JPH04321572A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH04321572A JPH04321572A JP3294014A JP29401491A JPH04321572A JP H04321572 A JPH04321572 A JP H04321572A JP 3294014 A JP3294014 A JP 3294014A JP 29401491 A JP29401491 A JP 29401491A JP H04321572 A JPH04321572 A JP H04321572A
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特に(酸化(アルミニ
ウム−))セラミック部材もしくは単結晶又は金属部材
のそれぞれ相互のロウ付け或いは(酸化(アルミニウム
−))セラミック部材と単結晶とのロウ付け又は(酸化
(アルミニウム−))セラミック部材ないしは単結晶と
金属部材とのロウ付けのための、ジルコニウム/ニッケ
ル合金に付加的にチタンを含有する、ジルコニウム70
原子%〜85原子%及びニッケル15原子%〜30原子
%からなるジルコニウム/ニッケル合金を基礎とする三
成分活性ロウに関する。
ウム−))セラミック部材もしくは単結晶又は金属部材
のそれぞれ相互のロウ付け或いは(酸化(アルミニウム
−))セラミック部材と単結晶とのロウ付け又は(酸化
(アルミニウム−))セラミック部材ないしは単結晶と
金属部材とのロウ付けのための、ジルコニウム/ニッケ
ル合金に付加的にチタンを含有する、ジルコニウム70
原子%〜85原子%及びニッケル15原子%〜30原子
%からなるジルコニウム/ニッケル合金を基礎とする三
成分活性ロウに関する。
【0002】活性ロウは、少なくとも1個の酸素類縁元
素、例えばチタンを含有する合金であり、その結果、ロ
ウ付けの際には融剤は全く必要とされない。
素、例えばチタンを含有する合金であり、その結果、ロ
ウ付けの際には融剤は全く必要とされない。
【0003】
【従来の技術】欧州特許出願公開第332 978号明
細書には、セラミックとセラミック、セラミックと金属
並びに金属相互の硬ロウ付けのための、ジルコニウム/
ニッケルの2物質系からなるロウ付け箔が記載されてい
る。ジルコニウム/ニッケル系の状態図は、M. Ha
nsen著の標準的参考文献、”Constituti
on of Binary Alloys”、第2版、
New York 1958、1062/1063頁
に記載されている。
細書には、セラミックとセラミック、セラミックと金属
並びに金属相互の硬ロウ付けのための、ジルコニウム/
ニッケルの2物質系からなるロウ付け箔が記載されてい
る。ジルコニウム/ニッケル系の状態図は、M. Ha
nsen著の標準的参考文献、”Constituti
on of Binary Alloys”、第2版、
New York 1958、1062/1063頁
に記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明者によって行な
われた試験では、殊にこの場合において酸化アルミニウ
ム−セラミック部材の場合には、上記のロウ付け箔で得
られた生成物の十分な性質が得られなかった。
われた試験では、殊にこの場合において酸化アルミニウ
ム−セラミック部材の場合には、上記のロウ付け箔で得
られた生成物の十分な性質が得られなかった。
【0005】
【課題を解決するための手段】しかしながら、上記問題
点に対応する原因及び上記問題点から生じる改善点の研
究の際に本発明者は、チタンが添加される場合に、ジル
コニウム/ニッケル合金が(酸化(アルミニウム−))
セラミック部材もしくは単結晶又は金属部材のそれぞれ
相互のロウ付けもしくは接合或いは(酸化(アルミニウ
ム−))セラミック部材と単結晶とのロウ付けもしくは
接合又は(酸化(アルミニウム−))セラミック部材な
いしは単結晶と金属部材とのロウ付けもしくは接合に特
に好適であることを意外にも確認した。このことによっ
て上記の新規活性ロウの熱膨張係数はロウ付けすべき部
材の熱膨張係数と著しく良好に適合し、かつロウ付け領
域内の湿潤、機械的強度及び熱膨張性の間の最適値を達
成することができ、その結果、敏感な部材の場合の活性
ロウ被覆と例えばセラミックとの間の応力を減少させる
ことができるか又は完全に回避することができる。
点に対応する原因及び上記問題点から生じる改善点の研
究の際に本発明者は、チタンが添加される場合に、ジル
コニウム/ニッケル合金が(酸化(アルミニウム−))
セラミック部材もしくは単結晶又は金属部材のそれぞれ
相互のロウ付けもしくは接合或いは(酸化(アルミニウ
ム−))セラミック部材と単結晶とのロウ付けもしくは
接合又は(酸化(アルミニウム−))セラミック部材な
いしは単結晶と金属部材とのロウ付けもしくは接合に特
に好適であることを意外にも確認した。このことによっ
て上記の新規活性ロウの熱膨張係数はロウ付けすべき部
材の熱膨張係数と著しく良好に適合し、かつロウ付け領
域内の湿潤、機械的強度及び熱膨張性の間の最適値を達
成することができ、その結果、敏感な部材の場合の活性
ロウ被覆と例えばセラミックとの間の応力を減少させる
ことができるか又は完全に回避することができる。
【0006】本発明者により確認された通り、上記種類
の活性ロウを用いて生じたロウ結合、即ちいわゆる接合
箇所は高真空密度を有するのみではなく、著しく高い機
械的強度も有する。
の活性ロウを用いて生じたロウ結合、即ちいわゆる接合
箇所は高真空密度を有するのみではなく、著しく高い機
械的強度も有する。
【0007】ジルコニウム/ニッケル合金70原子%〜
85原子%及びチタン15原子%〜30原子%からなる
三成分活性ロウは特に適当である。
85原子%及びチタン15原子%〜30原子%からなる
三成分活性ロウは特に適当である。
【0008】この場合にはジルコニウム/ニッケル合金
は有利には共融混合物に近似の組成を有し、共融混合物
に近似の組成とは、共融混合物組成(=ニッケル24原
子%、ジルコニウム76原子%)の±5原子%の範囲の
ことと理解することができ;殊に、当然のことながら共
融ジルコニウム/ニッケル合金が適当である。
は有利には共融混合物に近似の組成を有し、共融混合物
に近似の組成とは、共融混合物組成(=ニッケル24原
子%、ジルコニウム76原子%)の±5原子%の範囲の
ことと理解することができ;殊に、当然のことながら共
融ジルコニウム/ニッケル合金が適当である。
【0009】均一な厚さ及び可能な限り平滑な2表面を
有する帯状物を活性ロウ合金、殊に上記の三成分ジルコ
ニウム/ニッケル/チタン合金から溶融紡糸法によって
製造するための装置は、高温安定性かつ良好な熱伝導性
をもつ非金属材料、殊に高密度グラファイト又は窒化硼
素から完全になるシリンダ状るつぼを有しており、該る
つぼ中で、例えば高周波エネルギーで合金は溶融され、
かつ該るつぼ底面に配置されたるつぼ開口部を通して、
高い周速度で回転する、高い熱伝導性を有する金属ドラ
ム上に圧出され、このドラム上で液状合金は103〜1
06℃/秒の範囲内の冷却速度で硬化する。
有する帯状物を活性ロウ合金、殊に上記の三成分ジルコ
ニウム/ニッケル/チタン合金から溶融紡糸法によって
製造するための装置は、高温安定性かつ良好な熱伝導性
をもつ非金属材料、殊に高密度グラファイト又は窒化硼
素から完全になるシリンダ状るつぼを有しており、該る
つぼ中で、例えば高周波エネルギーで合金は溶融され、
かつ該るつぼ底面に配置されたるつぼ開口部を通して、
高い周速度で回転する、高い熱伝導性を有する金属ドラ
ム上に圧出され、このドラム上で液状合金は103〜1
06℃/秒の範囲内の冷却速度で硬化する。
【0010】有利にはるつぼは上部と下部との2部分構
成であり、これらの部分は有利には一定の壁の厚さを有
し、かつ相互にねじで締め合わされている。
成であり、これらの部分は有利には一定の壁の厚さを有
し、かつ相互にねじで締め合わされている。
【0011】有利にはるつぼ開口部は、るつぼ底面の中
央に配置されており、かつ該底面から突出している。る
つぼ開口部は、有利には金属ドラム上に垂直に該ドラム
直径の延長線上に配置されている。
央に配置されており、かつ該底面から突出している。る
つぼ開口部は、有利には金属ドラム上に垂直に該ドラム
直径の延長線上に配置されている。
【0012】溶融紡糸法は、殆どの場合に合金から得ら
れる金属帯状物の製造に使用され、この場合、該合金が
溶融紡糸法以外の方法によって得られる場合には該合金
は脆性であるが、しかしながらこのことによって延性で
ありひいては機械的に加工可能である帯状物として製造
されることが可能であり、それというのも該合金がガラ
ス様に硬化された液体でありかつ従ってガラス合金とも
称されるためである。
れる金属帯状物の製造に使用され、この場合、該合金が
溶融紡糸法以外の方法によって得られる場合には該合金
は脆性であるが、しかしながらこのことによって延性で
ありひいては機械的に加工可能である帯状物として製造
されることが可能であり、それというのも該合金がガラ
ス様に硬化された液体でありかつ従ってガラス合金とも
称されるためである。
【0013】合金の組成に応じて800℃から1500
℃までの間の融点が必要であるため、従来は溶融紡糸法
の際には一般的に、耐高熱性ではあるがしかしながら不
良な熱伝導性を有する非金属材料、例えば石英からなる
るつぼが使用された。
℃までの間の融点が必要であるため、従来は溶融紡糸法
の際には一般的に、耐高熱性ではあるがしかしながら不
良な熱伝導性を有する非金属材料、例えば石英からなる
るつぼが使用された。
【0014】本発明者が確認した通り、上記種類のるつ
ぼは活性ロウ合金の溶融紡糸には実際的には適当ではな
く、それというのも該るつぼが多くの場合には十分に湿
潤され、従って、活性ロウ合金がるつぼ開口部を通して
圧出される場合に溶融物は金属ドラム上で所望した通り
に帯状に硬化するばかりではなく、また溶融物が、湿潤
可能性が原因でるつぼ開口部の別の部分に達し、かつこ
の箇所で従来のるつぼの不良熱伝導性のために硬化する
ということが生じるためである。その箇所で硬化した一
部の溶融物によって、活性ロウ帯状物は繊維状にほごさ
れるか又はむしろ引き裂かれる。
ぼは活性ロウ合金の溶融紡糸には実際的には適当ではな
く、それというのも該るつぼが多くの場合には十分に湿
潤され、従って、活性ロウ合金がるつぼ開口部を通して
圧出される場合に溶融物は金属ドラム上で所望した通り
に帯状に硬化するばかりではなく、また溶融物が、湿潤
可能性が原因でるつぼ開口部の別の部分に達し、かつこ
の箇所で従来のるつぼの不良熱伝導性のために硬化する
ということが生じるためである。その箇所で硬化した一
部の溶融物によって、活性ロウ帯状物は繊維状にほごさ
れるか又はむしろ引き裂かれる。
【0015】るつぼのための非金属材料として良好な熱
伝達性の材料、殊に高密度グラファイト又は窒化硼素を
選択することによって、殊に薄く平滑なジルコニウム−
ニッケル−チタン帯状物を製造する場合の上記問題点は
回避される。
伝達性の材料、殊に高密度グラファイト又は窒化硼素を
選択することによって、殊に薄く平滑なジルコニウム−
ニッケル−チタン帯状物を製造する場合の上記問題点は
回避される。
【0016】三成分活性ロウの上記の卓越した性質は、
該ロウとセラミックとの反応によって達成され、かつ、
基体とセラミック、殊に、有利には純度96重量%の酸
化アルミニウム−セラミックからの膜とを有する圧力セ
ンサの場合に特に示され、この場合、該基体と該膜は室
の形成下で一定の間隔で相互に平行してその縁部で活性
ロウ、例えば該ロウからの成形部材を用いて熱処理によ
って接合されている。
該ロウとセラミックとの反応によって達成され、かつ、
基体とセラミック、殊に、有利には純度96重量%の酸
化アルミニウム−セラミックからの膜とを有する圧力セ
ンサの場合に特に示され、この場合、該基体と該膜は室
の形成下で一定の間隔で相互に平行してその縁部で活性
ロウ、例えば該ロウからの成形部材を用いて熱処理によ
って接合されている。
【0017】この種の、例えば抵抗型圧力センサもしく
は静電容量型圧力センサは、典型的な応力に敏感な部材
であり;該センサは、例えば−40℃〜+130℃の温
度範囲内で電気特性値の温度履歴を有してはならないか
又はいずれの場合にも無視することのできる電気特性値
の温度履歴を有することができる。セラミック及び活性
ロウの熱膨張係数が相互に不十分に近似である場合には
、活性ロウは操作中に上記温度範囲内で塑性的にかつ従
って不可逆的に変形され、かつこのことによって範囲的
にむしろセラミックの折れ又は裂けが生じる可能性があ
る。このことによってセンサ部材の空間的な相関性は、
確かにほんの微々たるものではあるが、しかし別の相関
性に移行する。しかし、この新規の配置は結果として別
の電気特性値を有する。この特性値が測定作用、例えば
測定すべき圧力を表すため、センサは(所望されない)
温度履歴を有する。
は静電容量型圧力センサは、典型的な応力に敏感な部材
であり;該センサは、例えば−40℃〜+130℃の温
度範囲内で電気特性値の温度履歴を有してはならないか
又はいずれの場合にも無視することのできる電気特性値
の温度履歴を有することができる。セラミック及び活性
ロウの熱膨張係数が相互に不十分に近似である場合には
、活性ロウは操作中に上記温度範囲内で塑性的にかつ従
って不可逆的に変形され、かつこのことによって範囲的
にむしろセラミックの折れ又は裂けが生じる可能性があ
る。このことによってセンサ部材の空間的な相関性は、
確かにほんの微々たるものではあるが、しかし別の相関
性に移行する。しかし、この新規の配置は結果として別
の電気特性値を有する。この特性値が測定作用、例えば
測定すべき圧力を表すため、センサは(所望されない)
温度履歴を有する。
【0018】活性ロウは上記の温度履歴を回避するため
に、即ち、理想的にはセラミックもしくは単結晶の熱膨
張係数と同じであり即ち現実的には該熱膨張係数に可能
な限り近づく熱膨張係数を有していなければならない。
に、即ち、理想的にはセラミックもしくは単結晶の熱膨
張係数と同じであり即ち現実的には該熱膨張係数に可能
な限り近づく熱膨張係数を有していなければならない。
【0019】上記圧力センサの場合には、ジルコニウム
/ニッケルを基礎とし、チタンを含有しかつそれ以上の
ものを含有しない活性ロウの高い静強度及び長期交番荷
重強度を証明することができる:即ち、より高い温度、
例えば130℃及び公称圧力下でのクリープ試験ないし
は超過荷重圧力衝撃試験の場合に長い試験時間にわたっ
てセンサデータの変化は生じない。
/ニッケルを基礎とし、チタンを含有しかつそれ以上の
ものを含有しない活性ロウの高い静強度及び長期交番荷
重強度を証明することができる:即ち、より高い温度、
例えば130℃及び公称圧力下でのクリープ試験ないし
は超過荷重圧力衝撃試験の場合に長い試験時間にわたっ
てセンサデータの変化は生じない。
【0020】本発明及びその更なる性質は図によって詳
説され、この図では三成分活性ロウの使用に有利な実施
例として静電容量型圧力センサの構造及び活性ロウ帯状
物を製造する装置の有利な実施例の一部が示されている
。
説され、この図では三成分活性ロウの使用に有利な実施
例として静電容量型圧力センサの構造及び活性ロウ帯状
物を製造する装置の有利な実施例の一部が示されている
。
【0021】図1は、このような圧力センサの上面図を
示し、図2は、図1の圧力センサの、線II−IIに沿
った断面図を示し、図3は、溶融紡糸法を実施するため
の装置の原理を概略的に示し、かつ図4は、2部分構成
のるつぼの構造を概略的に示している。
示し、図2は、図1の圧力センサの、線II−IIに沿
った断面図を示し、図3は、溶融紡糸法を実施するため
の装置の原理を概略的に示し、かつ図4は、2部分構成
のるつぼの構造を概略的に示している。
【0022】
【実施例】図1及び2に示された静電容量型圧力センサ
10は、平行平面である円板の形の膜11を有しており
、この膜はその円周部分で環状に円形基体12と一定の
間隔dで接合されており、その結果、基体12の上部平
面とこれに対面する膜11の面との間に室13が形成さ
れている。膜11及び基体12は、セラミック、例えば
、有利には純度96重量%の酸化アルミニウム−セラミ
ックからなる。膜11は弾性であり、その結果、該膜は
該膜に作用する圧力下で変形することができ、このこと
によって該膜はその一方の側もしくは両側に向かってた
わむ。基体12は堅牢かつ堅固であってもよいが;しか
し該基体は必要に応じて膜11と同様に平面弾性円板と
して形成されていてもよい。
10は、平行平面である円板の形の膜11を有しており
、この膜はその円周部分で環状に円形基体12と一定の
間隔dで接合されており、その結果、基体12の上部平
面とこれに対面する膜11の面との間に室13が形成さ
れている。膜11及び基体12は、セラミック、例えば
、有利には純度96重量%の酸化アルミニウム−セラミ
ックからなる。膜11は弾性であり、その結果、該膜は
該膜に作用する圧力下で変形することができ、このこと
によって該膜はその一方の側もしくは両側に向かってた
わむ。基体12は堅牢かつ堅固であってもよいが;しか
し該基体は必要に応じて膜11と同様に平面弾性円板と
して形成されていてもよい。
【0023】相互に対向する膜11の平面と基体12の
平面とに室13の中に、適当な金属、例えばタンタルか
らの円形導体層14、15が取り付けられており、これ
らの導体層は間隔をもって対向している。導体層14に
接続導線16が結合されており、この接続導線は、例え
ばロウ付けされた、活性ロウにより被覆された線材の形
で膜11を気密に貫通している。同様にして導体層15
には接続導線17が結合しており、この接続導線は同様
に気密状態で外部に導出されている。
平面とに室13の中に、適当な金属、例えばタンタルか
らの円形導体層14、15が取り付けられており、これ
らの導体層は間隔をもって対向している。導体層14に
接続導線16が結合されており、この接続導線は、例え
ばロウ付けされた、活性ロウにより被覆された線材の形
で膜11を気密に貫通している。同様にして導体層15
には接続導線17が結合しており、この接続導線は同様
に気密状態で外部に導出されている。
【0024】導体層14、15はコンデンサの電極を形
成し、該コンデンサの容量は導体層の間隔に依存し、そ
の結果、該容量は圧力作用による間隔の変化の際に同様
に変化する。センサの容量は、接続導線16、17に接
続された電子回路で測定することができ、かつセンサに
作用する圧力に対する尺度を表す。
成し、該コンデンサの容量は導体層の間隔に依存し、そ
の結果、該容量は圧力作用による間隔の変化の際に同様
に変化する。センサの容量は、接続導線16、17に接
続された電子回路で測定することができ、かつセンサに
作用する圧力に対する尺度を表す。
【0025】完璧を期すために、2個以上の電極を有す
るセンサも存在することが言及される。このようにして
例えば2平面のうちの1つが2個の同心電極をもち、こ
の電極は共通の対向する電極と一緒になって、共通の1
個の電極を有する2つのコンデンサを形成し、この場合
、この2つのコンデンサは、例えば測定−ないしは参照
コンデンサとして使用できる。
るセンサも存在することが言及される。このようにして
例えば2平面のうちの1つが2個の同心電極をもち、こ
の電極は共通の対向する電極と一緒になって、共通の1
個の電極を有する2つのコンデンサを形成し、この場合
、この2つのコンデンサは、例えば測定−ないしは参照
コンデンサとして使用できる。
【0026】示された圧力センサの特徴は、膜11と基
体12がその円周部分で接合されているという方法にあ
る。該膜と該基体はその箇所で、本発明による活性ロウ
、例えば共融混合物近似もしくは共融混合物のジルコニ
ウム/ニッケル合金とチタンとからの、前成形の完了し
た成形部材20を用いて相互に気密にロウ付けされてお
り、この場合、膜11及び基体12のそれぞれの平面が
予め金属化される必要もなく、融剤が使用されなくとも
よい。この場合には成形部材20の厚さが、膜11と基
体12の間の間隔を決定する。
体12がその円周部分で接合されているという方法にあ
る。該膜と該基体はその箇所で、本発明による活性ロウ
、例えば共融混合物近似もしくは共融混合物のジルコニ
ウム/ニッケル合金とチタンとからの、前成形の完了し
た成形部材20を用いて相互に気密にロウ付けされてお
り、この場合、膜11及び基体12のそれぞれの平面が
予め金属化される必要もなく、融剤が使用されなくとも
よい。この場合には成形部材20の厚さが、膜11と基
体12の間の間隔を決定する。
【0027】成形部材20は例えば、溶融紡糸法又はい
わゆるスプレー蒸着を用いて場合によっては保護ガス下
で得られた、非晶質もしくは微晶質構造の活性ロウ−箔
帯状物から、例えば押抜機によって得られる環状物であ
る。この箔の場合には活性ロウの各素成分は著しく均一
でありかつ微細に分散しており、このことは確実な接合
のために特に重要である。他方では、溶融紡糸法を用い
たこのような環状物は射出成形又はラジアル射出成形に
よって直接溶融物から得ることもできる。
わゆるスプレー蒸着を用いて場合によっては保護ガス下
で得られた、非晶質もしくは微晶質構造の活性ロウ−箔
帯状物から、例えば押抜機によって得られる環状物であ
る。この箔の場合には活性ロウの各素成分は著しく均一
でありかつ微細に分散しており、このことは確実な接合
のために特に重要である。他方では、溶融紡糸法を用い
たこのような環状物は射出成形又はラジアル射出成形に
よって直接溶融物から得ることもできる。
【0028】しかし上記成形部材の代りに活性ロウをペ
ースト状で、ロウ付けすべき部分に施与することもでき
、この場合、ペーストは同様に非晶質もしくは微晶質の
形で存在する活性ロウ粉末及び適当な有機結合剤を含有
する。
ースト状で、ロウ付けすべき部分に施与することもでき
、この場合、ペーストは同様に非晶質もしくは微晶質の
形で存在する活性ロウ粉末及び適当な有機結合剤を含有
する。
【0029】図3には、溶融紡糸法を実施するための装
置の理解のために本質的な部材が概略的かつ透視的に示
されている。完全に、有利には一定の壁の厚さを有する
、耐高熱性でありかつ良好に熱伝導性である非金属材料
からなる、有利にはシリンダ状のるつぼ1は、例えば高
周波エネルギーで加熱され、この加熱にはコイル2が使
用される。るつぼ1は有利には、その底面に存在する、
有利には底面中央に配置されたるつぼ開口部3が備えら
れている。該るつぼ開口部は有利には、金属ドラム5上
に垂直に該ドラム直径の延長線上に配置されている。る
つぼ1は有利には高密度グラファイト又は窒化硼素から
なる。
置の理解のために本質的な部材が概略的かつ透視的に示
されている。完全に、有利には一定の壁の厚さを有する
、耐高熱性でありかつ良好に熱伝導性である非金属材料
からなる、有利にはシリンダ状のるつぼ1は、例えば高
周波エネルギーで加熱され、この加熱にはコイル2が使
用される。るつぼ1は有利には、その底面に存在する、
有利には底面中央に配置されたるつぼ開口部3が備えら
れている。該るつぼ開口部は有利には、金属ドラム5上
に垂直に該ドラム直径の延長線上に配置されている。る
つぼ1は有利には高密度グラファイト又は窒化硼素から
なる。
【0030】るつぼ1中で溶融された活性ロウ−合金材
料への圧力4の一時的な作用によって該材料がるつぼ開
口部3を通じて、回転する金属ドラム5の外被表面上に
圧出され、かつその場所で均一な厚さ及び平滑な2表面
の所望の帯状物6に急速に硬化し、それというのも、る
つぼ開口部3の周囲で発生しうる湿潤にもかかわらず溶
融物の硬化が生じることが、(グラファイト−)るつぼ
1の良好な熱伝導性によって防止されるためである。
料への圧力4の一時的な作用によって該材料がるつぼ開
口部3を通じて、回転する金属ドラム5の外被表面上に
圧出され、かつその場所で均一な厚さ及び平滑な2表面
の所望の帯状物6に急速に硬化し、それというのも、る
つぼ開口部3の周囲で発生しうる湿潤にもかかわらず溶
融物の硬化が生じることが、(グラファイト−)るつぼ
1の良好な熱伝導性によって防止されるためである。
【0031】金属ドラム5は高い周速度で回転し、かつ
高い熱伝導性を有する。高い熱伝導性は例えば、金属ド
ラムが完全に銅からなることによってか又はドラムの外
周面が有利には銅で被覆されていることによって達成さ
れる。また金属ドラムは内部から冷却用液体、例えば水
で冷却されていてもよい。金属ドラム5のこの形によっ
て、103〜106℃/秒の範囲内の液状合金の冷却速
度を達成することができる。
高い熱伝導性を有する。高い熱伝導性は例えば、金属ド
ラムが完全に銅からなることによってか又はドラムの外
周面が有利には銅で被覆されていることによって達成さ
れる。また金属ドラムは内部から冷却用液体、例えば水
で冷却されていてもよい。金属ドラム5のこの形によっ
て、103〜106℃/秒の範囲内の液状合金の冷却速
度を達成することができる。
【0032】図4には概略的にるつぼの変種が示されて
いる。このるつぼは2部分構成であり、かつ従って上部
21と下部22とからなる。上部21はウォーム23に
より、下部22の相応し適合するウォーム24にねじで
締め込むことが可能である。従って、下部22が使用不
可能となった場合にはこの下部を、上部21が引き続き
使用可能である間は廃棄することができる。従って装置
のこの変種は製造コストを節約する。この場合には下部
22の容量は、溶融物の全量においても、ウォーム23
、24中に溶融物が入り込む可能性がない程度の余裕を
もつ程度に寸法決定されるべきである。
いる。このるつぼは2部分構成であり、かつ従って上部
21と下部22とからなる。上部21はウォーム23に
より、下部22の相応し適合するウォーム24にねじで
締め込むことが可能である。従って、下部22が使用不
可能となった場合にはこの下部を、上部21が引き続き
使用可能である間は廃棄することができる。従って装置
のこの変種は製造コストを節約する。この場合には下部
22の容量は、溶融物の全量においても、ウォーム23
、24中に溶融物が入り込む可能性がない程度の余裕を
もつ程度に寸法決定されるべきである。
【図1】静電容量型圧力センサの上面図。
【図2】図1の圧力センサの、線II−IIに沿った断
面図。
面図。
【図3】溶融紡糸法を実施するための装置の原理の概略
図。
図。
【図4】2部分構成のるつぼの構造の概略図。
Claims (3)
- 【請求項1】 特に(酸化(アルミニウム−))セラ
ミック部材もしくは単結晶又は金属部材のそれぞれ相互
のロウ付け或いは(酸化(アルミニウム−))セラミッ
ク部材と単結晶とのロウ付け又は(酸化(アルミニウム
−))セラミック部材ないしは単結晶と金属部材とのロ
ウ付けのための、ジルコニウム/ニッケル合金に付加的
にチタンを含有する、ジルコニウム70原子%〜85原
子%及びニッケル15原子%〜30原子%からなるジル
コニウム/ニッケル合金を基礎とする三成分活性ロウ。 - 【請求項2】 均一な厚さ及び可能な限り平滑な2表
面を有する帯状物(6)を活性ロウ合金、殊に請求項1
から4までのいずれか1項に記載の三成分活性ロウから
、高温安定性かつ良好な熱伝導性をもつ非金属材料、殊
に高密度グラファイト又は窒化硼素から完全になるシリ
ンダ状るつぼ(1)中で、例えば高周波エネルギーで溶
融された合金を該るつぼの底面に配置されたるつぼ開口
部(3)を通して、高い周速度で回転する、高い熱伝導
性を有する金属ドラム(5)上に圧出し、このドラム上
で液状合金は103〜106℃/秒の範囲内の冷却速度
で硬化する溶融紡糸法によって製造するための装置。 - 【請求項3】 基体(12)及びセラミック、殊に、
有利には純度96重量%の酸化アルミニウム−セラミッ
クからなる膜(11)を有する圧力センサにおいて、該
基体及び該膜が室(13)の形成下で、一定の間隔(d
)で相互に平行してその縁部で請求項1から4までのい
ずれか1項に記載の活性ロウを用いて熱処理によって接
合されていることを特徴とする圧力センサ(10)。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP90710031 | 1990-11-13 | ||
DE90710031.7 | 1990-11-13 | ||
DE4129414.9 | 1991-09-04 | ||
DE4129414A DE4129414A1 (de) | 1990-11-13 | 1991-09-04 | Verwendung eines speziellen tiegels beim melt-spinning einer aktivlot-legierung |
US08/016,515 US5351938A (en) | 1990-11-13 | 1993-02-11 | Apparatus for fabricating a foil |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26209596A Division JP3374022B2 (ja) | 1990-11-13 | 1996-10-02 | Zr−Ni−Ti三成分活性ロウ及びZr−Ni−Ti三成分活性ロウからなる均一な厚さ及び平滑な2表面を有する帯状物の製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04321572A true JPH04321572A (ja) | 1992-11-11 |
JP2695327B2 JP2695327B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=27202883
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3294014A Expired - Fee Related JP2695327B2 (ja) | 1990-11-13 | 1991-11-11 | 圧力センサ |
JP26209596A Expired - Fee Related JP3374022B2 (ja) | 1990-11-13 | 1996-10-02 | Zr−Ni−Ti三成分活性ロウ及びZr−Ni−Ti三成分活性ロウからなる均一な厚さ及び平滑な2表面を有する帯状物の製法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26209596A Expired - Fee Related JP3374022B2 (ja) | 1990-11-13 | 1996-10-02 | Zr−Ni−Ti三成分活性ロウ及びZr−Ni−Ti三成分活性ロウからなる均一な厚さ及び平滑な2表面を有する帯状物の製法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5334344A (ja) |
EP (1) | EP0490807B1 (ja) |
JP (2) | JP2695327B2 (ja) |
CA (1) | CA2054784C (ja) |
DE (2) | DE4129414A1 (ja) |
DK (1) | DK0490807T3 (ja) |
ES (1) | ES2081461T3 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US6815577B1 (en) | 1997-03-03 | 2004-11-09 | Syngenta Participations Ag | Method of hybrid seed production using conditional female sterility |
SE9704840D0 (sv) * | 1997-12-22 | 1997-12-22 | Cecap Ab | Tryckgivare för detektering av små tryckdifferenser och låga tryck |
US20040099061A1 (en) * | 1997-12-22 | 2004-05-27 | Mks Instruments | Pressure sensor for detecting small pressure differences and low pressures |
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US6267009B1 (en) | 1998-12-14 | 2001-07-31 | Endress + Hauser Gmbh + Co. | Capacitive pressure sensor cells or differential pressure sensor cells and methods for manufacturing the same |
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DE102007030910A1 (de) * | 2007-07-03 | 2009-01-08 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Drucksensor |
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DE102009003178A1 (de) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Keramisches Bauteil mit mindestens einer elektrischen Durchführung, Verfahren zu dessen Herstellung und Drucksensor mit einem solchen Bauteil |
DE102009054909A1 (de) * | 2009-12-17 | 2011-06-22 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG, 79689 | Keramisches Produkt und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102010000915A1 (de) | 2010-01-14 | 2011-07-21 | Endress + Hauser GmbH + Co. KG, 79689 | Kapazitiver keramischer Drucksensor |
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