JPH04286319A - ハロゲンランプ及び熱処理炉 - Google Patents
ハロゲンランプ及び熱処理炉Info
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- JPH04286319A JPH04286319A JP5146391A JP5146391A JPH04286319A JP H04286319 A JPH04286319 A JP H04286319A JP 5146391 A JP5146391 A JP 5146391A JP 5146391 A JP5146391 A JP 5146391A JP H04286319 A JPH04286319 A JP H04286319A
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- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 title claims abstract description 43
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims description 28
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- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 abstract description 11
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 abstract description 11
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 9
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱源としてタングス
テン線を用いたハロゲンランプ及び該ハロゲンランプを
用いた熱処理炉に関する。
テン線を用いたハロゲンランプ及び該ハロゲンランプを
用いた熱処理炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハに対するＲＴＰ（Ｒａｐｉ
ｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ）として、一
般にランプアニールが施される。このランプアニールで
用いられるアニール装置としては、例えば加熱源にタン
グステン線を用いたハロゲンランプを使用している。従
来のハロゲンランプＣは、図４に示すように、ガラス等
で形成された中空の管１１内に１本のタングステン線Ｗ
が、管１１の両端に設けられた電極１２ａ及び１２ｂ間
に張設された形で封入されて構成されており、特に、上
記タングステン線Ｗは、全長にわたって螺旋状（フィラ
メント状）に形成されて電極１２ａ及び１２ｂ間に張設
されている。尚、１３はタングステン線Ｗがたるまない
ようにするための押え板である。
ｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ）として、一
般にランプアニールが施される。このランプアニールで
用いられるアニール装置としては、例えば加熱源にタン
グステン線を用いたハロゲンランプを使用している。従
来のハロゲンランプＣは、図４に示すように、ガラス等
で形成された中空の管１１内に１本のタングステン線Ｗ
が、管１１の両端に設けられた電極１２ａ及び１２ｂ間
に張設された形で封入されて構成されており、特に、上
記タングステン線Ｗは、全長にわたって螺旋状（フィラ
メント状）に形成されて電極１２ａ及び１２ｂ間に張設
されている。尚、１３はタングステン線Ｗがたるまない
ようにするための押え板である。
【０００３】また、従来のランプアニール装置は、図５
及び図６に示すように、１枚のウェハ１４が収容可能と
された石英製の炉本体１５の上方及び下方において、上
記ハロゲンランプＣが多数配列されて構成されている。 各ハロゲンランプＣは、その長手方向がウェハ１４の挿
入方向に対して直角となるように炉本体１５に配置され
る。そして、ウェハ１４に対しランプアニールを行うと
きは、ウェハ１４を炉本体１５の炉口から挿入して、該
ウェハ１４を炉本体１５内に収容したのち、各ハロゲン
ランプＣに電源（図４参照）１６からの駆動電流Ｉを供
給することにより、ハロゲンランプＣを発光させて熱処
理を行う。尚、この図５において、上記押え板１３を省
略して示す。また、図６において、１７は熱処理用ガス
を炉本体１５に供給するためのガス導入口である。
及び図６に示すように、１枚のウェハ１４が収容可能と
された石英製の炉本体１５の上方及び下方において、上
記ハロゲンランプＣが多数配列されて構成されている。 各ハロゲンランプＣは、その長手方向がウェハ１４の挿
入方向に対して直角となるように炉本体１５に配置され
る。そして、ウェハ１４に対しランプアニールを行うと
きは、ウェハ１４を炉本体１５の炉口から挿入して、該
ウェハ１４を炉本体１５内に収容したのち、各ハロゲン
ランプＣに電源（図４参照）１６からの駆動電流Ｉを供
給することにより、ハロゲンランプＣを発光させて熱処
理を行う。尚、この図５において、上記押え板１３を省
略して示す。また、図６において、１７は熱処理用ガス
を炉本体１５に供給するためのガス導入口である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のハロゲンラ
ンプＣにおいては、１本のタングステン線Ｗがその全長
にわたってフィラメント状に形成されて全体が発熱部分
