KR102460012B1 - 원료 공급 호퍼 - Google Patents

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Abstract

본 실시예에 따른 원료 공급 호퍼는 원료 수용공간이 형성된 중공 튜브와, 중공 튜브를 지지하는 서포터와, 원료 수용공간에 승강 가능하게 수용된 콘과, 콘에 연결된 로드와, 로드의 상부에 연결된 커넥터와, 커넥터에 연결된 승강로드와, 서포터에 설치되어 승강로드를 승강시키는 승강기를 포함할 수 있다.

Description

원료 공급 호퍼{Material feed hopper}
본 발명은 원료를 공급할 수 있는 원료 공급 호퍼에 관한 것이다.
단결정 성장장치는 고체 상태의 다결정 실리콘을 도가니 내부로 공급한 다음, 도가니를 가열하여 액체 상태의 실리콘 융액을 만들고, 종자 결정을 응집시키는 시드(Seed)를 실리콘 융액에 넣어 회전시키는 동시에 인상시킴으로써, 원하는 직경을 가진 단결정 잉곳(Ingot)을 성장시킨다.
이와 같이, 단결정 성장장치에 잉곳을 성장시키기 전에 고체 상태의 원료를 공급하게 되는데, 고체 원료의 형태에 따라 고체 원료를 공급하는 방법으로는, 고체 원료를 도가니의 중앙 상방으로부터 직하시켜 공급하거나 비스듬하게 공급할 수 있다.
고체 원료를 공급하는 방법의 일 예는 대한민국 공개특허공보 10-2018-0013584 A(2018년02월07일, 공개)에 개시된 단결정 성장용 원료공급장치가 있고, 단결정 성장용 원료공급장치는 챔버의 장착구에 장착되고, 단결정 성장을 위하여 도가니에 담긴 융액에 고체 연료를 추가 공급하는 단결정 성장용 원료공급장치에 있어서, 상기 챔버의 장착구에 걸림되고, 고체 원료의 투입을 안내하도록 하부가 상기 도가니의 융액에 잠입되는 튜브; 및 상기 튜브의 내측에 승강 가능하게 구비되고, 상기 도가니의 융액면보다 상측에서 고체 원료의 투입을 조절하는 커버;를 포함한다.
고체 원료를 공급하는 방법의 다른 예는 대한민국 공개특허공보 10-2020-0026247 A(2020년03월10일, 공개)에 개시된 리차지관이 있다.
리차지관은 원료를 수용하는 원통부재와, 이 원통부재의 하부의 개구부를 개폐하는 원뿔상의 밸브를 구비하는 리차지관으로서, 상기 원통부재는, 내주면의 하단부에 하방을 향해 내경이 작아지는 원뿔상의 개구부인 하부 원뿔구부를 가지며, 또한, 상기 하단부의 상기 하부 원뿔구부보다 하방에, 하방을 향해 내경이 작아지는 원뿔상의 개구부인 상부 원뿔구부를 가지며, 상기 밸브가 상기 하부 원뿔구부와 상기 상부 원뿔구부 사이에 위치한다.
대한민국 공개특허공보 10-2018-0013584 A(2018년02월07일, 공개) 대한민국 공개특허공보 10-2020-0026247 A(2020년03월10일, 공개)
종래 기술에 따른 단결정 성장용 원료공급장치는 중공튜브 또는 원통부재의 내부로 원료가 투입될 때, 중공튜브 또는 원통부재 내에서 분진이 발생될 수 있는 문제점이 있다.
본 실시예는 원료가 중공 튜브 내로 공급될 때, 분진 발생이 최소화될 수 있는 원료 공급 장치를 제공하는 데 있다.
본 실시 예에 따른 원료 공급 장치는 원료 공급 호퍼는 원료 수용공간이 형성된 중공 튜브와, 중공 튜브를 지지하는 서포터와, 원료 수용공간에 승강 가능하게 수용된 콘과, 콘에 연결된 로드와, 로드의 상부에 연결된 커넥터와, 커넥터에 연결된 승강로드와, 서포터에 설치되어 승강로드를 승강시키는 승강기를 포함할 수 있다.
콘의 외둘레와 중공 튜브의 내둘레의 사이에 간격이 형성될 수 있다.
원료 공급 호퍼는 서포터의 하부에 제공되고 중공 튜브의 하부 및 원료 수용공간을 향하는 분진 받침대를 더 포함할 수 있다.
서포터에는 중공 튜브 지지부가 제공될 수 있다. 중공 튜브 지지부는 중공 튜브가 서포터에 대해 비스듬히 눕힌 각도로 배치되도록 중공 튜브를 지지할 수 있다.
원료 공급 호퍼는 서포터의 하부에 배치된 휠을 더 포함할 수 있다.
승강기는 승강로드가 안내되는 실린더를 포함할 수 있다.
승강기의 일 예는 서포터에 설치된 구동원과, 구동원과 승강로드를 연결하는 동력전달부재를 포함할 수 있다.
실린더에는 동력전달부재를 수용하는 수용홀이 형성될 수 있다.
승강기의 다른 예는 실린더 내부의 압력을 조절하는 압력조절기를 포함할 수 있다.
승강기는 중공 튜브가 원료를 공급받기 전, 콘을 상기 중공 튜브 내 제1높이로 상승시킬 수 있다.
제1높이는 중공 튜브의 상단과 하단 중 상단에 더 근접한 높이일 수 있다.
승강기는 원료가 중공 튜브로 공급되는 동안 콘의 높이를 점차 낮출 수 있다.
승강기는 중공 튜브를 이동시키기 전 콘을 중공 튜브 내에 제2높이로 하강시킬 수 있다.
제2높이는 중공 튜브의 하단 보다 높을 수 있다.
제2높이는 콘이 상기 중공 튜브의 중앙과 하단 중 하단에 더 근접한 높이일 수 있다.
원료 공급 호퍼는 승강기를 조작하는 조작부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 콘이 중공 튜브의 내측에서 상승되어, 원료의 낙하거리를 최소화할 수 있고, 낙하 충격에 의한 분진 발생을 최소화할 수 있다.
또한, 중공 튜브가 서포터에는 비스듬히 눕힌 각도로 배치되므로, 원료가 중공 튜브의 내둘레를 따라 낙하되고, 낙하거리가 최소화될 수 있다.
또한, 분진을 최소화하여 단결정 성장의 불량율을 최소화할 수 있다.
또한, 원료의 낙하거리를 최소화할 수 있고, 원료의 중공 튜브 타격에 의한 중공 튜브의 손상 및 크랙을 최소화할 수 있다.
또한, 중공 튜브에서 낙하된 서포터의 하부에 제공된 분진 받침대로 낙하되어, 주변 오염을 최소화할 수 있고, 분진에 의한 사고를 예방할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 원료 공급 호퍼가 도시된 도,
도 2는 도 1에 도시된 원료 공급 호퍼가 원료를 공급받기 전의 도,
도 3는 도 2에 도시된 원료 공급 호퍼가 원료를 공급받는 도중일 때의 도,
도 4는 도 3에 도시된 원료 공급 호퍼가 원료를 공급받은 후 이동될 때의 도,
도 5는 도 4에 도시된 중공 튜브가 도가니 내로 원료를 공급할 때의 도,
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 원료 공급 호퍼가 도시된 도이다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 원료 공급 호퍼가 도시된 도이고, 도 2는 도 1에 도시된 원료 공급 호퍼가 원료를 공급받기 전의 도이며, 도 3는 도 2에 도시된 원료 공급 호퍼가 원료를 공급받는 도중일 때의 도이고, 도 4는 도 3에 도시된 원료 공급 호퍼가 원료를 공급받은 후 이동될 때의 도이다.
원료 공급 호퍼는 중공 튜브(10)와, 서포터(20)와, 콘(30)과, 로드(40)와, 커넥터(50)와, 승강로드(60) 및 승강기(70)를 포함할 수 있다.
중공 튜브(10)에는 원료 수용공간(12)이 형성될 수 있다. 원료 수용공간(12)은 중공 튜브(10)의 내부에 형성될 수 있고, 중공 튜브(10)의 길이 방향으로 길게 형성될 수 있다.
중공 튜브(10)는 상부에 원료가 유입되는 원료 입구(14)가 형성될 수 있다. 중공 튜브(10)는 하부에 원료가 배출되는 원료 출구(16)가 형성될 수 있다.
원료 입구(14)는 중공 튜브(10)의 상단(17)에 형성될 수 있고, 원료 출구(16)는 중공 튜브(10)의 하단(19)에 형성될 수 있다.
중공 튜브(10)의 원료 수용공간(12)에 공급되는 원료의 일 예는 단결정 성장장치(100, 도 5 참조)로 투입되어 잉곳을 생성할 수 있는 폴리 실리콘일 수 있다.
원료 공급 호퍼는 폴리 실리콘을 단결정 성장장치(100)의 도가니(110, 도 5 참조)로 충진하는 폴러 실리콘 충진기일 수 있다.
원료는 외부에서 중공 튜브(10)의 원료 입구(14)를 통해 원료 수용공간(12)으로 유입될 수 있고, 중공 튜브(10)의 원료 수용공간(12)에 수용되어 일시 저장될 수 있다. 원료는 원료 수용공간(12)에 수용된 상태에서, 중공 튜브(10) 및 콘(30)에 의해 이동될 수 있다.
원료 수용공간(12)에 수용된 원료는 중공 튜브(10)가 도가니(110, 도 6 참조) 위에 위치될 때, 원료 출구(16)를 통해 도가니(110)의 내부로 낙하될 수 있다.
서포터(20)는 중공 튜브(10)의 외부에 위치할 수 있다.
서포터(20)는 중공 튜브(10)를 지지할 수 있다. 중공 튜브(10)는 서포터(20)와 분리될 수 있고, 서포터(20)와 분리된 상태에서, 도가니(110) 위로 ?グ保? 수 있고, 원료를 도가니(110)의 위로 옮길 수 있다.
중공 튜브(10)는 서포터(20)에 올려진 상태로, 콘(30)과 함께 원료 투입위치로 이동될 수 있다. 원료 투입위치에서, 원료는 중공 튜브(10) 내부로 투입될 수 있다.
중공 튜브(10)는 콘(30)과 함께 도가니(110) 근처로 이동될 수 있고, 콘(30)과 함께, 도가니(110)의 위로 옮겨질 수 있다. 로봇 또는 리프터는 도가니(110) 근처에서 서포터(20)에 올려진 중공 튜브(10)을 들어올릴 수 있고, 도가니(110) 내부로 원료를 공급하기 위해, 중공 튜브(10)를 도가니(110)의 위로 옮길 수 있다.
서포터(20)에는 중공 튜브 지지부(22)가 제공될 수 있다. 중공 튜브 지지부(22)는 중공 튜브(10)가 서포터(20)에 대해 비스듬히 눕힌 각도로 배치되도록 중공 튜브(10)를 지지할 수 있다.
중공 튜브(10)는 수평면에 대해 예각의 경사각을 갖게 서포터(20)에 비스듬히 지지될 수 잇다.
원료 투입기(미도시)는 원료 투입위치의 중공 튜브(10) 내부로 원료를 투입될 수 있다. 중공 튜브(10)가 비스듬히 눕힌 각도일 경우, 원료 투입기에서 중공 튜브(10)로 낙하된 원료는 콘(30)으로 곧바로 낙하되지 않고, 중공 튜브(10)의 내둘레를 따라 낙하될 수 있다.
원료가 콘(30)으로 직접 낙하할 경우, 분진은 과다할 수 있는데, 원료가 중공 튜브(10)의 내둘레를 따라 낙하될 경우, 낙하 거리가 최소화될 수 있고, 분진 발생은 최소화될 수 있다.
중공 튜브 지지부(22)는 경사면(23)을 포함할 수 있다. 경사면(23)은 수평면에 대해 예각의 경사각을 갖을 수 있다. 경사면(23)은 서포터(20)의 상부에 형성될 수 있다. 경사면(23)는 평평하게 형성되거나 오목하게 함몰되게 형성될 수 있다.
중공 튜브 지지부(22)는 서포터(20)에 회전 가능하게 배치된 적어도 하나의 롤러(24)를 포함할 수 있다. 롤러(24)는 서포터(22)의 상부에 배치되어, 중공 튜브(10)를 안내할 수 있다. 롤러(24)는 경사면(23)에 배치될 수 있다. 롤러(24)는 중공 튜브(10)의 이동을 도울 수 있고, 서포터(22)의 하중을 지지할 수 있다. 롤러(24)는 서포터(20)에 복수개 제공되는 것이 바람직하고, 복수개의 롤러(24)는 그 높이가 서로 상이할 수 있다.
중공 튜브(10)는 중공 튜브 지지부(22)가 롤러(24)를 포함할 경우, 롤러(24)에 올려질 수 있고, 중공 튜브 지지부(22)가 롤러(24)를 포함하지 않을 경우, 경사면(23)에 안착되어 지지될 수 있다.
중공 튜브 지지부(22)는 중공 튜브(10)가 하측으로 임의 낙하되지 않게 받치는 스토퍼(25)를 더 포함할 수 있다.
중공 튜브(10)의 일 예는 중공 튜브(10)의 외둘레 일측에는 플랜지(11)가 돌출될 수 있고, 중공 튜브(10)는 플랜지(11)가 스토퍼(25)에 걸리는 것에 의해 중공 튜브(10)가 하측으로 임의 낙하되지 않는다.
중공 튜브(10)의 다른 예는 중공 튜브(10)의 원료 출구(16) 아래에 별도의 안착부재가 배치되고, 안착부재가 스토퍼(25)에 걸리는 것에 의해 중공 튜브(10)가 하측으로 임의 낙하되지 않는다.
서포터(20)에는 승강기(70)가 장착되는 승강기 장착부(26)가 형성될 수 있다. 승강기 장착부(26)에는 승강기(70) 중 구동원(74)이 장착될 수 있다. 승강기 장착부(26)는 서포터(20)의 상부에 형성될 수 있다.
원료 공급 호퍼는 서포터(20)의 하부에 배치된 휠(28, Wheel)를 더 포함할 수 있다. 원료 공급 호퍼가 휠(28)를 더 포함할 경우, 원료 공급 호퍼는 그 전체가 카트 등과 같이 이동될 수 있고, 원료 공급 호퍼는 카트형 원료 공급 호퍼 또는 원료 공급 카트일 수 있다.
콘(30)은 원료 수용공간(12)에 승강 가능하게 수용될 수 있다. 콘(30)는 원료 수용공간(12)을 막는 커버일 수 있다.
콘(30)의 외둘레와 중공 튜브(10)의 내둘레의 사이에 간격(G)이 형성될 수 있다. 콘(30)은 중공 튜브(10)의 내부에서 용이하게 승강될 수 있다. 간격(G)은 대략 5mm일 수 있다.
로드(40)는 콘(30)에 연결될 수 있다. 로드(40)의 하부는 콘(30)에 연결될 수 있다. 로드(40)의 일부는 원료 수용공간(12)에 위치될 수 있고, 커넥터(50)에 의해 승강되어, 콘(30)의 높이를 조절할 수 있다.
로드(40)는 중공 튜브(10)가 도가니(110) 위로 옮겨질 때, 중공 튜브(10)와 함께 옮겨질 수 있다.
커넥터(50)는 로드(40)의 상부에 연결될 수 있다. 커넥터(50)는 승강로드(60)에 분리 가능하게 연결될 수 있다. 커넥터(50)가 승강로드(60)에 연결되었을 때, 승강로드(60)는 커넥터(50)를 승강시킬 수 있다.
커넥터(50)는 승강로드(60)와 분리될 수 있고, 중공 튜브(10)가 도가니(110)로 이동될 때, 중공 튜브(10)와 함께 이동될 수 있다. 커넥터(50)는 로봇이나 리프터의 핸드가 걸리는 걸이부재로 기능할 수 있다.
승강로드(60)는 커넥터(50)에 연결될 수 있다. 승강로드(60)는 중공 튜브(10)의 외부에서 커넥터(30)에 연결될 수 있다.
승강로드(60)는 커넥터(50)가 분리 가능하게 연결되는 커넥터 연결부(62)를 포함할 수 있다.
승강로드(60)는 커넥터 연결부(62)에 연결된 로드부(64)를 포함할 수 있다.
커넥터 연결부(62)와 로드부(64)는 중공 튜브(10)의 외부에서 승강될 수 있다.
커넥터 연결부(62)와 로드부(64)는 서로 직교할 수 있다.
로드부(64)는 중공 튜브(10)의 외부에서, 중공 튜브(10)와 나란할 수 있다.
승강로드(60)는 중공 튜브(10)가 도가니(110) 위로 옮겨질 때, 승강기(70)와 함께, 서포터(20)에 잔존할 수 있다.
승강기(70)는 승강로드(60)의 높이를 조절하여, 커넥터(50), 로드(40), 콘(30)의 높이를 조절할 수 있다. 즉, 승강기(70)는 콘 높이 조절기구일 수 있다.
승강기(70)는 서포터(20)에 설치될 수 있고, 중공 튜브(10)의 옆에서 승강로드(60)를 승강시킬 수 있다. 승강기(70)는 서포터(20)의 승강기 장착부(26)에 장착될 수 있고, 중공 튜브(10)가 도가니(110) 위로 옮겨질 때, 서포터(20)에 잔존할 수 있다.
승강기(70)는 승강로드(60)가 안내되는 실린더(72)를 포함할 수 있다.
승강로드(60)의 일부는 실린더(72)의 내부에 배치될 수 있다. 로드부(64)의 일부는 실린더(72)의 내부에 배치될 수 있다
승강기(70)의 일 예는 서포터(20)에 설치된 구동원(74)과, 구동원(76)의 구동력을 승강로드(60)로 전달하는 동력전달부재(76)(78)를 포함할 수 있다.
구동원(74)는 승강기 장착부(26)에 장착될 수 있다.
동력전달부재(76)(78)는 구동원(76)과 승강로드(60)를 연결할 수 있다.
구동원(74)의 일 예는 회전축이 회전되는 모터일 수 있다. 구동원(74)이 모터일 경우, 동력전달부재(76)(78)의 일 예는 기어를 포함할 수 있다. 동력전달부재(76)(78)은 모터의 회전축에 연결된 피니언(76)과, 승강로드(70) 특히 로드부(64)에 제공된 랙(78)을 포함할 수 있다.
구동원(74)의 다른 예는 리니어 모터일 수 있다. 구동원(74)이 리니어 모터일 경우, 동력전달부재(76)(78)의 일 예는 리니어 가이드를 포함할 수 있다.
실린더(72)에는 동력전달부재(76)(78)를 수용하는 수용홀(73)이 형성될 수 있다.
구동원(74)는 실린더(72)의 외부에 배치된 상태에서, 실린더(72) 내에 위치한 로드부(64)를 승강시키기 위해 작동될 수 있다.
중공 튜브(10)가 원료를 공급받기 전, 승강기(70)는 콘(30)을 도 2에 도시된 바와 같이, 중공 튜브(10) 내 제1높이(H1)로 상승시킬 수 있다.
제1높이(H1)는 중공 튜브(10)의 상단(17)과 하단(19) 중 상단(17)에 더 근접한 높이일 수 있다.
콘(30)는 승강기(70)에 의해 제1높이(H1)로 상승된 상태에서, 중공 튜브(10)의 원료 입구(14)로 공급된 원료를 받을 수 있다. 원료 입구(14)로 공급된 원료는 콘(30)의 높이가 높기 때문에 낙차가 크지 않고, 원료의 손상 및 파손은 최소화될 수 있고, 최대한 원래 형태를 유지할 수 있다.
원료가 중공 튜브(10)로 공급되는 동안 승강기(70)는 도 3에 도시된 바와 같이, 콘(30)의 높이를 점차 낮출 수 있다. 원료 입구(14)로 공급되는 원료의 양이 많아 짐에 따라, 콘(30) 내부에 충분한 공간이 확보될 수 있도록 콘(30)의 높이가 낮아질 수 있다.
중공 튜브(10) 내 원료의 상단 높이는 높을 수 있고, 원료 입구(14)로 새로 공급되는 원료는 중공 튜브(10) 내 원료의 상단 높이가 높기 때문에 낙차가 크지 않고, 점차 중공 튜브(10) 내에 쌓일 수 있다.
상기와 같이, 콘(30)의 높이가 점차 낮아지면, 원료의 손상 및 파손은 최소화될 수 있고, 최대한 원래 형태를 유지할 수 있다.
승강기(70)는 중공 튜브(10)를 이동시키기 전 콘(30)을 도 4에 도시된 바와 같이, 중공 튜브(10) 내에 제2높이(H2)로 하강시킬 수 있다. 즉, 콘(30)이 중공 튜브(10) 내에 제2높이(H2)로 하강된 후, 원료 공급 호퍼 특히, 서포터(20)는 중공 튜브(10)를 이동시킬 수 있다.
제2높이(H2)는 중공 튜브(10)의 하단(19) 보다 높을 수 있다. 제2높이(H2)는 중공 튜브(10) 내 원료가 원료 출구(16)로 임의 낙하되지 않고, 중공 튜브(10) 내 보관되는 높이일 수 있다.
제2높이(H1)는 콘(30)이 중공 튜브(10)의 중앙(18)과 하단(19) 중 하단(19)에 더 근접한 높이일 수 있다.
원료 공급 호퍼는 분진 받침대(80)를 더 포함할 수 있다. 중공 튜브(10)의 내부에는 원료와 함께 원료에서 분리된 분진이 수용될 수 있고, 분진은 콘(30)의 외둘레와 중공 튜브(10)의 내둘레의 사이의 간격(G)을 통과한 후 원료 출구(16)로 낙하될 수 있다.
분진 받침대(80)는 원료 출구(16)로 낙하된 분진을 받을 수 있는 위치에 제공될 수 있다.
분진 받침대(80)는 서포터(20)의 하부에 제공되고 중공 튜브(10)의 하부 및 원료 수용공간(12)을 향할 수 있다. 분진 받침대(80)는 상면이 개방될 수 있고, 내부에 분진 수용공간이 형성될 수 있다.
원료 공급 호퍼는 승강기(70)를 조작하는 조작부(90)를 더 포함할 수 있다. 조작부(90)는 조작자가 작동명령, 정지명령, 상승명령, 하강명령 등을 입력할 수 있는 버튼을 포함할 수 있다.
조작부(90)는 서포터(20)에 제공되거나 서포터(20)에 전선으로 연결될 수 있다. 조작부(90)는 서포터(20)와 분리된 리모터 컨트롤러인 것도 가능하다.
도 4에 도시된 바와 같이, 콘(30)이 중공 튜브(10) 내에 제2높이(H2)로 하강된 상태에서, 원료 공급 호퍼는 단결정 성장장치(100)의 주변으로 이동될 수 있다.
원료 공급 호퍼는 단결정 성장장치(100)의 주변으로 이동되면, 로봇이나 리프터는 중공 튜브(10) 및 커넥터(50)을 들어올려 도가니(110) 위에 옮길 수 있고, 중공 튜브(10), 콘(30), 로드(40) 및 커넥터(50)와 원료를 도가니(110)의 위로 옮길 수 있다.
도 5는 도 4에 도시된 중공 튜브가 도가니 내로 원료를 공급할 때의 도이다.
원료 공급 호퍼는 단결정 성장장치(100)의 주변으로 이동될 수 있다.
단결정 설장장치(100)는 중공 튜브(10)를 통해 원료를 공급받는 도가니(110)와, 도가니(110)를 가열하는 히터(120)를 포함할 수 있다.
도가니(110)의 내부에는 튜브(10)에서 낙하된 원료가 수용되는 공간(112)이 형성될 수 있다.
단결정 성장장치는 챔버(130)를 포함할 수 있다. 챔버(130)는 내부에 도가니(110) 및 히터(120)가 수용되는 공간(132)이 형성될 수 잇다.
도가니(110)의 일 예는 석영 도가니일 수 있고, 원료는 중공 튜브(10)에서 도가니(110)의 내부로 낙하된 후, 도가니(110)의 내부에서 가열될 수 있다.
히터(120)는 도가니(110)의 외측에서 도가니(110)를 가열할 수 있다. 히터(120)는 도가니(110)와 챔버(130)의 사이에 배치될 수 있다.
단결정 성장장치는 도가니(110)의 상측에 배치되고, 중공 튜브(10)가 안착되는 프레임(140)를 포함할 수 있다. 단결정 성장장치는 중공 튜브(10)를 승강시키는 중공 튜브 승강기구를 더 포함할 수 있다.
단결정 성장장치는 커넥터(50)가 매달릴 수 있는 커넥터 홀더(150)를 더 포함할 수 있다.
단결정 성장장치는 커넥터 홀더(150)를 승강시키는 커넥터 홀더 승강기구를 포함할 수 있다.
중공 튜브(10), 콘(30), 로드(40) 및 커넥터(50)와 원료가 도가니(110)의 위로 옮겨진 후, 단결정 성장장치는 중공 튜브(10)를 상승시키거나 커넥터(50)를 하강시켜 콘(30)을 원료 출구(16)의 하단 아래로 위치시킬 수 있다. 즉, 원료 출구(16)는 모두 개방될 수 있다.
중공 튜브(10) 내의 원료는 콘(30)이 원료 출구(16) 아래에 위치함에 따라, 원료 출구(16)와 콘(30) 사이의 틈을 통해 도가니(110)의 공간(112)으로 낙하된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 원료 공급 호퍼가 도시된 도이다.
본 실시예의 원료 공급 호퍼는 도 6에 도시된 바와 같이, 승강로드(60)를 승강하는 승강기(70')를 포함할 수 있고, 승강기(70')는 승강로드(60)가 안내되는 실린더(72')와, 실린더(72') 내부의 압력을 조절하는 압력조절기(74')를 포함할 수 있다.
압력조절기(74')는 실린더(72') 내부의 유압을 조절하는 유압조절기 또는 실린더(72') 내부의 공압을 조절하는 공압조절기일 수 있다.
압력조절기(74')는 실린더(72')와 튜브(75)로 연결될 수 있고, 실린더(72')와 압력조절기(74')는 승강로드(60)의 높이를 조절할 수 있는 유압실린더 또는 공압실린더일 수 있다.
본 실시예에는 승강기(70') 이외의 튜브(10), 서포터(20), 콘(30), 로드(40), 커넥터(50) 및 승강로드(60)의 구성 및 작용은 본 발명 일 실시예의 원료 공급 호퍼와 동일하거나 유사하므로, 동일부호를 사용하고, 중복된 설명을 피하기 위해, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 중공 튜브 12: 원료 수용공간
20: 서포터 30: 콘
40: 로드 50: 커넥터
60: 승강 로드 70: 승강기

Claims (15)

  1. 원료 수용공간이 형성된 중공 튜브와,
    상기 중공 튜브를 지지하는 서포터와,
    상기 원료 수용공간에 승강 가능하게 수용된 콘과,
    상기 콘에 연결된 로드와,
    상기 로드의 상부에 연결된 커넥터와,
    상기 커넥터에 연결된 승강로드와,
    상기 서포터에 설치되어 상기 승강로드를 승강시키는 승강기를 포함하고,
    상기 승강기는 상기 중공 튜브가 원료를 공급받기 전, 상기 콘을 상기 중공 튜브 내 제1높이로 상승시키는
    원료 공급 호퍼.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 콘의 외둘레와 상기 중공 튜브의 내둘레의 사이에 간격이 형성된 원료 공급 호퍼.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 서포터의 하부에 제공되고 상기 중공 튜브의 하부 및 원료 수용공간을 향하는 분진 받침대를 더 포함하는 원료 공급 호퍼.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 서포터에는 상기 중공 튜브가 상기 서포터에 대해 비스듬히 눕힌 각도로 배치되도록 상기 중공 튜브를 지지하는 중공 튜브 지지부가 제공된 원료 공급 호퍼.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 서포터의 하부에 배치된 휠을 더 포함하는 원료 공급 호퍼.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강기는 상기 승강로드가 안내되는 실린더를 포함하는 원료 공급 호퍼.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 승강기는
    상기 서포터에 설치된 구동원과,
    상기 구동원과 승강로드를 연결하는 동력전달부재를 포함하는 원료 공급 호퍼.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 실린더에는 상기 동력전달부재를 수용하는 수용홀이 형성된 원료 공급 호퍼.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 실린더 내부의 압력을 조절하는 압력조절기를 포함하는 원료 공급 호퍼.
  10. 삭제
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1높이는 상기 중공 튜브의 상단과 하단 중 상단에 더 근접한 높이인 원료 공급 호퍼.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강기는 상기 원료가 상기 중공 튜브로 공급되는 동안 상기 콘의 높이를 점차 낮추는 원료 공급 호퍼.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강기는 상기 중공 튜브를 이동시키기 전 상기 콘을 상기 중공 튜브 내에 제2높이로 하강시키는 원료 공급 호퍼.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제2높이는 상기 중공 튜브의 하단 보다 높고, 상기 콘이 상기 중공 튜브의 중앙과 하단 중 하단에 더 근접한 높이인 원료 공급 호퍼.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강기를 조작하는 조작부를 더 포함하는 원료 공급 호퍼.
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