DE2733896C2 - Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterkristallstäben - Google Patents
Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen von HalbleiterkristallstäbenInfo
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- DE2733896C2 DE2733896C2 DE19772733896 DE2733896A DE2733896C2 DE 2733896 C2 DE2733896 C2 DE 2733896C2 DE 19772733896 DE19772733896 DE 19772733896 DE 2733896 A DE2733896 A DE 2733896A DE 2733896 C2 DE2733896 C2 DE 2733896C2
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/28—Controlling or regulating
- C30B13/285—Crystal holders, e.g. chucks
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Description
Das Hauptpatent 25 48 050 betrifft eine Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes
beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterkristallstäben mit einem, mit der Keimkristallhalterung
starr verbundenen Aufnahmeteller, der in gleichem Winkelabstand mindestens drei Drehgelenke mit
Schwenkarmen aufweist.
Die im Hauptpatent beschriebene Vorrichtung bezweckt eine Verbesserung der Stabilität der Halterung
insbesondere von großen und schweren Halbleiterkristallstäben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Stabilität der im Hauptpatent beschriebenen Vorrichtung weiter
zu verbessern.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Schwenk·1
arme mehrteilig ausgebildet sind und die Teile so zueinander angeordnet sind, daß sie in Ruhestellung der Länge
eines Grundschwenkarmes entsprechen und beim Hochklappen in Richtung Stabkonus eine Verlängerung
des Grundschwenkarmes darstellen.
Dabei können gemäß einem Ausführungsbeispiel nach der Lehre der Erfindung die Teile teleskopartig
ausziehbar oder aber auch so zusammenklappbar sein, daß mindestens ein zweites, im Grundschwenkarm gelagertes
Klappgelenk vorgesehen ist
Die Vorrichtung nach der Lehre der Erfindung hat gegenüber der in der Hauptanmeldung beschriebenen
Vorrichtung den Vorteil, daß auch bei begrenzten
ίο Raumverhältnissen, z. B. bei Verwendung eines engen
Rezipienten für die Durchführung des tiegelfreien Zonenschmelzprozesses,
der abzustützende Halbleiterkri· siallstab relativ weit oben, d. h. auch bei großer Länge
stabil abgestützt werden kann.
Die Auslösung des Verlängerungsschrittes kann entweder mechanisch oder elektrisch erfolgen, wobei dii;
Auslösung mit der Betätigungsvorrichtung für den Grundschwenkarm so gekoppelt sein kann, daß keim:
zusätzlichen Bedienungsschritte mehr notwendig sind.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbeispiels
und der in der Zeichnung abgebildeten Figur, welche in Perspektive einen gemäß der Vorrichtung
nach der Lehre der Erfindung verlängerbaren Abstützarm darstellt, noch näher erläutert Dabei ist auf
die Abbildung des Aufnahmetellers für die drei Drehgelenke sowie des Drehgelenkes für den (unteren) Grundschwenkarm der besseren Obersicht wegen verzichtet
worden.
Desgleichen ist auch der an die flaschenhalsförmig·::
Desgleichen ist auch der an die flaschenhalsförmig·::
Verengung am Keimkristall anschließende Stabkonus des Halbleiterkristallstabes, der abgestützt werden soll,
nicht dargestellt. In diesem Zusammenhang wird auf die Figur des Hauptpatents verwiesen.
Im Ausführungsbeispiel ist die Auslösung des Verlängerungsschrittes
auf elektrischem Wege beschrieber,
wobei sich die Anordnung zwischen Ruhe- und Arbeitsstellung befindet. Mit dem Bezugszeichen 1 ist der beim
Abstützvorgang hochzuklappende G.^ndschwenkarm
bezeichnet, dessen Endstück einen Längsschlitz 3 aulweist, in welchem der Verlängerungsarm 2 mit der Abstützspitze
10 an einem starr mit dem Verlängerung«- arm 2 verbundenen Bolzen 4 drehbar gelagert ist. Eins
am Grundschwenkarm 1 und an den Bolzen 4 und 11 befestigte Spiralfeder 5 versucht, den Verlängerung.«-
arm 2 im Uhrzeigersinn zu drehen. Im Ruhezustand (nicht gezeichnet) wird dies dadurch verhindert, daß e ne
kalte Bimetallfeder 8 mit ihrem Zapfen 9 in das Loch 7 des Verlängerungsarms 2 einrastet. In dieser Stellung
befindet sich das Abstützende 10 des Verlängerung!,-arms 2 im Schlitz 3 des Grundschwenkarms 1.
Wenn die Heizeinrichtung 13 der Bimetallfeder 8 elektrisch beheizt wird, biegt sich diese nach außen, wobei
der Zapfen 9 das Loch 7 freigibt und die Spiralfeder
5 den Verlängerungsarm 2 um 180° in Pfeilrichtung 12 bis zum Anschlag dreht. Dann wird die Heizung der
Bimetallfeder 8 abgeschaltet, so daß die Bimetallfeder 8 wieder ihre ursprüngliche gerade Form annnimmt und
jetzt der Zapfen 9 in das am entgegengesetzten Abstützende
vorhandene Loch 6 des Verlängerungsarms 2 einrastet. Dadurch wird der Verlängerungsarm 2 fest fixiert
und kann durch langsames Weiterdrehen des Grundschwenkarms
1 an den abzustützenden Siliciumstabkonus sanft angesetzt werden. Das Abstützende 10 dos
Verlängerungsarms 2 kann an seiner insbesondere aus Silicium bestehenden Auflagefläche mit Kontaktpillen
aus Silberchlorid oder Silberjodid versehen sein, die mil dem Stabkonus bei Berührung verschmelzen, im weiteren
Verlauf des Zonenschmelzdurchgangs erstarren uiid
dann eine feste Verbindung mit dem Stabkonus bilden. Der Grundarm 1 kann auch mit einer elektromagnetischen
Brems- und Haltevorrichtung und einer Drehfeder ausgerüstet sein, wie es in der Patentanmeldung
DE-OS 27 12 506 bereits vorgeschlagen ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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Claims (9)
1. Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen
von Halbleiterkristallstäben mit einem, mit der Keimkristallhalterung starr verbundenen
Aufnahmeteller, der in gleichem Winkelabstand mindestens drei Drehgelenke mit Schwenkarmen
aufweist, nach Patent 25 48 050, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwenkarme mehrteilig
ausgebildet sind und die Teile so zueinander angeordnet sind, daß sie in Ruhestellung der Länge
eines Grundschwenkarmes entsprechen und beim Hochklappen in Richtung Stabkonus eine Verlängerung
des Grundschwenkarmes darstellen.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile teleskopartig ausziehbar sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch I1 dadurch gekennzeichnet,
daß die Teile zusammenklappbar sind, wobei mindestens ein zweites, im Grundschwenkarm
gelagertes Klappgelenk vorgesehen ist
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß für die Drehung des Verlängerungsarmes
mechanische Mittel ι orgesehen sind.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Spiralfeder vorgesehen ist, welche
am Grundschwenkarm über einen starr mit dem Verlängerungsarm verbuncenen Bolzen befestigt
ist
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß eine elektrisch beheizbare Bimetallfeder mit Zapfen vorgesehen rt, welche mit dem
Grundschwenkarm fest verbunden ist und im kalten Zustand mitteis des Zapfens den Verlängerungsarrn
im Grundschwenkarm festhält.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Grundschwenkarm mit elektromagnetischen
Mitteln für die Verlängerung ausgerüstet ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine Magnetbremse vorgesehen ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile aus Leichtmetall, insbesondere
aus Titan oder Aluminium, bestehen.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19772733896 DE2733896C2 (de) | 1977-07-27 | 1977-07-27 | Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterkristallstäben |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19772733896 DE2733896C2 (de) | 1977-07-27 | 1977-07-27 | Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterkristallstäben |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2733896A1 DE2733896A1 (de) | 1979-02-08 |
| DE2733896C2 true DE2733896C2 (de) | 1986-04-10 |
Family
ID=6014964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19772733896 Expired DE2733896C2 (de) | 1977-07-27 | 1977-07-27 | Vorrichtung zum Haltern des mit dem Keimkristall versehenen Stabendes beim tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleiterkristallstäben |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE2733896C2 (de) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970073915A (ko) * | 1996-05-28 | 1997-12-10 | 페. 좀머캄프, 하. 하게도른 | 크리스탈 클램프 |
-
1977
- 1977-07-27 DE DE19772733896 patent/DE2733896C2/de not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2733896A1 (de) | 1979-02-08 |
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