JPH04339587A - Ｙａｇレーザ加工装置 - Google Patents
Ｙａｇレーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH04339587A JPH04339587A JP3109297A JP10929791A JPH04339587A JP H04339587 A JPH04339587 A JP H04339587A JP 3109297 A JP3109297 A JP 3109297A JP 10929791 A JP10929791 A JP 10929791A JP H04339587 A JPH04339587 A JP H04339587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yag laser
- workpiece
- vacuum chamber
- laser beam
- irradiation head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 5
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000005554 pickling Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019901 yttrium aluminum garnet Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＹＡＧレーザ光を用
いて、金属材料あるいはセラミックス材料よりなる被加
工物を真空中にて局部溶融して硬化処理したり、溶接し
たりするのに用いられるＹＡＧレーザ加工装置に関する
ものである。
いて、金属材料あるいはセラミックス材料よりなる被加
工物を真空中にて局部溶融して硬化処理したり、溶接し
たりするのに用いられるＹＡＧレーザ加工装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、ＹＡＧレーザは、固体レ
ーザ材料としてＹＡＧ（Ｙｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕｍｉｎ
ｉｕｍ Ｇａｒｎｅｔ，Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）を用いたも
ので、常温で波長１．０６μｍのレーザをパルス発振ま
たは連続発振するものである。このＹＡＧレーザ光は、
石英系の光ファイバにより容易に伝送できることから、
幅広いその応用面が期待されている。ＹＡＧレーザ加工
装置もそのひとつであって、ＹＡＧレーザ光（ＹＡＧレ
ーザビーム）を用いて、金属材料あるいはセラミックス
材料よりなる被加工物を、真空中にて、局部溶融して硬
化処理したり、溶接したりするＹＡＧレーザ加工装置と
しては、従来、その構成説明図の図３に示すようなもの
が知られている。
ーザ材料としてＹＡＧ（Ｙｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕｍｉｎ
ｉｕｍ Ｇａｒｎｅｔ，Ｙ３Ａｌ５Ｏ１２）を用いたも
ので、常温で波長１．０６μｍのレーザをパルス発振ま
たは連続発振するものである。このＹＡＧレーザ光は、
石英系の光ファイバにより容易に伝送できることから、
幅広いその応用面が期待されている。ＹＡＧレーザ加工
装置もそのひとつであって、ＹＡＧレーザ光（ＹＡＧレ
ーザビーム）を用いて、金属材料あるいはセラミックス
材料よりなる被加工物を、真空中にて、局部溶融して硬
化処理したり、溶接したりするＹＡＧレーザ加工装置と
しては、従来、その構成説明図の図３に示すようなもの
が知られている。
【０００３】図３において、５１は上方が開放された箱
状の筐体であり、筐体５１の内側に、内部に所定真空度
に真空引きされる空間を有し上面にＹＡＧレーザ光を通
す透明なガラス窓５２ａを備えた真空チャンバ５２が設
けられている。この真空チャンバ５２内に、被加工物Ｗ
を固定するための被加工物固定治具５３が配置されてい
る。また、上記筐体５１の対向する辺をなす２つの上端
縁には、図示しない駆動装置によってこの凸状の上端縁
に沿って移動可能な前後方向移動体５４が設けられ、同
期して移動されるこの２つの前後方向移動体５４に、図
に示すように、駆動装置（図示省略）によって回転され
るネジ軸５５がガラス窓５２ａに対して平行であって前
後方向移動体５４の移動方向と直角をなすように支持さ
れている。
状の筐体であり、筐体５１の内側に、内部に所定真空度
に真空引きされる空間を有し上面にＹＡＧレーザ光を通
す透明なガラス窓５２ａを備えた真空チャンバ５２が設
けられている。この真空チャンバ５２内に、被加工物Ｗ
を固定するための被加工物固定治具５３が配置されてい
