JPS5938628A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5938628A JPS5938628A JP14861982A JP14861982A JPS5938628A JP S5938628 A JPS5938628 A JP S5938628A JP 14861982 A JP14861982 A JP 14861982A JP 14861982 A JP14861982 A JP 14861982A JP S5938628 A JPS5938628 A JP S5938628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode plate
- spacer layer
- movable electrode
- movable
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本３に明は、圧力変化による電極間距離の変化を電極間
の静電容量の変化として検出する圧カセンｔＫ関するも
のである。
の静電容量の変化として検出する圧カセンｔＫ関するも
のである。
本発明の目的は、２つの電極間距離を、例えば１０〜１
００１Ｊｍと微少で、かつ全面に亘って一定に維持させ
ることのできる高感度のこの種の圧力センサーを実現し
ようとするものである。
００１Ｊｍと微少で、かつ全面に亘って一定に維持させ
ることのできる高感度のこの種の圧力センサーを実現し
ようとするものである。
第１図は、本発明に係る圧゛カセンサの一例を示す構成
断面図、第２図及び第３図は第１図装置の主要構成要素
となる部分を示す図で、０）は平面図、←）は側面図で
ある。
断面図、第２図及び第３図は第１図装置の主要構成要素
となる部分を示す図で、０）は平面図、←）は側面図で
ある。
これらの図において、１は固定電極板、３はこの固定電
極板１にスペーサ層２を介・して対向設置された可動電
極板、４は内部に被測定圧力が導入、又は被測定圧力が
発生するケースで、可動電極板３をひとつの側壁として
いる。
極板１にスペーサ層２を介・して対向設置された可動電
極板、４は内部に被測定圧力が導入、又は被測定圧力が
発生するケースで、可動電極板３をひとつの側壁として
いる。
固定電極板１は、第２図に示すように、その基板中央部
にここではほぼ六角形状の電極となる電極膜１ｏ及びそ
のリード綜１５が形成されており、首た、この電極膜１
ｏの周囲の一部に、貫通孔１１〜１３が設けである。な
お、電極膜上には、必要あらば絶縁層を形成させてもよ
く、また、この電極膜１゜の形状は、六角形でなくとも
よい。また、貫通孔１１、〜１３は、電極間に形成され
る部屋内の圧力の一部を逃がすだめのもので、その形状
も図示する形状に限定されない。２は電極板１の基板上
であって、電極板１に対向する面の周縁部に付着、形成
させた所定厚さｄのスペーサ層でちる。このスベーーｙ
層２の厚さｄは、電極間隔に相当するものであって、例
えば１０〜１００１４ｍになるように一様に基板１上に
刺着形成されている。
にここではほぼ六角形状の電極となる電極膜１ｏ及びそ
のリード綜１５が形成されており、首た、この電極膜１
ｏの周囲の一部に、貫通孔１１〜１３が設けである。な
お、電極膜上には、必要あらば絶縁層を形成させてもよ
く、また、この電極膜１゜の形状は、六角形でなくとも
よい。また、貫通孔１１、〜１３は、電極間に形成され
る部屋内の圧力の一部を逃がすだめのもので、その形状
も図示する形状に限定されない。２は電極板１の基板上
であって、電極板１に対向する面の周縁部に付着、形成
させた所定厚さｄのスペーサ層でちる。このスベーーｙ
層２の厚さｄは、電極間隔に相当するものであって、例
えば１０〜１００１４ｍになるように一様に基板１上に
刺着形成されている。
このような植成の固定電極板１は、例えば次のような工
程を経て製造される。
程を経て製造される。
すなわち、まず、固定電極基板となる部材（圧力変動が
あっても形状がほとんど変わらない材質の部利）を、円
形に加工し、これに貫通孔１１〜１３を形成させる。次
に、固定電極基板の一方の表面に、例えは蒸着スパッタ
等の方法によって導ｖＬ性金ｋＡを全面に亘って伺メ゛
ｔさせた後、ホトリソグラフィーの技術により電極膜、
リード線及び外形の形状にパターンを形成させる。続い
て、スペーサ層２に相当する部分に、選択的なメッキを
行なうことに上って、所定厚さの金属層で構成されるス
ペーサＲ２を付着形成させる。
あっても形状がほとんど変わらない材質の部利）を、円
形に加工し、これに貫通孔１１〜１３を形成させる。次
に、固定電極基板の一方の表面に、例えは蒸着スパッタ
等の方法によって導ｖＬ性金ｋＡを全面に亘って伺メ゛
ｔさせた後、ホトリソグラフィーの技術により電極膜、
リード線及び外形の形状にパターンを形成させる。続い
て、スペーサ層２に相当する部分に、選択的なメッキを
行なうことに上って、所定厚さの金属層で構成されるス
ペーサＲ２を付着形成させる。
可動電極板３は、第３図に示すように、基板中央部に電
極となる電極膜３０及びそのリード紳３５が形成される
。また、電極膜３０が形成された部分は、切り抜いて形
成した空隙部３１〜３３によって囲まれている。したが
って、これら各空隙部３１〜３３によって囲まれた電極
膜部分３０は、細い３本の腕３Ｇ。
極となる電極膜３０及びそのリード紳３５が形成される
。また、電極膜３０が形成された部分は、切り抜いて形
成した空隙部３１〜３３によって囲まれている。したが
って、これら各空隙部３１〜３３によって囲まれた電極
膜部分３０は、細い３本の腕３Ｇ。
３７、３８によって支持され、これに与えられる圧力に
応じて変位する可動部を構成する。
応じて変位する可動部を構成する。
固定電極１と可動電極３とは、第１図に示すようにスペ
ーサ層２がこれらの中間に位置するように積層されて一
体化され、更に、ケース４を可動電極３に、当該可動電
極５がひとつの側壁となるように取付け、圧力センナを
構成する。
ーサ層２がこれらの中間に位置するように積層されて一
体化され、更に、ケース４を可動電極３に、当該可動電
極５がひとつの側壁となるように取付け、圧力センナを
構成する。
このような構成の装置において、可動電極板３が圧力変
動下にあれば、可動電極板３の可動部（電極膜部分３０
）が変位し、固定電極板１と可動電極板３との間の静電
容量が変化するので、この静電容量の変化から圧力変化
を知ることができる。
動下にあれば、可動電極板３の可動部（電極膜部分３０
）が変位し、固定電極板１と可動電極板３との間の静電
容量が変化するので、この静電容量の変化から圧力変化
を知ることができる。
また、第１図のに置において、り゛−ス４内に例えばＮ
ｏガラスｌＪ人し、このケース４内に矢印方向から透明
窓４０をブｔして赤外線を入射させるものとすれは、Ｎ
Ｏガラス入射した赤外線を吸収し、熱膨張し、ケース４
内に入射した赤外線量に応じた圧力が生ずることとなっ
て、赤外線量を検知することができる。この場合、可動
電極板３に設けられている空隙部３１〜３３は、速い圧
１力変化に対しては充分な高流体抵抗として働き、遅い
圧力変化に対してはバイパス流路として働くので、検出
信号にリップルがのらず、かつ、零位置の安定を得るこ
とができる。
ｏガラスｌＪ人し、このケース４内に矢印方向から透明
窓４０をブｔして赤外線を入射させるものとすれは、Ｎ
Ｏガラス入射した赤外線を吸収し、熱膨張し、ケース４
内に入射した赤外線量に応じた圧力が生ずることとなっ
て、赤外線量を検知することができる。この場合、可動
電極板３に設けられている空隙部３１〜３３は、速い圧
１力変化に対しては充分な高流体抵抗として働き、遅い
圧力変化に対してはバイパス流路として働くので、検出
信号にリップルがのらず、かつ、零位置の安定を得るこ
とができる。
このような１１゛ｆ成の圧力センサによれば、スペーサ
層２ｆ！：例えばメッキ等の手法によって電極基板にｆ
＋１に’ｆ して形成し、これを介して各電極基板を重
ね合せるもので、各電極板間を微小間隔で、かつ、全面
に亘って一定間隔に維持することができ、高感度の圧力
センサを簡単な工程で実現することができる。
層２ｆ！：例えばメッキ等の手法によって電極基板にｆ
＋１に’ｆ して形成し、これを介して各電極基板を重
ね合せるもので、各電極板間を微小間隔で、かつ、全面
に亘って一定間隔に維持することができ、高感度の圧力
センサを簡単な工程で実現することができる。
なお、上記の実施例においては、スペーサ層２を固定電
極側に刺着形成する場合を例にとって説明したが、この
スペーサ層２を、可動電極側に付着形成させてもよい。
極側に刺着形成する場合を例にとって説明したが、この
スペーサ層２を、可動電極側に付着形成させてもよい。
また、スペーサ層２は、接着剤（例えばエポキシ樹脂）
にアルミナ球体、ガラスピーズあるいはガラスファイバ
等の粒体を数％混合し、この接着剤をスクリーン印刷し
て付着。
にアルミナ球体、ガラスピーズあるいはガラスファイバ
等の粒体を数％混合し、この接着剤をスクリーン印刷し
て付着。
形成させてもよい。この場合、各電極板をスペーサ層２
を介して両（）ＩＩＩから抑圧し、一体化すれ。よ、ス
ペーサ層２の厚さく電極間間隔に相当）は、接着剤に混
合する粒体の粒径によって決まるもので、電極間隔を容
易に、かつ正確に選定できる。
を介して両（）ＩＩＩから抑圧し、一体化すれ。よ、ス
ペーサ層２の厚さく電極間間隔に相当）は、接着剤に混
合する粒体の粒径によって決まるもので、電極間隔を容
易に、かつ正確に選定できる。
第１図は本発明に係る圧力センサの一例を示す構成断面
図、第２図及び第３図は第１図装置の主要構成要素とな
る部分を示す図で、（イ）は平面メ１゜←）は側面図で
ある。 １・・・固定電極、２・・・スペーサ１ＧＬ３・・・可
動′１′Ｌ極。 ヘノ゛ｌ゛ノ （”’） マ 眠 １４５−
図、第２図及び第３図は第１図装置の主要構成要素とな
る部分を示す図で、（イ）は平面メ１゜←）は側面図で
ある。 １・・・固定電極、２・・・スペーサ１ＧＬ３・・・可
動′１′Ｌ極。 ヘノ゛ｌ゛ノ （”’） マ 眠 １４５−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （リ 固定電極板、測定ずべき圧力がカえられる可動電
極板、前記固定電極板又は可動電極板−ヒの周縁部に伺
着形成した所定厚さのスペーサ層を具備し、前記スペー
サ層を介して前記固定層４ζ板と可１１７１１電極板と
を所定間隔だけ隔てて対向設置し、前記各電極板間の静
電容量変化から圧力を知るようにした圧力センサ。 （２） スペーサ層を電気メッキの手法によって付着
形成することを特徴とする特許Ｎｌ’Ｊ求の範囲第１」
０記載の圧力センサ。 （３） スペーサ層を、接着剤中に粒体を混合しこれ
をスクリーン印刷して付着形成させたことを特徴とする
！１＋ｆＮ’ｉ請求の範囲第１項記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14861982A JPS5938628A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14861982A JPS5938628A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5938628A true JPS5938628A (ja) | 1984-03-02 |
Family
ID=15456829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14861982A Pending JPS5938628A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5938628A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02161328A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-06-21 | Endress & Hauser Gmbh & Co | 圧力センサー及びその製造方法 |
-
1982
- 1982-08-27 JP JP14861982A patent/JPS5938628A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02161328A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-06-21 | Endress & Hauser Gmbh & Co | 圧力センサー及びその製造方法 |
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