CN216663299U - 一种单晶炉晶晃夹持装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及单晶炉设备领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃夹持装置，包括座体；夹持机构，夹持机构位于座体上，并作用于钢丝绳，夹持机构包括：第一杆，第一杆滑移连接于座体；夹持组件，夹持组件用于夹持钢丝绳，夹持组件设置于第一杆远离座体的一端；第二杆，第二杆滑移连接于第一杆，且第二杆与第一杆平行设置，第二杆作用于夹持组件，用于触发夹持组件的张开或闭合。夹持组件被第二杆触发闭合，将拉晶的钢丝绳夹持住，一方面，减小钢丝绳在旋转过程中的晃动，从而减小晶体晃动，减小晶体由于晃动而坠落的可能。

Description

一种单晶炉晶晃夹持装置

技术领域

本申请涉及单晶炉设备领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃夹持装置。

背景技术

硅单晶的主要制作方法为直拉法，直拉硅单晶的方法是用一块具有所需晶向的单晶硅作为籽晶，使硅熔体中的硅在籽晶上进行生长。硅单晶是在直拉单晶炉中形成的，主要通过化料、引晶、放肩、等径、收尾和冷却等工艺形成硅单晶。在形成过程中，埚转(坩埚转速)、晶转(硅晶体转速)、生长速度及温度补偿等工艺参数都是影响硅单晶品质的重要因素。

现有技术中，通常利用钢丝绳悬吊籽晶在熔融的液态硅中拉制出晶棒，由于晶体在旋转过程中存在一定程度的晃动，随着单晶炉中对晶体的转速提高，会增大晶体在拉制过程中坠落的可能，进而造成设备损坏甚至人员伤亡。

因此，现有技术的技术问题在于：晶体在拉制过程中容易坠落。

实用新型内容

本申请提供一种单晶炉晶晃夹持装置，解决了现有技术中晶体在拉制过程中容易坠落的技术问题；达到减小晶体由于晃动而发生坠落的可能的技术效果。

本申请提供的一种单晶炉晶晃夹持装置，采用如下的技术方案：

一种单晶炉晶晃夹持装置，包括：座体；夹持机构，所述夹持机构位于所述座体上，并作用于钢丝绳，所述夹持机构包括：第一杆，所述第一杆滑移连接于所述座体；夹持组件，所述夹持组件用于夹持钢丝绳，所述夹持组件设置于所述第一杆远离座体的一端；第二杆，所述第二杆滑移连接于第一杆，且所述第二杆与所述第一杆平行设置，所述第二杆作用于所述夹持组件，用于触发所述夹持组件的张开或闭合；以及连接组件，所述连接组件设置于所述第一杆与所述第二杆之间，所述连接组件包括：第一板，所述第一板连接于所述第一杆；第二板，所述第二板连接于所述第二杆，所述第二板、所述夹持组件位于所述第一板的两侧；以及弹性件，所述弹性件位于所述第一板与所述第二板之间，且分别与所述第一板、第二板接触。

作为优选，还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第一杆和所述第二杆相对于所述座体移动，所述驱动机构包括：滑轨，所述滑轨固定于所述座体上，所述滑轨方向与所述第一杆平行；滑移座，所述滑移座滑移连接于所述滑轨，且所述滑移座与所述第二板固定连接；以及驱动件，所述驱动件固定于所述座体，所述驱动件作用于所述滑移座，用于驱动所述滑移座在所述滑轨上滑移。

作为优选，所述夹持组件包括：夹持件，所述夹持件具有两个，两个所述夹持件铰接于所述第一杆远离所述座体的一端上，两个所述夹持件之间形成夹持空间；每个所述夹持件上具有驱动部，通过驱动所述驱动部，使得所述夹持组件张开或闭合。

作为优选，所述第一杆呈中空，所述第二板设置于所述第一杆内部，所述第二杆远离所述座体的一端连接并作用于所述驱动部。

作为优选，所述第一板固定连接于所述第一杆靠近所述座体的一端上，所述第二板固定连接于所述第二杆靠近所述座体的一端上。

作为优选，所述连接组件还包括：导向杆，所述导向杆设置于所述第一板与所述第二板之间，所述导向杆平行于所述第一杆布置，所述导向杆的第一端固定于所述第一板，所述导向杆的第二端活动连接于所述第二板，所述弹性件套设于所述导向杆外，且所述弹性件的两端分别抵触于所述第一板和所述第二板。

作为优选，所述连接组件还包括：导向杆，所述导向杆设置于所述第一板与所述第二板之间，所述导向杆平行于所述第一杆布置，所述导向杆的第一端固定于所述第二板，所述导向杆的第二端活动连接于所述第一板，所述弹性件套设于所述导向杆外，且所述弹性件的两端分别抵触于所述第一板和所述第二板。

作为优选，还包括限位组件，所述限位组件包括：限位杆，所述限位杆位于所述第一板与座体之间，所述限位杆固定于所述座体，所述限位杆上具有抵触端，所述抵触端可以与所述第一板相抵触。

作为优选，还包括限位组件，所述限位组件包括：限位杆，所述限位杆位于所述第一板与座体之间，所述限位杆固定于所述第一板，所述限位杆上具有抵触端，所述抵触端可以与所述座体相抵触。

作为优选，所述限位组件还包括：调节件，所述调节件可调式的连接于所述抵触端。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1、本申请通过外力驱动第二板，第二板带动第一板、第一杆以及第二杆移动，在第一板与座体抵触后，第二板可在外力作用下继续推动第二杆移动，夹持组件被第二杆触发闭合，将拉晶的钢丝绳夹持住，一方面，减小钢丝绳在旋转过程中的晃动，从而减小晶体晃动，减小晶体由于晃动而坠落的可能，另一方面，通过外力驱动第二杆而触发夹持组件闭合或张开，方便控制夹持组件的控制，解决了现有技术中晶体在拉制过程中容易坠落的技术问题；达到减小晶体由于晃动而发生坠落的可能的技术效果。

2、第二杆设置于第一杆的内部，减小装置整体的空间占用，同时起到对第二杆的保护作用，减小第二杆的磨损，减小第二杆触发夹持组件闭合或张开的灵敏度下降的可能。

3、限位杆限定夹持组件相对于座体伸出的最远距离，方便控制夹持组件与钢丝绳之间的相对位置，适应于不同规格大小的单晶炉；同时，在限位杆上设置了可调的调节件，进一步提高夹持组件位置的精度，提高夹持组件与钢丝绳位于呈同心设置，从而减小钢丝绳和晶体的晃动幅度。

附图说明

图1是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的立体示意图；

图2是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的俯视图；

图3是图2的剖视图；

图4是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的夹持件示意图；

图5是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的夹持件第一种状态示意图；

图6是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的夹持件第二种状态示意图；

图7是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的连接组件示意图；

图8是本申请所述单晶炉晶晃夹持装置的驱动机构示意图。

附图标记说明：100、座体；101、侧板；102、底板；200、夹持机构；201、第一杆；202、第二杆；203、夹持组件；2031、夹持件；2032、夹持部；2033、驱动部；2034、铰接轴；2035、夹持空间；2036、固定杆；2037、活动杆；2038、开槽；204、连接组件；2041、第一板；2042、第二板；2043、弹性件；2044、导向杆；300、驱动机构；301、滑轨；302、滑移座；303、丝杆；304、电机；400、限位机构；401、限位杆；402、调节件；500、检测机构；501、第一传感器；502、第二传感器。

具体实施方式

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本申请实施例提供了一种单晶炉晶晃夹持装置，通过外力驱动第二杆而触发夹持组件闭合或张开来夹持钢丝绳，解决了现有技术中晶体在拉制过程中容易坠落的技术问题；达到减小晶体由于晃动而发生坠落的可能的技术效果。

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

一种单晶炉晶晃夹持装置，应用于单晶炉设备中，在拉晶过程中，单晶炉顶部的提升机构通过一钢丝绳牵引晶体，同时钢丝绳和晶体在旋转机构的作用下发生旋转，从而拉制出晶棒，本申请中的晶晃夹持装置用于固定于单晶炉外部，并作用于钢丝绳，以减小钢丝绳晃动幅度。如图1所示，一种单晶炉晶晃夹持装置包括座体100、夹持机构200、驱动机构300、限位机构400以及检测机构500，座体100用于固定于单晶炉外部，座体100包括呈水平布置的底板102和竖直布置的侧板101，底板102和侧板101之间相互垂直固定连接，在底板102和侧板101之间设置有两个三角的加强板，其中底板102呈水平布置，固定于单晶炉的顶部侧边。

夹持机构200设置于座体100上，夹持机构200作用于钢丝绳，如图2、3所示，夹持机构200包括第一杆201、夹持组件203、第二杆202以及连接组件204。具体的，第一杆201通过导向件滑移连接于侧板101上，且第一杆201与侧板101垂直，导向件可以采用直线轴承，使得第一杆201可在垂直于侧板101的方向上滑移，第一杆201内设置有圆柱形的腔体，腔体的轴线与第一杆201的轴线相重合，腔体贯穿于整个第一杆201。

夹持组件203用于夹持钢丝绳，如图4-6所示，夹持组件203设置于第一杆201上远离侧板101的一端上，即夹持组件203相对于底板102位于侧板101的另一侧，夹持组件203包括夹持件2031，夹持件2031数量为两个，每个夹持件2031包括夹持部2032和驱动部2033，两个夹持件2031上的夹持部2032通过同一铰接轴2034铰接于第一杆201上，每个夹持部2032上相对的面上开设有缺口，使得在两个夹持部2032之间形成夹持空间2035；驱动部2033位于夹持部2032靠近侧板101的一端上，其中驱动部2033与夹持部2032垂直设置，使得驱动部2033与夹持部2032形成以铰接轴2034为支点的杠杆。如图6所示，外力作用于每个夹持件2031的驱动部2033，实现两个夹持部2032张开或闭合，以实现对钢丝绳的夹持控制。

如图4-6所示，第二杆202插设于第一杆201内部，使得第二杆202可相对于第一杆201在腔体中沿轴向滑移，其中，第二杆202的长度大于第一杆201的长度，使得第二杆202上存在部分区域位于第一杆201的腔体外部，第二杆202靠近夹持组件203的一端与夹持组件203活动连接，具体的，在第二杆202靠近夹持组件203的一端上固定连接有固定杆2036，固定杆2036与第二杆202相垂直且被第二杆202平分，固定杆2036与两个夹持件2031位于同一平面，在固定杆2036的两端分别通过活动杆2037对应连接于夹持件2031的驱动部2033，其中，相连接的驱动部2033和固定杆2036位于第二杆202的同一侧，活动杆2037与驱动部2033、固定杆2036均以铰接的形式连接，使得第二杆202朝向夹持组件203的方向移动时，两个夹持部2032闭合，反之则张开。相应的，在第一杆201上开设开槽2038，用于容纳夹持件2031的驱动部2033、活动杆2037以及固定杆2036，防止在驱动部2033、活动杆2037以及固定杆2036在活动时与第一杆201发生干涉。

连接组件204设置于第一杆201与第二杆202之间，如图7所示，连接组件204包括第一板2041、第二板2042、弹性件2043、导向杆2044，第一板2041固定连接于第一杆201远离夹持组件203的一端上，相应的第二板2042固定连接于第二杆202远离夹持组件203的一端上，由于第二杆202的长度相较于第一杆201的长度较长，因此第一板2041位于第二板2042与侧板101之间，其中，第一板2041和第二板2042均与侧板101相平行，导向杆2044位于第一板2041和第二杆202之间，导向杆2044的第一端通过螺栓固定连接于第二板2042，导向杆2044的第二端活动连接于第一板2041，具体的，第一板2041上开设有穿孔，导向杆2044插设于穿孔中。导向杆2044垂直于第一板2041和第二板2042，在一个实施例中，导向杆2044的数量为4个，在每个导向杆2044上套设有弹性件2043，在一个实施例中，弹性件2043为弹簧，弹簧套设在导向杆2044外部，弹簧的两个端部分别可以与第一板2041、第二板2042接触。

可选的，导向杆2044位于第一板2041和第二杆202之间，导向杆2044的第一端通过螺栓固定连接于第一板2041，导向杆2044的第二端活动连接于第二板2042，具体的，第二板2042上开设有穿孔，导向杆2044插设于穿孔中。

如图8所示，在第一板2041与侧板101之间的第一杆201部分上套设有第一波纹管，第一波纹管的两端固定于侧板101和第一板2041上，在第一板2041与第二板2042之间的第二杆202部分上套设有第二波纹管，第二波纹管的两端分别端固定于第一板2041和第二板2042上。

驱动机构300用于驱动第一杆201和第二杆202在侧板101上滑移，从而驱动控制夹持组件203的位置，如图8所示，驱动机构300包括滑轨301、滑移座302以及驱动件，滑轨301固定于底板102上，滑轨301的布置方向与第一杆201平行；滑移座302与滑轨301滑移连接，且滑移座302与第二板2042固定连接，使得滑移座302、第一杆201以及第二杆202能够在滑轨301上滑移；驱动件用于驱动滑移座302在滑轨301上移动，驱动件包括电机304、丝杆303以及固定座，丝杆303连接于滑轨301的两个端部之间，丝杆303与滑轨301方向相平行，丝杆303穿设于滑移座302且与滑移座302之间通过螺纹连接，电机304通过固定座固定于底板102上，电机304的输出轴作用于丝杆303。

限位机构400用于对夹持组件203的位置进行限位，有利于夹持组件203与钢丝绳之间保持同心，如图8所示，限位机构400包括限位杆401，限位杆401垂直固定于侧板101朝向第一板2041的面上，在一个实施例中，限位杆401的数量为2个，分别位于第一杆201的水平方向的两侧，在第一板2041朝侧板101移动过程中，限位杆401与第一板2041抵触，第一杆201停止运动，夹持组件203位置被限定。进一步的，限位杆401与第一板2041相抵触的一端上形成抵触端，在抵触端上设置有调节件402，调节件402可调式的连接于抵触端上，调节件402可以采用螺栓，螺栓通过螺纹连接于抵触端上，螺栓布置方向平行于限位杆401，通过螺栓旋入深度，精确调节第一板2041与侧板101之间的最近距离，从而精确调节第一杆201伸出长度，提高夹持组件203位置调节的精度。

可选的，限位杆401垂直固定于第一板2041朝向侧板101的面上，在一个实施例中，限位杆401的数量为2个，分别位于第一杆201的水平方向的两侧，在第一板2041朝侧板101移动过程中，限位杆401与侧板101抵触，第一杆201停止运动，夹持组件203位置被限定。进一步的，限位杆401与侧板101相抵触的一端上形成抵触端，在抵触端上设置有调节件402，调节件402可调式的连接于抵触端上，调节件402可以采用螺栓，螺栓通过螺纹连接于抵触端上，螺栓布置方向平行于限位杆401，通过螺栓旋入深度，精确调节第一板2041与侧板101之间的最近距离，从而精确调节第一杆201伸出长度，提高夹持组件203位置调节的精度。

检测机构500用于检测滑移座302的位置，通过滑移座302的位置判断夹持组件203张开或闭合，如图8所示，检测机构500包括第一传感器501、第二传感器502以及主控器，第一传感器501，第一传感器501固定于滑轨301侧边的第一端；第二传感器502，第二传感器502固定于滑轨301侧边的第二端，第一传感器501和第二传感器502均用于检测滑移座302的位置；其中，第一传感器501相较于第二传感器502更靠近侧板101，第一传感器501和第二传感器502均可采用光电传感器；主控器分别连接第一传感器501和第二传感器502，主控器用于获取第一传感器501和第二传感器502的检测信号，并根据检测信号判断夹持组件203张开或闭合，给出判断反馈。第一传感器501检测到滑移座302时，第一杆201伸出距离最大，此时第二杆202触发夹持件2031闭合，检测机构500即可判断为夹持件2031闭合并反馈；第二传感器502检测到滑移座302时，第一杆201伸出距离最小，此时第二杆202触发夹持件2031张开，检测机构500即可判断为夹持件2031张开并反馈。

工作原理/步骤：

滑移座302位于滑轨301的最左端时，为夹持机构200的初始状态，第二传感器502检测到滑移座302，主控器判断为此时夹持组件203张开，并未夹持钢丝绳；随着电机304运行，电机304驱动丝杆303转动，带动滑移座302在滑轨301上滑移，滑移座302与第二杆202通过第二板2042固定连接，使得第二杆202也沿滑移座302移动的方向运动，第一杆201和第二杆202之间通过连接组件204连接，第二板2042通过弹簧将作用力传导至第一板2041，从而带动第一杆201也随第二杆202移动，第一杆201向侧板101外部延伸，夹持组件203的位置向外移动，此时，固定杆2036受到第二杆202的推力不足以驱动两个夹持件2031转动而闭合。

随着第一杆201和第二杆202沿滑移座302移动的方向运动的过程中，由于在侧板101上固定有限位杆401，限位杆401与第一板2041相抵触，使得第一杆201向外伸出的长度达到最大，由于第一板2041和第二板2042之间设置有弹簧，在丝杆303的驱动下，使得弹簧被压缩，第二板2042和第二杆202仍然能够继续沿滑移座302移动的方向运动，此时，固定杆2036受到第二杆202的推力足以驱动两个夹持件2031转动而闭合，将钢丝绳夹持住，减小钢丝绳在旋转时的摇晃；此时第一传感器501检测到滑移座302，主控器判断为此时夹持组件203闭合，电机304停止工作。

复位，电机304驱动丝杆303反向旋转，驱动滑移座302反向移动，滑移座302带动第二板2042和第二杆202反向移动，第二杆202带动固定杆2036反向移动，两个夹持件2031上的驱动部2033受反向拉力，使得两个夹持件2031张开，此时夹持组件203从钢丝绳上脱离，在第二杆202反向移动过程中，弹簧复位，带动第一杆201回缩，在第二传感器502检测到滑移座302，主控器判断为此时夹持组件203张开，机停止工作。

技术效果：

1、本申请通过外力驱动第二板2042，第二板2042带动第一板2041、第一杆201以及第二杆202移动，在第一板2041与座体100抵触后，第二板2042可在外力作用下继续推动第二杆202移动，夹持组件203被第二杆202触发闭合，将拉晶的钢丝绳夹持住，一方面，减小钢丝绳在旋转过程中的晃动，从而减小晶体晃动，减小晶体由于晃动而坠落的可能，另一方面，通过外力驱动第二杆202而触发夹持组件203闭合或张开，方便控制夹持组件203的控制，解决了现有技术中晶体在拉制过程中容易坠落的技术问题；达到减小晶体由于晃动而发生坠落的可能的技术效果。

2、第二杆202设置于第一杆201的内部，减小装置整体的空间占用，同时起到对第二杆202的保护作用，减小第二杆202的磨损，减小第二杆202触发夹持组件203闭合或张开的灵敏度下降的可能。

3、通过限位杆401限定夹持组件203相对于座体100伸出的最远距离，方便控制夹持组件203与钢丝绳之间的相对位置，适应于不同规格大小的单晶炉；同时，在限位杆401上设置了可调的调节件402，进一步提高夹持组件203位置的精度，提高夹持组件203与钢丝绳位于呈同心设置，从而减小钢丝绳和晶体的晃动幅度。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，包括：

座体；

夹持机构，所述夹持机构位于所述座体上，并作用于钢丝绳，所述夹持机构包括：

第一杆，所述第一杆滑移连接于所述座体；

夹持组件，所述夹持组件用于夹持钢丝绳，所述夹持组件设置于所述第一杆远离座体的一端；

第二杆，所述第二杆滑移连接于第一杆，且所述第二杆与所述第一杆平行设置，所述第二杆作用于所述夹持组件，用于触发所述夹持组件的张开或闭合；以及

连接组件，所述连接组件设置于所述第一杆与所述第二杆之间，所述连接组件包括：

第一板，所述第一板连接于所述第一杆；

第二板，所述第二板连接于所述第二杆，所述第二板、所述夹持组件位于所述第一板的两侧；以及

弹性件，所述弹性件位于所述第一板与所述第二板之间，且分别与所述第一板、第二板接触。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述第一杆和所述第二杆相对于所述座体移动，所述驱动机构包括：

滑轨，所述滑轨固定于所述座体上，所述滑轨方向与所述第一杆平行；

滑移座，所述滑移座滑移连接于所述滑轨，且所述滑移座与所述第二板固定连接；以及

驱动件，所述驱动件固定于所述座体，所述驱动件作用于所述滑移座，用于驱动所述滑移座在所述滑轨上滑移。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述夹持组件包括：

夹持件，所述夹持件具有两个，两个所述夹持件铰接于所述第一杆远离所述座体的一端上，两个所述夹持件之间形成夹持空间；

每个所述夹持件上具有驱动部，通过驱动所述驱动部，使得所述夹持组件张开或闭合。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述第一杆呈中空，所述第二板设置于所述第一杆内部，所述第二杆远离所述座体的一端连接并作用于所述驱动部。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述第一板固定连接于所述第一杆靠近所述座体的一端上，所述第二板固定连接于所述第二杆靠近所述座体的一端上。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述连接组件还包括：

导向杆，所述导向杆设置于所述第一板与所述第二板之间，所述导向杆平行于所述第一杆布置，所述导向杆的第一端固定于所述第一板，所述导向杆的第二端活动连接于所述第二板，所述弹性件套设于所述导向杆外，且所述弹性件的两端分别抵触于所述第一板和所述第二板。

7.根据权利要求5所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述连接组件还包括：

导向杆，所述导向杆设置于所述第一板与所述第二板之间，所述导向杆平行于所述第一杆布置，所述导向杆的第一端固定于所述第二板，所述导向杆的第二端活动连接于所述第一板，所述弹性件套设于所述导向杆外，且所述弹性件的两端分别抵触于所述第一板和所述第二板。

8.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，还包括限位组件，所述限位组件包括：

限位杆，所述限位杆位于所述第一板与座体之间，所述限位杆固定于所述座体，所述限位杆上具有抵触端，所述抵触端可以与所述第一板相抵触。

9.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，还包括限位组件，所述限位组件包括：

限位杆，所述限位杆位于所述第一板与座体之间，所述限位杆固定于所述第一板，所述限位杆上具有抵触端，所述抵触端可以与所述座体相抵触。

10.根据权利要求8或9所述的一种单晶炉晶晃夹持装置，其特征在于，所述限位组件还包括：

调节件，所述调节件可调式的连接于所述抵触端。

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