る。また、上記筐体５１の対向する辺をなす２つの上端
縁には、図示しない駆動装置によってこの凸状の上端縁
に沿って移動可能な前後方向移動体５４が設けられ、同
期して移動されるこの２つの前後方向移動体５４に、図
に示すように、駆動装置（図示省略）によって回転され
るネジ軸５５がガラス窓５２ａに対して平行であって前
後方向移動体５４の移動方向と直角をなすように支持さ
れている。
【０００４】さらに、ネジ軸５５に嵌め込まれこれの回
転に従って移動される左右方向移動体５６には、ＹＡＧ
レーザ光を集束レンズ（図示省略）により集束して被加
工物Ｗに照射するためのレーザ照射ヘッド５７が取り付
けられている。５８は、筐体５１の外部に配置され、Ｙ
ＡＧレーザ光を発振させるためのＹＡＧレーザ発振器で
あり、このＹＡＧレーザ発振器５８から出射されたＹＡ
Ｇレーザ光が光ファイバ５９により上記のレーザ照射ヘ
ッド５７に導かれるように構成されている。
転に従って移動される左右方向移動体５６には、ＹＡＧ
レーザ光を集束レンズ（図示省略）により集束して被加
工物Ｗに照射するためのレーザ照射ヘッド５７が取り付
けられている。５８は、筐体５１の外部に配置され、Ｙ
ＡＧレーザ光を発振させるためのＹＡＧレーザ発振器で
あり、このＹＡＧレーザ発振器５８から出射されたＹＡ
Ｇレーザ光が光ファイバ５９により上記のレーザ照射ヘ
ッド５７に導かれるように構成されている。
【０００５】従来のＹＡＧレーザ加工装置は、上記のよ
うに構成されており、ＹＡＧレーザ光を真空チャンバ５
２内に配置された被加工物Ｗにガラス窓５２ａを通して
照射し、レーザ加工するようにしたものである。この場
合、ＹＡＧレーザ光の照射により被加工物Ｗの溶融部か
ら発生する飛散粒子は、レーザ照射ヘッド５７の集束レ
ンズに付着することはないが、ガラス窓５２ａの内面に
蒸着されたように付着する。
うに構成されており、ＹＡＧレーザ光を真空チャンバ５
２内に配置された被加工物Ｗにガラス窓５２ａを通して
照射し、レーザ加工するようにしたものである。この場
合、ＹＡＧレーザ光の照射により被加工物Ｗの溶融部か
ら発生する飛散粒子は、レーザ照射ヘッド５７の集束レ
ンズに付着することはないが、ガラス窓５２ａの内面に
蒸着されたように付着する。
【０００６】ガラス窓５２ａに飛散粒子が付着すると、
ガラス窓５２ａが汚れて被加工物Ｗに対するレーザ照射
ヘッド５７の移動操作に支障を招くこと、付着した飛散
粒子の除去が酸洗いなどによらなければできないことか
ら、通常、装置を数回運転する都度、ガラス窓５２ａを
新品のものに交換するようにしている。なお、図３は、
２枚の金属箔の間に処理材を挟んだ状態で、金属箔の外
周部をＹＡＧレーザ加工装置によってシーム溶接する場
合を示したものである。
ガラス窓５２ａが汚れて被加工物Ｗに対するレーザ照射
ヘッド５７の移動操作に支障を招くこと、付着した飛散
粒子の除去が酸洗いなどによらなければできないことか
ら、通常、装置を数回運転する都度、ガラス窓５２ａを
新品のものに交換するようにしている。なお、図３は、
２枚の金属箔の間に処理材を挟んだ状態で、金属箔の外
周部をＹＡＧレーザ加工装置によってシーム溶接する場
合を示したものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
ＹＡＧレーザ加工装置では、ＹＡＧレーザ光を真空チャ
ンバ内に配置された被加工物にガラス窓を通して照射し
、そのレーザ加工を行うように構成したものであるから
、ガラス窓があるために被加工物に対しレーザ照射ヘッ
ドを前進させて被加工物との距離を任意に変えて設定す
ることができず、被加工物の形状、寸法によってはこれ
に対するＹＡＧレーザ光の焦点位置の適正な調整が充分
に行えないことがある。このため、被加工物を硬化処理
する際の溶融部の形状、あるいは溶接する際のビード形
状が適正に制御できず、品質の良いレーザ加工品が得ら
れない場合があるという欠点があった。
ＹＡＧレーザ加工装置では、ＹＡＧレーザ光を真空チャ
ンバ内に配置された被加工物にガラス窓を通して照射し
、そのレーザ加工を行うように構成したものであるから
、ガラス窓があるために被加工物に対しレーザ照射ヘッ
ドを前進させて被加工物との距離を任意に変えて設定す
ることができず、被加工物の形状、寸法によってはこれ
に対するＹＡＧレーザ光の焦点位置の適正な調整が充分
に行えないことがある。このため、被加工物を硬化処理
する際の溶融部の形状、あるいは溶接する際のビード形
状が適正に制御できず、品質の良いレーザ加工品が得ら
れない場合があるという欠点があった。
【０００８】この発明は、上記のことに鑑みてなされた
ものであって、真空チャンバ内にレーザ照射ヘッドを設
け、このレーザ照射ヘッドにＹＡＧレーザ光の照射によ
り被加工物の溶融部から発生する飛散粒子を吸引するた
めの吸引ノズルを取り付けることにより、真空チャンバ
内にて被加工物とレーザ照射ヘッド間の距離を任意に設
