JPH07256479A - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】レーザ光が乱反射するのを防止し、密封容器の
構造を廃止することができて、使用勝手が増すレーザ加
工装置およびレーザ加工方法を提供する。 【構成】上面を開放したタンク１に冷却用液４およびこ
の冷却用液中に浸漬された被加工物３を収容し、この被
加工物にレーザ光を照射するレーザ光照射ヘッド１０
に、このレーザ光を透過し、上記冷却用液に接触してこ
の冷却用液と大気とを隔離する境界壁をなす境界透過板
１６を設けたことを特徴とする。 【作用】レーザ光は境界透過板を通じて冷却用液中に入
射するから波動する液面を通過しなくてすみ、冷却用液
に入射する場合に乱反射を起こすことがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光を透過し被加
工物を冷却する作用を奏する液中に上記被加工物を浸漬
し、この被加工物にレーザ光を照射してこの被加工物を
加工するレーザ光による液中加工装置および加工方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】アルミナやフェライトまたはサファイア
等のセラミックス、もしくはシリコンウエハー、ＰＺＴ
等の焼結体は、高硬度であるが非常に脆い性質があるた
め、孔開けや切断、スクライビング等の加工をする場合
は通常の工作機械を用いた機械加工が困難であり、レー
ザ加工を採用することが多い。

【０００３】しかし、この種の脆性材料に大気中でレー
ザ光を照射すると、加工部分に変質層が形成されたり、
クラックが発生するなどの欠陥が生じることがある。こ
れを防止するために、例えば特開昭６１−２０６５５８
７号公報には、被加工物をレーザ光を透過し被加工物を
冷却する作用を奏する液、例えば水などの液中に浸漬
し、この冷却用の液中の被加工物にレーザ光を照射する
方法が提案されている。このようなレーザ光液中加工に
よれば、加工位置が冷却用の液で冷却されるから加工部
分の温度上昇が抑制され、よって加工位置の変質やクラ
ックの発生が防止される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、被加工
物を冷却用の液中に浸漬してレーザ加工をする場合、液
面が変動するとこの液面から液中に入射しようとするレ
ーザ光が乱反射し、レーザ光の直進性が損なわれ、加工
位置に所定のパワーのレーザ光が届かなくなり、正確な
加工ができなくなるという問題がある。

【０００５】上記公報に記載された技術は、密封容器に
被加工物を収容するとともに、この密封容器の底部に水
などの冷却用液を供給し、この冷却用液を密封容器の天
井部分から排出するように構成してあり、かつ液面が密
封容器の天井面に接するようにしてある。そして、この
密封容器の天井面にレーザ光を導くガラス窓を設置して
ある。したがって、この密封容器に冷却用液を満たすと
液面が導入ガラス窓に接し、すなわち液面と大気との境
界面が導入ガラス窓によって構成されるから液面が安定
化され、よって乱反射を防止することができると期待さ
れる。

【０００６】しかしながら、このような従来構造の場
合、密封容器を用いるために、封止構造が複雑になり、
被加工物の挿入および取り出し構造も複雑になり、その
挿入および取り出し作業が煩雑になる心配がある。

【０００７】また、従来の場合、加工領域が導入ガラス
窓の近傍に限られることから、複数箇所、または複数の
被加工物を加工する場合には不適当である。さらに、冷
却用液中の被加工物の側面や傾斜面を加工するために、
レーザ光を斜め方向に照射しようとすると、導入ガラス
窓を通過する際に屈折率が変化し、加工点の位置がずれ
る等の不具合が生じる。

【０００８】したがって、本発明の目的は、レーザ光が
乱反射するのを防止し、しかも密封容器の構造を廃止す
ることができて、使用勝手が増すレーザ加工装置および
レーザ加工方法を提供しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、レー
ザ光を透過し被加工物を冷却する作用を奏する液、およ
びこの冷却用液に浸漬された上記被加工物を収容し、上
面が開放されたタンクと、レーザ光照射ヘッドを有し、
このレーザ光照射ヘッドを通じて上記冷却用液中の被加
工物にレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、上記レ
ーザ光照射ヘッドに取り付けられてレーザ光を透過し、
上記冷却用液に接触してこの冷却用液と大気とを隔離す
る境界壁をなす境界透過板と、を具備したことを特徴と
する。

【００１０】請求項２の発明は、上記タンクに、ポンプ
によりこのタンク内の冷却用液を導き出すとともにこの
冷却用液をタンクに戻す循環経路を設けたことを特徴と
する。

【００１１】請求項３の発明は、上記循環経路は、タン
クから導き出された冷却用液をタンク内の被加工物の加
工位置またはその近傍に噴射することによりタンクに戻
す噴射ノズルを備えたことを特徴とする。

【００１２】請求項４の発明は、レーザ光を透過し被加
工物を冷却する作用を奏する液、およびこの冷却用液に
浸漬された上記被加工物を収容し、上面が開放されたタ
ンクと、レーザ光照射ヘッドを有し、このレーザ光照射
ヘッドを通じて上記冷却用液中の被加工物にレーザ光を
照射するレーザ光照射手段と、上記レーザ光照射ヘッド
に取り付けられたホルダーと、このホルダーに設けられ
てレーザ光を透過し、このホルダー内を仕切ってこのホ
ルダー内に冷却用液が導入される液室を形成し、この液
室の冷却用液に接触してこの冷却用液と大気とを隔離す
る境界壁をなす境界透過板と、ポンプにより上記タンク
内の冷却用液を導き出すとともにこの冷却用液を上記液
室に供給する循環経路と、上記ホルダーに設けられ、上
記液室に導入された冷却用液および上記境界透過板を透
過したレーザ光をタンク内の被加工物に向けて出射する
噴射ノズルと、を備えたことを特徴とする。

【００１３】請求項５の発明は、レーザ光を透過し被加
工物を冷却する作用を奏する冷却用液中に浸漬された被
加工物に、レーザ光照射手段よりレーザ光を照射するレ
ーザ加工方法において、上記レーザ光照射手段より照射
されるレーザ光を液面と大気中との境界面に設けられた
境界透過板を通じて被加工物に照射するとともに、この
レーザ光の照射中に冷却用液を上記被加工物の加工位置
に向けて吹き付けることを特徴とする。

【００１４】

【作用】請求項１の発明によれば、レーザ光が冷却用液
に入射する液面は、例えば透明ガラス板などにより形成
された境界透過板の下面と同一面となり、この面は滑ら
かな平面となっているから、レーザ光は波動する液面を
通過しなくてすみ、レーザ光が冷却用液に入射する場合
に乱反射を起こすことがない。しかも、境界透過板をレ
ーザ光照射ヘッドに取り付けたから、タンクを密閉構造
にする必要がない。

【００１５】請求項２の発明によれば、上記タンク内の
冷却用液は循環経路を経て循環されるから、冷却用液が
入れ替わり、冷却用液の温度上昇が抑制されるとともに
液中の場所による温度ばらつきが防止される。

【００１６】請求項３の発明によれば、タンクから導き
出された冷却用液を噴射ノズルを介してタンク内の被加
工物の加工位置またはその近傍に噴射するから、加工位
置に発生した加工屑を液流で排除することができる。

【００１７】請求項４の発明によれば、ホルダー内に境
界透過板を取り付けてこの境界透過板により液室を形成
し、この液室に導入した冷却用液が境界透過板に接する
ようにしたから、レーザ光は波動する液面を通過しなく
てすみ、乱反射が防止され、しかもレーザ光および液室
の冷却用液は噴射ノズルを通じて被加工物に照射および
噴射されるから、境界透過板および噴射ノズルが一体構
造になる。

【００１８】請求項５の発明によれば、レーザ光照射手
段より照射されるレーザ光を液面と大気中との境界面に
設けられた境界透過板を通じて被加工物に照射するとと
もに、このレーザ光の照射中に冷却用液を上記被加工物
の加工位置に向けて吹き付けるから、レーザ光の乱反射
が防止されるとともに、加工位置に発生した加工屑を液
流により排除することができ、加工能力が向上する。

【００１９】

【実施例】以下本発明について、図１ないし図３に示す
第１の実施例にもとづき説明する。図１はレーザ液中加
工装置の全体の構成を示すもので、図において１はタン
クである。このタンク１は上面が開放されており、内部
に保持台２が設けられている。この保持台２には被加工
物３が載置されるようになっている。このタンク１には
レーザ光をよく透過し、上記被加工物３を冷却する作用
を奏する冷却用液４、例えば水が満たされている。この
冷却用液４は後述するポンプ５により循環されるように
なっている。

【００２０】上記タンク１の上方にはレーザ光照射ヘッ
ド１０が設けられている。このレーザ光照射ヘッド１０
には、図示しないレーザ発振器から照射されたレーザ光
１１、例えばＹＡＧ：Ｎｄレーザが導かれるようになっ
ており、このレーザ光１１はレーザ光照射ヘッド１０に
取り付けた集光レンズ１２およびレーザ光照射ヘッド１
０の前面開口部１３を通じて上記タンク１内の被加工物
３に集光されるようになっている。

【００２１】上記レーザ光照射ヘッド１０は、図示しな
いが、例えばＮＣ装置または多関節ロボットなどに取り
付けられることにより、タンク１の上方位置で、これら
ＮＣ装置または多関節ロボットによって二次元方向また
は三次元方向に移動可能となっている。

【００２２】上記レーザ光照射ヘッド１０の前面開口部
１３には、ホルダー１５が取り付けられている。このホ
ルダー１５には境界透過板１６が取り付けられている。
上記ホルダー１５は、図２にも示すように円筒形をなし
ており、その上部外面にねじ部１７が形成されており、
このねじ部１７が上記レーザ光照射ヘッド１０の前面開
口部１３にねじ込まれることにより、レーザ光照射ヘッ
ド１０に固定されている。

【００２３】ホルダー１５内には上記境界透過板１６が
固定されている。境界透過板１６はレーザ光１１を透過
する性能に優れたプレート、例えば透明なガラス板によ
り形成されており、ホルダー１５に形成した段差部に乗
せられこのホルダー１５に螺合した押えリング１８によ
ってホルダー１５に固定されている。この場合、上記透
明ガラス板１６は上下の周縁がＯリング１９，１９によ
り挟まれており、これにより透明ガラス板１６はホルダ
ー１５に対し気液密を保って取り付けられている。この
場合、レーザ光１１が透明ガラス板１６に直角に入射し
て屈折率が変化しないように、透明ガラス板１６はホル
ダー１５に取り付けられている。

【００２４】このような透明ガラス板１６は、上記ホル
ダ−１５の内部を上下方向に気密に区画しており、この
透明ガラス板１６の上側は大気に開放されているととも
に下側には液室２０が形成されている。この液室２０
は、ホルダー１５の側壁に開口した導入孔２１に導通さ
れており、この導入孔２１は後述する循環ポンプ５に連
通されている。なお、導入孔２１は液室２０の上部に近
い位置、すなわち透明ガラス板１６の下面に近い位置に
形成されていることが望ましい。

【００２５】上記液室２０は、ホルダー１５の底壁に開
口した噴射ノズル２２に通じている。この噴射ノズル２
２は、前記透明ガラス板１６を透過したレーザ光１１お
よび液室２０に導入された冷却用液４が同時に出射され
るようになっている。この場合、噴射ノズル２２の内径
を上記導入孔２１の内径より小さくしておくことによっ
て、冷却用液４が液室２０に充満されるようになってい
る。

【００２６】また、液室２０の下部隅部は曲面２３に形
成されており、また噴射ノズル２２は出口が細いテーパ
孔とされており、これにより液室２０の冷却用液４は円
滑に流出されるようになっている。

【００２７】上記タンク１に収容された冷却用液４は循
環ポンプ５によって循環される。すなわち、タンク１の
底部には循環ポンプ５の吸込管（チューブでも可）６が
連結されており、よってタンク１内の冷却用液４はこの
吸込管６を通じて循環ポンプ５に吸い込まれる。この冷
却用液４は循環ポンプ５で加圧されて、このポンプ５の
吐出側に連結されたフレキシブルチューブ７を通じて送
り出される。フレキシブルチューブ７はホルダー１５の
側壁に開口した導入孔２１に連結されており、したがっ
て循環ポンプ５で加圧された冷却用液４はフレキシブル
チューブ７を通じて液室２０に供給されるようになって
いる。

【００２８】このため、タンク１内の冷却用液４は循環
ポンプ５によってホルダー１５の液室２０に送られ、こ
の液室２０から噴射ノズル２２を通じてタンク２に戻さ
れる。よって、冷却用液４は、タンク１と液室２０を結
んだ循環経路を巡回される。

【００２９】この場合、液室２０内では冷却用液４が充
満されるようになっており、この液室２０の液面は透明
ガラス板１６に接するようになっている。このため、透
明ガラス板１６は大気と冷却用液４との境界面に位置
し、これら大気と冷却用液４を隔離する境界プレートと
なっており、実質的に透明ガラス板１６の下面が液面に
なっている。したがって、液面は透明ガラス板１６の下
面と同一面となり、液面の波動が防止されている。

【００３０】また、噴射ノズル２２を通じてタンク１に
吐出された冷却用液４は、タンク１内の被加工物３に対
し、その加工位置またはその近傍に向かって噴射される
ようになっている。

【００３１】このような構成による第１の実施例のレー
ザ液中加工装置について、その作用を説明する。冷却用
液４を収容したタンク１内に被加工物３を浸漬し、この
被加工物３を保持台２の上に載置する。この状態で、Ｎ
Ｃ装置または多関節ロボットを作動させ、このＮＣ装置
または多関節ロボットに取り付けられたレーザ光照射ヘ
ッド１０を動かして、レーザ光１１が被加工物３の加工
点に集光されるように位置調節をする。この場合、ホル
ダー１５の噴射ノズル２２の下端は、図１に示すよう
に、タンク１の冷却用液４の液中に浸漬されていること
が望ましい。

【００３２】この状態で循環ポンプ５を運転させ、かつ
図示しないレーザ発振器を作動させる。レーザ発振器か
ら照射されたレーザ光、例えばＮｄ：ＹＡＧレーザ光１
１は、レーザ光照射ヘッド１０の集光レンズ１２および
レーザ光照射ヘッド１０の前面開口部１３を通過してホ
ルダー１５に達する。そして、このレーザ光１１は、境
界透過板としての透明ガラス板１６を透過し、液室２０
内の冷却用液４中を通過し、噴射ノズル２２を経てタン
ク１内の被加工物３に集光する。

【００３３】この場合、被加工物３はタンク１内の冷却
用液４に浸漬されているから、いわゆる液中加工とな
り、被加工物３の加工位置が冷却されることになるから
加工面の加熱が抑止され、変質やクラックの発生が防止
される。そして、上記冷却用液４は、循環ポンプ５によ
って常に巡回されるので冷却用液４自身の温度上昇も防
止され、かつタンク１内の冷却用液が攪拌されるから、
場所により温度のばらつきが生じることがない。よっ
て、レーザ光の液中直進性が損なわれる心配がない。

【００３４】ところで、一般にレーザ光を液面に当てる
と、液面の波動によりレーザ光が乱反射を起こし、所定
の加工位置に所定のパワーを集中できなくなる。これに
対し、本実施例では、ホルダー１５に形成した液室２０
に冷却用液４を供給し、この冷却用液４を透明ガラス板
１６の下面に接触させるようし、かつ液室２０の冷却用
液は噴射ノズル２２を介してタンク１内の冷却用液４と
連らなっているから、液面は実質的に透明ガラス板１６
の下面と同一面となる。この透明ガラス板１６の下面は
滑らかな平面であるため、レーザ光が冷却用液に入射す
る場合に乱反射を起こすことが防止される。

【００３５】よって、レーザ光１１を被加工物３の所定
の加工位置に、しかも所定のパワーで集光させることが
でき、確実な液中のレーザ加工が可能になる。そして、
この時、ホルダー１５の噴射ノズル２２から流出する冷
却用液４は被加工物３の加工点またはその近傍に吹き付
けられるため、被加工物３の加工点で発生する加工屑が
上記吹き付けられた液流により加工点付近から排出され
るようになり、加工屑が加工部に付着するのが防止され
る。

【００３６】このようなことから、レーザ光の液中照射
と、冷却用液の吹き付けとを同時に行えば、レーザ加工
の効率および能力がきわめて向上する。なお、液室２０
内に気泡が残存したり、乱流が発生すると、透明ガラス
板１６の下面の液面が乱れる心配がある。これを防止す
るため、導入孔２１を液室２０の上部に近い位置、すな
わち透明ガラス板１６の下面に近い位置に形成し、冷却
用液の供給初期の段階で送液圧力を高めて流速を早く
し、この勢いで気泡を追い出す。また、液室２０の下部
隅部に曲面２３を形成し、かつ噴射ノズル２２をテーパ
孔にすることにより液室２０の冷却用液４が円滑に流出
されるようにして、乱流を防止している。

【００３７】さらに、上記実施例の場合、上記タンク１
は上部が開放されているから、被加工物３の挿入や取り
出しが容易であり、格別な密封構造が不要であるからタ
ンク構造が簡単になる。

【００３８】そして、ＮＣ装置または多関節ロボットに
よりレーザ光照射ヘッド１０を動かすことができ、これ
により異なる位置の加工点を複数箇所に亘り連続して加
工したり、タンク１内に複数の被加工物３を収容して連
続加工を行うことも可能になる。

【００３９】さらには、多関節ロボットによりレーザ光
照射ヘッド１０を傾けて、レーザ光１１を被加工物３の
側面や斜めの面に集光されることもできる。この場合、
レーザ光照射ヘッド１０を傾けても、レーザ光１１は透
明ガラス板１６に直角に入射する状態が保たれるから、
レーザ光１１の屈折率が変化する心配がなく、所定の加
工点に確実に達するようになる。

【００４０】そして、ＮＣ装置や多関節ロボットにより
レーザ光照射ヘッド１０を動かしても、ホルダー１５と
循環ポンプ５はフレキシブルチューブ７で連結されてい
るからレーザ光照射ヘッド１０の移動範囲を拘束する恐
れがない。そして、ＮＣ装置や多関節ロボットによりレ
ーザ光照射ヘッド１０を動かすことにより、使い勝手が
増し、作業性が向上する。

【００４１】次に、本発明の第２の実施例について、図
４にもとづき説明する。図４においては、レーザ光照射
ヘッド１０の前面開口部１３にホルダー１５が取り付け
られており、このホルダー１５の前面開口部に境界透過
板１６が取り付けられている。この境界透過板１６も、
透明なガラス板である。この透明ガラス板１６は、直接
タンク１内の冷却用液４の中に浸漬されており、この透
明ガラス板１６が冷却用液４と大気とを区画して境界面
を構成している。

【００４２】そして、本実施例の場合、レーザ光照射ヘ
ッド１０にステー３０を延長してあり、このステー３０
に噴射ノズル３１を取り付けてある。噴射ノズル３１は
フレキシブルチューブ７を介して循環ポンプ５に連結さ
れており、先端の噴射孔は、冷却用液４中の被加工物３
の加工点またはその近傍に向けて開口されている。

【００４３】このような構成の場合も、ＮＣ装置または
多関節ロボットを作動させてレーザ光照射ヘッド１０を
動かし、レーザ光１１が被加工物３の加工点に集光され
るように位置調節をするとともに、透明ガラス板１６が
タンク１の冷却用液４の液中に浸漬されるように位置調
整する。

【００４４】この状態で循環ポンプ５を運転させ、かつ
図示しないレーザ発振器を作動させる。レーザ発振器か
ら照射されたレーザ光１１は、レーザ光照射ヘッド１０
の集光レンズ１２および透明ガラス板１６を透過し、タ
ンク１内の冷却用液４中を通過して被加工物３に集光す
る。よって、液中加工がなされる。

【００４５】この場合、レーザ光１１が冷却用液に入射
する液面は、実質的に透明ガラス板１６の下面と同一面
となり、この面は滑らかな平面に保たれるから、レーザ
光１１は波動する液面を通過しなくてすみ、レーザ光が
冷却用液に入射する場合に乱反射を起こす心配がない。

【００４６】また、これと同時に、循環ポンプ５から送
り出される冷却用液４は、噴射ノズル３１より、被加工
物３の加工点またはその近傍に噴射されるからこの噴流
により加工屑が排除される。

【００４７】上記した図４の第２の実施例の場合は、図
１に示す構成に比べて、透明ガラス板により区画された
液室２０を備えない点で簡単が構造である。なお、冷却
用液としては水に限らず、例えば水酸化カリウム（ＫＯ
Ｈ）などのようなレーザ光の透過性に優れ、しかもエッ
チング作用を有する液を使用するようにすれば、セラミ
ックスのレーザ加工と金属の加工を同時または連続して
行うこともできる。

【００４８】また、発火性の低い油、例えば放電加工液
やシリコンオイルなどを冷却用液として使用すれば、酸
化を発生させることなく金属材料であってもレーザ加工
することができる。

【００４９】さらに、レーザ光の種類は、Ｎｄ：ＹＡＧ
レーザ光に制約されるものではなく、冷却用の液に吸収
されることのない各種レーザ光、例えば固体レーザなど
であっても同様に実施可能である。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、液
面の波動による影響を受けることなくレーザ光を冷却用
の液中に導くことができ、したがってレーザ光の乱反射
が防止され、レーザ光を確実に冷却用液中の被加工物に
集光させることができる。このため、加工能力が向上す
る。しかも、境界透過板はレーザ光照射ヘッドに取り付
けられているから、タンクを密閉構造にする必要がな
く、構造が簡単であり、被加工物の出し入れを容易に行
え、複数点または複数の被加工物を連続して加工するな
どの応用も可能になるため、使い勝手が増す。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すレーザ液中加工装
置の全体の構成を示す図。

【図２】同実施例のホルダ−を示し、（Ａ）図は断面
図、（Ｂ）図は側面図、（Ｃ）図は下面図。

【図３】同実施例の異なる使用状態を示す全体の図。

【図４】本発明の第２の実施例を示すレーザ液中加工装
置の全体の構成を示す図。

【符号の説明】

１…タンク ２…保持台 ３…被加工物 ４…冷却用の液 ５…循環ポンプ ６…吸込管 ７…フレキシブルチューブ １０…レーザ光照射ヘッド １１…レーザ光 １２…集光レンズ １５…ホルダー １６…透明ガラ
ス板（境界透過板） ２０…液室 ２１…導入孔 ２２…噴射ノズル ３１…噴射ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 市郎 愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地 日本電 装株式会社内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光を透過し被加工物を冷却する作
   用を奏する液、およびこの冷却用液に浸漬された上記被
   加工物を収容し、上面が開放されたタンクと、 レーザ
   光照射ヘッドを有し、このレーザ光照射ヘッドを通じて
   上記冷却用液中の被加工物にレーザ光を照射するレーザ
   光照射手段と、 上記レーザ光照射ヘッドに取り付けられてレーザ光を透
   過し、上記冷却用液に接触してこの冷却用液と大気とを
   隔離する境界壁をなす境界透過板と、を具備したことを
   特徴とするレーザ加工装置。
2. 【請求項２】 上記タンクに、ポンプによりこのタンク
   内の冷却用液を導き出すとともにこの冷却用液をタンク
   に戻す循環経路を設けたことを特徴とする請求項１に記
   載のレーザ加工装置。
3. 【請求項３】 上記循環経路は、タンクから導き出され
   た冷却用液をタンク内の被加工物の加工位置またはその
   近傍に噴射することによりタンクに戻す噴射ノズルを備
   えたことを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工装
   置。
4. 【請求項４】 レーザ光を透過し被加工物を冷却する作
   用を奏する液、およびこの冷却用液に浸漬された上記被
   加工物を収容し、上面が開放されたタンクと、 レーザ光照射ヘッドを有し、このレーザ光照射ヘッドを
   通じて上記冷却用液中の被加工物にレーザ光を照射する
   レーザ光照射手段と、 上記レーザ光照射ヘッドに取り付けられたホルダーと、 このホルダーに設けられてレーザ光を透過し、このホル
   ダー内を仕切ってこのホルダー内に冷却用液が導入され
   る液室を形成し、この液室の冷却用液に接触してこの冷
   却用液と大気とを隔離する境界壁をなす境界透過板と、 ポンプにより上記タンク内の冷却用液を導き出すととも
   にこの冷却用液を上記液室に供給する循環経路と、 上記ホルダーに設けられ、上記液室に導入された冷却用
   液および上記境界透過板を透過したレーザ光をタンク内
   の被加工物に向けて出射する噴射ノズルと、を備えたこ
   とを特徴とするレーザ加工装置。
5. 【請求項５】 レーザ光を透過し被加工物を冷却する作
   用を奏する冷却用液中に浸漬した被加工物に、レーザ光
   照射手段よりレーザ光を照射するレーザ加工方法におい
   て、 上記レーザ光照射手段より照射されるレーザ光を液面と
   大気中との境界面に設けられた境界透過板を通じて被加
   工物に照射するとともに、このレーザ光の照射中に冷却
   用液を上記被加工物の加工位置に向けて吹き付けること
   を特徴とするレーザ加工方法。