KR970073915A - 크리스탈 클램프 - Google Patents

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KR970073915A
KR970073915A KR1019970019670A KR19970019670A KR970073915A KR 970073915 A KR970073915 A KR 970073915A KR 1019970019670 A KR1019970019670 A KR 1019970019670A KR 19970019670 A KR19970019670 A KR 19970019670A KR 970073915 A KR970073915 A KR 970073915A
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KR
South Korea
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crystal
crystals
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grippers
support
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KR1019970019670A
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English (en)
Inventor
빈프리트 슐만
헬무트 카이저
프란츠 팀
Original Assignee
페. 좀머캄프, 하. 하게도른
레이볼트 시스템스 게엠베하
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
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Abstract

초크랄스키-연신용해방법에 따라 연신된 모노크리스탈(103)의 제조용 장치에는 그리퍼(125a, 125b)가 구비되어 있다. 이 그리퍼에 의해 상기 크리스탈(103)은 연신공정시에 그 외장면에 방사상을 가해져 마찰저항을 증가시키는 압력을 받게된다. 이로 인해 신장된 크리스탈은 완전히 하중부하를 갖게 된다. 상기 그리퍼(125a, 125b)는 각각 서로 맞은편에 놓여있는 적어도 두 개의지지장치(128a, 128b)를 구비하고 있는데, 크리스탈의 신장단계시에 이 크리스탈과 거의 평행으로 안내되며, 원하는 크리스탈 직경을 얻은 후에는, 용해영역내에서 신장된 크리스탈이 파괴되지 않도록 지지장치(128a, 128b)가 대어진다.

Description

크리스탈 클램프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 크리스탈연신장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

Claims (4)

  1. 크리스탈(27,36,50,103)의 외주방향으로 서로 이격되며 또한 바람직하게는 쌍을 이루어 맞은 편에 놓이도록 장착되어 크리스탈 (27,36,50,103)을 지지하기 위한 최소한 두개의 그리퍼암(23a,23b;37a,37b;43a,43b;55a,55b;117a,117b;125a,125b;145a,145b;155a,155b)을 포함하는 그리퍼(24a,24b;26a,26b;39a,39b;37a,37b;37a, 37b; 42a,4b2;51a,51b;117a,117b;125a,125b;126a,126b;128a, 128b;134a,134b;136a,136b;145a,145b;146a,146b;143a,14b3;153a,153b;156a,156b;155a,155b), 즉 크리스탈 신장단계시에 모노크리스탈(27,36,50,103)을 그리핑하고 또한 지지하기 위한 장치를 포함하는, 초크랄스키-연신용해방법애 따라 크리스탈 접지부로부터 연신된 모노크리스탈(27, 36, 50, 103) 제조용 장치에 있어서, 상기 그리퍼암(23a, 23b; 37a, 37b; 43a, 43b; 55a, 55b; 117a, 117b; 125a, 125b; 145a, 145b; 155a, 155b)은 하단의 상기 크리스탈(27, 36, 50, 103)쪽으로 신장된 일단에 신장된 크리스탈 외장면 이에 대어지는 지지장치(26a, 26a; 39a, 39b; 42a, 42b; 51a, 51b; 117a, 117b; 128a, 128b; 136a, 136b; 146a, 146b)가 각각 구비되어, 이 지지장치에 의해서 상기 크리스탈(27, 36, 50, 103)은 크리스탈 신장단계동안 단단히 조여지도록 그리핑되며, 그로부터 풀리지 않도록 신장방향에 평행으로 진행가능하게 구성되며, 이로써 상기 그리퍼(24a, 24b; 26a, 26b; 39a, 39b; 37a, 37b; 42a, 42b; 51a, 51b; 117a, 117b; 128a, 128b; 136a, 136b; 146a, 146b)는 상기 크리스탈(27, 36, 50, 103) 위로 방사상 지지압력을가하게 되며, 이로 인해 크리스탈 외장면과 상기 지지아장치(23a, 23b; 37a, 37b; 43a, 43b; 55a, 55b; 117a, 117b; 128a, 128b; 136a, 136b; 146a, 146b) 사이에는 완전히 신장된 크리스탈(27, 36, 50, 103)의 하주을 초과하는 마찰 저항이 형성되며, 상기 크리스탈(27, 36, 50)은 상기 지지장치(24a, 24a; 26a, 26b; 39a, 39b; 37a, 37b; 42a, 42b; 51a, 51b; 117a, 117b; 128a, 128b; 136a, 136b; 146a, 146b)의 마찰제거작용에 의해 운반되는 것을 특징으로 하는 모노크리스탈 제조용 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 크리스탈(27, 36, 50, 103)은 신장된 제1쇼율더가 구성된 후에, 뒤이어 신장된 크리스탈의 길이에 따른 일정한 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항 및/또는 제2항에 있어서, 상기 크리스탈(27, 36, 50, 103) 또는 수납부(48a, 48b; 57a, 57b)와 접촉할시에 상기 지지장치(24a, 24b; 26a, 26b; 39a, 39b; 37a, 37b; 42a, 42b; 51a, 51b; 117a, 117b;128a, 128b; 136a, 136b; 146a, 146b)가 상기 크리스탈(27, 36, 50, 103)과 마찰연결되도록 하는 릴리스부재(109a, 109b; 124a, 124b; 132a, 132b; 152a, 152b; 164a, 164b)가 구비된 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 릴리스부재는 릴리스스프링(109a, 109b; 124a, 124b; 132a, 132b; 152a, 152b; 164a, 164b)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970019670A 1996-05-28 1997-05-21 크리스탈 클램프 KR970073915A (ko)

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