定でき、かつレーザ照射ヘッドの集束レンズへの被加工
物からの飛散粒子の付着を防止することができる、ＹＡ
Ｇレーザ加工装置の提供を目的とする。
ものであって、真空チャンバ内にレーザ照射ヘッドを設
け、このレーザ照射ヘッドにＹＡＧレーザ光の照射によ
り被加工物の溶融部から発生する飛散粒子を吸引するた
めの吸引ノズルを取り付けることにより、真空チャンバ
内にて被加工物とレーザ照射ヘッド間の距離を任意に設
定でき、かつレーザ照射ヘッドの集束レンズへの被加工
物からの飛散粒子の付着を防止することができる、ＹＡ
Ｇレーザ加工装置の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明によるＹＡＧレーザ加工装置は、ＹＡＧ
レーザ光を用いて、金属材料あるいはセラミックス材料
よりなり真空チャンバ内に配置された被加工物の局部溶
融、溶接などを真空中にて行うＹＡＧレーザ加工装置に
おいて、前記真空チャンバ内に設けられ、ＹＡＧレーザ
光を集束レンズにより集束して被加工物に照射するレー
ザ照射ヘッドと、前記真空チャンバの外部に配置されＹ
ＡＧレーザ光を発振させるレーザ発振器と、このレーザ
発振器から出射されたＹＡＧレーザ光を前記レーザ照射
ヘッドに導く光ファイバと、前記レーザ照射ヘッドに取
り付けられ、ＹＡＧレーザ光の照射により被加工物の溶
融部から発生する飛散粒子を吸引する吸引ノズルとを備
えたことを特徴とするものである。
めに、この発明によるＹＡＧレーザ加工装置は、ＹＡＧ
レーザ光を用いて、金属材料あるいはセラミックス材料
よりなり真空チャンバ内に配置された被加工物の局部溶
融、溶接などを真空中にて行うＹＡＧレーザ加工装置に
おいて、前記真空チャンバ内に設けられ、ＹＡＧレーザ
光を集束レンズにより集束して被加工物に照射するレー
ザ照射ヘッドと、前記真空チャンバの外部に配置されＹ
ＡＧレーザ光を発振させるレーザ発振器と、このレーザ
発振器から出射されたＹＡＧレーザ光を前記レーザ照射
ヘッドに導く光ファイバと、前記レーザ照射ヘッドに取
り付けられ、ＹＡＧレーザ光の照射により被加工物の溶
融部から発生する飛散粒子を吸引する吸引ノズルとを備
えたことを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】被加工物が配置される真空チャンバ内に、ＹＡ
Ｇレーザ光を集束レンズにより集束して被加工物に照射
するレーザ照射ヘッドが設けられ、このレーザ照射ヘッ
ドに、真空チャンバの外部に配置されＹＡＧレーザ光を
発振させるレーザ発振器から光ファイバによってＹＡＧ
レーザ光が導かれるように構成されているので、真空チ
ャンバ内にて被加工物とレーザ照射ヘッド間の距離を任
意に設定でき、ＹＡＧレーザ光の焦点位置を被加工物に
応じて適正に調整することができる。
Ｇレーザ光を集束レンズにより集束して被加工物に照射
するレーザ照射ヘッドが設けられ、このレーザ照射ヘッ
ドに、真空チャンバの外部に配置されＹＡＧレーザ光を
発振させるレーザ発振器から光ファイバによってＹＡＧ
レーザ光が導かれるように構成されているので、真空チ
ャンバ内にて被加工物とレーザ照射ヘッド間の距離を任
意に設定でき、ＹＡＧレーザ光の焦点位置を被加工物に
応じて適正に調整することができる。
【００１１】また、ＹＡＧレーザ光の照射により被加工
物の溶融部から発生する飛散粒子が、レーザ照射ヘッド
に取り付けられた吸引ノズルによって吸引捕捉され、レ
ーザ照射ヘッドの集束レンズに付着することはない。
物の溶融部から発生する飛散粒子が、レーザ照射ヘッド
に取り付けられた吸引ノズルによって吸引捕捉され、レ
ーザ照射ヘッドの集束レンズに付着することはない。
【００１２】
【実施例】以下、実施例に基づいてこの発明を説明する
。図１はこの発明の一実施例によるＹＡＧレーザ加工装
置の構成説明図、図２は図１に示すレーザ照射ヘッド及
び吸引ノズルを説明するための図である。
。図１はこの発明の一実施例によるＹＡＧレーザ加工装
置の構成説明図、図２は図１に示すレーザ照射ヘッド及
び吸引ノズルを説明するための図である。
【００１３】図１において、１は内部に所定真空度に真
空引きされる空間を有し、側壁に透明なガラス窓１ａが
設けられた真空チャンバである。この真空チャンバ１内
に、この実施例では金属材料よりなる被加工物Ｗを固定
支持するための被加工物固定台２、後述するレーザ照射
ヘッド３及び吸引ノズル４を被加工物Ｗに対して位置決
めし移動させるための３軸スライダ装置５が配置されて
いる。
空引きされる空間を有し、側壁に透明なガラス窓１ａが
設けられた真空チャンバである。この真空チャンバ１内
に、この実施例では金属材料よりなる被加工物Ｗを固定
支持するための被加工物固定台２、後述するレーザ照射
ヘッド３及び吸引ノズル４を被加工物Ｗに対して位置決
めし移動させるための３軸スライダ装置５が配置されて
いる。
【００１４】３軸スライダ装置５は、図に示すように、
真空チャンバ１の底面に設置されたレール５ａ上を図に
おける紙面垂直方向に移動される前後移動スライダ５ｂ
、前後移動スライダ５ｂ上に垂設された支持軸に沿って
図における上下方向に移動される上下移動スライダ５ｃ
、この上下移動スライダ５ｃに取り付けられ、図におけ
る左右方向に移動される左右移動スライダ５ｄ、及び、
真空チャンバ１の外部に配置され、上記各スライダ５ｂ
，５ｃ，５ｄを駆動制御するための図示しない制御操作
装置とにより構成されている。後述する、レーザ照射ヘ
ッド３及び加工時における被加工物Ｗの溶融部から発生
する飛散粒子を吸引するための吸引ノズル４は、図に示
すように、左右移動スライダ５ｄの先端部に取り付けら
れている。
真空チャンバ１の底面に設置されたレール５ａ上を図に
おける紙面垂直方向に移動される前後移動スライダ５ｂ
、前後移動スライダ５ｂ上に垂設された支持軸に沿って
図における上下方向に移動される上下移動スライダ５ｃ
、この上下移動スライダ５ｃに取り付けられ、図におけ
る左右方向に移動される左右移動スライダ５ｄ、及び、
真空チャンバ１の外部に配置され、上記各スライダ５ｂ
，５ｃ，５ｄを駆動制御するための図示しない制御操作
装置とにより構成されている。後述する、レーザ照射ヘ
ッド３及び加工時における被加工物Ｗの溶融部から発生
する飛散粒子を吸引するための吸引ノズル４は、図に示
すように、左右移動スライダ５ｄの先端部に取り付けら
れている。
【００１５】真空チャンバ１の外部には、ＹＡＧレーザ
光を発振させるＹＡＧレーザ発振器６と、真空ポンプ７
とが配置されている。そして、真空チャンバ１内の上記
レーザ照射ヘッド３にＹＡＧレーザ発振器６から出射さ
れたＹＡＧレーザ光が石英系の光ファイバ８によって導
かれ、真空チャンバ１内の上記吸引ノズル４は吸引ホー
ス９を介して真空ポンプ７に接続されるようになってい
る。
光を発振させるＹＡＧレーザ発振器６と、真空ポンプ７
とが配置されている。そして、真空チャンバ１内の上記
レーザ照射ヘッド３にＹＡＧレーザ発振器６から出射さ
れたＹＡＧレーザ光が石英系の光ファイバ８によって導
かれ、真空チャンバ１内の上記吸引ノズル４は吸引ホー
ス９を介して真空ポンプ７に接続されるようになってい
る。
【００１６】上記のレーザ照射ヘッド３は、図２に示す
ように、下側が開口した有底筒状のヘッド本体３ａとこ
の内部に取り付けられた集束レンズ（集光レンズ）３ｂ
とにより構成されており、ヘッド本体３ａの上面には光
ファイバ８の出力端部が接続されるるとともに、図示し
ない取り付けブラケットによって上記の左右移動スライ
ダ５ｄの先端部に取り付けられるようになっている。
ように、下側が開口した有底筒状のヘッド本体３ａとこ
の内部に取り付けられた集束レンズ（集光レンズ）３ｂ
とにより構成されており、ヘッド本体３ａの上面には光
ファイバ８の出力端部が接続されるるとともに、図示し
ない取り付けブラケットによって上記の左右移動スライ
ダ５ｄの先端部に取り付けられるようになっている。
【００１７】このレーザ照射ヘッド３のヘッド本体３ａ
には、図２に示すように、吸引ホース９が接続された吸
引管が側面に設けられ、上端から内方に突出した上端周
縁部を有する筒状の外筒体４ａと、外筒体４ａの内側に
設けられ、その上端が外筒体４ａの上端周縁部に接合さ
れ先端側に行くに従って径縮小する筒状の内筒体４ｂと
により構成された吸引ノズル４が取り付けられている。
には、図２に示すように、吸引ホース９が接続された吸
引管が側面に設けられ、上端から内方に突出した上端周
縁部を有する筒状の外筒体４ａと、外筒体４ａの内側に
設けられ、その上端が外筒体４ａの上端周縁部に接合さ
れ先端側に行くに従って径縮小する筒状の内筒体４ｂと
により構成された吸引ノズル４が取り付けられている。
【００１８】上記のように構成されるＹＡＧレーザ加工
装置の動作を、図１及び図２を参照しながら、以下に説
明する。まず、被加工物Ｗの表層部を局部溶融して硬化
処理するために、この実施例では、レーザ照射ヘッド３
の集束レンズ３ｂの焦点が被加工物Ｗ表面に位置するよ
うに、３軸スライダ装置５の上下移動スライダ５ｃを移
動させて被加工物Ｗに対してレーザ照射ヘッド３を位置
させる。
装置の動作を、図１及び図２を参照しながら、以下に説
明する。まず、被加工物Ｗの表層部を局部溶融して硬化
処理するために、この実施例では、レーザ照射ヘッド３
の集束レンズ３ｂの焦点が被加工物Ｗ表面に位置するよ
うに、３軸スライダ装置５の上下移動スライダ５ｃを移
動させて被加工物Ｗに対してレーザ照射ヘッド３を位置
させる。
【００１９】そして、真空チャンバ１内が図示しない真
空ポンプによって１０−３〜１０−１Ｔｏｒｒ程度に排
気されると、ＹＡＧレーザ発振器６から出射されたＹＡ
Ｇレーザ光ＬＢが光ファイバ８によってレーザ照射ヘッ
ド３に導かれる。ＹＡＧレーザ光ＬＢは、レーザ照射ヘ
ッド３に入射された後、集束レンズ３ｂによって集束（
集光）され被加工物Ｗに照射される。ＹＡＧレーザ光Ｌ
Ｂが被加工物Ｗに照射されると、被加工物Ｗの溶融部か
らその飛散粒子Ｍが発生するが、この発生した飛散粒子
Ｍは、真空ポンプ７に接続されている吸引ノズル４によ
って吸引捕捉され、吸引ノズル４の内壁に付着して除去
される。
空ポンプによって１０−３〜１０−１Ｔｏｒｒ程度に排
気されると、ＹＡＧレーザ発振器６から出射されたＹＡ
Ｇレーザ光ＬＢが光ファイバ８によってレーザ照射ヘッ
ド３に導かれる。ＹＡＧレーザ光ＬＢは、レーザ照射ヘ
ッド３に入射された後、集束レンズ３ｂによって集束（
集光）され被加工物Ｗに照射される。ＹＡＧレーザ光Ｌ
Ｂが被加工物Ｗに照射されると、被加工物Ｗの溶融部か
らその飛散粒子Ｍが発生するが、この発生した飛散粒子
Ｍは、真空ポンプ７に接続されている吸引ノズル４によ
って吸引捕捉され、吸引ノズル４の内壁に付着して除去
される。
【００２０】上記のように、真空チャンバ１内にレーザ
照射ヘッド３が設けられ、このレーザ照射ヘッド３に、
真空チャンバ１の外部に配置されたＹＡＧレーザ発振器
６から光ファイバ８によってＹＡＧレーザ光が導かれる
ように構成されているので、真空チャンバ１内にて被加
工物Ｗとレーザ照射ヘッド３間の距離を任意に設定する
ことができる。したがって、真空チャンバの外部にレー
ザ照射ヘッドを設け、真空チャンバ内に配置された被加
工物にガラス窓を通してＹＡＧレーザ光を照射するよう
にした従来のものに比べて、ガラス窓によってレーザ照
射ヘッドの被加工物方向への前進が妨げられることがな
くなり、ＹＡＧレーザ光の焦点位置を被加工物Ｗに応じ
て適正に容易に調整できる。これにより、被加工物Ｗを
硬化処理する際の溶融部の形状、あるいは溶接する際の
ビード形状を適正に制御でき、品質の良いレーザ加工品
を得ることができる。
照射ヘッド３が設けられ、このレーザ照射ヘッド３に、
真空チャンバ１の外部に配置されたＹＡＧレーザ発振器
６から光ファイバ８によってＹＡＧレーザ光が導かれる
ように構成されているので、真空チャンバ１内にて被加
工物Ｗとレーザ照射ヘッド３間の距離を任意に設定する
ことができる。したがって、真空チャンバの外部にレー
ザ照射ヘッドを設け、真空チャンバ内に配置された被加
工物にガラス窓を通してＹＡＧレーザ光を照射するよう
にした従来のものに比べて、ガラス窓によってレーザ照
射ヘッドの被加工物方向への前進が妨げられることがな
くなり、ＹＡＧレーザ光の焦点位置を被加工物Ｗに応じ
て適正に容易に調整できる。これにより、被加工物Ｗを
硬化処理する際の溶融部の形状、あるいは溶接する際の
ビード形状を適正に制御でき、品質の良いレーザ加工品
を得ることができる。
【００２１】さらに、ＹＡＧレーザ光ＬＢの照射により
被加工物Ｗの溶融部から発生する飛散粒子Ｍを吸引ノズ
ル４によって吸引してそのほとんど捕捉することができ
、これにより、レーザ照射ヘッド３の集束レンズ３ｂへ
の飛散粒子Ｍの付着を防ぐことができる。
被加工物Ｗの溶融部から発生する飛散粒子Ｍを吸引ノズ
ル４によって吸引してそのほとんど捕捉することができ
、これにより、レーザ照射ヘッド３の集束レンズ３ｂへ
の飛散粒子Ｍの付着を防ぐことができる。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、この発明によるＹＡ
Ｇレーザ加工装置では、被加工物が配置される真空チャ
ンバ内に、ＹＡＧレーザ光を集束レンズにより集束して
被加工物に照射するレーザ照射ヘッドを設け、このレー
ザ照射ヘッドに、真空チャンバの外部に配置されＹＡＧ
レーザ光を発振させるレーザ発振器から光ファイバによ
ってＹＡＧレーザ光を導くようにしたものであるから、
真空チャンバ内にて被加工物とレーザ照射ヘッド間の距
離を任意に設定でき、ＹＡＧレーザ光の焦点位置を被加
工物に応じて適正に調整することができる。さらに、上
記レーザ照射ヘッドに、ＹＡＧレーザ光の照射により被
加工物の溶融部から発生する飛散粒子を吸引する吸引ノ
ズルを取り付けたものであるから、レーザ照射ヘッドの
集束レンズへの上記飛散粒子の付着を防ぐことができる
。
Ｇレーザ加工装置では、被加工物が配置される真空チャ
ンバ内に、ＹＡＧレーザ光を集束レンズにより集束して
被加工物に照射するレーザ照射ヘッドを設け、このレー
ザ照射ヘッドに、真空チャンバの外部に配置されＹＡＧ
レーザ光を発振させるレーザ発振器から光ファイバによ
ってＹＡＧレーザ光を導くようにしたものであるから、
真空チャンバ内にて被加工物とレーザ照射ヘッド間の距
離を任意に設定でき、ＹＡＧレーザ光の焦点位置を被加
工物に応じて適正に調整することができる。さらに、上
記レーザ照射ヘッドに、ＹＡＧレーザ光の照射により被
加工物の溶融部から発生する飛散粒子を吸引する吸引ノ
ズルを取り付けたものであるから、レーザ照射ヘッドの
集束レンズへの上記飛散粒子の付着を防ぐことができる
。
【００２３】したがって、この発明によるＹＡＧレーザ
加工装置によれば、真空チャンバの外部にレーザ照射ヘ
ッドを設け真空チャンバ内に配置された被加工物にガラ
ス窓を通してＹＡＧレーザ光を照射するようにした従来
のものに比べて、ガラス窓によってレーザ照射ヘッドの
被加工物方向への前進が妨げられることがなくなり、Ｙ
ＡＧレーザ光の焦点位置を被加工物に応じて適正に容易
に調整でき、これにより、被加工物を硬化処理する際の
溶融部の形状、あるいは溶接する際のビード形状を適正
に制御でき、しかも被加工物の溶融部から発生する飛散
粒子のレーザ照射ヘッドの集束レンズへの付着がほとん
どないので、飛散粒子の付着による集束レンズの交換の
手間が省け、品質の良いレーザ加工品を生産性よく得る
ことができる。
加工装置によれば、真空チャンバの外部にレーザ照射ヘ
ッドを設け真空チャンバ内に配置された被加工物にガラ
ス窓を通してＹＡＧレーザ光を照射するようにした従来
のものに比べて、ガラス窓によってレーザ照射ヘッドの
被加工物方向への前進が妨げられることがなくなり、Ｙ
ＡＧレーザ光の焦点位置を被加工物に応じて適正に容易
に調整でき、これにより、被加工物を硬化処理する際の
溶融部の形状、あるいは溶接する際のビード形状を適正
に制御でき、しかも被加工物の溶融部から発生する飛散
粒子のレーザ照射ヘッドの集束レンズへの付着がほとん
どないので、飛散粒子の付着による集束レンズの交換の
手間が省け、品質の良いレーザ加工品を生産性よく得る
ことができる。
【図１】この発明の一実施例によるＹＡＧレーザ加工装
置の構成説明図である。
置の構成説明図である。
【図２】図１に示すレーザ照射ヘッド及び吸引ノズルを
説明するための図である。
説明するための図である。
【図３】従来のＹＡＧレーザ加工装置の構成説明図であ
る。
る。
１…真空チャンバ １ａ…ガラス窓 ２…被加工物
固定台 ３…レーザ照射ヘッド ３ａ…ヘッド本体
３ｂ…集束レンズ ４…吸引ノズル ４ａ…外
筒体４ｂ…内筒体 ５…３軸スライダ装置 ５ｄ…
左右移動スライダ ６…ＹＡＧレーザ発振器 ７…
真空ポンプ ８…光ファイバ ９…吸引ホース
Ｗ…被加工物 ＬＢ…ＹＡＧレーザ光 Ｍ…飛散粒
子
固定台 ３…レーザ照射ヘッド ３ａ…ヘッド本体
３ｂ…集束レンズ ４…吸引ノズル ４ａ…外
筒体４ｂ…内筒体 ５…３軸スライダ装置 ５ｄ…
左右移動スライダ ６…ＹＡＧレーザ発振器 ７…
真空ポンプ ８…光ファイバ ９…吸引ホース
Ｗ…被加工物 ＬＢ…ＹＡＧレーザ光 Ｍ…飛散粒
子
Claims (1)
- 【請求項１】 ＹＡＧレーザ光を用いて、金属材料あ
るいはセラミックス材料よりなり真空チャンバ内に配置
された被加工物の局部溶融、溶接などを真空中にて行う
ＹＡＧレーザ加工装置において、前記真空チャンバ内に
設けられ、ＹＡＧレーザ光を集束レンズにより集束して
被加工物に照射するレーザ照射ヘッドと、前記真空チャ
ンバの外部に配置されＹＡＧレーザ光を発振させるレー
ザ発振器と、このレーザ発振器から出射されたＹＡＧレ
ーザ光を前記レーザ照射ヘッドに導く光ファイバと、前
記レーザ照射ヘッドに取り付けられ、ＹＡＧレーザ光の
照射により被加工物の溶融部から発生する飛散粒子を吸
引する吸引ノズルとを備えたことを特徴とするＹＡＧレ
ーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3109297A JPH04339587A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | Ｙａｇレーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3109297A JPH04339587A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | Ｙａｇレーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04339587A true JPH04339587A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=14506613
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3109297A Withdrawn JPH04339587A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | Ｙａｇレーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04339587A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4310409A1 (de) * | 1993-03-31 | 1994-10-06 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Verfahren und Vorrichtung zur definierten Laserbestrahlung |
| US5780806A (en) * | 1995-07-25 | 1998-07-14 | Lockheed Idaho Technologies Company | Laser ablation system, and method of decontaminating surfaces |
| US5977515A (en) * | 1994-10-05 | 1999-11-02 | Hitachi, Ltd. | Underwater laser processing device including chamber with partitioning wall |
| JP2007054866A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ハイブリッドレーザ加工装置 |
| JP2007512139A (ja) * | 2003-11-27 | 2007-05-17 | ストルク プリンツ オーストリア ゲーエムベーハー | 放射線によりワークピース表面を構造化するために使用される装置用の真空抽出装置 |
| US20100050406A1 (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-04 | Gregory Thomas Krause | System and method for sealing vacuum in hollow fan blades |
| JP2010232321A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 薄膜太陽電池の製造装置および薄膜太陽電池の製造方法 |
| JP2011143416A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-07-28 | Ihi Corp | レーザ溶接方法 |
| JP2012000674A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Lg Chem Ltd | ロールフィルム切断システムの切断副産物除去装置 |
| JP2016150341A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | Ｊｆｅスチール株式会社 | クラッド鋼材の製造方法および製造装置 |
| JP2019155413A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 三菱重工工作機械株式会社 | レーザ加工装置 |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP3109297A patent/JPH04339587A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4310409A1 (de) * | 1993-03-31 | 1994-10-06 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Verfahren und Vorrichtung zur definierten Laserbestrahlung |
| DE4310409C2 (de) * | 1993-03-31 | 1998-01-15 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Verfahren und Vorrichtung zur Strahldiagnose bei der definierten Laserbestrahlung |
| US5977515A (en) * | 1994-10-05 | 1999-11-02 | Hitachi, Ltd. | Underwater laser processing device including chamber with partitioning wall |
| US5780806A (en) * | 1995-07-25 | 1998-07-14 | Lockheed Idaho Technologies Company | Laser ablation system, and method of decontaminating surfaces |
| JP2007512139A (ja) * | 2003-11-27 | 2007-05-17 | ストルク プリンツ オーストリア ゲーエムベーハー | 放射線によりワークピース表面を構造化するために使用される装置用の真空抽出装置 |
| JP2007054866A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ハイブリッドレーザ加工装置 |
| US20100050406A1 (en) * | 2008-09-04 | 2010-03-04 | Gregory Thomas Krause | System and method for sealing vacuum in hollow fan blades |
| US8510925B2 (en) * | 2008-09-04 | 2013-08-20 | Rolls-Royce Corporation | System and method for sealing vacuum in hollow fan blades |
| JP2010232321A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 薄膜太陽電池の製造装置および薄膜太陽電池の製造方法 |
| JP2011143416A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-07-28 | Ihi Corp | レーザ溶接方法 |
| JP2012000674A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Lg Chem Ltd | ロールフィルム切断システムの切断副産物除去装置 |
| JP2016150341A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | Ｊｆｅスチール株式会社 | クラッド鋼材の製造方法および製造装置 |
| JP2019155413A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 三菱重工工作機械株式会社 | レーザ加工装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101962053B1 (ko) | 삼차원 형상 조형물의 제조 방법 | |
| JP3211525B2 (ja) | 薄材メッシュ、その製造方法及びその製造装置 | |
| JP2787990B2 (ja) | レーザ光線を用いて加工品に凹所を形成する方法および装置 | |
| JP6262039B2 (ja) | 板状物の加工方法 | |
| JPH04339587A (ja) | Ｙａｇレーザ加工装置 | |
| JP2004514053A (ja) | 電磁放射線束によって焼結、物質除去および／またはラベリングを行う装置およびその装置を操作する方法 | |
| JP2010531759A (ja) | レーザ切断装置およびレーザ溶接装置 | |
| JP6907091B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP2003220484A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
| JP2018047687A (ja) | 三次元的な物体を製造するための装置 | |
| CN110730694A (zh) | 激光清洗装置及激光清洗方法 | |
| JPH08192289A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP6968659B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| JP3157294B2 (ja) | レーザ切断方法および装置 | |
| JP2011125877A (ja) | レーザ加工方法及び装置 | |
| TWI491574B (zh) | 脆性工件之切斷方法及切斷裝置 | |
| JP6965094B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
| JPH0453630B2 (ja) | ||
| JP3858382B2 (ja) | レーザ加工用シート保持装置 | |
| JP2008296266A (ja) | レーザ切断装置 | |
| JPH06182570A (ja) | レーザ溶接方法 | |
| JP2003340577A (ja) | レーザ加工装置 | |
| TWI782142B (zh) | 晶圓加工方法 | |
| JP2003019587A (ja) | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 | |
| JP2013144318A (ja) | レーザ切断装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |