JPH04301088A - エッチング処理方法 - Google Patents
エッチング処理方法Info
- Publication number
- JPH04301088A JPH04301088A JP6599091A JP6599091A JPH04301088A JP H04301088 A JPH04301088 A JP H04301088A JP 6599091 A JP6599091 A JP 6599091A JP 6599091 A JP6599091 A JP 6599091A JP H04301088 A JPH04301088 A JP H04301088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- tank
- etched
- etchant
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 abstract description 11
- 238000003672 processing method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010705 motor oil Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エッチング処理方法に
関するものであり、特に内燃機関用エンジンのピストン
のスカート部をエッチング処理する方法に関するもので
ある。
関するものであり、特に内燃機関用エンジンのピストン
のスカート部をエッチング処理する方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、エンジンのピストンのスカート部
は無数の凹溝が刻設されており、この凹溝はエンジンオ
イルの油溝としての効果があり、ピストンスカート部と
シリンダとの間の摩擦低減を図っている。そのエッチン
グ工程には、酸、あるいはアルカリを使用している。
は無数の凹溝が刻設されており、この凹溝はエンジンオ
イルの油溝としての効果があり、ピストンスカート部と
シリンダとの間の摩擦低減を図っている。そのエッチン
グ工程には、酸、あるいはアルカリを使用している。
【０００３】そのエッチング処理方法として、図４に示
すようにピストンのマスキング以外のすべてにマスキン
グを施し、ピストン３０をそれぞれ脱脂槽３０ａ、水洗
槽３０ｂ、エッチング槽３０ｃ、水洗槽３０ｄにピスト
ン全体を投入してエッチング処理を行う方法がある。ま
た別の方法として、図５に示すようにピストン３０横に
寝かせて片方の面だけエッチング処理して、その後ピス
トンを回転させてもう一方の面をエッチングする方法の
ものがある。
すようにピストンのマスキング以外のすべてにマスキン
グを施し、ピストン３０をそれぞれ脱脂槽３０ａ、水洗
槽３０ｂ、エッチング槽３０ｃ、水洗槽３０ｄにピスト
ン全体を投入してエッチング処理を行う方法がある。ま
た別の方法として、図５に示すようにピストン３０横に
寝かせて片方の面だけエッチング処理して、その後ピス
トンを回転させてもう一方の面をエッチングする方法の
ものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者で
はマスキングはエッチング部以外はすべてに施す必要が
あり、マスキングの脱着工数が全工程の８０％を占めて
しまっていた。また後者ではエッチング処理が片側に限
定されてしまい、全エッチング時間が長くなってしまっ
た。また共通する欠点として、両者とも、非エッチング
部にはマスキングが必要であり、複雑な形状である場合
、マスキング工程が多くかかり時間がかかる、マスキン
グの脱着工数が多い、マスキングが使い捨てのためマス
キングコストがかかる、処理時間が長い、スペースが長
い、ピストンの移送装置が必要等の問題点があった。
はマスキングはエッチング部以外はすべてに施す必要が
あり、マスキングの脱着工数が全工程の８０％を占めて
しまっていた。また後者ではエッチング処理が片側に限
定されてしまい、全エッチング時間が長くなってしまっ
た。また共通する欠点として、両者とも、非エッチング
部にはマスキングが必要であり、複雑な形状である場合
、マスキング工程が多くかかり時間がかかる、マスキン
グの脱着工数が多い、マスキングが使い捨てのためマス
キングコストがかかる、処理時間が長い、スペースが長
い、ピストンの移送装置が必要等の問題点があった。
【０００５】本発明は上記課題を解決するものであって
、マスキングの脱着工数の大幅な低減およびマスキング
コストの低減が図れ、エッチング処理の高速化が図れる
エッチング処理装置を提供することを目的とするもので
ある。
、マスキングの脱着工数の大幅な低減およびマスキング
コストの低減が図れ、エッチング処理の高速化が図れる
エッチング処理装置を提供することを目的とするもので
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段は、エッチング液にて複数の溝を形成させ
るエッチング処理方法において、エッチング槽と循環的
に接続される多孔性材料からなる把持部を前記被エッチ
ング部材に接触せしめ、循環手段によりエッチング槽の
エッチング液が吸引されてエッチング液が多孔性材料を
通過して被エッチング部材に到達してエッチング処理を
行い、前記エッチング液が再度前記エッチング槽に戻っ
て循環されることを特徴とするエッチング処理方法であ
って、好ましくは、前記把持部には、脱脂槽、水洗槽、
エッチング槽が並列的に接続され、電磁弁の開閉によっ
て前記脱脂槽、水洗槽、エッチング槽のそれぞれの液が
、前記把持部に吸入、供出させてエッチング処理すると
よい。
の技術的手段は、エッチング液にて複数の溝を形成させ
るエッチング処理方法において、エッチング槽と循環的
に接続される多孔性材料からなる把持部を前記被エッチ
ング部材に接触せしめ、循環手段によりエッチング槽の
エッチング液が吸引されてエッチング液が多孔性材料を
通過して被エッチング部材に到達してエッチング処理を
行い、前記エッチング液が再度前記エッチング槽に戻っ
て循環されることを特徴とするエッチング処理方法であ
って、好ましくは、前記把持部には、脱脂槽、水洗槽、
エッチング槽が並列的に接続され、電磁弁の開閉によっ
て前記脱脂槽、水洗槽、エッチング槽のそれぞれの液が
、前記把持部に吸入、供出させてエッチング処理すると
よい。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例について図１〜図５を参
考にして説明する。図１はピストン１の斜視図であり、
先ず、ピストンスカート部１ａのエッチング処理しない
部分をマスキングしておく。図２は本発明の装置の簡略
図であり、ピストンスカート部１ａがエアシリンダー２
の往復動によりエアシリンダー２に取りつけられた治具
３により両側クランプされる。このピストンスカート部
１ａに接触する治具３は、塩ビパイプからなる基体３ｂ
とエッチング処理液を透過できる多孔性のポリマーから
なりたっている把持体３ａから成りたっており、ピスト
ンスカート部１ａの形状に沿った把持形状をしている。 なおこの把持形状をなじませるためにゴムを内部に入れ
てもよい。この把持体３ａはエッチング液をピストンス
カート部１ａに透過させる働きを有しており、さらにエ
ッチング生成物の除去とアンクランプ時の液だれ防止を
目的としているものである。
考にして説明する。図１はピストン１の斜視図であり、
先ず、ピストンスカート部１ａのエッチング処理しない
部分をマスキングしておく。図２は本発明の装置の簡略
図であり、ピストンスカート部１ａがエアシリンダー２
の往復動によりエアシリンダー２に取りつけられた治具
３により両側クランプされる。このピストンスカート部
１ａに接触する治具３は、塩ビパイプからなる基体３ｂ
とエッチング処理液を透過できる多孔性のポリマーから
なりたっている把持体３ａから成りたっており、ピスト
ンスカート部１ａの形状に沿った把持形状をしている。 なおこの把持形状をなじませるためにゴムを内部に入れ
てもよい。この把持体３ａはエッチング液をピストンス
カート部１ａに透過させる働きを有しており、さらにエ
ッチング生成物の除去とアンクランプ時の液だれ防止を
目的としているものである。
【０００８】把持体３ａ内部には吸入パイプ４ａと供出
パイプ４ｂとが把持体３ａに接続されており、把持体３
ａが多孔性ポリマーのため、エッチング液が吸入パイプ
４ａから把持部３ａを通り供出パイプ４ｂに透過可能と
なっている。図３に示すように上記供出パイプ４ｂは、
脱脂槽５、水洗槽６、エッチング槽７に接続されており
、そのそれぞれの槽５、６、７もまた吸入パイプ４ａに
接続されている。つまり、この接続は把持体３ａが、脱
脂槽５、水洗槽６、エッチング槽７と並列的に接続して
いる。
パイプ４ｂとが把持体３ａに接続されており、把持体３
ａが多孔性ポリマーのため、エッチング液が吸入パイプ
４ａから把持部３ａを通り供出パイプ４ｂに透過可能と
なっている。図３に示すように上記供出パイプ４ｂは、
脱脂槽５、水洗槽６、エッチング槽７に接続されており
、そのそれぞれの槽５、６、７もまた吸入パイプ４ａに
接続されている。つまり、この接続は把持体３ａが、脱
脂槽５、水洗槽６、エッチング槽７と並列的に接続して
いる。
【０００９】脱脂槽５と水洗槽６の間のパイプには電磁
弁８が設置され、水洗槽６とエッチング槽７には電磁弁
９が設置されている。吸入パイプ４ａと槽５、６、７の
パイプの間にも電磁弁１０、電磁弁１１、電磁弁１２が
設置してある。電磁弁１０、電磁弁１１、電磁弁１２と
槽５、６、７との間のパイプには、それぞれのポンプ１
３、ポンプ１４、ポンプ１５が設置され、これらポンプ
１４、１５、１６と槽５、６、７との間のパイプにも電
磁弁１６、１７、１８が設置してある。
弁８が設置され、水洗槽６とエッチング槽７には電磁弁
９が設置されている。吸入パイプ４ａと槽５、６、７の
パイプの間にも電磁弁１０、電磁弁１１、電磁弁１２が
設置してある。電磁弁１０、電磁弁１１、電磁弁１２と
槽５、６、７との間のパイプには、それぞれのポンプ１
３、ポンプ１４、ポンプ１５が設置され、これらポンプ
１４、１５、１６と槽５、６、７との間のパイプにも電
磁弁１６、１７、１８が設置してある。
【００１０】次に、この構成からなるエッチング処理方
法について作用する。処理の前は全ての電磁弁は閉じて
いる。まず、脱脂槽５の電磁弁１０、電磁弁１６を開に
しポンプ１３を作動させると、脱脂槽５の脱脂液が、吸
入パイプ４ａ、多孔性ポリマーからなる把持体３ａを通
り、ピストンスカート部１ａを脱脂し、供出パイプ４ｂ
まで脱脂液が通り、再度脱脂槽５に戻っていくように循
環する。
法について作用する。処理の前は全ての電磁弁は閉じて
いる。まず、脱脂槽５の電磁弁１０、電磁弁１６を開に
しポンプ１３を作動させると、脱脂槽５の脱脂液が、吸
