JPH02161328A - 圧力センサー及びその製造方法 - Google Patents
圧力センサー及びその製造方法Info
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- JPH02161328A JPH02161328A JP1189011A JP18901189A JPH02161328A JP H02161328 A JPH02161328 A JP H02161328A JP 1189011 A JP1189011 A JP 1189011A JP 18901189 A JP18901189 A JP 18901189A JP H02161328 A JPH02161328 A JP H02161328A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
- G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は母体と膜を備える圧力センサーであって、該両
者は互いに平行で一定の距離で組合わされて一つの室を
形成し、この際両者の結合部分の少なくとも一つはセラ
ミックス、ガラス、金属または単結晶質材料よりなる形
状のもの、並びにこの種圧力センサーの製造方法に関す
る。
者は互いに平行で一定の距離で組合わされて一つの室を
形成し、この際両者の結合部分の少なくとも一つはセラ
ミックス、ガラス、金属または単結晶質材料よりなる形
状のもの、並びにこの種圧力センサーの製造方法に関す
る。
［従来の技術１
膜及び母体が溶融して、距離を決定するガラスフリット
により互いに結合している、この種の圧力センサーは公
知である。この種結合は機械的強度、負荷容量及び温度
変化耐久性が乏しい欠点がある。さらに・ガラス７リツ
トは、前記記載の種類の圧力センサーの母体及び膜用に
有利な物質である非オキサイドセラミックス及び高純度
オキサイドセラミックスからなる部品を結合するために
は適性が制限される。
により互いに結合している、この種の圧力センサーは公
知である。この種結合は機械的強度、負荷容量及び温度
変化耐久性が乏しい欠点がある。さらに・ガラス７リツ
トは、前記記載の種類の圧力センサーの母体及び膜用に
有利な物質である非オキサイドセラミックス及び高純度
オキサイドセラミックスからなる部品を結合するために
は適性が制限される。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の課題は非常に堅牢で特に温度ショックを受は難
く、高純度オキサイドセラミックスのような、接合しに
くい材質からなる部品を含むことができる、冒頭に掲げ
た種類の圧力センサーならびにこのような圧力センサー
の製造方法を提供することである。
く、高純度オキサイドセラミックスのような、接合しに
くい材質からなる部品を含むことができる、冒頭に掲げ
た種類の圧力センサーならびにこのような圧力センサー
の製造方法を提供することである。
［課題を解決するための手段］
前記課題は本発明により、母体及び膜が同時にスペーサ
ーとして使用する金属製形材により互いに熱的に結合し
ていることを特徴とする圧力センサーにより解決される
。
ーとして使用する金属製形材により互いに熱的に結合し
ていることを特徴とする圧力センサーにより解決される
。
本発明による圧力センサーの製造には特に二つの公知の
方法、すなわち、活性ハンダ及びＤＣＢ （ｄｉｒｅｃ
ｔ ｃｏｐｐｅｒ ｂｏｎｄｉｎｇ）の名称で公知の銅
とオキサイドセラミックスまたはす７アイヤとの直接結
合が適当である。
方法、すなわち、活性ハンダ及びＤＣＢ （ｄｉｒｅｃ
ｔ ｃｏｐｐｅｒ ｂｏｎｄｉｎｇ）の名称で公知の銅
とオキサイドセラミックスまたはす７アイヤとの直接結
合が適当である。
両方法は圧力センサーの膜及び母体がセラミック、特に
酸化アルミニウムセラミックのような高純度オキサイド
セラミックスからなる有利な場合に特に適する。さらに
活性ハンダによれば、予め金属化されていない非オキサ
イドセラミックス、単結晶材、またはガラスのような他
の材質からなる部品、ならびにまた金属製または金属化
された部分をハンダ付けすることができ、この際あらゆ
る場合に７ラツクスを必要としない。
酸化アルミニウムセラミックのような高純度オキサイド
セラミックスからなる有利な場合に特に適する。さらに
活性ハンダによれば、予め金属化されていない非オキサ
イドセラミックス、単結晶材、またはガラスのような他
の材質からなる部品、ならびにまた金属製または金属化
された部分をハンダ付けすることができ、この際あらゆ
る場合に７ラツクスを必要としない。
該圧力センサーを活性ハンダで製造するときは、該形材
は活性ハンダから構成する。
は活性ハンダから構成する。
活性ハンダはハンダ材、すなわちＡｇｓ Ａｇ−Ｃｕ、
Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎのような少なくとも１種の硬質ハンダ
から構成され、これに少なくとも１種の、Ｔｉ、ｚｒ、
Ｂｅ、 ＨＥまたはＴａのような反応性元素が合金化
されている。その際Ｔｉは有効な合金元素であることが
明らかになった。該反応性元素はハンダ付けすべき部分
の表面をハンダ付けの間ぬらす。ハンダ付けすべき部分
がオキサイドセラミックスから構成されているときは、
反応性元素の酸素に対する高い親和力はセラミックスと
の反応を引き起こすが、これは混合酸化物及び遊離化学
的原子価の生成をもたらす。
Ａｇ−Ｃｕ−Ｉｎのような少なくとも１種の硬質ハンダ
から構成され、これに少なくとも１種の、Ｔｉ、ｚｒ、
Ｂｅ、 ＨＥまたはＴａのような反応性元素が合金化
されている。その際Ｔｉは有効な合金元素であることが
明らかになった。該反応性元素はハンダ付けすべき部分
の表面をハンダ付けの間ぬらす。ハンダ付けすべき部分
がオキサイドセラミックスから構成されているときは、
反応性元素の酸素に対する高い親和力はセラミックスと
の反応を引き起こすが、これは混合酸化物及び遊離化学
的原子価の生成をもたらす。
活性ハンダによる圧力センサーの有利な製造方法は本発
明よれば、該母体及び該膜をその間に配置した活性ハン
ダ製形材と共に真空中または最高０．１ミリバールの圧
の一定のガス雰囲気内に置き、その中で活性ハンダが完
全に溶融するまで加熱することよりなる。
明よれば、該母体及び該膜をその間に配置した活性ハン
ダ製形材と共に真空中または最高０．１ミリバールの圧
の一定のガス雰囲気内に置き、その中で活性ハンダが完
全に溶融するまで加熱することよりなる。
前記膜及び母体が酸化物セラミックスまたはサファイヤ
からなり、かつ該圧力センサーがＤＣＢ法により製造さ
れるときは、該形材は銅からなり、該銅はその表面に生
成する共融溶融物により両部品と結合される。
からなり、かつ該圧力センサーがＤＣＢ法により製造さ
れるときは、該形材は銅からなり、該銅はその表面に生
成する共融溶融物により両部品と結合される。
ＤＣＢ法による本圧力センサーの有利な製造法は本発明
によれば、該母体及び該膜をその間に配置されｔ；銅製
形材と共に僅かの酸素成分のある不活性ガス雰囲気内に
置き、銅の融点下にあって形材の表面に共融溶融を生成
する温度までその中で加熱することよりなる。
によれば、該母体及び該膜をその間に配置されｔ；銅製
形材と共に僅かの酸素成分のある不活性ガス雰囲気内に
置き、銅の融点下にあって形材の表面に共融溶融を生成
する温度までその中で加熱することよりなる。
両部会がガラスフリットで接合しである公知の圧力セン
サーに比較して、活性ハンダによるものも、またＤＣＢ
法により製造した圧力センサーも比較的高い機械的強度
、負荷容量及び温度変化耐久性で、ならびに良好で確実
な真空密閉度で優れている。とりわけ、この両者の方法
によれば、ガラスフリットによってはそもそも接合でき
ないかまたはすぐには接合できないセラミックスからな
る部分も接合できる。該製造法は活性ハンダの場合でも
ＤＣＢ法の場合でもガラスフリットにより接合する場合
よりも簡単である。最後に該接合部の品質はＸ線透視で
速くかつ簡単に試験することができる。
サーに比較して、活性ハンダによるものも、またＤＣＢ
法により製造した圧力センサーも比較的高い機械的強度
、負荷容量及び温度変化耐久性で、ならびに良好で確実
な真空密閉度で優れている。とりわけ、この両者の方法
によれば、ガラスフリットによってはそもそも接合でき
ないかまたはすぐには接合できないセラミックスからな
る部分も接合できる。該製造法は活性ハンダの場合でも
ＤＣＢ法の場合でもガラスフリットにより接合する場合
よりも簡単である。最後に該接合部の品質はＸ線透視で
速くかつ簡単に試験することができる。
ＤＣＢ法の適用はオキサイドセラミックス及びす７アイ
ヤの接合に限られるが、この方法は該形材が接合温度で
は高い形状寸法を保っているという利点が有る。何とな
ればこれは全体が溶融するのでなく、むしろ表面のみが
溶融するにすぎないからである。これによって母体及び
膜の極めて良好な距離一定及び平行度が付加的手段を講
じることなく達成されるからである。
ヤの接合に限られるが、この方法は該形材が接合温度で
は高い形状寸法を保っているという利点が有る。何とな
ればこれは全体が溶融するのでなく、むしろ表面のみが
溶融するにすぎないからである。これによって母体及び
膜の極めて良好な距離一定及び平行度が付加的手段を講
じることなく達成されるからである。
それに対して活性ハンダの特に有利な点は、それによっ
て実際に、オキサイドセラミックス、非オキサイドセラ
ミックス、ガラス、単結晶及び金属のようなすべての材
質が接合可能であるということである。
て実際に、オキサイドセラミックス、非オキサイドセラ
ミックス、ガラス、単結晶及び金属のようなすべての材
質が接合可能であるということである。
両方の場合に、金属とセラミックスの膨張係数の温度依
存性が非常に相違するにもかかわらず圧力センサーのセ
ラミックス部材の接合に金属ハンダを使用することがで
きることは意外なことである。本発明により製造された
圧力センサーの場合それでも大きな温度範囲で、漏洩、
ヒストリシス、または感度変化のようなセンサー挙動に
少しも不利な影響は確認することができなかった。
存性が非常に相違するにもかかわらず圧力センサーのセ
ラミックス部材の接合に金属ハンダを使用することがで
きることは意外なことである。本発明により製造された
圧力センサーの場合それでも大きな温度範囲で、漏洩、
ヒストリシス、または感度変化のようなセンサー挙動に
少しも不利な影響は確認することができなかった。
［実施例］
さらに本発明の特徴及び有利な点は略示図に示す実施例
の以下の記述から明らかになる。
の以下の記述から明らかになる。
図示した圧力センサー１０は平行平面で円形円板の形の
膜１１を持ち、該膜はリング状に周辺部が円形の母体１
２と一定の距離ｄで接合され、母体１２の平らな上面と
それに向かい合った膜１１の面との間に一つの部屋１３
を形成している。膜１１はセラミックス、ガラス、また
は一つの単結晶材から構成できる。同じく母体１２はセ
ラミックス、ガラスまたは単結晶材から構成することが
できる。この場合それでも、膜１１及び母体１２ができ
ている材料は互いに異なっていてもよい。該膜１１は弾
性があるから、その上に作用する圧力を受けて変形する
ことができる。母体Ｉ２は中実で剛体であってもよく、
しかしまた希望する場合は、該膜１１と同じように、平
面で弾性の円板として構成することもできる。
膜１１を持ち、該膜はリング状に周辺部が円形の母体１
２と一定の距離ｄで接合され、母体１２の平らな上面と
それに向かい合った膜１１の面との間に一つの部屋１３
を形成している。膜１１はセラミックス、ガラス、また
は一つの単結晶材から構成できる。同じく母体１２はセ
ラミックス、ガラスまたは単結晶材から構成することが
できる。この場合それでも、膜１１及び母体１２ができ
ている材料は互いに異なっていてもよい。該膜１１は弾
性があるから、その上に作用する圧力を受けて変形する
ことができる。母体Ｉ２は中実で剛体であってもよく、
しかしまた希望する場合は、該膜１１と同じように、平
面で弾性の円板として構成することもできる。
膜１１及び母体１２の互いに向かい合った平面に室１３
の内側で円形の金属からなり、一定の距離で向き合う電
導皮膜１４及び１５を装着する。この電導皮膜１４と接
続リード１６を結合し、これは該膜１１をガス密に貫通
して外部に導かれる。同じ方法で電導皮膜１５と接続リ
ード１７は結合され、これは母体１２をガス密に貫通し
て外部に導かれる。該両電導皮膜は一つのコンデンサー
の電極を構成し、その容量は該電導皮膜間の距離に依存
する。圧力の作用で膜１１が変形するときは、両電導皮
膜間の距離、従って本センサーの容量は変わる。従って
、接続リード１６及び１７に接続されている電子切換回
路を介して測定できるセンサーの容量は膜１１に作用す
る圧力の−の尺度である。周部分１１．１２の一方が金
属製であれば、それ自身が当該コンデンサー電極を構成
することができる。
の内側で円形の金属からなり、一定の距離で向き合う電
導皮膜１４及び１５を装着する。この電導皮膜１４と接
続リード１６を結合し、これは該膜１１をガス密に貫通
して外部に導かれる。同じ方法で電導皮膜１５と接続リ
ード１７は結合され、これは母体１２をガス密に貫通し
て外部に導かれる。該両電導皮膜は一つのコンデンサー
の電極を構成し、その容量は該電導皮膜間の距離に依存
する。圧力の作用で膜１１が変形するときは、両電導皮
膜間の距離、従って本センサーの容量は変わる。従って
、接続リード１６及び１７に接続されている電子切換回
路を介して測定できるセンサーの容量は膜１１に作用す
る圧力の−の尺度である。周部分１１．１２の一方が金
属製であれば、それ自身が当該コンデンサー電極を構成
することができる。
記載した圧力センサーの特殊性は、膜１１及び母体工２
が接合される形式及び方法にある。
が接合される形式及び方法にある。
これは金属製のリング状形材２０によって行われ、該形
材は膜１１及び母体の間の結合部をなし、同時に該膜１
１を母体１２から一定の距離ｄに保つスペーサーとして
役立っている。この結合を行うために熱的方法が使用さ
れるが、これは金属化の前処理なし及びフラックスを使
用することなく膜１１と母体１２を形材２０で直接結合
することを可能とする。
材は膜１１及び母体の間の結合部をなし、同時に該膜１
１を母体１２から一定の距離ｄに保つスペーサーとして
役立っている。この結合を行うために熱的方法が使用さ
れるが、これは金属化の前処理なし及びフラックスを使
用することなく膜１１と母体１２を形材２０で直接結合
することを可能とする。
ここで特に二つの公知の方法が考えられる。
すなわち、
１、活性ハンダ付は法。これにより金属もまたセラミッ
クス、単結晶体、及びガラスのような非金属も直接ハン
ダ付けができる。
クス、単結晶体、及びガラスのような非金属も直接ハン
ダ付けができる。
２、 ”ＤＣＢ” （ｄｉｒｅｃｔ ｃｏｐｐｅｒ
ｂｏｎｄｉｎｇ）の名称で公知の、銅とオキサイドセラ
ミックスまたはす７アイヤとの直接結合法で、膜１１及
び母体１２がこれらの物質でなる場合。
ｂｏｎｄｉｎｇ）の名称で公知の、銅とオキサイドセラ
ミックスまたはす７アイヤとの直接結合法で、膜１１及
び母体１２がこれらの物質でなる場合。
両方の場合に機械的に極めて堅牢で完全な気密結合が該
膜１１及び該母体１２の間に形材２０を介在して得られ
るので、該室１３は完全に外部に対し気密に封止される
。
膜１１及び該母体１２の間に形材２０を介在して得られ
るので、該室１３は完全に外部に対し気密に封止される
。
前述の両方法を次に詳しく説明する。
１、活性ハンダ付は法。
活性ハンダは少なくとも、Ｔｉ、 Ｚｒ、Ｂｅ、 Ｈｆ
またはＴａような一つの強い反応性の元素を含むハンダ
である。これら反応性の元素はハンダ付けの間ハンダ付
けをする部分の表面をぬらす。これらの部分がオキサイ
ドセラミックスからなっている場合、反応性元素の酸素
に対する高い親和性はセラミックスとの反応をひきおこ
す。このことは混合酸化物及び遊離原子価を生成させる
。
またはＴａような一つの強い反応性の元素を含むハンダ
である。これら反応性の元素はハンダ付けの間ハンダ付
けをする部分の表面をぬらす。これらの部分がオキサイ
ドセラミックスからなっている場合、反応性元素の酸素
に対する高い親和性はセラミックスとの反応をひきおこ
す。このことは混合酸化物及び遊離原子価を生成させる
。
該ハンダの反応性成分は、Ａｇ−Ｃｕのような別の合金
要素でなる母体に埋没される。これらは固有のハンダ付
は用材を生成する。
要素でなる母体に埋没される。これらは固有のハンダ付
は用材を生成する。
現在の活性ハンダ合金は延性があり、例えばＡｇ−Ｃｕ
の母体に均一に埋没されたＴｉ ２〜５％を含有してい
る。これらの合金はふつうの硬質ハンダのように任意の
形材に、従ってまた第２図に示した、スペーサーとして
使われるリング状形材２０にも成形することができる。
の母体に均一に埋没されたＴｉ ２〜５％を含有してい
る。これらの合金はふつうの硬質ハンダのように任意の
形材に、従ってまた第２図に示した、スペーサーとして
使われるリング状形材２０にも成形することができる。
市販の代表的な活性ハンダはＡｇ−Ｔｉ、Ａｇ−Ｃｕ−
Ｔｉ及びＡｇ−Ｃｕ−Ｉｎ−Ｔｉ合金で、そのハンダ付
は温度は７５０〜１０００℃である。従って段階ハンダ
付け（溶融点での段階付け）はまた活性ハンダでも可能
である。活性ハンダの強度は比較し得るＴｉ不含の硬質
ハンダの強度に等しい。セラミックスに対する粘着強度
はセラミックス自身の強度よりも大きい。従って引張り
試験では破壊個所はセラミックスにあって、セラミック
ス−ハンダ界層にはない。
Ｔｉ及びＡｇ−Ｃｕ−Ｉｎ−Ｔｉ合金で、そのハンダ付
は温度は７５０〜１０００℃である。従って段階ハンダ
付け（溶融点での段階付け）はまた活性ハンダでも可能
である。活性ハンダの強度は比較し得るＴｉ不含の硬質
ハンダの強度に等しい。セラミックスに対する粘着強度
はセラミックス自身の強度よりも大きい。従って引張り
試験では破壊個所はセラミックスにあって、セラミック
ス−ハンダ界層にはない。
セラミックス部品を活性ハンダで結合することは有利に
は真空で、少なくとも１０−５ミリバール、より良いの
は１０−Ｂミリバールの範囲で行う。残留ガスとＴｉと
の反応を避は良好なセラミックスの濡れを達成するため
には非常に良好な真空が必要である。
は真空で、少なくとも１０−５ミリバール、より良いの
は１０−Ｂミリバールの範囲で行う。残留ガスとＴｉと
の反応を避は良好なセラミックスの濡れを達成するため
には非常に良好な真空が必要である。
確実なハンダ付は結果を達成するため、例えばハンダの
蒸発または表面酸化物を減少させるため、加熱またはハ
ンダ付は工程を不活性ガス及び／または反応性ガスから
の一定のガス雰囲気中で行うことが有利な場合もある。
蒸発または表面酸化物を減少させるため、加熱またはハ
ンダ付は工程を不活性ガス及び／または反応性ガスから
の一定のガス雰囲気中で行うことが有利な場合もある。
これらガスの分圧は有利には１０−１ミリバール以下に
ある。
ある。
ふつうのハンダ付けの場合のようにまた活性ハンダ付け
の場合もハンダは完全に溶かされるしかしハンダ温度は
活性ハンダの場合、Ｔｉとセラミックスの最適な反応を
得るためには、有利には液相温度よりも７０〜１００℃
高いべきである。こうして高い強度及び真空気密度が達
成される。
の場合もハンダは完全に溶かされるしかしハンダ温度は
活性ハンダの場合、Ｔｉとセラミックスの最適な反応を
得るためには、有利には液相温度よりも７０〜１００℃
高いべきである。こうして高い強度及び真空気密度が達
成される。
２、ＤＣＢ法
ＤＣＢ法を使用することは、膜１１及び母体１２がオキ
サイドセラミックスまたはす７アイヤから構成されてい
ることを前提とする。この場合該リング状形材２０は銅
から構成されている。該銅製形材２０を母体１２と膜１
１の間に配置した後、この構成物を不活性ガス雰囲気、
例えばアルゴンまたは窒素と少量の酸素（例えば５００
ｐｐｍ）の中で１０７０℃に加熱するこの場合網形材の
表面にＣｕ２Ｏが生成する。銅はＣｕ２Ｏと１０６５℃
で共融溶融物を生成し、これは銅層材の表面が溶融され
ることを意味する。該溶融物はセラミックス部材の表面
と反応しそれをぬらす。例えば該セラミックス部材が酸
化アルミセラミックス（Ａａ２ｏ３）で構成されている
ときは、この場合Ｃｕ２ＯとＡａ２ｏ３との反応でＣｕ
Ａ（２０２が生じる。該セラミックス表面及び銅層材の
ぬれは非常に良好であるから冷却扱銅形材とセラミック
スの間に極端に粘着の強い結合が現れる。
サイドセラミックスまたはす７アイヤから構成されてい
ることを前提とする。この場合該リング状形材２０は銅
から構成されている。該銅製形材２０を母体１２と膜１
１の間に配置した後、この構成物を不活性ガス雰囲気、
例えばアルゴンまたは窒素と少量の酸素（例えば５００
ｐｐｍ）の中で１０７０℃に加熱するこの場合網形材の
表面にＣｕ２Ｏが生成する。銅はＣｕ２Ｏと１０６５℃
で共融溶融物を生成し、これは銅層材の表面が溶融され
ることを意味する。該溶融物はセラミックス部材の表面
と反応しそれをぬらす。例えば該セラミックス部材が酸
化アルミセラミックス（Ａａ２ｏ３）で構成されている
ときは、この場合Ｃｕ２ＯとＡａ２ｏ３との反応でＣｕ
Ａ（２０２が生じる。該セラミックス表面及び銅層材の
ぬれは非常に良好であるから冷却扱銅形材とセラミック
スの間に極端に粘着の強い結合が現れる。
１０６５℃と１０８３℃の間の温度範囲では固体鋼と共
晶溶融物との間に平衡が支配する。
晶溶融物との間に平衡が支配する。
従って該銅層材は内部では完全に溶融せず、このため鋼
の溶融点（１０８３℃）までその型を保持している。該
共融反応層の厚さは因みに５〜１０μ肩である。
の溶融点（１０８３℃）までその型を保持している。該
共融反応層の厚さは因みに５〜１０μ肩である。
第１図は本発明による圧力センサーの千面略示図、及び
第２図は第１図の切線Ａ−Ｂに沿った圧力センサーの断
面図である。 １１・・・膜、１２・・・母体、２０．・・・リング状
形材Ｆｉｇ、１ ｎ Ｆｉｇ、２ １１・・・膜 １２・・・母体 ２０・・・リング状形材
第２図は第１図の切線Ａ−Ｂに沿った圧力センサーの断
面図である。 １１・・・膜、１２・・・母体、２０．・・・リング状
形材Ｆｉｇ、１ ｎ Ｆｉｇ、２ １１・・・膜 １２・・・母体 ２０・・・リング状形材
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、母体と膜を備える圧力センサーであって、該両者は
互いに平行で一定の距離で組合わされて一つの室を形成
し、この際両者の結合部分の少なくとも一つはセラミッ
クス、ガラス、金属または単結晶質材料よりなる形式の
ものにおいて、前記母体及び前記膜が同時にスペーサー
として使われる金属製形材により互いに熱的に結合して
いることを特徴とする圧力センサー。 ２、前記母体と前記膜が予め金属被覆することなく金属
製形材により互いに結合している請求項１記載の圧力セ
ンサー。 ３、前記母体と前記膜が活性ハンダ製形材によりハンダ
付けされている請求項１記載の圧力センサー。 ４、前記活性ハンダが銀・銅合金で、反応元素としてチ
タンを含んでいる請求項３記載の圧力センサー。 ５、前記両結合部がオキサイドセラミックスまたはサフ
ァイヤからなり、前記形材が銅からなり、該銅が表面に
生成する共晶溶融物により前記両部分と結合されている
請求項１記載の圧力センサー。 ６、前記形材が該室を取り囲むリングである請求項１か
ら５までのいずれか１項記載の圧力センサー。 ７、前記母体と前記膜の互いに向合った面が平らで、か
つ母体と膜の間の距離がその間に配置された形材のみに
より決定される請求項１から６までのいずれか１項記載
の圧力センサ８、請求項３または４記載の圧力センサー
を製造する方法において、母体及び膜をその間に配置し
た活性ハンダ製の形材と共に真空中に置き、その中で活
性ハンダが完全に溶融するまで加熱することを特徴とす
る圧力センサーの製造方法。 ９、前記真空が１０＾−＾５ミリバール未満の残留ガス
圧を有する請求項８記載の製造方法。 １０、請求項３または４記載の圧力センサーを製造する
方法において、母体及び膜をその間に配置した活性ハン
ダ製形材と共に最高０．１ミリバールの一定のガス雰囲
気中に入れ、その中で活性ハンダが完全に溶融するまで
加熱することを特徴とする圧力センサーの製造方法。 １１、前記ガス雰囲気が不活性ガスよりなる請求項１０
記載の製造方法。 １２、前記ガス雰囲気が反応性ガスよりなる請求項１０
記載の製造方法。 １３、前記ガス雰囲気が不活性及び／または反応性ガス
の混合よりなる請求項１０記載の製造方法。 １４、請求項５記載の圧力センサーを製造する方法にお
いて、母体及び膜をその間に配置した銅製の形材と共に
僅少の酸素成分のある不活性雰囲気内に置き、その中で
銅の融点下でかつ該形材の表面に共晶溶融を生成する温
度まで加熱することを特徴とする圧力センサー製造方法
。 １５、前記形材を約１０７０℃の温度に加熱する請求項
１４記載の製造方法。 １６、前記不活性雰囲気がアルゴンまたは窒素よりなる
請求項１４または１５記載の製造方法１７、不活性雰囲
気の酸素成分が約５００ｐｐｍである請求項１４から１
６までのいずれか１項記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3825029 | 1988-07-22 | ||
| DE3825029.2 | 1988-07-22 | ||
| DE3901492A DE3901492A1 (de) | 1988-07-22 | 1989-01-19 | Drucksensor und verfahren zu seiner herstellung |
| DE3901492.4 | 1989-01-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02161328A true JPH02161328A (ja) | 1990-06-21 |
| JP2513849B2 JP2513849B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=25870402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1189011A Expired - Fee Related JP2513849B2 (ja) | 1988-07-22 | 1989-07-24 | 圧力センサ―及びその製造方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5005421A (ja) |
| EP (1) | EP0351701B1 (ja) |
| JP (1) | JP2513849B2 (ja) |
| CA (1) | CA1327895C (ja) |
| DE (2) | DE3901492A1 (ja) |
| ES (1) | ES2041376T3 (ja) |
| IE (1) | IE892379L (ja) |
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