
組合せ加工としたことにより、真円度などの形状精度を
損わずに、軸受内周面を鏡面に仕上げることができ、さ
らに仕上げ加工を組合せで行うため、短筒で薄肉のスリ
ーブ軸受において、高精度に加工することができるため
、装置回転部の小型化,軽量化を可能にすることができ
るスリーブ軸受加工方法を提供できる。
グルーブ加工後の仕上加工工程を、グルーブ加工の内周
面の盛り上がりを除去するボールサイジング加工と、軸
受円筒孔の径を仕上げて、内周面を鏡面加工するローラ
バニッシュ加工の組合せ仕上げとしたものであり、この
組合せ加工としたことにより、真円度などの形状精度を
損わずに、軸受内周面を鏡面に仕上げることができ、さ
らに仕上げ加工を組合せで行うため、短筒で薄肉のスリ
ーブ軸受において、高精度に加工することができるため
、装置回転部の小型化,軽量化を可能にすることができ
るスリーブ軸受加工方法を提供できる。
【図1】本発明の一実施例を実施するためのスリーブ軸
受加工方法によるスリーブ軸受加工工程の説明図である
。
受加工方法によるスリーブ軸受加工工程の説明図である
。
【図2】スリーブ軸受加工の各種工程を示すブロック図
である。
である。
【図3】グルーブ加工装置の構成図である。
【図4】ボールサイジング装置の構成図である。
【図5】ローラバニッシュ装置の構成図である。
【図6】グルーブ加工工具を詳細に示す一部断面図であ
る。
る。
【図7】ローラバニッシュ工具を詳細に示す一部断面図
である。
である。
【図8】仕上加工工具の先端加工部の加工中の状態を示
す断面図である。
す断面図である。
【図9】仕上加工工具の加工中の状態を示す要部の説明
図である。
図である。
【図10】加工による軸受内周面の表面粗さを示した説
明図である。
明図である。
【図11】加工による軸受内周面の真円度を示した説明
図である。
図である。
【図12】従来のスリーブ軸受加工工程の説明図である
。
。
11…ブランク材、 12…軸受円筒孔の内周面、
13…グルーブ(動圧溝)、 20…溝加工工具、
22…小径鋼球、 35…ボール(鋼球)、
40…仕上加工工具、 41…テーパ状ローラ、
43…マンドレル、 56…グルーブ加工の盛り上が
り部。
13…グルーブ(動圧溝)、 20…溝加工工具、
22…小径鋼球、 35…ボール(鋼球)、
40…仕上加工工具、 41…テーパ状ローラ、
43…マンドレル、 56…グルーブ加工の盛り上が
り部。
Claims (1)
- 【請求項1】 筒状ブランク材の内周面に、工具軸の
外周部に小径鋼球を複数個固着した溝加工工具により溝
を形成し、溝加工による内周面の盛り上がりを鋼球を通
して除去し、工具先端部に回転自在に保持され、かつテ
ーパ状ローラを複数個有する仕上工具により内周面の仕
上げ加工を施すことを特徴とするスリーブ軸受加工方法
。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3120041A JP2791924B2 (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | スリーブ軸受加工方法 |
US08/128,750 US5339523A (en) | 1991-05-24 | 1993-09-30 | Method of machining sleeve bearing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3120041A JP2791924B2 (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | スリーブ軸受加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04348865A true JPH04348865A (ja) | 1992-12-03 |
JP2791924B2 JP2791924B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=14776438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3120041A Expired - Fee Related JP2791924B2 (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | スリーブ軸受加工方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5339523A (ja) |
JP (1) | JP2791924B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11502470A (ja) * | 1995-03-30 | 1999-03-02 | マーン・ベー・オグ・ドバルドヴェー・ディーゼール・アクティーゼルスカブ | ピストンエンジン用のシリンダライナーの製造方法及びシリンダライナー |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4137994C2 (de) * | 1991-11-19 | 1999-06-02 | Bosch Gmbh Robert | Elektromagnetisch betätigbares Einspritzventil mit einem Düsenträger und Verfahren zur Herstellung eines Düsenträgers eines Einspritzventils |
DE4223374C2 (de) * | 1992-07-16 | 1994-09-15 | Viscodrive Gmbh | Differentialgetriebe |
US5524464A (en) * | 1993-09-30 | 1996-06-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Workpiece-bore processing apparatus and method |
JPH07299524A (ja) * | 1994-05-02 | 1995-11-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体軸受の製造装置 |