となされているため、タングステン線Ｗに駆動電流Ｉを
流して発熱させたとき、管１１の温度分布はその長手方
向においてほぼ均一となる。従って、図５及び図６で示
す従来のランプアニール装置の場合、このハロゲンラン
プＣを、その長手方向を、ウェハ１４の挿入方向、即ち
炉本体１５の前後方向に対して直角にした状態で、多数
配列して構成しているため、炉本体１５の前後間（炉口
と炉奥間）に関する温度分布の調整については、各ハロ
ゲンランプＣを１本ずつ調整することで可能となるが、
炉本体１５の左右間の温度分布については調整できない
という欠点がある。
ンプＣにおいては、１本のタングステン線Ｗがその全長
にわたってフィラメント状に形成されて全体が発熱部分
となされているため、タングステン線Ｗに駆動電流Ｉを
流して発熱させたとき、管１１の温度分布はその長手方
向においてほぼ均一となる。従って、図５及び図６で示
す従来のランプアニール装置の場合、このハロゲンラン
プＣを、その長手方向を、ウェハ１４の挿入方向、即ち
炉本体１５の前後方向に対して直角にした状態で、多数
配列して構成しているため、炉本体１５の前後間（炉口
と炉奥間）に関する温度分布の調整については、各ハロ
ゲンランプＣを１本ずつ調整することで可能となるが、
炉本体１５の左右間の温度分布については調整できない
という欠点がある。
【０００５】従って、ウェハ１４に対し熱処理を行う場
合、ウェハ１４面内における温度分布を均一にすること
ができず、局部的な過熱現象が生じ、ウェハ１４上に形
成されるデバイスの歩留りの低下並びに特性の劣化を引
き起こすという不都合がある。
合、ウェハ１４面内における温度分布を均一にすること
ができず、局部的な過熱現象が生じ、ウェハ１４上に形
成されるデバイスの歩留りの低下並びに特性の劣化を引
き起こすという不都合がある。
【０００６】そこで、ウェハ１４面内における熱処理の
均一化を図るために、従来からハロゲンランプＣの上部
に反射板（図示せず）を設置するようにしているが、反
射板の形状及びハロゲンランプＣの製造上のばらつき等
によって熱処理の温度分布が変化するため、熱処理に係
る最適な条件（反射板の形状等）を見つけ出すのが非常
に困難であり、しかもその設定は非常に面倒である。
均一化を図るために、従来からハロゲンランプＣの上部
に反射板（図示せず）を設置するようにしているが、反
射板の形状及びハロゲンランプＣの製造上のばらつき等
によって熱処理の温度分布が変化するため、熱処理に係
る最適な条件（反射板の形状等）を見つけ出すのが非常
に困難であり、しかもその設定は非常に面倒である。
【０００７】本発明は、このような課題に鑑み成された
もので、その目的とするところは、簡単な構成で、管の
長手方向の温度分布を調整することができるハロゲンラ
ンプを提供することにある。また、本発明は、炉の前後
間並びに左右間の温度分布が調整でき、ウェハ面内にお
ける温度分布を均一にすることができる熱処理炉を提供
することにある。
もので、その目的とするところは、簡単な構成で、管の
長手方向の温度分布を調整することができるハロゲンラ
ンプを提供することにある。また、本発明は、炉の前後
間並びに左右間の温度分布が調整でき、ウェハ面内にお
ける温度分布を均一にすることができる熱処理炉を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、筒状管１内に
加熱源としてタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲ
ンランプＡにおいて、筒状管１の長手方向に沿う温度分
布を調整可能に構成する。例えば、筒状管１内に夫々発
熱部分ａの位置が異なる複数本のタングステン線Ｗ１
，Ｗ２ 及びＷ３ を封入して構成する。
加熱源としてタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲ
ンランプＡにおいて、筒状管１の長手方向に沿う温度分
布を調整可能に構成する。例えば、筒状管１内に夫々発
熱部分ａの位置が異なる複数本のタングステン線Ｗ１
，Ｗ２ 及びＷ３ を封入して構成する。
【０００９】また、本発明は、筒状管１内に加熱源とし
てタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲンランプＡ
を一方向に多数配列してなる熱処理炉Ｂにおいて、上記
構成のハロゲンランプ、即ち筒状管１の長手方向に沿う
温度分布が調整可能とされたハロゲンランプＡを一方向
に多数配列させて構成する。
てタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲンランプＡ
を一方向に多数配列してなる熱処理炉Ｂにおいて、上記
構成のハロゲンランプ、即ち筒状管１の長手方向に沿う
温度分布が調整可能とされたハロゲンランプＡを一方向
に多数配列させて構成する。
【００１０】
【作用】上述の本発明のハロゲンランプＡによれば、例
えば、筒状管１内に夫々発熱部分ａの位置が異なる複数
本のタングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ を封入し
て構成するようにしたので、各タングステン線Ｗ１ ，
Ｗ２ 及びＷ３ に流す駆動電流Ｉを制御することによ
り、筒状管１の長手方向に沿う温度分布が容易に調整可
能となる。
えば、筒状管１内に夫々発熱部分ａの位置が異なる複数
本のタングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ を封入し
て構成するようにしたので、各タングステン線Ｗ１ ，
Ｗ２ 及びＷ３ に流す駆動電流Ｉを制御することによ
り、筒状管１の長手方向に沿う温度分布が容易に調整可
能となる。
【００１１】また、本発明の熱処理炉Ｂによれば、筒状
管１の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされた上記
ハロゲンランプＡを一方向、例えば炉７の前後方向に多
数配列するようにしたので、炉７の前後間並びに炉７の
左右間の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内にお
ける温度分布を均一にすることができる。その結果、ウ
ェハ６上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向
上を図ることができる。
管１の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされた上記
ハロゲンランプＡを一方向、例えば炉７の前後方向に多
数配列するようにしたので、炉７の前後間並びに炉７の
左右間の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内にお
ける温度分布を均一にすることができる。その結果、ウ
ェハ６上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向
上を図ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、図１〜図３を参照しながら本発明の実
施例を説明する。図１は、本実施例に係るハロゲンラン
プＡを示す構成図である。
施例を説明する。図１は、本実施例に係るハロゲンラン
プＡを示す構成図である。
【００１３】このハロゲンランプＡは、ガラス等で形成
された中空の筒状管１内に３本のタングステン線Ｗ１
，Ｗ２ 及びＷ３ が、管１の両端に設けられた電極２
ａ及び２ｂ間に張設された形で封入されて構成されてい
る。各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ は、螺
旋状（フィラメント状）に形成された発熱部ａと直線状
の非発熱部ｂとからなり、１本目のタングステン線Ｗ１
は、その発熱部ａが一方の電極２ａ側に形成され、２
本目のタングステン線Ｗ２ は、その発熱部ａが中央部
分に形成され、３本目のタングステン線Ｗ３ は、その
発熱部ａが他方の電極２ｂ側に形成されている。即ち、
本例に係るハロゲンランプＡは、夫々発熱部ａの位置が
異なる３本のタングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３
を筒状管１内に封入して構成されている。尚、３はタン
グステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ がたるまないよう
にするための押え板である。
された中空の筒状管１内に３本のタングステン線Ｗ１
，Ｗ２ 及びＷ３ が、管１の両端に設けられた電極２
ａ及び２ｂ間に張設された形で封入されて構成されてい
る。各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ は、螺
旋状（フィラメント状）に形成された発熱部ａと直線状
の非発熱部ｂとからなり、１本目のタングステン線Ｗ１
は、その発熱部ａが一方の電極２ａ側に形成され、２
本目のタングステン線Ｗ２ は、その発熱部ａが中央部
分に形成され、３本目のタングステン線Ｗ３ は、その
発熱部ａが他方の電極２ｂ側に形成されている。即ち、
本例に係るハロゲンランプＡは、夫々発熱部ａの位置が
異なる３本のタングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３
を筒状管１内に封入して構成されている。尚、３はタン
グステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ がたるまないよう
にするための押え板である。
【００１４】上述の如く、本例のハロゲンランプＡによ
れば、筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本の
タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ を封入して構
成するようにしたので、各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２
及びＷ３ に流す電流Ｉを夫々制御することにより、
筒状管１の長手方向に沿う光量、即ち温度分布を容易に
調整することができる。
れば、筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本の
タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ を封入して構
成するようにしたので、各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２
及びＷ３ に流す電流Ｉを夫々制御することにより、
筒状管１の長手方向に沿う光量、即ち温度分布を容易に
調整することができる。
【００１５】各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３
に流す電流Ｉを制御する方法としては、例えば、ハロ
ゲンランプＡと電源４とをつなぐソケット５内に各タン
グステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ に対応した３個の
可変抵抗器Ｒ１ ，Ｒ２ 及びＲ３ を設けると共に、
各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ の各端子φ
１，φ２及びφ３に、対応する可変抵抗器Ｒ１ ，Ｒ２
及びＲ３ を接続し、電源４から供給される駆動電流
Ｉを夫々可変抵抗器Ｒ１ ，Ｒ２ 及びＲ３ で制御す
ればよい。
に流す電流Ｉを制御する方法としては、例えば、ハロ
ゲンランプＡと電源４とをつなぐソケット５内に各タン
グステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ に対応した３個の
可変抵抗器Ｒ１ ，Ｒ２ 及びＲ３ を設けると共に、
各タングステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ の各端子φ
１，φ２及びφ３に、対応する可変抵抗器Ｒ１ ，Ｒ２
及びＲ３ を接続し、電源４から供給される駆動電流
Ｉを夫々可変抵抗器Ｒ１ ，Ｒ２ 及びＲ３ で制御す
ればよい。
【００１６】次に、上記ハロゲンランプＡを用いたラン
プアニール装置、即ち熱処理炉Ｂについて、図２及び図
３を参照しながら説明する。尚、図２では、上記押え板
３を省略して示す。
プアニール装置、即ち熱処理炉Ｂについて、図２及び図
３を参照しながら説明する。尚、図２では、上記押え板
３を省略して示す。
【００１７】この熱処理炉Ｂは、１枚のウェハ６が収容
可能とされた石英製の炉本体７の上方及び下方において
、上記構成を有するハロゲンランプ、即ち筒状管１内に
夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタングステン線Ｗ１
，Ｗ２ 及びＷ３ を封入して構成されたハロゲンラ
ンプＡを多数配列して構成されている。各ハロゲンラン
プＡは、その長手方向がウェハ６の挿入方向（炉の前後
方向）に対して直角となるように炉本体７に配置される
。
可能とされた石英製の炉本体７の上方及び下方において
、上記構成を有するハロゲンランプ、即ち筒状管１内に
夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタングステン線Ｗ１
，Ｗ２ 及びＷ３ を封入して構成されたハロゲンラ
ンプＡを多数配列して構成されている。各ハロゲンラン
プＡは、その長手方向がウェハ６の挿入方向（炉の前後
方向）に対して直角となるように炉本体７に配置される
。
【００１８】そして、ウェハ６に対しランプアニールを
行うときは、ウェハ６を炉本体７の炉口から挿入して、
該ウェハ６を炉本体７内に収容したのち、各ハロゲンラ
ンプＡに電流を供給することにより、ハロゲンランプＡ
を発光させて熱処理を行う。尚、図３において、８は熱
処理用ガスを炉本体７に供給するためのガス導入口であ
る。
行うときは、ウェハ６を炉本体７の炉口から挿入して、
該ウェハ６を炉本体７内に収容したのち、各ハロゲンラ
ンプＡに電流を供給することにより、ハロゲンランプＡ
を発光させて熱処理を行う。尚、図３において、８は熱
処理用ガスを炉本体７に供給するためのガス導入口であ
る。
【００１９】上述の如く、本例の熱処理炉Ｂによれば、
筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタング
ステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ が封入されて、筒状
管１の長手方向に沿う温度分布が調整可能に構成された
ハロゲンランプＡを、炉本体７の前後方向に多数配列す
るようにしたので、炉本体７の前後間並びに炉本体７の
左右間の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内にお
ける温度分布を均一にすることができる。その結果、ウ
ェハ６上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向
上を図ることができる。
筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタング
ステン線Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ が封入されて、筒状
管１の長手方向に沿う温度分布が調整可能に構成された
ハロゲンランプＡを、炉本体７の前後方向に多数配列す
るようにしたので、炉本体７の前後間並びに炉本体７の
左右間の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内にお
ける温度分布を均一にすることができる。その結果、ウ
ェハ６上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向
上を図ることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明に係るハロゲンランプによれば、
簡単な構成で、管の長手方向の温度分布を容易に調整す
ることができる。また、本発明に係る熱処理炉によれば
、炉の前後間並びに左右間の温度分布が容易に調整でき
、ウェハ面内における温度分布を均一にすることができ
る。
簡単な構成で、管の長手方向の温度分布を容易に調整す
ることができる。また、本発明に係る熱処理炉によれば
、炉の前後間並びに左右間の温度分布が容易に調整でき
、ウェハ面内における温度分布を均一にすることができ
る。
【図１】本実施例に係るハロゲンランプを示す構成図。
【図２】本実施例に係る熱処理炉を一部省略して示す斜
視図。
視図。
【図３】本実施例に係る炉本体とハロゲンランプの配置
関係を示す説明図。
関係を示す説明図。
【図４】従来例に係るハロゲンランプを示す構成図。
【図５】従来例に係る熱処理炉を一部省略して示す斜視
図。
図。
【図６】従来例に係る炉本体とハロゲンランプの配置関
係を示す説明図。
係を示す説明図。
Ａ ハロゲンランプ
１ 筒状管
２ａ及び２ｂ 電極
３ 押え板
Ｗ１ ，Ｗ２ 及びＷ３ タングステン線Ｒ１ ，
Ｒ２ 及びＲ３ 可変抵抗器φ１，φ２及びφ３
端子 ａ 発熱部 ｂ 非発熱部 Ｂ 熱処理炉 ６ ウェハ ７ 炉本体
Ｒ２ 及びＲ３ 可変抵抗器φ１，φ２及びφ３
端子 ａ 発熱部 ｂ 非発熱部 Ｂ 熱処理炉 ６ ウェハ ７ 炉本体
Claims (2)
- 【請求項１】 筒状管内に加熱源としてタングステン
線が封入されてなるハロゲンランプにおいて、上記筒状
管の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされたハロゲ
ンランプ。 - 【請求項２】 筒状管内に加熱源としてタングステン
線が封入されてなるハロゲンランプを一方向に多数配列
してなる熱処理炉において、上記ハロゲンランプは、上
記筒状管の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされて
いることを特徴とする熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03051463A JP3103896B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | ハロゲンランプ及び熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03051463A JP3103896B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | ハロゲンランプ及び熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04286319A true JPH04286319A (ja) | 1992-10-12 |
| JP3103896B2 JP3103896B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=12887637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03051463A Expired - Fee Related JP3103896B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | ハロゲンランプ及び熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3103896B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09330886A (ja) * | 1996-06-10 | 1997-12-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の枚葉式熱処理装置 |
| JP2002022821A (ja) * | 2000-05-27 | 2002-01-23 | Daimlerchrysler Ag | 車間警報レーダー用のレーダードーム |
| JP2006279008A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-10-12 | Ushio Inc | ヒータ及びヒータを備えた加熱装置 |
| JP2007012846A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置および光照射式加熱方法 |
| JP2007095889A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Ushio Inc | 光照射式加熱方法 |
| JP2007157780A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置 |
| JP2008053035A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Ushio Inc | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
| JP2008071787A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置および光照射式加熱方法 |
| JP2009024947A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Panasonic Corp | 蒸気発生機能付き加熱装置 |
| JP2011103476A (ja) * | 2005-03-02 | 2011-05-26 | Ushio Inc | ヒータランプを備えた加熱装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101739979B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 금오공과대학교 산학협력단 | 자전거용 손잡이 및 자전거용 손잡이 제조방법 |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP03051463A patent/JP3103896B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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