JPH10259087A - 単結晶を引き上げる装置のための昇降装置 - Google Patents
単結晶を引き上げる装置のための昇降装置Info
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- JPH10259087A JPH10259087A JP10060930A JP6093098A JPH10259087A JP H10259087 A JPH10259087 A JP H10259087A JP 10060930 A JP10060930 A JP 10060930A JP 6093098 A JP6093098 A JP 6093098A JP H10259087 A JPH10259087 A JP H10259087A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
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- Y10S117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
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- Y10T117/10—Apparatus
- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
- Y10T117/1032—Seed pulling
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- Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
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- Y10T117/1072—Seed pulling including details of means providing product movement [e.g., shaft guides, servo means]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 単結晶引き上げ装置のための昇降装置を改良
して、結晶が確実にしかも衝撃なしで、ロック室内で成
長することができ、完成された結晶を取り出し可能なも
のを提供する。 【解決手段】 単結晶2を取り囲む、2つの軸受20,
21を備えたフレーム4と、前記軸受に保持された2腕
状のグリッパ7,8とを有し、グリッパアームの長さ
f,f′は、閉鎖位置で互いに向き合う端面9,10が
互いに当接するように設計されており、グリッパの各自
由端部7″,8″が、ほぼ鉛直方向に延びる連結ロッド
11,12にヒンジ結合され、連結ロッドの各上端部
が、水平なクロスバー13を介して互いに旋回可能に接
続され、スピンドルナット17を備えたクロスバーが、
ねじ山付きスピンドル14を介して引き上げ軸3に沿っ
て調節可能で、フレームが、ロック室26の蓋27上で
保持されている引っ張りワイヤ15,16に吊り下げら
れている。
して、結晶が確実にしかも衝撃なしで、ロック室内で成
長することができ、完成された結晶を取り出し可能なも
のを提供する。 【解決手段】 単結晶2を取り囲む、2つの軸受20,
21を備えたフレーム4と、前記軸受に保持された2腕
状のグリッパ7,8とを有し、グリッパアームの長さ
f,f′は、閉鎖位置で互いに向き合う端面9,10が
互いに当接するように設計されており、グリッパの各自
由端部7″,8″が、ほぼ鉛直方向に延びる連結ロッド
11,12にヒンジ結合され、連結ロッドの各上端部
が、水平なクロスバー13を介して互いに旋回可能に接
続され、スピンドルナット17を備えたクロスバーが、
ねじ山付きスピンドル14を介して引き上げ軸3に沿っ
て調節可能で、フレームが、ロック室26の蓋27上で
保持されている引っ張りワイヤ15,16に吊り下げら
れている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】るつぼ内に存在する溶融物か
ら、低い圧力の保護ガス又は真空下で、単結晶を引き上
げる装置のための昇降装置であって、るつぼが、ベース
フレームに支持された真空室内に配置されていて、加熱
部材の熱放射によって加熱され、引き上げ軸が溶融物上
に設けられていて、この引き上げ軸によって、単結晶が
溶融物表面から上方に、ベースフレームに対して相対的
に走行可能なロック室へ引き上げ可能であって、昇降装
置が、ロック室のケーシングと、ベースフレームで支え
られた上部フレーム又は引き上げ軸とによって保持され
ている形式のものに関する。
ら、低い圧力の保護ガス又は真空下で、単結晶を引き上
げる装置のための昇降装置であって、るつぼが、ベース
フレームに支持された真空室内に配置されていて、加熱
部材の熱放射によって加熱され、引き上げ軸が溶融物上
に設けられていて、この引き上げ軸によって、単結晶が
溶融物表面から上方に、ベースフレームに対して相対的
に走行可能なロック室へ引き上げ可能であって、昇降装
置が、ロック室のケーシングと、ベースフレームで支え
られた上部フレーム又は引き上げ軸とによって保持され
ている形式のものに関する。
【0002】
【従来の技術】一般的には、ロック室内で種子結晶に吊
り下がっている結晶は、特別の操作システムによって、
ロック室に設けられた側方の開口部を通じて捕まえられ
て、種子結晶から分離され、次いで操作システムによっ
て、フラップによって閉鎖可能な開口部から側方にロッ
ク室から取り出されるようにようになっている。
り下がっている結晶は、特別の操作システムによって、
ロック室に設けられた側方の開口部を通じて捕まえられ
て、種子結晶から分離され、次いで操作システムによっ
て、フラップによって閉鎖可能な開口部から側方にロッ
ク室から取り出されるようにようになっている。
【0003】このような公知の方法は、結晶が衝撃及び
振動に対して特に敏感であることにすべて起因する一連
の欠点を有している。さらにまた、結晶は、ロック室内
に吊り下げられていて自由にアクセス(接近)可能では
ないので、操作システムによって正しく掴むことができ
ない、という危険性がある。
振動に対して特に敏感であることにすべて起因する一連
の欠点を有している。さらにまた、結晶は、ロック室内
に吊り下げられていて自由にアクセス(接近)可能では
ないので、操作システムによって正しく掴むことができ
ない、という危険性がある。
【0004】また、引き上げプロセス後及びロック室の
換気後に、ロック室を重くてかさばる引き上げ軸及び、
装置のフレームに設けられた軸駆動装置と一緒に旋回さ
せ、これによって結晶を、ロック室の下に走行せしめら
れた搬送台車上に下降させるか若しくはこの搬送台車に
よって引き取ることができるようになっている装置も公
知である。しかしながら、このような形式の装置は、引
き上げ装置が大きくて個別部分が重いことによって、引
き上げプロセスのために必要な、個別部分の互いの整列
が継続運転中に保証され得ないという決定的な欠点を有
している。特に、経験によれば、高精度で壊れやすい引
き上げ軸をその駆動装置と共に、溶融物の上側の作業位
置に常に再び正確な角度で誘導することは殆ど不可能で
ある。
換気後に、ロック室を重くてかさばる引き上げ軸及び、
装置のフレームに設けられた軸駆動装置と一緒に旋回さ
せ、これによって結晶を、ロック室の下に走行せしめら
れた搬送台車上に下降させるか若しくはこの搬送台車に
よって引き取ることができるようになっている装置も公
知である。しかしながら、このような形式の装置は、引
き上げ装置が大きくて個別部分が重いことによって、引
き上げプロセスのために必要な、個別部分の互いの整列
が継続運転中に保証され得ないという決定的な欠点を有
している。特に、経験によれば、高精度で壊れやすい引
き上げ軸をその駆動装置と共に、溶融物の上側の作業位
置に常に再び正確な角度で誘導することは殆ど不可能で
ある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題
は、冒頭に述べた形式の装置を改良して、結晶が確実に
しかも衝撃なしで、ロック室内で成長することができ、
完成された結晶を取り出し可能及び搬送可能であって、
しかも、結晶の取り出し及び搬送作業は、装置の壊れや
すい部分をその作業位置から遠ざけるか又はロック室を
組立直す必要なしに行うことができるものを提供するこ
とである。
は、冒頭に述べた形式の装置を改良して、結晶が確実に
しかも衝撃なしで、ロック室内で成長することができ、
完成された結晶を取り出し可能及び搬送可能であって、
しかも、結晶の取り出し及び搬送作業は、装置の壊れや
すい部分をその作業位置から遠ざけるか又はロック室を
組立直す必要なしに行うことができるものを提供するこ
とである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明によれば、引き上げ軸及び/又は単結晶を取り囲む、
水平面に延びる、少なくとも2つの軸受を備えたフレー
ムと、前記軸受に保持された、鉛直平面で旋回可能な2
腕状のグリッパとが設けられており、それぞれ1つのグ
リッパアームが、フレームの回転軸線に整列されてお
り、グリッパアームの長さは、閉鎖位置においてグリッ
パアームの互いに向き合う端面が互いにしっかりと当接
し合ってさらなる旋回運動を阻止するような寸法に設計
されており、2腕状のグリッパの自由端部がそれぞれ、
ほぼ鉛直方向に延びる連結ロッドにヒンジ接続されてい
て、これらの連結ロッドのそれぞれ上端部が、水平方向
に延びるクロスバーを介して旋回可能に互いにヒンジ結
合(若しくは枢着されており、スピンドルナットを備え
たクロスバーが、ねじ山付きスピンドルを介して引き上
げ軸に沿って調節可能であって、フレームが引っ張りワ
イヤに吊り下げられており、これらの引っ張りワイヤ
が、ロック室の蓋上で保持されているか又は、ロック室
の上側のベースフレームで保持されている。
明によれば、引き上げ軸及び/又は単結晶を取り囲む、
水平面に延びる、少なくとも2つの軸受を備えたフレー
ムと、前記軸受に保持された、鉛直平面で旋回可能な2
腕状のグリッパとが設けられており、それぞれ1つのグ
リッパアームが、フレームの回転軸線に整列されてお
り、グリッパアームの長さは、閉鎖位置においてグリッ
パアームの互いに向き合う端面が互いにしっかりと当接
し合ってさらなる旋回運動を阻止するような寸法に設計
されており、2腕状のグリッパの自由端部がそれぞれ、
ほぼ鉛直方向に延びる連結ロッドにヒンジ接続されてい
て、これらの連結ロッドのそれぞれ上端部が、水平方向
に延びるクロスバーを介して旋回可能に互いにヒンジ結
合(若しくは枢着されており、スピンドルナットを備え
たクロスバーが、ねじ山付きスピンドルを介して引き上
げ軸に沿って調節可能であって、フレームが引っ張りワ
イヤに吊り下げられており、これらの引っ張りワイヤ
が、ロック室の蓋上で保持されているか又は、ロック室
の上側のベースフレームで保持されている。
【0007】本発明のその他の詳細及び特徴は、請求項
2以下に記載されている。
2以下に記載されている。
【0008】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に示した実施例について詳しく説明する。
に示した実施例について詳しく説明する。
【0009】図面に本発明の種々異なる実施例が概略的
に示されている。
に示されている。
【0010】図3に示されているように、引き上げ装置
は、4つの脚を有するベースフレーム22(このベース
フレーム22に上部フレームとしてのベースフレーム2
3が載せられている)と、このベースフレーム22上に
載せられた、蓋31を有する真空室24(この真空室内
に加熱装置を有するるつぼが配置されている)と、下方
から真空室24内に突入するるつぼ支持ピン25と、蓋
27を備えたロック室26と、上方からロック室26内
に侵入する引き上げ軸3とから成っており、この引き上
げ軸3は、駆動スピンドル28と、ロック室26内に侵
入するための、旋回軸受30を備えた旋回アーム29と
を有している。
は、4つの脚を有するベースフレーム22(このベース
フレーム22に上部フレームとしてのベースフレーム2
3が載せられている)と、このベースフレーム22上に
載せられた、蓋31を有する真空室24(この真空室内
に加熱装置を有するるつぼが配置されている)と、下方
から真空室24内に突入するるつぼ支持ピン25と、蓋
27を備えたロック室26と、上方からロック室26内
に侵入する引き上げ軸3とから成っており、この引き上
げ軸3は、駆動スピンドル28と、ロック室26内に侵
入するための、旋回軸受30を備えた旋回アーム29と
を有している。
【0011】溶融物からロック室26内に引き上げられ
る、完成した単結晶2は、その重い重量が、非常に薄い
種子結晶33にぶら下がっており、この場合、種子結晶
は、わずかな振動で壊れる危険性があるので、完成した
単結晶2は、下方の真空室24内に落下し、これによっ
て単結晶が自然に破壊され、長時間に亘って装置が使用
不能となる恐れがある。完成した単結晶2がこのように
落下するのを避けるために、ロック室26内には図1及
び図2に示した、単結晶2を保持、昇降及びガイドする
ための装置が存在している。この装置は、主に、種子結
晶33又は引き上げ軸3を取り囲むフレーム4(蓋27
内に形成された開口を通って貫通案内され、モータを備
えた滑車装置32によって巻き上げ可能である引っ張り
ワイヤ15,16のための軸受5,6を備えている)
と、スピンドルナット17を備えたクロスバー13を有
する、引き上げ軸3を取り囲むスピンドル14と、クロ
スバー13の両端部にヒンジ結合された、同じ長さの2
つの連結ロッド11,12と、前記フレーム4に堅固に
結合された突起18,19とから成っている。これらの
突起18,19は、2腕状のグリッパ7,8のための軸
受20,21を備えていて、前記グリッパ7,8の互い
に反対側の端部7″,8″は、連結ロッド11,12に
ヒンジ結合つまり旋回可能に結合されている。
る、完成した単結晶2は、その重い重量が、非常に薄い
種子結晶33にぶら下がっており、この場合、種子結晶
は、わずかな振動で壊れる危険性があるので、完成した
単結晶2は、下方の真空室24内に落下し、これによっ
て単結晶が自然に破壊され、長時間に亘って装置が使用
不能となる恐れがある。完成した単結晶2がこのように
落下するのを避けるために、ロック室26内には図1及
び図2に示した、単結晶2を保持、昇降及びガイドする
ための装置が存在している。この装置は、主に、種子結
晶33又は引き上げ軸3を取り囲むフレーム4(蓋27
内に形成された開口を通って貫通案内され、モータを備
えた滑車装置32によって巻き上げ可能である引っ張り
ワイヤ15,16のための軸受5,6を備えている)
と、スピンドルナット17を備えたクロスバー13を有
する、引き上げ軸3を取り囲むスピンドル14と、クロ
スバー13の両端部にヒンジ結合された、同じ長さの2
つの連結ロッド11,12と、前記フレーム4に堅固に
結合された突起18,19とから成っている。これらの
突起18,19は、2腕状のグリッパ7,8のための軸
受20,21を備えていて、前記グリッパ7,8の互い
に反対側の端部7″,8″は、連結ロッド11,12に
ヒンジ結合つまり旋回可能に結合されている。
【0012】種子結晶33のための引き上げ軸3の緊定
ナット34と単結晶2との間には、肉厚部35が配置さ
れており、この肉厚部35は、2つのグリッパ7,8若
しくはそのグリッパアーム7′,8′によって閉鎖位置
で取り囲まれていて、このために、グリッパアーム
7′,8′の端面9,10は、互いに向き合って位置し
ていて、これによってグリッパ7,8が矢印方向Aで下
方に向かってさらに旋回せしめられることは、避けられ
る。2つのグリッパアーム7′,8′の端面9,10
は、切欠36,37を備えており、これらの切欠36,
37は、これらの切欠が2つで、円錐形又はロート状の
貫通路を形成するように形成されている。この貫通路
は、肉厚部35を取り囲み、掴み、保持するので、ロッ
ク室26内に引き上げられる結晶2の重い重量は、切欠
36,37を介してグリッパ7,8に伝達され、このグ
リッパ7,8から連結ロッド11,12及びクロスバー
13を介して引き上げナット若しくは(セルフロッキン
グ式のねじ山を備えている)、引き上げ軸3のスピンド
ル14に伝達される。引き上げ軸3は荷重に耐え得るよ
うになっている。何故ならばクロスバー13はスピンド
ル14を介して引き上げ軸3に連結されているからであ
る。この際に、種子結晶33が肉厚部35の上側で破壊
されるか又は切断された時に、完成された単結晶2をロ
ック室6から取り出すことができるようにするために、
単結晶2が下方に真空室24内に落下することが確実に
避けられるようになっている。
ナット34と単結晶2との間には、肉厚部35が配置さ
れており、この肉厚部35は、2つのグリッパ7,8若
しくはそのグリッパアーム7′,8′によって閉鎖位置
で取り囲まれていて、このために、グリッパアーム
7′,8′の端面9,10は、互いに向き合って位置し
ていて、これによってグリッパ7,8が矢印方向Aで下
方に向かってさらに旋回せしめられることは、避けられ
る。2つのグリッパアーム7′,8′の端面9,10
は、切欠36,37を備えており、これらの切欠36,
37は、これらの切欠が2つで、円錐形又はロート状の
貫通路を形成するように形成されている。この貫通路
は、肉厚部35を取り囲み、掴み、保持するので、ロッ
ク室26内に引き上げられる結晶2の重い重量は、切欠
36,37を介してグリッパ7,8に伝達され、このグ
リッパ7,8から連結ロッド11,12及びクロスバー
13を介して引き上げナット若しくは(セルフロッキン
グ式のねじ山を備えている)、引き上げ軸3のスピンド
ル14に伝達される。引き上げ軸3は荷重に耐え得るよ
うになっている。何故ならばクロスバー13はスピンド
ル14を介して引き上げ軸3に連結されているからであ
る。この際に、種子結晶33が肉厚部35の上側で破壊
されるか又は切断された時に、完成された単結晶2をロ
ック室6から取り出すことができるようにするために、
単結晶2が下方に真空室24内に落下することが確実に
避けられるようになっている。
【0013】グリッパ7,8のアーム7′,8′の長さ
f,f′は、各端面9若しくは10の、回転軸20若し
くは21からの間隔が、間隔a若しくはa′よりも大き
くなるように設計されている。寸法cは、閉鎖位置(第
2図参照)において寸法c′に相当する。グリッパ7,
8を開放するために、引っ張りワイヤ15,16は、滑
車装置32によって、矢印方向Bで上方に向かって引っ
張られ、この場合、グリッパ7,8は、矢印方向Aで、
間隔bで配置された軸受ピン20,21を中心にして旋
回せしめられる。単結晶2に対する鉛直方向での昇降装
置全体の調節は、スピンドル14をクロスバー13に対
して回転させることによって行われる。
f,f′は、各端面9若しくは10の、回転軸20若し
くは21からの間隔が、間隔a若しくはa′よりも大き
くなるように設計されている。寸法cは、閉鎖位置(第
2図参照)において寸法c′に相当する。グリッパ7,
8を開放するために、引っ張りワイヤ15,16は、滑
車装置32によって、矢印方向Bで上方に向かって引っ
張られ、この場合、グリッパ7,8は、矢印方向Aで、
間隔bで配置された軸受ピン20,21を中心にして旋
回せしめられる。単結晶2に対する鉛直方向での昇降装
置全体の調節は、スピンドル14をクロスバー13に対
して回転させることによって行われる。
【0014】グリッパ7,8が、図2に示した位置にあ
って、結晶の肉厚部35が切欠36,37内に位置する
と、引っ張りワイヤ15,16は完全に負荷軽減され、
無力で垂れ下がっている。
って、結晶の肉厚部35が切欠36,37内に位置する
と、引っ張りワイヤ15,16は完全に負荷軽減され、
無力で垂れ下がっている。
【図1】2つのグリッパアームが開放位置にある場合
の、昇降装置の斜視図である。
の、昇降装置の斜視図である。
【図2】図1に示した昇降装置で、グリッパアームが閉
鎖位置にある状態の斜視図である。
鎖位置にある状態の斜視図である。
【図3】単結晶を引き上げるための装置の概略的な斜視
図である。
図である。
2 単結晶、 3 引き上げ軸、 4 フレーム、
5,6 軸受、 7,82腕状のグリッパ、 9,10
端面、 11,12 連結ロッド、 13クロスバ
ー、 14 スピンドル、 15,16 引っ張りワイ
ヤ、 17 スピンドルナット、 18,19 突起、
20,21 軸受、軸受ピン、 22,23 ベース
フレーム、 24 真空室、 25 るつぼ支持ピン、
26ロック室、 27 蓋、 28 駆動スピンド
ル、 29 旋回アーム、 30旋回軸受、 31 真
空室の蓋、 32 モータを備えた滑車装置、 33種
子結晶、 34 緊定ナット、 35 肉厚部、 3
6、37 切欠
5,6 軸受、 7,82腕状のグリッパ、 9,10
端面、 11,12 連結ロッド、 13クロスバ
ー、 14 スピンドル、 15,16 引っ張りワイ
ヤ、 17 スピンドルナット、 18,19 突起、
20,21 軸受、軸受ピン、 22,23 ベース
フレーム、 24 真空室、 25 るつぼ支持ピン、
26ロック室、 27 蓋、 28 駆動スピンド
ル、 29 旋回アーム、 30旋回軸受、 31 真
空室の蓋、 32 モータを備えた滑車装置、 33種
子結晶、 34 緊定ナット、 35 肉厚部、 3
6、37 切欠
Claims (4)
- 【請求項1】 るつぼ内に存在する溶融物から、低い圧
力の保護ガス又は真空下で、単結晶(2)を引き上げる
装置のための昇降装置であって、るつぼが、ベースフレ
ーム(22)に支持された真空室(24)内に配置され
ていて、加熱部材の熱放射によって加熱され、引き上げ
軸(3)が溶融物上に設けられていて、この引き上げ軸
(3)によって、単結晶(2)が溶融物表面から上方
に、ベースフレーム(22)に対して相対的に走行可能
なロック室(26)へ引き上げ可能であって、昇降装置
が、ロック室(26)のケーシングと、ベースフレーム
(24)で支えられた上部フレーム(23)又は引き上
げ軸(3)とによって保持されている形式のものにおい
て、 引き上げ軸(3)及び/又は単結晶(2)を取り囲む、
水平面に延びる少なくとも2つの軸受(20,21)を
備えたフレーム(4)と、前記軸受に保持された、鉛直
平面で旋回可能な2腕状のグリッパ(7,8)とが設け
られており、それぞれ1つのグリッパアーム(7′,
8′)が、フレーム(4)の回転軸線(R)に整列され
ており、グリッパアームの長さ(f,f′)は、閉鎖位
置においてグリッパアーム(7′,8′)の互いに向き
合う端面(9,10)が互いにしっかりと当接し合って
さらなる旋回運動(A)を阻止するように設計されてお
り、2腕状のグリッパ(7,8)の自由端部(7″,
8″)がそれぞれ、ほぼ鉛直方向に延びる連結ロッド
(11,12)にヒンジ接続されていて、これらの連結
ロッド(11,12)のそれぞれ上端部が、水平方向に
延びるクロスバー(13)を介して旋回可能に互いにヒ
ンジ結合されており、スピンドルナット(17)を備え
たクロスバー(13)が、ねじ山付きスピンドル(1
4)を介して引き上げ軸(3)に沿って調節可能であっ
て、フレーム(4)が引っ張りワイヤ(15,16)に
吊り下げられており、これらの引っ張りワイヤ(15,
16)が、ロック室(26)の蓋(27)上で保持され
ているか又は、ロック室(26)の上側のベースフレー
ム(22若しくは23)で保持されていることを特徴と
する、単結晶を引き上げる装置のための昇降装置。 - 【請求項2】 フレーム(4)にヒンジ接続されたグリ
ッパ(7,8)の、回転軸線(R)に整列されたアーム
(7′,8′)がそれぞれ、2つの軸受ピン(20,2
1)の互いの間隔(b)の半分よりもやや大きい長さ
(f,f′)を有している、請求項1記載の昇降装置。 - 【請求項3】 互いに向き合う端面(9,10)が、鉛
直方向に延びる、楔状又は半円状に形成された切欠(3
6,37)を備えている、請求項2記載の昇降装置。 - 【請求項4】 水平方向に延びるクロスバー(13)の
スピンドルナット(17)が、引っ張り軸(3)に被せ
嵌められたスピンドル(14)にねじ被せられ、スピン
ドル(14)が引っ張り軸(3)に対して相対的に回転
可能であって、かつ、この引っ張り軸(3)に対して相
対回動不能に結合可能である、請求項1から3までのい
ずれか1項記載の昇降装置。
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