JP3798496B2 (ja) * | 1997-02-25 | 2006-07-19 | トヨタ自動車株式会社 | シリンダブロックのボア面の加工装置 |
GB2322915B (en) | 1997-03-06 | 2001-06-06 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Hydrodynamic type porous oil-impregnated bearing |
GB2351781B (en) * | 1997-03-06 | 2001-09-12 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | Hydrodynamic type porous oil-impregnated bearing |
KR20010075372A (ko) * | 1998-09-25 | 2001-08-09 | 추후 | 액츄에이터 어셈블리 잔류물 감소 |
JP2001121416A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-08 | Minebea Co Ltd | 軸受の外輪のランド仕上加工法及び軸受 |
JP2001124094A (ja) * | 1999-10-27 | 2001-05-08 | Minebea Co Ltd | 軸受の外輪のランド仕上げ加工法及び軸受 |
JP2001280338A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-10 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 軸受部材、並びに軸受部材の製造装置、製造方法及び製造用加工工具 |
JP3751794B2 (ja) * | 2000-05-11 | 2006-03-01 | 日本電産株式会社 | ラジアル軸受の製造装置、及び製造用加工工具、並びに製造方法 |
DE10064266A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-04 | Alstom Switzerland Ltd | Verfahren zur Verringerung der Varianz im Kühlmediumverbrauch von Komponenten einer Strömungsmaschine |
KR101197064B1 (ko) * | 2001-08-03 | 2012-11-06 | 가부시키가이샤 아키타 파인 블랑킹 | 브이지에스 타입 터보 차저에서의 구성요소부재의제조방법, 이 방법에 의해 제조된 구성요소부재, 이구성요소부재를 적용한 브이지에스 타입 터보 차저의 배기가이드 어셈블리 및 이 배기 가이드 어셈블리를 장착하여이루어지는 브이지에스 타입 터보 차저 |
US6817098B2 (en) * | 2003-01-09 | 2004-11-16 | Chin-Chen Yuan | Method for forming inner flanges in a bushing which is used to secure a hose therein |
US7210209B2 (en) | 2003-01-21 | 2007-05-01 | Seagate Technology Llc | System and method for ballizing and measuring a workpiece bore hole |
NL1023342C2 (nl) * | 2003-05-05 | 2004-11-09 | Skf Ab | Werkwijze voor het behandelen van het oppervlak van een machineelement. |
TWI259113B (en) * | 2004-12-10 | 2006-08-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Manufacturing tool for fluid bearing |
JP2008023596A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-02-07 | Nissan Motor Co Ltd | 微細凹部加工方法 |
JP4680973B2 (ja) * | 2006-11-06 | 2011-05-11 | Gast Japan 株式会社 | 軸受けの製造方法、軸受けユニット及び回転機器並びに摺動部材の製造方法 |
DE102008025039B3 (de) * | 2008-05-24 | 2009-07-23 | Ab Skf | Verfahren zur Herstellung eines Linearlagergehäuses und Linearlagergehäuse |
DE102011050662B4 (de) * | 2011-02-10 | 2015-05-28 | Mauser-Werke Oberndorf Maschinenbau Gmbh | Walzwerkzeug |
DE102011011276A1 (de) | 2011-02-11 | 2012-08-16 | Ferroll Gmbh | Fluidostatische Walzvorrichtung zur Oberflächenbearbeitung und Verfahren zur Randschichtumformung |
CN102873633A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-01-16 | 大连德迈仕精密轴有限公司 | 一种轴类工件内孔挤压抛光的加工方法 |
CN103056588B (zh) * | 2013-01-04 | 2015-11-11 | 宿迁市波尔特机械制造有限公司 | 柴油机冷却水泵固定套内孔精加工工装及其精加工方法 |