入パイプ４ａ、多孔性ポリマーからなる把持体３ａを通
り、ピストンスカート部１ａを脱脂し、供出パイプ４ｂ
まで脱脂液が通り、再度脱脂槽５に戻っていくように循
環する。
【００１１】次に、前記の電磁弁１０、電磁弁１６を閉
にし、電磁弁８、電磁弁１１、電磁弁１７を開にすると
、ポンプ１４の働きにより、水洗槽６の水洗液が前述の
脱脂液と同じように循環して、ピストンスカート部１ａ
を水洗する。
にし、電磁弁８、電磁弁１１、電磁弁１７を開にすると
、ポンプ１４の働きにより、水洗槽６の水洗液が前述の
脱脂液と同じように循環して、ピストンスカート部１ａ
を水洗する。
【００１２】次に前記の電磁弁１１、電磁弁１７を閉に
し、電磁弁８、電磁弁９、電磁弁１２、電磁弁１８を開
にすると、エッチング槽７のエッチング液がポンプ１８
の働きにより、前述の脱脂液と同じように循環して、ピ
ストンスカート部１ａをエッチング処理する。このとき
、多孔性ポリマーはエッチング処理に生成されたエッチ
ング生成物を除去することもでき、アンクランプ時の液
だれ、液の飛散防止の役目も果たしている。
し、電磁弁８、電磁弁９、電磁弁１２、電磁弁１８を開
にすると、エッチング槽７のエッチング液がポンプ１８
の働きにより、前述の脱脂液と同じように循環して、ピ
ストンスカート部１ａをエッチング処理する。このとき
、多孔性ポリマーはエッチング処理に生成されたエッチ
ング生成物を除去することもでき、アンクランプ時の液
だれ、液の飛散防止の役目も果たしている。
【００１３】最後に、水洗を行うわけであるが、前記の
電磁弁１２、電磁弁１８、電磁弁９を閉にし、電磁弁８
、電磁弁１１、電磁弁１７を開にすると、ポンプ１４の
働きにより、水洗槽６の水洗液が循環して、ピストンス
カート部１ａを水洗してエッチング処理が完了する。
電磁弁１２、電磁弁１８、電磁弁９を閉にし、電磁弁８
、電磁弁１１、電磁弁１７を開にすると、ポンプ１４の
働きにより、水洗槽６の水洗液が循環して、ピストンス
カート部１ａを水洗してエッチング処理が完了する。
【００１４】
【発明の効果】以上のとおり、本発明は、マスキングの
脱着工数の大幅な低減が図れ、マスキングコストの低減
、工程の短縮によるコストの低減、多工程共通治具化、
省スペース、液循環による高速化が図れる。
脱着工数の大幅な低減が図れ、マスキングコストの低減
、工程の短縮によるコストの低減、多工程共通治具化、
省スペース、液循環による高速化が図れる。
【図１】本発明のエッチングを行うピストンの斜視図。
【図２】本発明の治具の拡大断面図。
【図３】本発明の処理方法を表す全体の概略図
【図４】
従来のエッチング処理方法を表す概略図。
従来のエッチング処理方法を表す概略図。
【図５】従来のもう一つのエッチング処理方法を表す概
略図。
略図。
１ａ ピストンスカート部（被エッチング部材）、３
ａ 把持体、 ５ 脱脂槽、 ６ 水洗槽、 ７ エッチング槽、 １３、１４、１５ ポンプ（循環手段）。
ａ 把持体、 ５ 脱脂槽、 ６ 水洗槽、 ７ エッチング槽、 １３、１４、１５ ポンプ（循環手段）。
Claims (2)
- 【請求項１】 エッチング液にて複数の溝を形成させ
るエッチング処理方法において、エッチング槽と循環的
に接続される多孔性材料からなる把持体を前記被エッチ
ング部材に接触せしめ、循環手段によりエッチング槽の
エッチング液が吸引されてエッチング液が多孔性材料を
通過して被エッチング部材に到達してエッチング処理を
行い、前記エッチング液が再度前記エッチング槽に戻っ
て循環されることを特徴とするエッチング処理方法。 - 【請求項２】 前記把持部には、脱脂槽、水洗槽、エ
ッチング槽が並列的に接続され、電磁弁の開閉によって
前記脱脂槽、水洗槽、エッチング槽のそれぞれの液が、
前記把持部に吸入、供出して被エッチング部材をエッチ
ング処理することを特徴とする請求項１記載のエッチン
グ処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6599091A JPH04301088A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | エッチング処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6599091A JPH04301088A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | エッチング処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04301088A true JPH04301088A (ja) | 1992-10-23 |
Family
ID=13302959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6599091A Pending JPH04301088A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | エッチング処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04301088A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2503028A1 (en) * | 2011-03-24 | 2012-09-26 | Rolls-Royce plc | Application of treatment fluids to components |
| EP2511398A1 (en) * | 2011-03-24 | 2012-10-17 | Rolls-Royce plc | Application of treatment fluids to components |
| EP3093373A1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-11-16 | The Boeing Company | Methods and apparatuses for selective chemical etching |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP6599091A patent/JPH04301088A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2503028A1 (en) * | 2011-03-24 | 2012-09-26 | Rolls-Royce plc | Application of treatment fluids to components |
| EP2511398A1 (en) * | 2011-03-24 | 2012-10-17 | Rolls-Royce plc | Application of treatment fluids to components |
| EP3093373A1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-11-16 | The Boeing Company | Methods and apparatuses for selective chemical etching |
| US9624430B2 (en) | 2015-05-14 | 2017-04-18 | The Boeing Company | Methods and apparatuses for selective chemical etching |
| US10533134B2 (en) | 2015-05-14 | 2020-01-14 | The Boeing Company | Methods and apparatuses for selective chemical etching |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02197599A (ja) | 金属表面の化学処理装置 | |
| JPH07118891A (ja) | 表面処理装置 | |
| JPH04301088A (ja) | エッチング処理方法 | |
| TWI290737B (en) | Apparatus and method for treating a panel | |
| TWI247632B (en) | Apparatus and method for cleaning parts | |
| TW200507955A (en) | Cleaning and drying a substrate | |
| CN214767505U (zh) | 一种真空等离子清洗设备 | |
| JP3395948B2 (ja) | シリンダ内面のめっき処理方法とそのめっき前処理方法及びそのめっき処理装置とめっき前処理装置 | |
| FR2601968B1 (fr) | Bains decapants et procede pour eliminer un revetement comprenant du niobium sur un substrat. | |
| JPH07118892A (ja) | 表面処理装置 | |
| CN111300275B (zh) | 一种钛金属容器的喷砂处理工艺 | |
| JP3055089B2 (ja) | シリンダ内面の表面処理方法 | |
| JPH0322547A (ja) | 基板ホルダ | |
| KR200241406Y1 (ko) | 반도체웨이퍼의 린스장치 | |
| JPH08260174A (ja) | 洗浄・リンス処理装置 | |
| CN207013371U (zh) | 一种长表皮酸洗槽 | |
| CN116175869B (zh) | 一种电池顶盖的表面处理装置 | |
| KR102057507B1 (ko) | 도금 시스템 | |
| JPH03191095A (ja) | ワークの表面処理方法 | |
| JPH01138721A (ja) | ウェットエッチング装置 | |
| SU1031895A1 (ru) | Способ очистки сосудов с узкой горловиной | |
| CN108447810B (zh) | 一种新型金刚线硅片脱胶机 | |
| JPS6169983A (ja) | 処理装置 | |
| RU98115197A (ru) | Способ гальванохимической обработки деталей, в частности, на подвесках, при использовании нагреваемых электролитов (растворов) процессных ванн | |
| JPS6040624Y2 (ja) | 繊維品加工処理に使用される液流ロ−ル装置 |