JP2007054866A - ハイブリッドレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
上記チャンバ4には油回転ポンプ11と拡散ポンプ12とを並列に設けた排気手段5が接続されており、油回転ポンプ11を作動させた後に拡散ポンプ12を作動させることで、チャンバ4内を真空状態とする。
チャンバ4内を真空状態とすることで、加工ヘッド9より噴射される液柱Wの周囲に気流が発生しなくなり、当該気流の乱れによる液柱Wの乱れを抑えることができる。
【効果】 径の細い液柱を安定した状態で噴射することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
そしてこのようなハイブリッドレーザ加工装置において、液柱内のレーザ光を被加工物まで導光するためには、噴射した液柱を拡散させずに安定した状態のまま被加工物に到達させる必要があり、一方噴射する液柱の径は、歩留まり向上等の観点から極力細いものが求められている。
このような問題に鑑み、本発明は液柱の径を細くすることの可能なハイブリッドレーザ加工装置を提供するものである。
少なくとも加工ヘッドと被加工物との間に形成される空間を密閉するチャンバと、当該チャンバ内を真空状態にする排気手段とを備えることを特徴としている。
このハイブリッドレーザ加工装置1は、上記被加工物2を保持する加工テーブル3と、当該加工テーブル3を収容するチャンバ4と、上記チャンバ4内を真空状態にする排気手段5と、チャンバ内の水を排水する排液手段6と、レーザ光Lを発振するレーザ発振器7と、高圧水を供給する液体供給手段8と、被加工物2に向けて水を液柱Wとして噴射するとともに、レーザ光Lを上記液柱Wに導光する加工ヘッド9とを備えており、これらは図示しない制御手段によって制御されるようになっている。
本実施例では上記被加工物2として板厚の薄い半導体ウエハを切断加工するようになっており、この他にもエポキシ樹脂板や樹脂と金属からなる複合材料なども切断加工することができる。また、切断加工や穴明け加工のほかにも、被加工物2の表面に対して溝加工を行うことも可能である。
ここで、上記被加工物2としての半導体ウエハを切断する場合、半導体ウエハはレーザ光Lおよび液体を透過する粘着シート2B上に貼りつけられ、この粘着シート2Bはウエハリング2Aに張設されている。
そして、このウエハリング2Aを加工テーブル3上面に設けられたウエハリング支持部3Aaに固定することで、半導体ウエハを加工テーブル3にセットするようになっており、半導体ウエハはウエハリング2Aとともに加工テーブル3に対して搬出入されるようになっている。
このような加工テーブル3は従来公知であるので詳細な説明は省略し、またこの加工テーブル3に、加工ヘッド9と被加工物2との相対角度を変化させる角度調節機構を設けてもよい。
さらに、チャンバ4の上面には上記排気手段5の接続される排気孔4aが、上記加工ヘッド9の固定される位置には上記液柱Wを通過させるための貫通孔4bが、チャンバ4の下方には上記排液手段6の接続される2つの排水孔4cがそれぞれ穿設されている。
これら油回転ポンプ11および拡散ポンプ12はそれぞれ制御手段によって制御され、また各ポンプ11,12ごとに、制御手段によって制御される第1、第2電磁弁14,15が設けられている。
そして本実施例では最初に油回転ポンプ11を作動させてチャンバ4内をある程度の真空状態とし、続いて拡散ポンプ12を作動させてチャンバ4内をさらに高度な真空状態とするようになっている。
なお、これら油回転ポンプ11および拡散ポンプ12はそれぞれ従来公知であるので、その構成についての詳細な説明は省略するが、上記油回転ポンプ11は排気する気体に含まれる水分量が多くても使用可能であり、拡散ポンプ12は油回転ポンプ11によってある程度の真空状態となったチャンバ4内をさらに高度の真空状態とするのに好適なポンプとなっている。
また、上記拡散ポンプ12に代えてターボ分子ポンプやイオンポンプなどの真空ポンプも利用可能である。
上記キャッチャ21は被加工物2および粘着シート2Bの下方に設けられ、液柱Wの噴射される位置から移動しないよう、加工テーブル3に対して相対移動可能に設けられており、被加工物2および粘着シート2Bを通過した水を受けるようになっている。
上記排水管22は、被加工物2の表面で跳ね返るなどしてチャンバ4の底部に溜まった水を吸引するため、その先端をチャンバ4の底面に位置させている。
上記排水ポンプ23は上記制御手段によって制御されるようになっており、この排水ポンプ23を作動させることで、上記キャッチャ21や排水管22を介してチャンバ4内の水を強制的に排水し、チャンバ4内の水分量を極力低下させるようにしている。
レーザ発振器7と加工ヘッド9との間には、レーザ光Lを遮断するシャッタ手段31と、レーザ光Lを加工ヘッド9に向けて反射させる反射ミラー32と、照射されたレーザ光Lを集光する集光レンズ33とが設けられている。
上記シャッタ手段31は上記制御手段によって制御され、図示しない駆動手段によりレーザ光Lの光路上と光路外とを往復動する反射ミラー31aと、当該反射ミラー31aによって反射したレーザ光Lのエネルギーを吸収するダンパ31bとを備えている。
上記反射ミラー31aをレーザ光Lの光路上に位置させると、レーザ光Lは当該反射ミラー31aに反射し、当該レーザ光Lのエネルギーが上記ダンパ31bに吸収される。
一方、反射ミラー31aをレーザ光Lの光路外に移動させると、レーザ光Lは上記反射ミラー32で反射した後、集光レンズ33を介して上記加工ヘッド9へと照射される。
なお、レーザ発振器7としてこの他にも半導体レーザやCO2レーザ発振器等を用いることも可能であるが、CO2レーザ発振器のように発振されるレーザ光Lが水に吸収されやすい波長である場合には、加工ヘッド9より噴射される液体をレーザ光Lが吸収されにくい液体にすればよい。
上記貯水タンク41は給水源44に接続されており、給水源44と貯水タンク41とを接続する導管43には、給水源44からの水の供給を制御する開閉弁45と、給水源44から供給される水に含有される異物を除去する余水フィルタ46とを備えている。
上記送液ポンプ42と加工ヘッド9との間には、上流側の送液ポンプ42側から順に、送液ポンプ42への水の逆流を防止する逆止弁47、上記制御手段によって開閉が制御される第3電磁弁48、送液される水の脈動を防止し、加工ヘッド9内に高圧の水を供給するアキュムレータ49、水内の異物を除去するフィルタ50が設けられている。
また、給水源44から貯水タンク41までの導管43と、送液ポンプ42から加工ヘッド9までの導管43とは、平行する2本の導管43によって接続されており、一方の導管43には第4電磁弁51が、他方の導管43には圧力調整弁52が設けられている。
上記第4電磁弁51はハイブリッドレーザ加工装置1を停止させる際などに、送液ポンプ42からの水を貯水タンク41に戻すために使用され、また圧力調整弁52は送液ポンプ42から加工ヘッド9までの導管43内部の圧力を一定に保つために設けられている。
上記ハウジング61の側面には、上記ガラス板63および噴射ノズル62との間に形成された液体通路64に連通すると共に、上記導管43に接続される接続口61aが設けられており、上記液体供給手段8から供給された水は接続口61aから液体通路64内に流入した後、上記噴射ノズル62から液柱Wとなって噴射されることとなる。
上記噴射ノズル62は、ハウジング61の下端部中央に嵌合すると共に上記チャンバ4の上面との間に挟持されており、この噴射ノズル62の中央には噴射孔65が形成されている。
この噴射孔65には、集光レンズ33側に形成されて被加工物2に向けて縮径する第1傾斜面65aと、この第1傾斜面65aの最小径部65bより被加工物2側に向けて拡径する第2傾斜面65cとが形成されている。
そして、本実施例においては、上記最小径部65bの径を50μm以下とすることが可能であり、本実施例では特に最小径部65bの径を20μmとしている。
上記ガラス板63は上記噴射ノズル62と集光レンズ33との間に位置し、上記ハウジング61にナット66を用いて固定されており、上記液体通路64の水が該ガラス板63よりも上方の空間に漏出するのを防止し、また集光レンズ33によって集光されたレーザ光Lが透過するようになっている。
最初に、上記チャンバ4の作業扉を開いて加工テーブル3上に被加工物2をセットし、その後該作業扉を閉鎖することで、チャンバ4の内部は外部空間と気密を保った状態で隔離される。
次に、制御手段は液体供給手段8を制御し、上記送液ポンプ42によって貯水タンク41内の水を加工ヘッド9に向けて送液を開始する。なお、貯水タンク41には予め給水源44より十分な量の水が供給されている。
そして、上記送液ポンプ42によって送液された水は、逆止弁47及び第3電磁弁48を通過した後、アキュムレータ49内に流入し、アキュムレータ49が水で充満されるとともに、加工ヘッド9へも高圧水が供給される。
このようにして高圧水が液体通路64内に充満すると、高圧水は上記噴射ノズル62の噴射孔65から液柱Wとなって噴射され、被加工物2に到達する。
しかしながら、このとき噴射される液柱Wは、チャンバ4内が真空状態となっておらず、噴射された液柱Wの周囲を流れる気流によって乱れてしまうので、被加工物2に到達する前に拡散してしまうこととなる。
そして、液柱Wが噴射されると、上記排液手段6も作動し、排水ポンプ23により、被加工物2や粘着シート2Bを通過して上記キャッチャ21で受けた水や、被加工物2に跳ね返ってチャンバ4の底部に溜まった水を排水管22によって吸引して、外部に排水する。特に液柱Wの噴射される位置にキャッチャ21を設けることで、チャンバ4内の気化量を低減することができる。
制御手段は油回転ポンプ11の作動開始から所定時間経過後、またはチャンバ4内の気圧が所定気圧以下となったら、上記拡散ポンプ12を作動させる。
上記拡散ポンプ12を始動させたら、制御手段は第1電磁弁14を閉鎖して代わりに第2電磁弁15を開き、その後油回転ポンプ11を停止させる。これにより、今度は拡散ポンプ12が排気孔4aを介してチャンバ4内の気体を吸引し、チャンバ4内の気圧を低下させてさらに高度な真空状態を形成する。
ここで、上記排気手段5の作動直後は加工ヘッド9より噴射される液柱Wが気化して、チャンバ4内は水蒸気濃度が高い状態となっているが、水分に強いという特徴を有する上記油回転ポンプ11は本実施例に好適なものとなっている。
そして制御手段は拡散ポンプ12を被加工物2の加工が終了するまで作動させ、その間チャンバ4内の真空状態を維持するようになっている。
本実施例のように噴射孔65における最小径部65bの径が20μmの場合、上記排気手段5によってチャンバ4内の気圧を約100hPaの真空状態とすることで、安定した液柱Wを噴射することができた。またチャンバ4内の気圧を約10hPaの真空状態とすれば、最小径部65bの径を5μmとしても、安定した液柱Wを噴射させることができた。
ただし、制御手段は上記シャッタ手段31の反射ミラー31aを発振されたレーザ光Lの光路上に位置させており、レーザ光Lは反射ミラー31aによってダンパ31bに案内され、レーザ光Lのエネルギーは吸収される。
その後、チャンバ4内が真空状態となって、噴射孔65より噴射される液柱Wがチャンバ4内で安定して被加工物2に到達するようになると、制御手段は反射ミラー31aをレーザ光Lの光路外に移動させ、これによりレーザ光Lは反射ミラー32に反射した後、集光レンズ33によって集光される。
集光されたレーザ光Lはガラス板63および液体通路64内の水を通過し、さらに噴射孔65の第1傾斜面65aで反射して液柱W内に導光され、このとき液柱Wは被加工物2まで安定した状態で達しているので、レーザ光Lはその後液柱W内で反射を繰り返しながら、被加工物2まで導光される。
一方、噴射される液柱Wが被加工物2に達するまでに乱れていると、レーザ光Lは液柱W内で反射を繰り返すことができず、液柱Wの途中で外部に洩れるなど、レーザ光Lを被加工物2まで導光することができなくなってしまう。
また、従来は液柱Wを安定して噴射するために加工ヘッド9の下方にエアポケットを設け、噴射される液柱Wの周囲に沿って安定した気流が流れるようにすることが行われていたが、本実施例ではチャンバ4内を真空状態としているので当該エアポケットも不要となり、その分噴射ノズル62と被加工物2とを接近させることができる。
3 加工テーブル 4 チャンバ
5 排気手段 6 排液手段
7 レーザ発振器 8 液体供給手段
9 加工ヘッド 11 油回転ポンプ
12 拡散ポンプ 21 キャッチャ
62 噴射ノズル L レーザ光
W 液柱
Claims (3)
- 噴射孔を有する加工ヘッドと、当該加工ヘッドに高圧の液体を供給する液体供給手段と、レーザ光を発振するレーザ発振器とを備え、上記液体供給手段から供給された液体を噴射孔から液柱にして外部に噴射させると共に、上記液柱にレーザ光を導光して、被加工物の加工を行うハイブリッドレーザ加工装置において、
少なくとも加工ヘッドと被加工物との間に形成される空間を密閉するチャンバと、当該チャンバ内を真空状態にする排気手段とを備えることを特徴とするハイブリッドレーザ加工装置。 - 被加工物の下方に設けられて被加工物を貫通した液体を受け止めるキャッチャと、キャッチャ内の液体を吸引してチャンバ外へ排出する排水ポンプとを備えた排液手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のハイブリッドレーザ加工装置。
- 上記噴射孔の径を50μm以下とすることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のハイブリッドレーザ加工装置。
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WO (1) | WO2007023621A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009226417A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ加工方法とその装置 |
JP2010240730A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-10-28 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ加工方法とレーザ加工装置 |
CN102284790A (zh) * | 2011-07-07 | 2011-12-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置及其加工方法 |
JP2013240835A (ja) * | 2013-09-09 | 2013-12-05 | Sugino Machine Ltd | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
CN110977171A (zh) * | 2019-11-12 | 2020-04-10 | 江苏大学 | 一种改善焊缝成形的真空激光-电弧复合焊接方法及装置 |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100452570C (zh) * | 2007-03-23 | 2009-01-14 | 清华大学 | 一种液体导引泵浦光束的装置 |
EP2189236B1 (en) * | 2008-11-21 | 2012-06-20 | Synova S.A. | Method and apparatus for improving reliability of a machining process |
WO2011004437A1 (ja) * | 2009-07-10 | 2011-01-13 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工方法および装置 |
JP5912264B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2016-04-27 | 日本発條株式会社 | レーザー加工方法及び装置 |
JP5220914B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2013-06-26 | 株式会社スギノマシン | レーザー加工装置 |
CN102350589B (zh) * | 2011-07-06 | 2014-06-18 | 清华大学 | 具有隔腔和气流通路结构的半导体激光加工设备 |
CN102350591B (zh) * | 2011-07-08 | 2015-01-28 | 厦门大学 | 矩形水波导激光加工装置 |
US8829388B2 (en) * | 2011-07-29 | 2014-09-09 | Ipg Photonics Corporation | Method for contactless laser welding and apparatus |
US10307864B2 (en) * | 2013-12-13 | 2019-06-04 | Avonisys Ag | Methods and systems to keep a work piece surface free from liquid accumulation while performing liquid-jet guided laser based material processing |
EP2957378A1 (de) * | 2014-06-16 | 2015-12-23 | Synova SA | Bearbeitungskopf zum Einkopplen eines Laserstrahles in einem Flüssigkeitsstrahl mit einer Flüssigkeitschnittstelle |
WO2016027186A1 (en) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | Koninklijke Philips N.V. | Sapphire collector for reducing mechanical damage during die level laser lift-off |
CN104368911B (zh) * | 2014-10-28 | 2016-12-07 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 激光加工头及其应用、激光加工系统及方法 |
US20160236296A1 (en) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Gold Nanotech Inc | Nanoparticle Manufacturing System |
KR101667556B1 (ko) * | 2015-02-23 | 2016-10-20 | 국민대학교산학협력단 | 가공물의 다방향 제어구조 및 방열구조를 갖는 비접촉 가공장치 |
CN104759753B (zh) * | 2015-03-30 | 2016-08-31 | 江苏大学 | 多系统自动化协调工作提高激光诱导空化强化的方法 |
EP3295479B1 (en) * | 2015-05-13 | 2018-09-26 | Lumileds Holding B.V. | Sapphire collector for reducing mechanical damage during die level laser lift-off |
WO2016194071A1 (ja) * | 2015-05-29 | 2016-12-08 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工作機械 |
CN104942451B (zh) * | 2015-07-03 | 2016-07-13 | 厦门大学 | 一种多孔金属材料的真空激光切割装置及方法 |
WO2017056257A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社牧野フライス製作所 | レーザ加工機のウォータジェットの傾き測定方法 |
CN105269147B (zh) * | 2015-10-15 | 2017-03-22 | 哈尔滨工业大学 | 一种三维真空激光加工装置及采用该装置进行激光加工的方法 |
DE102015224115B4 (de) * | 2015-12-02 | 2021-04-01 | Avonisys Ag | Laserstrahl-bearbeitungsvorrichtung mit einer einkoppelvorrichtung zum einkoppeln eines fokussierten laserstrahls in einen flüssigkeitsstrahl |
CN105328332B (zh) * | 2015-12-05 | 2017-06-13 | 重庆镭宝激光智能机器人制造有限公司 | 激光切割机器人的排风冷却装置 |
CN105710533B (zh) * | 2016-04-19 | 2017-06-06 | 哈尔滨工业大学 | 格架真空激光焊接系统 |
JP6829053B2 (ja) * | 2016-11-09 | 2021-02-10 | コマツ産機株式会社 | マシンルーム |
US11890807B1 (en) | 2017-08-31 | 2024-02-06 | Blue Origin, Llc | Systems and methods for controlling additive manufacturing processes |
JP6852031B2 (ja) * | 2018-09-26 | 2021-03-31 | 株式会社東芝 | 溶接装置及びノズル装置 |
JP7168430B2 (ja) * | 2018-12-04 | 2022-11-09 | 株式会社アイシン福井 | レーザ溶接装置 |
JP7239307B2 (ja) * | 2018-12-04 | 2023-03-14 | 株式会社アイシン福井 | レーザ溶接装置 |
CN109434303A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-03-08 | 南京理工大学 | 一种激光切割汽封刷方法 |
CN109530930B (zh) * | 2018-12-27 | 2021-09-03 | 北京中科镭特电子有限公司 | 一种激光加工芯片的方法 |
DE102019103659B4 (de) * | 2019-02-13 | 2023-11-30 | Bystronic Laser Ag | Gasführung, Laserschneidkopf und Laserschneidmaschine |
US11819943B1 (en) * | 2019-03-28 | 2023-11-21 | Blue Origin Llc | Laser material fusion under vacuum, and associated systems and methods |
KR102374612B1 (ko) * | 2019-08-22 | 2022-03-15 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 장치 및 레이저 가공 방법 |
WO2022205082A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Laser system for dicing semiconductor structure and operation method thereof |
CN114378446B (zh) * | 2022-03-22 | 2022-07-29 | 苏州密尔光子科技有限公司 | 激光加工辅助装置、方法和具有该装置的激光设备 |
CN115945800B (zh) * | 2022-12-15 | 2024-05-28 | 东莞市科诗特技术有限公司 | 一种水压均衡的激光加工头 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61183921A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レ−ザまたは光による半導体、金属の加工装置 |
JPS6250098A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-04 | Agency Of Ind Science & Technol | 金属化合物の粉末冶金装置 |
JPS6280000A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-13 | 大成建設株式会社 | ウオ−タ−ジエツトによる切断方法及びその装置 |
JPS6464799A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-10 | Fujitsu Ltd | Nozzle for water jet cutter |
JPH03178800A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-02 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ウォータジェット加工機 |
JPH04339587A (ja) * | 1991-05-14 | 1992-11-26 | Kobe Steel Ltd | Yagレーザ加工装置 |
JPH0724797A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ウォータジェットマシン |
JP2001321977A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ハイブリッド加工装置 |
JP2001353589A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-25 | Aomori Prefecture | レーザ溶接方法および装置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0129603A4 (en) * | 1982-12-17 | 1985-06-10 | Inoue Japax Res | CUTTING DEVICE WITH LASER. |
US4497692A (en) * | 1983-06-13 | 1985-02-05 | International Business Machines Corporation | Laser-enhanced jet-plating and jet-etching: high-speed maskless patterning method |
JPS60223694A (ja) * | 1984-04-23 | 1985-11-08 | Nuclear Fuel Co Ltd | レ−ザ光による気密溶接装置 |
KR930008692B1 (ko) * | 1986-02-20 | 1993-09-13 | 가와사끼 쥬고교 가부시기가이샤 | 어브레시브 워터 제트 절단방법 및 장치 |
JPH02232199A (ja) * | 1989-03-03 | 1990-09-14 | Toshiba Corp | 水噴射切断装置 |
US5068513A (en) * | 1990-09-28 | 1991-11-26 | Beloit Corporation | Water jet slitter with laser finish and method |
JPH04201200A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-22 | Daikin Ind Ltd | ウォータージェット・ノズル |
US5356081A (en) * | 1993-02-24 | 1994-10-18 | Electric Power Research Institute, Inc. | Apparatus and process for employing synergistic destructive powers of a water stream and a laser beam |
JPH06297180A (ja) * | 1993-04-15 | 1994-10-25 | Ricoh Co Ltd | エキシマレーザ加工方法およびその加工方法を実施するエキシマレーザ加工装置およびその加工装置によって形成されたノズルシートおよびそのノズルシートを有するインクジェット記録ヘッド |
DE4418845C5 (de) | 1994-05-30 | 2012-01-05 | Synova S.A. | Verfahren und Vorrichtung zur Materialbearbeitung mit Hilfe eines Laserstrahls |
US5773791A (en) * | 1996-09-03 | 1998-06-30 | Kuykendal; Robert | Water laser machine tool |
JP3178800B2 (ja) * | 1997-04-25 | 2001-06-25 | 株式会社吉谷機械製作所 | 消防ポンプの中継水受入装置 |
US6001219A (en) * | 1997-05-07 | 1999-12-14 | Caspar; Roman C. | Water jet edge trimming station for use in papermaking machine |
WO1999056907A1 (de) * | 1998-04-30 | 1999-11-11 | Synova S.A. | Materialbearbeitungsvorrichtung mit einem in einen flüssigkeitsstrahl eingekoppelten laserstrahl |
DE10113475A1 (de) | 2001-03-13 | 2002-09-19 | D Wuestenberg Fachbereich Masc | Flüssigkeitsstrahlausbildung in reibungsarmer Umgebung |
TWI236944B (en) * | 2001-12-17 | 2005-08-01 | Tokyo Electron Ltd | Film removal method and apparatus, and substrate processing system |
US20040004063A1 (en) * | 2002-07-08 | 2004-01-08 | Merdan Kenneth M. | Vertical stent cutting process |
US6777647B1 (en) * | 2003-04-16 | 2004-08-17 | Scimed Life Systems, Inc. | Combination laser cutter and cleaner |
JP4997723B2 (ja) * | 2005-07-21 | 2012-08-08 | 澁谷工業株式会社 | ハイブリッドレーザ加工装置 |
JP4325679B2 (ja) * | 2007-02-08 | 2009-09-02 | 株式会社デンソー | ハニカム構造体成形用金型の製造方法 |
-
2005
- 2005-08-25 JP JP2005243726A patent/JP4844715B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-11 EP EP06768065A patent/EP1918061B1/en not_active Not-in-force
- 2006-07-11 CN CN2006800309682A patent/CN101247919B/zh not_active Expired - Fee Related
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- 2006-07-11 KR KR1020087003650A patent/KR101235839B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61183921A (ja) * | 1985-02-08 | 1986-08-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レ−ザまたは光による半導体、金属の加工装置 |
JPS6250098A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-04 | Agency Of Ind Science & Technol | 金属化合物の粉末冶金装置 |
JPS6280000A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-13 | 大成建設株式会社 | ウオ−タ−ジエツトによる切断方法及びその装置 |
JPS6464799A (en) * | 1987-09-02 | 1989-03-10 | Fujitsu Ltd | Nozzle for water jet cutter |
JPH03178800A (ja) * | 1989-12-07 | 1991-08-02 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ウォータジェット加工機 |
JPH04339587A (ja) * | 1991-05-14 | 1992-11-26 | Kobe Steel Ltd | Yagレーザ加工装置 |
JPH0724797A (ja) * | 1993-07-12 | 1995-01-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | ウォータジェットマシン |
JP2001321977A (ja) * | 2000-05-16 | 2001-11-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | ハイブリッド加工装置 |
JP2001353589A (ja) * | 2000-06-09 | 2001-12-25 | Aomori Prefecture | レーザ溶接方法および装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009226417A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ加工方法とその装置 |
JP2010240730A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-10-28 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ加工方法とレーザ加工装置 |
CN102284790A (zh) * | 2011-07-07 | 2011-12-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置及其加工方法 |
JP2013240835A (ja) * | 2013-09-09 | 2013-12-05 | Sugino Machine Ltd | レーザー加工装置及びレーザー加工方法 |
CN110977171A (zh) * | 2019-11-12 | 2020-04-10 | 江苏大学 | 一种改善焊缝成形的真空激光-电弧复合焊接方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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CN101247919B (zh) | 2011-04-13 |
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