DE102018132771A1 (de) * | 2018-12-19 | 2020-06-25 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Verfahren zur Oberflächenbehandlung, Wälzlagerbauteil und Vorrichtung |
CN117464473A (zh) * | 2023-11-23 | 2024-01-30 | 盐城市山川金属加工有限公司 | 一种打磨抛光机床设备 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6237511A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 動圧型流体軸受装置の製造方法 |
JPS63272463A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Hitachi Ltd | 平滑加工用工具 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3130477A (en) * | 1961-01-23 | 1964-04-28 | Warren E Gill | Roller burnishing tool with releasespring adjustment |
US3559258A (en) * | 1969-01-29 | 1971-02-02 | Halliburton Co | Method and apparatus for burnishing a bore |
DE3324494C1 (de) * | 1983-07-07 | 1984-10-25 | Wilhelm Hegenscheidt Gmbh, 5140 Erkelenz | Walzwerkzeug |
JPS63311620A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気記録再生装置の回転ヘツドアセンブリ |
-
1991
- 1991-05-24 JP JP3120041A patent/JP2791924B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-09-30 US US08/128,750 patent/US5339523A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6237511A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 動圧型流体軸受装置の製造方法 |
JPS63272463A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-09 | Hitachi Ltd | 平滑加工用工具 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11502470A (ja) * | 1995-03-30 | 1999-03-02 | マーン・ベー・オグ・ドバルドヴェー・ディーゼール・アクティーゼルスカブ | ピストンエンジン用のシリンダライナーの製造方法及びシリンダライナー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5339523A (en) | 1994-08-23 |
JP2791924B2 (ja) | 1998-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH04348865A (ja) | スリーブ軸受加工方法 | |
US5531631A (en) | Microfinishing tool with axially variable machining effect | |
US5247819A (en) | Bore processing device | |
JP3257231B2 (ja) | 軸受内径加工装置 | |
JP2000107947A (ja) | 円筒面加工装置、軸受内径加工装置及び円筒穴付構造体 | |
JP2884711B2 (ja) | 軸受内径加工装置 | |
JP3179956B2 (ja) | 溝付き軸受部材の加工方法 | |
US5095727A (en) | Roller burnishing tool for effecting diminishing stress reversal on annular workpieces | |
JPH0819901A (ja) | パイプの端部加工装置 | |
JPH0753890Y2 (ja) | 平坦面のバニシ仕上げ工具 | |
JPH0665890B2 (ja) | 精密機械の軸受装置 | |
KR0184723B1 (ko) | 홈형성베어링부재의 가공장치 | |
JP2001263355A (ja) | 動圧溝付き軸受スリーブの加工方法 | |
JPH0647653Y2 (ja) | 内周加工用ボ−ルバニシング工具 | |
JPH0647652Y2 (ja) | 内周加工用ロ−ラ−バニシング工具 | |
JP3025097B2 (ja) | 円筒状被加工物の保持装置 | |
JP3744082B2 (ja) | 動圧発生溝加工方法および装置 | |
JP2541400Y2 (ja) | 球内面加工用ロ−ラ・バニシングツ−ル | |
SU648393A2 (ru) | Роликова раскатка | |
JPH1177210A (ja) | 転造加工装置及びそれを用いた転造加工方法 | |
JPS61124726A (ja) | 溝付流体軸受の製造装置 | |
JPH0713966Y2 (ja) | バニシング加工具 | |
JPH0796452A (ja) | 弾性体ローラの研削方法とその装置 | |
JP2000312943A (ja) | 円筒面を有する被加工物の製造方法及びその製造装置、並びに流体軸受の動圧溝の製造方法及びその製造装置 | |
JPS63309341A (ja) | 動圧軸受の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |