KR100257696B1 - 단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치 - Google Patents

단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100257696B1
KR100257696B1 KR1019980007077A KR19980007077A KR100257696B1 KR 100257696 B1 KR100257696 B1 KR 100257696B1 KR 1019980007077 A KR1019980007077 A KR 1019980007077A KR 19980007077 A KR19980007077 A KR 19980007077A KR 100257696 B1 KR100257696 B1 KR 100257696B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
frame
coupled
chamber
crystal
Prior art date
Application number
KR1019980007077A
Other languages
English (en)
Other versions
KR19980079883A (ko
Inventor
빈프리트 슐만
Original Assignee
투테 에.
레이볼트 시스템즈 게엠베하
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 투테 에., 레이볼트 시스템즈 게엠베하 filed Critical 투테 에.
Publication of KR19980079883A publication Critical patent/KR19980079883A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100257696B1 publication Critical patent/KR100257696B1/ko

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10S117/911—Seed or rod holders
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10T117/10—Apparatus
    • Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
    • Y10T117/1032—Seed pulling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T117/00—Single-crystal, oriented-crystal, and epitaxy growth processes; non-coating apparatus therefor
    • Y10T117/10—Apparatus
    • Y10T117/1024—Apparatus for crystallization from liquid or supercritical state
    • Y10T117/1032—Seed pulling
    • Y10T117/1072—Seed pulling including details of means providing product movement [e.g., shaft guides, servo means]

Abstract

도가니에 존재하는 용융물로부터 진공하에 또는 감압에서 보호기체하에 단결정(2)을 드로잉하는 장치에 있어서, 드로잉 축(3) 및/또는 결정(2)을 둘러싸고 있고 수평면에 펼쳐져 있는 프레임(4)이 2개 이상의 베어링(20, 21)을 구비하여 이로써 유지되어 있고, 수직면에서 선회할 수 있는 두팔 집게(7, 8)가 있으며, 각각 집게암(7', 8')은 프레임(4)의 회전축(R)에 도달하고 집게암의 길이(f, f')는 폐쇄위치에서 집게암(7', 8')의 서로 마주보는 전면(9, 10)이 서로 고정 위치하여 단지 제한된 선회운동(A)만 가능하고, 두팔 집게(7, 8)의 각각의 자유말단(7", 8")이 대략 수직으로 연장된 당김막대(11, 12)에 결합되어 있고, 당김막대는 상부 말단이 각각 수평으로 연장된 요크빔(13)을 거쳐 서로 굽히기 쉽게 결합되어 있고, 요크빔(13)은 스핀들 너트(17)와 함께 나사 스핀들(14)에 의해 드로잉 축(3)을 따라 조절 가능하고, 프레임(4)은 당김줄(15, 16)에 매달려 있고, 당김줄을 거쳐 집게암(7, 8)이 선회할 수 있다.

Description

단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치{ }
본 발명은 도가니에 존재하는 용융물로부터 진공 하에 또는 감압에서 보호기체하에 단결정을 드로잉하는 장치를 위한 상승장치에 관한 것으로서, 기저 스탠드 위에 지지된 진공챔버 속에 도가니가 배치되어 있고 가열수단의 열선에 의해 가열될 수 있으며, 드로잉 축이 용융물의 상부에 제공되어 이를 사용하여 결정이 용융물 표면으로부터 기저 스탠드의 반대편에 위치하는 수문챔버 속으로 위쪽으로 드로잉될 수 있고, 수문챔버의 하우징으로부터 상승장치가 기저 스탠드 위에 지지된 상부 스탠드에 의해 또는 드로잉 축에 의해 유지되어 있다.
통상적으로 수문챔버에 접지되어 매달려 있는 결정은 수문챔버에 제공되는 측면 개구부에 의한 특정 처리 시스템에 의해 수집된 다음, 접지부로부터 분리되고 연속적으로 처리 시스템의 도움으로 수문챔버로부터 측면으로 판막에 의해 폐쇄될 수 있는 개구부로부터 빠져나온다.
이러한 공지된 방법은 충격 및 진동에 대해 결정이 특별히 민감하기 때문에 발생하는 일련의 단점을 나타낸다. 이로써 수문챔버 속에 매달려 있는 결정이 자유로이 수득될 수 없기 때문에 결정은 처리 시스템에 의해 정확하게 들어맞지 않는 위험이 있다.
또한, 드로잉 공정 후에 및 수문챔버를 환기시킨 후 부피가 크고 무거운 드로잉 축과 축 드라이브와 함께 장치의 스탠드에서 회전하여 결정이 수문챔버 하부로 주행하는 운송 캐리지상에 침강하고 캐리지에 의해 운반될 수 있는 장치가 공지되어 있다. 그러나 이러한 종류의 장치는 드로잉 장치의 크기 및 장치의 개별 부품의 무게에 있어서 연속구동으로 드로잉 공정에 필요한 개별 부품들의 조절을 보장할 수 없고, 특히 경험적으로 민감하고 고도로 정밀한 드로잉 축이 축의 구동부와 함께 항상 정확한 각도로 용융물 상부의 구동 위치에서 조종할 수 없다는 결정적인 단점이 있다.
본 발명의 과제는 처음에 언급한 형태의 장치를 형성하여 확실하고 충격 없이 결정이 수문챔버에서 성장할 수 있고 제조된 결정이 배출 및 운반될 수 있으며, 장치의 민감한 부품이 장치의 작동위치로부터 제거되지 않거나 수문챔버에서 개조를 수행할 필요가 없는 것에 기초한다.
도 1은 개방-위치에서 두 개의 집게 암을 나타내는 상승장치의 사시도이다.
도 2는 폐쇄-위치에서의 집게 암을 나타내는 도 1에 따른 상승장치이다.
도 3은 단결정의 드로잉장치에 대한 극도로 단순화시킨 사시도이다.
본 발명에 따라 이러한 과제는 드로잉 축 및/또는 결정을 둘러싸고 있고 수평면에 펼쳐져 있는 프레임이 2개 이상의 베어링을 구비하여 이로써 유지되어 있고, 수직면에서 선회할 수 있는 두팔 집게가 있으며, 각각 집게암은 프레임의 회전축에 도달하고 집게암의 길이는 폐쇄위치에서 집게암의 서로 마주보는 전면이 서로 고정 위치하여 추가의 선회운동을 방지하도록 설정되고, 두팔 집게의 각각의 자유말단이 대략 수직으로 연장된 당김막대에 결합되어 있고, 당김막대는 상부 말단이 각각 수평으로 연장된 요크빔을 거쳐 서로 굽히기 쉽게 결합되어 있고, 프레임은 당김줄에 매달려 있고, 당김줄은 유지수단에서 제동될 수 있거나 당김롤에 감겨 올려질 수 있고 당김롤은 수문챔버의 뚜껑 위에서 또는 수문챔버 상부의 기저 스탠드에 유지되어 있는 장치에 의해 해결된다.
본 발명의 추가의 세부사항과 특징은 첨부하는 청구의 범위에서 더욱 상세하게 특성화하고 기술한다.
본 발명은 상이한 실시양태를 허용한다. 이들 중의 하나는 첨부하는 도면에서 더욱 상세히 나타나있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 드로잉장치는 다리가 4개인 기저 스탠드(22), 이 위에 다리가 3개인 기저 스탠드(23)가 위치하고, 기저 스탠드 위에 뚜껑이 있는 하나의 둥근 진공챔버(24) 및 챔버 속에 존재하는 가열되는 도가니, 진공챔버(24)로부터 하부에 위치하는 도가니 지지볼트(25), 챔버뚜껑(27)이 있는 수문챔버(26), 상부로부터 수문챔버(26) 속으로 침지되는, 구동 스핀들(28)이 있는 드로잉 축(3) 및 수문챔버(26)를 조종하기 위한 회전 베어링(30)을 갖는 회전 암(29)으로 이루어져 있다.
수문챔버(26)에서 용융물로부터 드로잉되는 단결정(2)은 높은 중량으로 매우 얇은 결정핵(33)에 달려있고, 이때 결정은 이미 미미하게 진동하여 결정(2)이 하부 진공챔버(24) 속으로 떨어질 위험이 있고, 이로써 자연적으로 파괴되고 또한 오랜 시간 동안 장치를 사용할 수 없게된다. 이러한 결정(2)의 낙하를 방지하기 위해 도1 및 도 2에 도시한 바와 같이 수문챔버(26) 속에 결정(2)을 유지, 상승 및 가이딩하는 장치가 존재하며, 이 장치는 사실상 챔버뚜껑(27)에서 개방부를 통해 통과하고 모터를 구비한 당김롤(32)에 의해 감겨 올려질 수 있는 당김줄(15, 16)을 위한 베어링(5, 6)이 있는, 결정핵(33) 또는 드로잉 축(3)을 둘러싸고 있는 프레임(4), 드로잉 축(3)을 둘러싸고 있는, 스핀들 너트(17)와 요크빔(13)이 있는 스핀들(14), 요크빔(13)의 말단에 연결되어 있는, 동일한 길이의 2개의 당김막대(11, 12) 및 프레임(4)에 고정되어 있는 노우즈(18, 19)와 두팔 집게(7, 8)를 위한 베어링(20, 21)으로 이루어지며, 두팔 집게의 서로 방향 전환된 말단(7", 8")은 당김막대(11, 12)상에 결합된다.
결정핵(33)을 위한 드로잉 축(3)의 잭(34)과 결정(2) 사이에 2개의 집게(7, 8) 및 이들의 집게암(7', 8')에 의해 폐쇄-위치에서 맞물려지는 둔부(35)가 있고, 집게암(7', 8')의 전면(9, 10)이 반대편에 위치하고 화살표 A 방향쪽 하부로 추가 회전하는 것을 저지한다. 2개의 집게암(7', 8')의 전면(9, 10)은 원추형 또는 깔때기 형태의 통로를 이루도록 형성된 오목부(36, 37)가 제공되며, 이때 통로는 둔부(35)를 둘러싸고 포착하고 유지하여, 수문챔버(26) 속으로 드로잉되는 중량이 높은 결정(2)이 오목부(36, 37)를 통해 집게암(7, 8)에서 및 당김막대(11, 12) 및 요크빔(13)에 의해 드로잉 너트 및 (자체 제지되는 나사가 제공되는) 드로잉 축(3)의 스핀들(14) 위로 이동한다. 드로잉 축(3)은 요크빔(13)이 스핀들(14)에 의해 축과 결합하기 때문에 하중이 가해지고, 이때 둔부(35)의 상부에서 결정핵(33)이 절단되는 경우 또는 결정이 이러한 위치에서 분리되는 경우, 수문챔버(26)의 결정(20을 끌어낼 수 있도록 아래쪽 진공챔버(24) 속으로의 결정(2)의 낙하를 확실하게 방지하는 것을 보장한다.
집게(7, 8)의 암(7', 8')의 길이(f, f')는 회전축(20 및 21)으로부터 각각의 전면(9 및 10)의 거리가 거리 a 및 a'보다 크도록 설정된다. 크기 c는 폐쇄-위치(도 2)에서 대략 크기 c'에 상응한다. 집게암(7, 8)을 개방하기 위해 당김롤(32)을 사용하여 화살표 B방향으로 당김줄(15, 16)을 위쪽으로 당기고, 이때 집게암(7, 8)은 거리 b에서 배치되는 베어링 볼트(20, 21) 주위로 화살표 A방향으로 회전한다. 결정(2)에 대해 수직방향으로 전체적인 상승장치의 조정은 요크빔(13)에 대한 스핀들(14)의 회전에 의해 이루어진다.
집게암(7, 8)이 도 2에 도시한 바와 같이 폐쇄-위치이고 둔부(35)를 갖는 결정이 오목부(36, 37)에서 정지하고 있는 경우, 당김줄(15, 16)은 완전히 하중을 벗어나게 되고 동력 없이 매달려있다.
본 발명의 장치는 확실하고 충격 없이 결정이 수문챔버에서 성장할 수 있고 제조된 결정이 배출 및 운반될 수 있으며, 장치의 민감한 부품이 장치의 작동위치로부터 제거되지 않거나 수문챔버에서 개조를 수행할 필요가 없다.

Claims (4)

  1. 도가니에 존재하는 용융물로부터 진공하에 또는 감압에서 보호기체하에 단결정(2)을 드로잉하는 장치를 위한 상승장치에 있어서, 기저 스탠드(22) 위에 지지된 진공챔버(24) 속에 도가니가 배치되어 있고 가열수단의 열선에 의해 가열될 수 있으며, 드로잉 축(3)이 용융물의 상부에 제공되어 이를 사용하여 결정(2)이 용융물 표면으로부터 기저 스탠드(22)의 반대편에 위치하는 수문챔버(26) 속으로 위쪽으로 드로잉될 수 있고, 수문챔버(26)의 하우징으로부터 상승장치가 기저 스탠드(24) 위에 지지된 상부 스탠드(23)에 의해 또는 드로잉 축(3)에 의해 유지되어 있고, 드로잉 축(3) 및/또는 결정(2)을 둘러싸고 있고 수평면에 펼쳐져 있는 프레임(4)이 2개 이상의 베어링(20, 21)을 구비하여 이로써 유지되어 있고, 수직면에서 선회할 수 있는 두팔 집게(7, 8)가 있으며, 각각 집게암(7', 8')은 프레임(4)의 회전축(R)에 도달하고 집게암의 길이(f, f')는 폐쇄위치에서 집게암(7', 8')의 서로 마주보는 전면(9, 10)이 서로 고정 위치하여 추가의 선회운동(A)을 방지하도록 설정되고, 두팔 집게(7, 8)의 각각의 자유말단(7", 8")이 대략 수직으로 연장된 당김막대(11, 12)에 결합되어 있고, 당김막대는 상부 말단이 각각 수평으로 연장된 요크빔(13)을 거쳐 서로 굽히기 쉽게 결합되어 있고, 나선스핀들(14)위로 스핀들너트(17)를 가진 요크빔(13)이 드로잉축(3)을 따라 이동할 수 있고, 프레임(4)은 당김줄(15, 16)에 매달려 있고, 당김줄은 당김롤(32)에 감겨 올려질 수 있고 당김롤은 수문챔버(26)의 뚜껑(27) 위에서 또는 수문챔버(26) 상부의 기저 스탠드(22 및 23)에 유지되어 있는 상승장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 프레임(4)에 결합되어 있는 집게(7, 8)중 회전축(R)에 도달하는 집게암(7', 8')이 서로 2개의 베어링 볼트(20, 21)를 나타내는 길이(b)의 절반보다 약간 크게 설정되는 각각의 길이(f, f')를 나타내는 것을 특징으로 하는 상승장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 서로 마주보는 전면(9, 10)에 수직으로 연장된 쐐기형 또는 반구형을 형성하는 오목부(36, 37)가 제공되는 것을 특징으로 하는 상승장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 스핀들 너트(17)가 있는 수평으로 연장된 요크빔(13)이 드로잉 축(3)상에 제공된 스핀들(14)과 함께 나사 연접되고 스핀들(14)이 드로잉 축(3)과 반대로 회전할 수 있고 이와 함께 회전 고정되어 결합될 수 있는 것을 특징으로 하는 상승장치.
KR1019980007077A 1997-03-15 1998-03-04 단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치 KR100257696B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19710856A DE19710856B4 (de) 1997-03-15 1997-03-15 Hebezeug für eine Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen
DE19710856.3 1997-03-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19980079883A KR19980079883A (ko) 1998-11-25
KR100257696B1 true KR100257696B1 (ko) 2000-06-01

Family

ID=7823533

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980007077A KR100257696B1 (ko) 1997-03-15 1998-03-04 단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5935329A (ko)
EP (1) EP0864670A3 (ko)
JP (1) JPH10259087A (ko)
KR (1) KR100257696B1 (ko)
DE (1) DE19710856B4 (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4149016B2 (ja) * 1997-10-23 2008-09-10 Ｓｕｍｃｏ Ｔｅｃｈｘｉｖ株式会社 結晶体引上げ装置の結晶体把持機構
JPH11199374A (ja) * 1998-01-07 1999-07-27 Komatsu Ltd 単結晶の引き上げ装置および落下防止装置
DE102006034433B4 (de) * 2006-07-26 2018-03-22 Crystal Growing Systems Gmbh Kristallziehanlage, Unterstützungsvorrichtung und Verfahren zur Her-stellung von schweren Kristallen
CN105239155B (zh) * 2015-11-17 2017-10-24 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构
DE102020100331A1 (de) * 2020-01-09 2021-07-15 Pva Tepla Ag Kristallunterstützung und Kristallziehanlage mit einer solchen Kristallunterstützung

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4190630A (en) * 1978-01-03 1980-02-26 Vsesojuzny Nauchno-Isslekovatelsky Institut Monokristallov Stsintillyatsionnykh Materialov I Osobo Chistykh Khimicheskikh Veschestv Apparatus for pulling single crystals from melt
US5196086A (en) * 1987-04-09 1993-03-23 Mitsubishi Materials Corporation Monocrystal rod pulled from a melt
DE69112463T2 (de) * 1990-03-30 1996-02-15 Shinetsu Handotai Kk Vorrichtung zur Herstellung von Monokristallen nach dem Czochralski-Verfahren.
JPH04260686A (ja) * 1991-02-08 1992-09-16 Shin Etsu Handotai Co Ltd 単結晶引上装置
JPH07172981A (ja) * 1993-12-14 1995-07-11 Komatsu Electron Metals Co Ltd 半導体単結晶の製造装置および製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE19710856A1 (de) 1998-09-17
JPH10259087A (ja) 1998-09-29
EP0864670A2 (de) 1998-09-16
KR19980079883A (ko) 1998-11-25
DE19710856B4 (de) 2007-03-22
EP0864670A3 (de) 2000-04-26
US5935329A (en) 1999-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100257696B1 (ko) 단결정의 드로잉 장치를 위한 상승장치
TWI404837B (zh) 拉伸單晶之裝置
US7963087B2 (en) Wrapping device and method for operating a wrapping device
JP4842455B2 (ja) 半導体単結晶引上げ装置及びそのライン構成
CN206292023U (zh) 一种人造石板材落球冲击试验台装置
US2978742A (en) Process and apparatus for producing spherical metal pellets
KR100250393B1 (ko) 크조흐랄스키-방법에 따른, 운반 스탠드에서 지지된 결정 드로잉기의 무거운 부품을 조종하는 장치
JPS5938844B2 (ja) ユニバ−サル圧延スタンド
US3510562A (en) Equipment for electroslag remelting of metals
CN105478700A (zh) 一种液位控制装置
KR20170024398A (ko) 인쇄롤 탈부착 장치
FR2542720A1 (fr) Machine semi-automatique a poste fixe de lovage d'un cable
CN109078999A (zh) 一种金属制品加工用拉丝放线装置
KR102460012B1 (ko) 원료 공급 호퍼
CN216997370U (zh) 一种煤炭监测站智能抓取控制器
CN106337386B (zh) 一种用于铁轨中部杂质的抓取输送机构
KR102474704B1 (ko) 단결정 성장 장치
CN106337385B (zh) 一种动车铁轨中部自动除杂装置
CN117796230A (zh) 茄子采摘装置
SU1237134A1 (ru) Устройство дл обслуживани ульев
FI120407B (fi) Kiteenvetolaitos
JPH07267772A (ja) 単結晶引上げ装置
CN115805572A (zh) 一种电力机械设备防护装置用组装平台结构
WO2002003001A1 (fr) Machine de chargement et dechargement de flacons
SU1511019A1 (ru) Обрубное устройство

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee