JPH0431400A - 単結晶棒搬出装置 - Google Patents
単結晶棒搬出装置Info
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- JPH0431400A JPH0431400A JP2138902A JP13890290A JPH0431400A JP H0431400 A JPH0431400 A JP H0431400A JP 2138902 A JP2138902 A JP 2138902A JP 13890290 A JP13890290 A JP 13890290A JP H0431400 A JPH0431400 A JP H0431400A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
- Y10T117/1032—Seed pulling
- Y10T117/1072—Seed pulling including details of means providing product movement [e.g., shaft guides, servo means]
Landscapes
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- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、育成された単結晶棒を単結晶育成装置から取
り出して所定位置まで搬送する単結晶棒搬出装置に関す
る。
り出して所定位置まで搬送する単結晶棒搬出装置に関す
る。
［従来の技術］
例えばＣ２法による単結晶引上げ装置では、真空状態に
したメインチャンバ内で単結晶を育成し、結晶育成を終
了すると、メインチャンバの上方のプルチャンバ内まで
単結晶棒を引上げ、メインチャンバとプルチャンバとの
接続部に設けられたゲートを閉じ、プルチャンバに設け
られた密閉ドアを開けて単結晶棒を取り出す。
したメインチャンバ内で単結晶を育成し、結晶育成を終
了すると、メインチャンバの上方のプルチャンバ内まで
単結晶棒を引上げ、メインチャンバとプルチャンバとの
接続部に設けられたゲートを閉じ、プルチャンバに設け
られた密閉ドアを開けて単結晶棒を取り出す。
この単結晶棒は、重くかつ高温であるため、プルチャン
バから単結晶棒を取り出すための装置が提案されている
。（実公昭４’ｌ−４２５１３号公報、特公昭６０−４
１０３８号公報）。
バから単結晶棒を取り出すための装置が提案されている
。（実公昭４’ｌ−４２５１３号公報、特公昭６０−４
１０３８号公報）。
［発明が解決しようきする課題］
しかし、従来装置は、各単結晶引上げ装置毎に、単結晶
用」二げ装置に一体的に備えられていたので、設備全体
が複雑かつ高価になった。
用」二げ装置に一体的に備えられていたので、設備全体
が複雑かつ高価になった。
また、単結晶棒をプルチャンバから取り出す際に、プル
チャンバを移動させていたので、単結晶引上げ装置の構
造を複雑にしていた。
チャンバを移動させていたので、単結晶引上げ装置の構
造を複雑にしていた。
その上、プルチャンバから取り出された単結晶棒を搬送
する搬送装置が別に必要であった。
する搬送装置が別に必要であった。
本発明の目的は、このような問題点に鑑み、複数の単結
晶育成装置に対し、設備全体として、構成を簡単かつ安
価にすることができる単結晶棒搬出装置を提供すること
にある。
晶育成装置に対し、設備全体として、構成を簡単かつ安
価にすることができる単結晶棒搬出装置を提供すること
にある。
［課題解決手段及びその作用効果］
本発明は、並置された複数の単結晶育成装置で育成され
た単結晶棒を、該単結晶育成装置から取り出し案内手段
に沿って所定位置へ搬送する単結晶棒搬出装置であって
、該案内手段に沿って走行する走行部と、一端部が該走
行部に固定された体部と、該単結晶棒を挟持／解放する
ハンド部と、該ハンド部を支持する可動ベース部と、該
体部に一端部が取り付けられ、該可動ベース部に他端部
が取り付けられ、核体部と該可動ベースとの間隔を可変
自在な伸縮部とを備えている。
た単結晶棒を、該単結晶育成装置から取り出し案内手段
に沿って所定位置へ搬送する単結晶棒搬出装置であって
、該案内手段に沿って走行する走行部と、一端部が該走
行部に固定された体部と、該単結晶棒を挟持／解放する
ハンド部と、該ハンド部を支持する可動ベース部と、該
体部に一端部が取り付けられ、該可動ベース部に他端部
が取り付けられ、核体部と該可動ベースとの間隔を可変
自在な伸縮部とを備えている。
上ｇ己構成において、伸縮部を伸長させてハンド部を結
晶育成装置のプルチャンバ内に進入させ、ハンド部を閉
状態にして単結晶棒を挟持し、伸縮部を短縮させ、走行
部で案内手段に沿って単結晶棒を所定位置へ搬送する。
晶育成装置のプルチャンバ内に進入させ、ハンド部を閉
状態にして単結晶棒を挟持し、伸縮部を短縮させ、走行
部で案内手段に沿って単結晶棒を所定位置へ搬送する。
本発明は、並置された複数の単結晶育成装置に対し１つ
の単結晶棒搬出装置を設ければよく、しかも、この単結
晶棒搬出装置はその構成が単結晶育成装置から独立して
おり、そのうえ、単結晶育成装置から取り出した単結晶
棒を所定位置へ搬送するた島の別個の搬送装置を必要と
しないので、設備全体として、構成が簡単になりかつ安
価になる。
の単結晶棒搬出装置を設ければよく、しかも、この単結
晶棒搬出装置はその構成が単結晶育成装置から独立して
おり、そのうえ、単結晶育成装置から取り出した単結晶
棒を所定位置へ搬送するた島の別個の搬送装置を必要と
しないので、設備全体として、構成が簡単になりかつ安
価になる。
前記体部は、例えば、前記走行部に固定された基部と、
該基部に対し垂直軸の回りに旋回自在な旋回部とを有し
、前記伸縮部の前記一端部は該旋回部に取り付けられて
いる。
該基部に対し垂直軸の回りに旋回自在な旋回部とを有し
、前記伸縮部の前記一端部は該旋回部に取り付けられて
いる。
この構成において、走行時には伸縮部及びハンド部を走
行方向へ向け、単結晶棒を単結晶育成装置から取り出す
場合には伸縮部及びハンド部を単結晶育成装置側へ旋回
させる。
行方向へ向け、単結晶棒を単結晶育成装置から取り出す
場合には伸縮部及びハンド部を単結晶育成装置側へ旋回
させる。
この構成によれば、走行時には走行方向に直角な方向の
幅を狭くできるので、通路を確保でき、かつ、作業者の
安全が保たれる。
幅を狭くできるので、通路を確保でき、かつ、作業者の
安全が保たれる。
前記可動ベースは、例えば、前記伸縮部の前記他端部に
固定されたバックベースと、前記ハンド部が取り付けら
れ該バックベースに対し下端側の水平軸の回りに旋回自
在に取り付けられたチルトベースとを有している。
固定されたバックベースと、前記ハンド部が取り付けら
れ該バックベースに対し下端側の水平軸の回りに旋回自
在に取り付けられたチルトベースとを有している。
この構成において、単結晶棒を所定位置へ搬送した後、
チルトベースを水平にし、ハンド部を開状態にして、単
結晶棒を次段の例えばコンベア上へ搭載させる。
チルトベースを水平にし、ハンド部を開状態にして、単
結晶棒を次段の例えばコンベア上へ搭載させる。
この構成によれば、別体のアンローダを備える必要がな
く、設備全体をさらに簡単化かつ安価に構成することが
できる。
く、設備全体をさらに簡単化かつ安価に構成することが
できる。
前記案内手段は、例えば、工場内の天井側に配置された
レールである。
レールである。
この構成によれば、レール下方のスペースを狭くするこ
とができる。
とができる。
前記体部は、例えば、前記基部に対し前記旋回部が垂直
方向に移動自在になっており、旋回部を上昇させて走行
する。
方向に移動自在になっており、旋回部を上昇させて走行
する。
この構成によれば、レール下方のスペースを有効利用す
ることができ、かつ、作業者の安全性を充分確保するこ
とができる。
ることができ、かつ、作業者の安全性を充分確保するこ
とができる。
［実施例］
以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。
第４図に示す如く、工場内には、同一構成の単結晶引上
げ装Ｗ１０〜１４が、一定間隔を置いて１列に設置され
ている。各単結晶引上げ装置１０〜１４は、石英坩堝等
を内設したメインチャンバ２０の上部開口に、プルチャ
ンバ２１が同心に連設されている。育成を終了した単結
晶棒２２は、引上げワイヤで吊り下げられた状態で、こ
のプルチャンバ２１内に収容される。第１図に示す如く
、プルチャンバ２１には、窓２３の付いた密閉ドア２４
が設けられている。
げ装Ｗ１０〜１４が、一定間隔を置いて１列に設置され
ている。各単結晶引上げ装置１０〜１４は、石英坩堝等
を内設したメインチャンバ２０の上部開口に、プルチャ
ンバ２１が同心に連設されている。育成を終了した単結
晶棒２２は、引上げワイヤで吊り下げられた状態で、こ
のプルチャンバ２１内に収容される。第１図に示す如く
、プルチャンバ２１には、窓２３の付いた密閉ドア２４
が設けられている。
第４図に示す如く、単結晶引上げ装置１４の側方には、
単結晶引上げ装置１０〜１４の列と直角な方向にコンベ
ア３０が設置されている。
単結晶引上げ装置１０〜１４の列と直角な方向にコンベ
ア３０が設置されている。
工場の天井側には、単結晶引上げ装置１０〜１４の列に
沿って、単結晶引上げ装置１０の斜め上方からコンベア
３０の上方まで延びた、レール３１が配設されている。
沿って、単結晶引上げ装置１０の斜め上方からコンベア
３０の上方まで延びた、レール３１が配設されている。
レール３１には、これに沿って走行自在に、単結晶棒搬
出装置３２の走行部３３が取り付けられている。
出装置３２の走行部３３が取り付けられている。
第１図及び第２図に示す如く、走行部３３の下面には、
ネック部３５を介してアッパシリンダ３６の上端が固着
されている。垂直方向のアッパシリンダ３６の内周面に
は軸受３６Ａが固定され、軸受３′６Ａには、その内側
に向けて突出しかつ軸方向に延びたキー３６ａが形成さ
れている。一方、このキー３６ａに対応して、昇降軸３
７の周面に軸方向に延びたキー溝が形成されている。昇
降軸３７を、回転を拘束して昇降自在にするために、キ
ー３６ａがこのキー溝に嵌められた状態で昇降軸３７が
軸受３６Ａに挿入されている。ネック部３５内には、出
力軸に巻取りドラムが取りつけられたギヤドモータ３８
が固定され、かつ、プーリ３８ａが軸支され、ワイヤ３
６ｂがこの巻取りドラムに巻回されプーリ３８ａに巻き
掛けられ、ワイヤ３６ｂの先端が昇降軸３７の上端面中
心に結着されている。したがって、ギヤドモータ３８を
正逆回転させると、昇降軸３７が回転せずに昇降する。
ネック部３５を介してアッパシリンダ３６の上端が固着
されている。垂直方向のアッパシリンダ３６の内周面に
は軸受３６Ａが固定され、軸受３′６Ａには、その内側
に向けて突出しかつ軸方向に延びたキー３６ａが形成さ
れている。一方、このキー３６ａに対応して、昇降軸３
７の周面に軸方向に延びたキー溝が形成されている。昇
降軸３７を、回転を拘束して昇降自在にするために、キ
ー３６ａがこのキー溝に嵌められた状態で昇降軸３７が
軸受３６Ａに挿入されている。ネック部３５内には、出
力軸に巻取りドラムが取りつけられたギヤドモータ３８
が固定され、かつ、プーリ３８ａが軸支され、ワイヤ３
６ｂがこの巻取りドラムに巻回されプーリ３８ａに巻き
掛けられ、ワイヤ３６ｂの先端が昇降軸３７の上端面中
心に結着されている。したがって、ギヤドモータ３８を
正逆回転させると、昇降軸３７が回転せずに昇降する。
昇降軸３７の下部には、両端部に軸受３９ａが設けられ
たロアシリンダ３９が外嵌されて、ロアシリンダ３９が
、昇降軸３７に対し回転自在になりかつ上下方向への移
動が阻止されている。ロアシリンダ３９にはギヤドモー
タ４０が取り付けられ、ギヤドモータ４０の出力軸に固
着された歯車４０ａと昇降軸３７の下端に固着された歯
車４０ｂとが噛合しており、ギヤドモータ４０を正逆回
転させると、ロアシリンダ３９が昇降軸３７に対し時計
回り又は反時計回りに旋回する。
たロアシリンダ３９が外嵌されて、ロアシリンダ３９が
、昇降軸３７に対し回転自在になりかつ上下方向への移
動が阻止されている。ロアシリンダ３９にはギヤドモー
タ４０が取り付けられ、ギヤドモータ４０の出力軸に固
着された歯車４０ａと昇降軸３７の下端に固着された歯
車４０ｂとが噛合しており、ギヤドモータ４０を正逆回
転させると、ロアシリンダ３９が昇降軸３７に対し時計
回り又は反時計回りに旋回する。
ロアシリンダ３９の外周面には、これに直角方向に、ア
ームシリンダ４１の一端が固着され、アームシリンダ４
１内には、一端がバックベースプレート４４に垂直に固
着されたγ−ム軸４２が挿入されている。ロアシリンダ
３９とバックベースプレート４４との間隔を調節するた
めに、両者間にモータシリンダ４３が取り付けられてお
り、モータシリンダ４３を伸縮させると、アーム軸４２
がアームシリンダ４１に対しその軸方向へ移動する。
ームシリンダ４１の一端が固着され、アームシリンダ４
１内には、一端がバックベースプレート４４に垂直に固
着されたγ−ム軸４２が挿入されている。ロアシリンダ
３９とバックベースプレート４４との間隔を調節するた
めに、両者間にモータシリンダ４３が取り付けられてお
り、モータシリンダ４３を伸縮させると、アーム軸４２
がアームシリンダ４１に対しその軸方向へ移動する。
バックベースプレート４４の前方には、チルトベースプ
レート４５がバックベースプレート４４に平行に配置さ
れ、チルトベースプレート４５は、バックベースプレー
ト４４の下部に水平に配設された支軸４６に軸支されて
いる。チルトベースプレート４５の上端にはワイヤ４７
の一端が連結され、このワイヤ４７は、プーリー４８に
巻き掛けられた後、ドラム４９に巻回されている。ドラ
ム４９は、ギヤドモータ５０で回転される。これらブー
ＩＪ −４８、ドラム４９及びギヤドモータ５０は、バ
ックベースプレート４４の上部に取り付けられている。
レート４５がバックベースプレート４４に平行に配置さ
れ、チルトベースプレート４５は、バックベースプレー
ト４４の下部に水平に配設された支軸４６に軸支されて
いる。チルトベースプレート４５の上端にはワイヤ４７
の一端が連結され、このワイヤ４７は、プーリー４８に
巻き掛けられた後、ドラム４９に巻回されている。ドラ
ム４９は、ギヤドモータ５０で回転される。これらブー
ＩＪ −４８、ドラム４９及びギヤドモータ５０は、バ
ックベースプレート４４の上部に取り付けられている。
したがって、ギヤドモータ５０を正逆回転させると、チ
ルトベースプレート４５が支軸４６の回りに転倒側又は
起立側へ回転する。
ルトベースプレート４５が支軸４６の回りに転倒側又は
起立側へ回転する。
支軸４６の前面下部にはフィンガー駆動！ａ５１Ａが固
着され、フィンガー駆動部５１Ａの上方には、フィンガ
ー駆動部５１Ｂが、チルトベースプレート４５の長手方
向に沿って移動自在に、チルトベースプレート４５に取
り付けられている。フィンガー駆動部５１Ｂは、第３図
に示す如く、枠５１０の背面に固着されたナツト５２１
に送り螺子５２２が螺貫され、この送り螺子５２２は第
２図に示す如く、チルトベースプレート４５に軸支され
、ギヤドモータ５２で回転駆動される。枠５１０の背面
中央部には、第３図に示す如く、送り螺子５２２と平行
にチャンネル５２３が固着され、このチャンネル５２３
は、チルトベースプレート４５に固着されたガイドレー
ル５２４に嵌合されている。したがって、フィンガー駆
動部５１Ｂの高さ位置は、チルトベースプレート４５に
取す付けられたギヤドモータ５２により、単結晶棒２２
の長さに応じて調整可能となっている。
着され、フィンガー駆動部５１Ａの上方には、フィンガ
ー駆動部５１Ｂが、チルトベースプレート４５の長手方
向に沿って移動自在に、チルトベースプレート４５に取
り付けられている。フィンガー駆動部５１Ｂは、第３図
に示す如く、枠５１０の背面に固着されたナツト５２１
に送り螺子５２２が螺貫され、この送り螺子５２２は第
２図に示す如く、チルトベースプレート４５に軸支され
、ギヤドモータ５２で回転駆動される。枠５１０の背面
中央部には、第３図に示す如く、送り螺子５２２と平行
にチャンネル５２３が固着され、このチャンネル５２３
は、チルトベースプレート４５に固着されたガイドレー
ル５２４に嵌合されている。したがって、フィンガー駆
動部５１Ｂの高さ位置は、チルトベースプレート４５に
取す付けられたギヤドモータ５２により、単結晶棒２２
の長さに応じて調整可能となっている。
枠５１０の背面側部にはギヤドモータ５１２が固着され
、その出力軸には平歯車５１３が固着されている。一方
、枠５１０の前面には、−力価に右螺子５１４ａが形成
され他方側に左螺子５１４ｂが形成された１本の送り螺
子５１４が水平に軸支され、この送り螺子の一端部にト
ルクリミッタを介して、平歯車５１３と噛合する平歯車
５１６が固着されている。送り螺子５１４の右螺子５１
４にはナツト５１７が螺合され、左螺子５１４ｂにはナ
ツト５１８が螺合され、これらナツト５１７及び５１８
は、回転を阻止するために送り螺子５１４に平行な不図
示のガイド棒が貫通されている。ナラ）５１７及び５１
８にはそれぞれ、保持フィンガー５４Ｂ及び５４Ａの基
端部が固着されている。したがって、ギヤドモータ５１
２を正逆回転させると、保持フィンガー５４Ａ及び５４
Ｂが互いに接離し、また、ギヤドモータ５１２を正転さ
せて保持フィンガー５４Ａ及び５４Ｂで単結晶棒２２を
挟持させると、トルクリミッタ５１５が働いて一定の力
で単結晶棒２２を挟持する。この接離機構及び挟持機構
は、フィンガー駆動部５１Ｂに関しても同様であり、そ
の説明を省略する。
、その出力軸には平歯車５１３が固着されている。一方
、枠５１０の前面には、−力価に右螺子５１４ａが形成
され他方側に左螺子５１４ｂが形成された１本の送り螺
子５１４が水平に軸支され、この送り螺子の一端部にト
ルクリミッタを介して、平歯車５１３と噛合する平歯車
５１６が固着されている。送り螺子５１４の右螺子５１
４にはナツト５１７が螺合され、左螺子５１４ｂにはナ
ツト５１８が螺合され、これらナツト５１７及び５１８
は、回転を阻止するために送り螺子５１４に平行な不図
示のガイド棒が貫通されている。ナラ）５１７及び５１
８にはそれぞれ、保持フィンガー５４Ｂ及び５４Ａの基
端部が固着されている。したがって、ギヤドモータ５１
２を正逆回転させると、保持フィンガー５４Ａ及び５４
Ｂが互いに接離し、また、ギヤドモータ５１２を正転さ
せて保持フィンガー５４Ａ及び５４Ｂで単結晶棒２２を
挟持させると、トルクリミッタ５１５が働いて一定の力
で単結晶棒２２を挟持する。この接離機構及び挟持機構
は、フィンガー駆動部５１Ｂに関しても同様であり、そ
の説明を省略する。
第２図に示す如く、ロアシリンダ３９の上端側の昇降軸
３７には、鍔５５が固着され、鍔５５の先端部下面には
、先端の尖った２本のビン５６が下方向に突設されてい
る（第１図には図示省略）。
３７には、鍔５５が固着され、鍔５５の先端部下面には
、先端の尖った２本のビン５６が下方向に突設されてい
る（第１図には図示省略）。
一方、第４図に示す如く、単結晶引上げ装置１０〜１４
の支持枠には、庇２５が突設され、庇２５には、前記ビ
ン５６に対応した孔２６が穿設されている（第１図の単
結晶引上装置１０については図示省略）。同様に、コン
ベア３００所にも、単結晶引上げ装置１０〜１４と同列
に、これらの支持枠と同形の枠１５が配置され、枠１５
に庇２５が突設され、庇２５には、ビン５６に対応した
孔が穿設されている。
の支持枠には、庇２５が突設され、庇２５には、前記ビ
ン５６に対応した孔２６が穿設されている（第１図の単
結晶引上装置１０については図示省略）。同様に、コン
ベア３００所にも、単結晶引上げ装置１０〜１４と同列
に、これらの支持枠と同形の枠１５が配置され、枠１５
に庇２５が突設され、庇２５には、ビン５６に対応した
孔が穿設されている。
第４図に示す如く、単結晶引上げ装ｗ１０〜１４の側方
には、それぞれ指令発信装置６０〜６４が設置されてお
り、これらは信号線６６に接続され、信号［１６６は、
レール３１に沿って配線されている。一方、第２図に示
す如く、信号線６６に接近して、走行部３３の内側面に
磁気検出器６７が固定されている。磁気検出器６７は、
走行部３３に取り付けられた制御装置６８に接続されて
いる。上記ギヤドモータ３４．３８．４０．５０．５１
１．５２及びモータシリンダ４３のモータはこの制御装
［６８に接続されている。制御１装！ｆ６８は、指令発
信装置６０〜６４から発せられた信号を、信号線６６及
び磁気検出器６７を介して受取り、これに応答して、ギ
ヤドモータ３４．３８．４０．４３．５０及び５２を制
御する。
には、それぞれ指令発信装置６０〜６４が設置されてお
り、これらは信号線６６に接続され、信号［１６６は、
レール３１に沿って配線されている。一方、第２図に示
す如く、信号線６６に接近して、走行部３３の内側面に
磁気検出器６７が固定されている。磁気検出器６７は、
走行部３３に取り付けられた制御装置６８に接続されて
いる。上記ギヤドモータ３４．３８．４０．５０．５１
１．５２及びモータシリンダ４３のモータはこの制御装
［６８に接続されている。制御１装！ｆ６８は、指令発
信装置６０〜６４から発せられた信号を、信号線６６及
び磁気検出器６７を介して受取り、これに応答して、ギ
ヤドモータ３４．３８．４０．４３．５０及び５２を制
御する。
なお、以上の各種動作に対応して、動作停止位置を検出
するための不図示のリミットスイッチが配置され、制御
装Ｍ６８に結線されている。
するための不図示のリミットスイッチが配置され、制御
装Ｍ６８に結線されている。
次に、制御装置ｔ６８の制御手順を第５図に基づいて説
明する。なお、単結晶棒搬出装置３２は最初、コンベア
３０の上方で待機している。
明する。なお、単結晶棒搬出装置３２は最初、コンベア
３０の上方で待機している。
（１００）制御装置６８は、指令発信装置６０〜６４か
ら供給される搬出要求を待つ。
ら供給される搬出要求を待つ。
単結晶棒２２の育成が完了し、単結晶棒２２がプルチャ
ンバ２１内に収容され、メインチャンバ２０とプルチャ
ンバ２１との間のゲートが閉じられていることを確認す
ると、作業者は、密閉ドア２４を開け、指令発信装置６
ｉ（ｉ＝ｏ〜４、以下同様。）のスイッチを操作して搬
出要求を制御装置６８へ送る。制御装置６８は、この搬
出要求を受信すると、 （１０１）ギヤドモータ３４をオンにして、単結晶棒搬
出装置３２を搬出要求のあった単結晶心上げ装置１１ま
で走行させ、第６Ａ図に示す状態にする。
ンバ２１内に収容され、メインチャンバ２０とプルチャ
ンバ２１との間のゲートが閉じられていることを確認す
ると、作業者は、密閉ドア２４を開け、指令発信装置６
ｉ（ｉ＝ｏ〜４、以下同様。）のスイッチを操作して搬
出要求を制御装置６８へ送る。制御装置６８は、この搬
出要求を受信すると、 （１０１）ギヤドモータ３４をオンにして、単結晶棒搬
出装置３２を搬出要求のあった単結晶心上げ装置１１ま
で走行させ、第６Ａ図に示す状態にする。
（１０２）ギヤドモータ３８をオンにして、ロアシリン
ダ３９を下限位置まで下降させ、第６Ｂ図に示す状態に
する。この際、ピン５Ｇが庇２５の孔２６に嵌まり、ロ
アシリンダ３９が安定する。
ダ３９を下限位置まで下降させ、第６Ｂ図に示す状態に
する。この際、ピン５Ｇが庇２５の孔２６に嵌まり、ロ
アシリンダ３９が安定する。
（１０３）ギヤドモータ４０をオンにして、ロアシリン
ダ３９を単結晶引上げ装置ｌｌ側へ９０度回転させ、第
６Ｃ図に示す如く、受はフィンガー５３Ａ、５３Ｂ及び
保持フィンガー５４Ａ、５４Ｂを単結晶棒２２の方向に
向ける。
ダ３９を単結晶引上げ装置ｌｌ側へ９０度回転させ、第
６Ｃ図に示す如く、受はフィンガー５３Ａ、５３Ｂ及び
保持フィンガー５４Ａ、５４Ｂを単結晶棒２２の方向に
向ける。
（１０４）ギヤドモータ４３をオンにして、アームシリ
ンダ４１に対しアーム軸４２を突き出し、第６Ｄ図に示
す状態にする。これにより、受はフィンガ５３Ａ、５３
Ｂ及び保持フィンガー５４Ａ、５４Ｂがプルチャンバ２
１内に入り込み、これらの挟持中心線の方向が、単結晶
棒２２を吊り下げているワイヤの垂下方向に一致する。
ンダ４１に対しアーム軸４２を突き出し、第６Ｄ図に示
す状態にする。これにより、受はフィンガ５３Ａ、５３
Ｂ及び保持フィンガー５４Ａ、５４Ｂがプルチャンバ２
１内に入り込み、これらの挟持中心線の方向が、単結晶
棒２２を吊り下げているワイヤの垂下方向に一致する。
この状態で、作業者はスイッチを操作してｊｌｌ結晶棒
２２を降下させる。これにより、単結晶棒２２の下部が
受はフィンガー５３Ａと５３Ｂの間に嵌まり込んで、単
結晶棒２２が受は止められる。
２２を降下させる。これにより、単結晶棒２２の下部が
受はフィンガー５３Ａと５３Ｂの間に嵌まり込んで、単
結晶棒２２が受は止められる。
（１０５）保持フィンガー５４Ａ、５４Ｂを互いに接近
させて、単結晶棒２２の上部を挟持する。
させて、単結晶棒２２の上部を挟持する。
この状態で動作を一旦停止する。作業者は、単結晶棒２
２の上端の細い絞り部を切り離した後、指令発信装置６
１のスイッチを操作し、て、単結晶棒搬出装Ｍ３２を作
動させる。
２の上端の細い絞り部を切り離した後、指令発信装置６
１のスイッチを操作し、て、単結晶棒搬出装Ｍ３２を作
動させる。
（１０６）制御装置６８は、ギヤドモータ４３をオンに
して、アーム軸４２を引き戻し、第６Ｅ図に示す状態に
する。
して、アーム軸４２を引き戻し、第６Ｅ図に示す状態に
する。
（１０７）ギヤドモータ４０をオンにして、口γシリン
ダ３９を昇降軸３７の回りに元の方向へ９０度旋回させ
、第６Ｆ図に示す状態にする１、（１０８）ギヤドモー
タ３８をオンにして、ロアシリンダ３９を上限まで移動
させ、第６Ｇ図に示す状態にする。
ダ３９を昇降軸３７の回りに元の方向へ９０度旋回させ
、第６Ｆ図に示す状態にする１、（１０８）ギヤドモー
タ３８をオンにして、ロアシリンダ３９を上限まで移動
させ、第６Ｇ図に示す状態にする。
（１０９）ギヤドモータ３４をオンにして、単結晶棒搬
出装置３２をコンベア３０の上方まで走行させる。
出装置３２をコンベア３０の上方まで走行させる。
（１１０）ギヤドモータ３８をオンにて、ロアシリンダ
３９を下限まで下降させる。この際、ビン５６が庇２５
の孔に嵌まり、ロアシリンダ３９が安定する。
３９を下限まで下降させる。この際、ビン５６が庇２５
の孔に嵌まり、ロアシリンダ３９が安定する。
（１１１）ギヤドモータ４０をオンにして、ロアシリン
ダ３９を昇降軸３７の回りにコンベア３０の前方側へ９
０度旋回させる。
ダ３９を昇降軸３７の回りにコンベア３０の前方側へ９
０度旋回させる。
（１１２）ギヤドモータ５０をオンにして、支軸４６を
中心としチルトベースプレート４５を転倒側へ９０度回
転させ、第６Ｈ図に示す状態にする。この際、コンベア
３０は停止している。
中心としチルトベースプレート４５を転倒側へ９０度回
転させ、第６Ｈ図に示す状態にする。この際、コンベア
３０は停止している。
（１１３）受はフィンガー５３Ａ、５３Ｂ間及び５４、
保持フィンガ−５４Ｂ間を離間させて単結晶棒２２を解
放することにより、単結晶棒２２をコンベア３０上に搭
載する。
保持フィンガ−５４Ｂ間を離間させて単結晶棒２２を解
放することにより、単結晶棒２２をコンベア３０上に搭
載する。
（１１４）ギヤドモータ５０をオンにして、支軸４６を
中心としチルトベースプレート４５を起立側へ９０度回
転させる。
中心としチルトベースプレート４５を起立側へ９０度回
転させる。
（１１５）ギヤドモータ４０をオンにして、ロアシリン
ダ３９を昇降軸３７の回りに元の側へ９０度旋回させる
。
ダ３９を昇降軸３７の回りに元の側へ９０度旋回させる
。
（１１６）ギヤドモータ３８をオンにして、ロアシリン
ダ３９を上限まで上昇させ、同時に、受はフィンガー５
３Ａ、５３Ｂ間を接近させ、上記ステップ１００へ戻っ
て待機する。
ダ３９を上限まで上昇させ、同時に、受はフィンガー５
３Ａ、５３Ｂ間を接近させ、上記ステップ１００へ戻っ
て待機する。
なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。
例えば、上記実施例では単結晶育成装置が、ＣＺ法によ
る引上げ装置の場合を説明したが、本発明はＦＺ法によ
る単結晶育成装置にも適用可能である。
る引上げ装置の場合を説明したが、本発明はＦＺ法によ
る単結晶育成装置にも適用可能である。
また、案内手段としてのレール３１は、天井側に配置す
るのが最も好ましいが、床上に配置してもよい。
るのが最も好ましいが、床上に配置してもよい。
第１図乃至第６Ｈ図は本発明に係る単結晶棒搬出装置の
一実施例に係り、 第１図は単結晶棒搬出装置３２で単結晶棒２２をプルチ
ャンバ２１から取り出している状態を示す斜視図、 第２図は搬送状態の単結晶棒搬出装置３２を示す一部断
面図、 第３図はフィンガー駆動部５１Ｂの平面図、第４図は単
結晶棒搬出装置３２及びこれに関連した部分の全体構成
を示す斜視図、 第５図は単結晶棒２２の搬出手順を示すフローチャート
、 第６Ａ〜６Ｈ図は第４図に対応した動作説明図である。 図中、 １０〜１４は単結晶引上げ装置 ２０はメインチャンバ ２１はプルチャンバ ２２は単結晶棒 ３０はコンベア ３１はレール ３２は単結晶棒搬出装置 ３３は走行部 ３４．３８．４０．５０．５１２．５２はギヤドモータ ３６はアッパシリンダ ３７は昇降軸 ９はロアシリンダ １はアームシリンダ ２はアーム軸 ３はモータシリンダ ４はバックベースプレート ５はチルトベースプレート ６は支軸 ７はワイヤ ８はプーリー ９はドラム ＩＡ、５１Ｂはフィンガー駆動部 ３Ａ、５３Ｂは受はフィンガー ４Ａ、５４Ｂは保持フィンガー ０．６１は指令発信装置 ６は信号線 ７は磁気検出器 ８は制御装置 第３図 代理人 弁理士 松 本 眞 吉 第５図 ステップ１０Ｂ 第６０図 ステ１７．ブ１１２Ｌひ１１３ 第６Ｈ図 ステノフ０１ｏ３ 第６０図
一実施例に係り、 第１図は単結晶棒搬出装置３２で単結晶棒２２をプルチ
ャンバ２１から取り出している状態を示す斜視図、 第２図は搬送状態の単結晶棒搬出装置３２を示す一部断
面図、 第３図はフィンガー駆動部５１Ｂの平面図、第４図は単
結晶棒搬出装置３２及びこれに関連した部分の全体構成
を示す斜視図、 第５図は単結晶棒２２の搬出手順を示すフローチャート
、 第６Ａ〜６Ｈ図は第４図に対応した動作説明図である。 図中、 １０〜１４は単結晶引上げ装置 ２０はメインチャンバ ２１はプルチャンバ ２２は単結晶棒 ３０はコンベア ３１はレール ３２は単結晶棒搬出装置 ３３は走行部 ３４．３８．４０．５０．５１２．５２はギヤドモータ ３６はアッパシリンダ ３７は昇降軸 ９はロアシリンダ １はアームシリンダ ２はアーム軸 ３はモータシリンダ ４はバックベースプレート ５はチルトベースプレート ６は支軸 ７はワイヤ ８はプーリー ９はドラム ＩＡ、５１Ｂはフィンガー駆動部 ３Ａ、５３Ｂは受はフィンガー ４Ａ、５４Ｂは保持フィンガー ０．６１は指令発信装置 ６は信号線 ７は磁気検出器 ８は制御装置 第３図 代理人 弁理士 松 本 眞 吉 第５図 ステップ１０Ｂ 第６０図 ステ１７．ブ１１２Ｌひ１１３ 第６Ｈ図 ステノフ０１ｏ３ 第６０図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）、並置された複数の単結晶育成装置（１０〜１４）
で育成された単結晶棒（２２）を、該単結晶育成装置か
ら取り出し案内手段（３１）に沿って搬送する単結晶棒
搬出装置（３２）であって、 該案内手段に沿って走行する走行部（３３、３４）と、 一端部が該走行部に固定された体部（３５〜４０）と、 該単結晶棒を挟持／解放するハンド部（５１Ａ〜５４Ｂ
）と、 該ハンド部を支持する可動ベース部（４４〜５０）と、 該体部に一端部が取り付けられ、該可動ベース部に他端
部が取り付けられ、該体部と該可動ベースとの間隔を可
変自在な伸縮部（４１〜４３）と、を有することを特徴
とする単結晶棒搬出装置。 ２）、前記体部は、 前記走行部に固定された基部（３５〜３８）と、該基部
に対し、垂直軸の回りに旋回自在な旋回部（３９、４０
）とを有し、 前記伸縮部の前記一端部は該旋回部に取り付けられてい
ることを特徴とする単結晶棒搬出装置。 ３）、前記可動ベースは、 前記伸縮部の前記他端部に固定されたバックベース（４
４）と、 前記ハンド部が取り付けられ、該バックベースに対し、
下端側の水平軸の回りに旋回自在に取り付けられたチル
トベース（４５）と、 を有することを特徴とする請求項１又は２記載の装置。 ４）、前記案内手段は、工場内の天井側に配置されたレ
ール（３１）であることを特徴とする請求項１乃至３の
いずれかに記載の装置。 ５）、前記体部は、前記基部に対し前記旋回部が垂直方
向に移動自在であることを特徴とする請求項４記載の装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2138902A JP2605164B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 単結晶棒搬出装置及びその搬送方法 |
| US07/705,436 US5176490A (en) | 1990-05-28 | 1991-05-24 | Monocrystal rod conveying apparatus |
| EP91108514A EP0460477B1 (en) | 1990-05-28 | 1991-05-25 | Monocrystal rod conveying apparatus |
| DE69103679T DE69103679T2 (de) | 1990-05-28 | 1991-05-25 | Vorrichtung zum Transport von Einkristallstäben. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2138902A JP2605164B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 単結晶棒搬出装置及びその搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0431400A true JPH0431400A (ja) | 1992-02-03 |
| JP2605164B2 JP2605164B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=15232801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2138902A Expired - Lifetime JP2605164B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 単結晶棒搬出装置及びその搬送方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5176490A (ja) |
| EP (1) | EP0460477B1 (ja) |
| JP (1) | JP2605164B2 (ja) |
| DE (1) | DE69103679T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010132508A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Daifuku Co Ltd | 単結晶棒育成設備 |
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| DE19538857A1 (de) * | 1995-10-19 | 1997-04-24 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen aus einer in einem Tiegel befindlichen Schmelze |
| DE19613282A1 (de) * | 1996-04-03 | 1997-10-09 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen |
| KR970073915A (ko) * | 1996-05-28 | 1997-12-10 | 페. 좀머캄프, 하. 하게도른 | 크리스탈 클램프 |
| DE19709212A1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-09-10 | Leybold Ag | Vorrichtung zur Handhabung schwerer Bauteile einer in einem Traggestell abgestützten Kristallziehmaschine nach dem Czochralski-Verfahren |
| JPH11129184A (ja) | 1997-09-01 | 1999-05-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板搬入搬出装置 |
| EP1331929A1 (en) * | 2000-11-06 | 2003-08-06 | Samyang Corporation | Transdermal drug delivery system with improved water absorbability and adhesion properties |
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| JPS5142567B2 (ja) * | 1971-05-15 | 1976-11-16 | ||
| US4005782A (en) * | 1974-03-04 | 1977-02-01 | Engineered Metal Products Company, Inc. | Picker |
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| GB2198413B (en) * | 1986-11-20 | 1990-01-17 | Shimizu Construction Co Ltd | Transporting robot for semiconductor wafers |
| SU1491698A1 (ru) * | 1987-11-24 | 1989-07-07 | Всесоюзный заочный машиностроительный институт | Уравновешенный манипул тор |
| SU1495125A1 (ru) * | 1987-12-16 | 1989-07-23 | Фрунзенский политехнический институт | Рука манипул тора |
| JP2683675B2 (ja) * | 1989-01-26 | 1997-12-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP2138902A patent/JP2605164B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-05-24 US US07/705,436 patent/US5176490A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-05-25 EP EP91108514A patent/EP0460477B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-05-25 DE DE69103679T patent/DE69103679T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63319287A (ja) * | 1987-06-23 | 1988-12-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 単結晶引上装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010132508A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Daifuku Co Ltd | 単結晶棒育成設備 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0460477B1 (en) | 1994-08-31 |
| DE69103679D1 (de) | 1994-10-06 |
| JP2605164B2 (ja) | 1997-04-30 |
| DE69103679T2 (de) | 1995-01-19 |
| US5176490A (en) | 1993-01-05 |
| EP0460477A1 (en) | 1991-12-11 |
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