JP3103896B2 - ハロゲンランプ及び熱処理炉 - Google Patents
ハロゲンランプ及び熱処理炉Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱源としてタングス
テン線を用いたハロゲンランプ及び該ハロゲンランプを
用いた熱処理炉に関する。
テン線を用いたハロゲンランプ及び該ハロゲンランプを
用いた熱処理炉に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェハに対するＲＴＰ（Ｒａｐｉ
ｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ）として、一般に
ランプアニールが施される。このランプアニールで用い
られるアニール装置としては、例えば加熱源にタングス
テン線を用いたハロゲンランプを使用している。従来の
ハロゲンランプＣは、図４に示すように、ガラス等で形
成された中空の管１１内に１本のタングステン線Ｗが、
管１１の両端に設けられた電極１２ａ及び１２ｂ間に張
設された形で封入されて構成されており、特に、上記タ
ングステン線Ｗは、全長にわたって螺旋状（フィラメン
ト状）に形成されて電極１２ａ及び１２ｂ間に張設され
ている。尚、１３はタングステン線Ｗがたるまないよう
にするための押え板である。
ｄ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓ）として、一般に
ランプアニールが施される。このランプアニールで用い
られるアニール装置としては、例えば加熱源にタングス
テン線を用いたハロゲンランプを使用している。従来の
ハロゲンランプＣは、図４に示すように、ガラス等で形
成された中空の管１１内に１本のタングステン線Ｗが、
管１１の両端に設けられた電極１２ａ及び１２ｂ間に張
設された形で封入されて構成されており、特に、上記タ
ングステン線Ｗは、全長にわたって螺旋状（フィラメン
ト状）に形成されて電極１２ａ及び１２ｂ間に張設され
ている。尚、１３はタングステン線Ｗがたるまないよう
にするための押え板である。
【０００３】また、従来のランプアニール装置は、図５
及び図６に示すように、１枚のウェハ１４が収容可能と
された石英製の炉本体１５の上方及び下方において、上
記ハロゲンランプＣが多数配列されて構成されている。
各ハロゲンランプＣは、その長手方向がウェハ１４の挿
入方向に対して直角となるように炉本体１５に配置され
る。そして、ウェハ１４に対しランプアニールを行うと
きは、ウェハ１４を炉本体１５の炉口から挿入して、該
ウェハ１４を炉本体１５内に収容したのち、各ハロゲン
ランプＣに電源（図４参照）１６からの駆動電流Ｉを供
給することにより、ハロゲンランプＣを発光させて熱処
理を行う。尚、この図５において、上記押え板１３を省
略して示す。また、図６において、１７は熱処理用ガス
を炉本体１５に供給するためのガス導入口である。
及び図６に示すように、１枚のウェハ１４が収容可能と
された石英製の炉本体１５の上方及び下方において、上
記ハロゲンランプＣが多数配列されて構成されている。
各ハロゲンランプＣは、その長手方向がウェハ１４の挿
入方向に対して直角となるように炉本体１５に配置され
る。そして、ウェハ１４に対しランプアニールを行うと
きは、ウェハ１４を炉本体１５の炉口から挿入して、該
ウェハ１４を炉本体１５内に収容したのち、各ハロゲン
ランプＣに電源（図４参照）１６からの駆動電流Ｉを供
給することにより、ハロゲンランプＣを発光させて熱処
理を行う。尚、この図５において、上記押え板１３を省
略して示す。また、図６において、１７は熱処理用ガス
を炉本体１５に供給するためのガス導入口である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のハロゲンラ
ンプＣにおいては、１本のタングステン線Ｗがその全長
にわたってフィラメント状に形成されて全体が発熱部分
となされているため、タングステン線Ｗに駆動電流Ｉを
流して発熱させたとき、管１１の温度分布はその長手方
向においてほぼ均一となる。従って、図５及び図６で示
す従来のランプアニール装置の場合、このハロゲンラン
プＣを、その長手方向を、ウェハ１４の挿入方向、即ち
炉本体１５の前後方向に対して直角にした状態で、多数
配列して構成しているため、炉本体１５の前後間（炉口
と炉奥間）に関する温度分布の調整については、各ハロ
ゲンランプＣを１本ずつ調整することで可能となるが、
炉本体１５の左右間の温度分布については調整できない
という欠点がある。
ンプＣにおいては、１本のタングステン線Ｗがその全長
にわたってフィラメント状に形成されて全体が発熱部分
となされているため、タングステン線Ｗに駆動電流Ｉを
流して発熱させたとき、管１１の温度分布はその長手方
向においてほぼ均一となる。従って、図５及び図６で示
す従来のランプアニール装置の場合、このハロゲンラン
プＣを、その長手方向を、ウェハ１４の挿入方向、即ち
炉本体１５の前後方向に対して直角にした状態で、多数
配列して構成しているため、炉本体１５の前後間（炉口
と炉奥間）に関する温度分布の調整については、各ハロ
ゲンランプＣを１本ずつ調整することで可能となるが、
炉本体１５の左右間の温度分布については調整できない
という欠点がある。
【０００５】従って、ウェハ１４に対し熱処理を行う場
合、ウェハ１４面内における温度分布を均一にすること
ができず、局部的な過熱現象が生じ、ウェハ１４上に形
成されるデバイスの歩留りの低下並びに特性の劣化を引
き起こすという不都合がある。
合、ウェハ１４面内における温度分布を均一にすること
ができず、局部的な過熱現象が生じ、ウェハ１４上に形
成されるデバイスの歩留りの低下並びに特性の劣化を引
き起こすという不都合がある。
【０００６】そこで、ウェハ１４面内における熱処理の
均一化を図るために、従来からハロゲンランプＣの上部
に反射板（図示せず）を設置するようにしているが、反
射板の形状及びハロゲンランプＣの製造上のばらつき等
によって熱処理の温度分布が変化するため、熱処理に係
る最適な条件（反射板の形状等）を見つけ出すのが非常
に困難であり、しかもその設定は非常に面倒である。
均一化を図るために、従来からハロゲンランプＣの上部
に反射板（図示せず）を設置するようにしているが、反
射板の形状及びハロゲンランプＣの製造上のばらつき等
によって熱処理の温度分布が変化するため、熱処理に係
る最適な条件（反射板の形状等）を見つけ出すのが非常
に困難であり、しかもその設定は非常に面倒である。
【０００７】本発明は、このような課題に鑑み成された
もので、その目的とするところは、簡単な構成で、管の
長手方向の温度分布を調整することができるハロゲンラ
ンプを提供することにある。また、本発明は、炉の前後
間並びに左右間の温度分布が調整でき、ウェハ面内にお
ける温度分布を均一にすることができる熱処理炉を提供
することにある。
もので、その目的とするところは、簡単な構成で、管の
長手方向の温度分布を調整することができるハロゲンラ
ンプを提供することにある。また、本発明は、炉の前後
間並びに左右間の温度分布が調整でき、ウェハ面内にお
ける温度分布を均一にすることができる熱処理炉を提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、筒状管１内に
加熱源としてタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲ
ンランプＡにおいて、筒状管１内に夫々発熱部分ａの位
置が異なる複数本のタングステン線Ｗ 1 ，Ｗ 2 及びＷ 3
を封入し、筒状管１の長手方向に沿う温度分布を調整可
能に構成する。
加熱源としてタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲ
ンランプＡにおいて、筒状管１内に夫々発熱部分ａの位
置が異なる複数本のタングステン線Ｗ 1 ，Ｗ 2 及びＷ 3
を封入し、筒状管１の長手方向に沿う温度分布を調整可
能に構成する。
【０００９】また、本発明は、筒状管１内に加熱源とし
てタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲンランプＡ
を一方向に多数配列してなる熱処理炉Ｂにおいて、上記
構成のハロゲンランプ、即ち筒状管１内に夫々発熱部分
ａの位置が異なる複数本のタングステン線Ｗ 1 ，Ｗ 2 及
びＷ 3 を封入し、筒状管１の長手方向に沿う温度分布が
調整可能とされたハロゲンランプＡを一方向に多数配列
させて構成する。
てタングステン線Ｗが封入されてなるハロゲンランプＡ
を一方向に多数配列してなる熱処理炉Ｂにおいて、上記
構成のハロゲンランプ、即ち筒状管１内に夫々発熱部分
ａの位置が異なる複数本のタングステン線Ｗ 1 ，Ｗ 2 及
びＷ 3 を封入し、筒状管１の長手方向に沿う温度分布が
調整可能とされたハロゲンランプＡを一方向に多数配列
させて構成する。
【００１０】
【作用】上述の本発明のハロゲンランプＡによれば、筒
状管１内に夫々発熱部分ａの位置が異なる複数本のタン
グステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 を封入して構成するよう
にしたので、各タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 に流
す駆動電流Ｉを制御することにより、筒状管１の長手方
向に沿う温度分布が容易に調整可能となる。
状管１内に夫々発熱部分ａの位置が異なる複数本のタン
グステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 を封入して構成するよう
にしたので、各タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 に流
す駆動電流Ｉを制御することにより、筒状管１の長手方
向に沿う温度分布が容易に調整可能となる。
【００１１】また、本発明の熱処理炉Ｂによれば、筒状
管１の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされた上記
ハロゲンランプＡを一方向、例えば炉７の前後方向に多
数配列するようにしたので、炉７の前後間並びに炉７の
左右間の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内にお
ける温度分布を均一にすることができる。その結果、ウ
ェハ６上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向
上を図ることができる。
管１の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされた上記
ハロゲンランプＡを一方向、例えば炉７の前後方向に多
数配列するようにしたので、炉７の前後間並びに炉７の
左右間の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内にお
ける温度分布を均一にすることができる。その結果、ウ
ェハ６上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向
上を図ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、図１〜図３を参照しながら本発明の実
施例を説明する。図１は、本実施例に係るハロゲンラン
プＡを示す構成図である。
施例を説明する。図１は、本実施例に係るハロゲンラン
プＡを示す構成図である。
【００１３】このハロゲンランプＡは、ガラス等で形成
された中空の筒状管１内に３本のタングステン線Ｗ1 ，
Ｗ2 及びＷ3 が、管１の両端に設けられた電極２ａ及び
２ｂ間に張設された形で封入されて構成されている。各
タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 は、螺旋状（フィラ
メント状）に形成された発熱部ａと直線状の非発熱部ｂ
とからなり、１本目のタングステン線Ｗ1 は、その発熱
部ａが一方の電極２ａ側に形成され、２本目のタングス
テン線Ｗ2 は、その発熱部ａが中央部分に形成され、３
本目のタングステン線Ｗ3 は、その発熱部ａが他方の電
極２ｂ側に形成されている。即ち、本例に係るハロゲン
ランプＡは、夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタング
ステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 を筒状管１内に封入して構
成されている。尚、３はタングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及び
Ｗ3 がたるまないようにするための押え板である。
された中空の筒状管１内に３本のタングステン線Ｗ1 ，
Ｗ2 及びＷ3 が、管１の両端に設けられた電極２ａ及び
２ｂ間に張設された形で封入されて構成されている。各
タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 は、螺旋状（フィラ
メント状）に形成された発熱部ａと直線状の非発熱部ｂ
とからなり、１本目のタングステン線Ｗ1 は、その発熱
部ａが一方の電極２ａ側に形成され、２本目のタングス
テン線Ｗ2 は、その発熱部ａが中央部分に形成され、３
本目のタングステン線Ｗ3 は、その発熱部ａが他方の電
極２ｂ側に形成されている。即ち、本例に係るハロゲン
ランプＡは、夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタング
ステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 を筒状管１内に封入して構
成されている。尚、３はタングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及び
Ｗ3 がたるまないようにするための押え板である。
【００１４】上述の如く、本例のハロゲンランプＡによ
れば、筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本の
タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 を封入して構成する
ようにしたので、各タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3
に流す電流Ｉを夫々制御することにより、筒状管１の長
手方向に沿う光量、即ち温度分布を容易に調整すること
ができる。
れば、筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本の
タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 を封入して構成する
ようにしたので、各タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3
に流す電流Ｉを夫々制御することにより、筒状管１の長
手方向に沿う光量、即ち温度分布を容易に調整すること
ができる。
【００１５】各タングステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 に流
す電流Ｉを制御する方法としては、例えば、ハロゲンラ
ンプＡと電源４とをつなぐソケット５内に各タングステ
ン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 に対応した３個の可変抵抗器Ｒ
1 ，Ｒ2 及びＲ3 を設けると共に、各タングステン線Ｗ
1 ，Ｗ2 及びＷ3 の各端子φ１，φ２及びφ３に、対応
する可変抵抗器Ｒ1 ，Ｒ2 及びＲ3 を接続し、電源４か
ら供給される駆動電流Ｉを夫々可変抵抗器Ｒ1 ，Ｒ2 及
びＲ3 で制御すればよい。
す電流Ｉを制御する方法としては、例えば、ハロゲンラ
ンプＡと電源４とをつなぐソケット５内に各タングステ
ン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 に対応した３個の可変抵抗器Ｒ
1 ，Ｒ2 及びＲ3 を設けると共に、各タングステン線Ｗ
1 ，Ｗ2 及びＷ3 の各端子φ１，φ２及びφ３に、対応
する可変抵抗器Ｒ1 ，Ｒ2 及びＲ3 を接続し、電源４か
ら供給される駆動電流Ｉを夫々可変抵抗器Ｒ1 ，Ｒ2 及
びＲ3 で制御すればよい。
【００１６】次に、上記ハロゲンランプＡを用いたラン
プアニール装置、即ち熱処理炉Ｂについて、図２及び図
３を参照しながら説明する。尚、図２では、上記押え板
３を省略して示す。
プアニール装置、即ち熱処理炉Ｂについて、図２及び図
３を参照しながら説明する。尚、図２では、上記押え板
３を省略して示す。
【００１７】この熱処理炉Ｂは、１枚のウェハ６が収容
可能とされた石英製の炉本体７の上方及び下方におい
て、上記構成を有するハロゲンランプ、即ち筒状管１内
に夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタングステン線Ｗ
1 ，Ｗ2 及びＷ3 を封入して構成されたハロゲンランプ
Ａを多数配列して構成されている。各ハロゲンランプＡ
は、その長手方向がウェハ６の挿入方向（炉の前後方
向）に対して直角となるように炉本体７に配置される。
可能とされた石英製の炉本体７の上方及び下方におい
て、上記構成を有するハロゲンランプ、即ち筒状管１内
に夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタングステン線Ｗ
1 ，Ｗ2 及びＷ3 を封入して構成されたハロゲンランプ
Ａを多数配列して構成されている。各ハロゲンランプＡ
は、その長手方向がウェハ６の挿入方向（炉の前後方
向）に対して直角となるように炉本体７に配置される。
【００１８】そして、ウェハ６に対しランプアニールを
行うときは、ウェハ６を炉本体７の炉口から挿入して、
該ウェハ６を炉本体７内に収容したのち、各ハロゲンラ
ンプＡに電流を供給することにより、ハロゲンランプＡ
を発光させて熱処理を行う。尚、図３において、８は熱
処理用ガスを炉本体７に供給するためのガス導入口であ
る。
行うときは、ウェハ６を炉本体７の炉口から挿入して、
該ウェハ６を炉本体７内に収容したのち、各ハロゲンラ
ンプＡに電流を供給することにより、ハロゲンランプＡ
を発光させて熱処理を行う。尚、図３において、８は熱
処理用ガスを炉本体７に供給するためのガス導入口であ
る。
【００１９】上述の如く、本例の熱処理炉Ｂによれば、
筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタング
ステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 が封入されて、筒状管１の
長手方向に沿う温度分布が調整可能に構成されたハロゲ
ンランプＡを、炉本体７の前後方向に多数配列するよう
にしたので、炉本体７の前後間並びに炉本体７の左右間
の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内における温
度分布を均一にすることができる。その結果、ウェハ６
上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向上を図
ることができる。
筒状管１内に夫々発熱部ａの位置が異なる３本のタング
ステン線Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 が封入されて、筒状管１の
長手方向に沿う温度分布が調整可能に構成されたハロゲ
ンランプＡを、炉本体７の前後方向に多数配列するよう
にしたので、炉本体７の前後間並びに炉本体７の左右間
の温度分布が容易に調整でき、ウェハ６面内における温
度分布を均一にすることができる。その結果、ウェハ６
上に形成されるデバイスの歩留り並びに特性の向上を図
ることができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明に係るハロゲンランプによれば、
簡単な構成で、管の長手方向の温度分布を容易に調整す
ることができる。また、本発明に係る熱処理炉によれ
ば、炉の前後間並びに左右間の温度分布が容易に調整で
き、ウェハ面内における温度分布を均一にすることがで
きる。
簡単な構成で、管の長手方向の温度分布を容易に調整す
ることができる。また、本発明に係る熱処理炉によれ
ば、炉の前後間並びに左右間の温度分布が容易に調整で
き、ウェハ面内における温度分布を均一にすることがで
きる。
【図１】本実施例に係るハロゲンランプを示す構成図。
【図２】本実施例に係る熱処理炉を一部省略して示す斜
視図。
視図。
【図３】本実施例に係る炉本体とハロゲンランプの配置
関係を示す説明図。
関係を示す説明図。
【図４】従来例に係るハロゲンランプを示す構成図。
【図５】従来例に係る熱処理炉を一部省略して示す斜視
図。
図。
【図６】従来例に係る炉本体とハロゲンランプの配置関
係を示す説明図。
係を示す説明図。
Ａ ハロゲンランプ １ 筒状管 ２ａ及び２ｂ 電極 ３ 押え板 Ｗ1 ，Ｗ2 及びＷ3 タングステン線 Ｒ1 ，Ｒ2 及びＲ3 可変抵抗器 φ１，φ２及びφ３ 端子 ａ 発熱部 ｂ 非発熱部 Ｂ 熱処理炉 ６ ウェハ ７ 炉本体
Claims (2)
- 【請求項１】 筒状管内に加熱源としてタングステン線
が封入されてなるハロゲンランプにおいて、上記筒状管内に夫々発熱部分の位置が異なる複数本のタ
ングステン線を封入し、 上記筒状管の長手方向に沿う温
度分布が調整可能とされたハロゲンランプ。 - 【請求項２】 筒状管内に加熱源としてタングステン線
が封入されてなるハロゲンランプを一方向に多数配列し
てなる熱処理炉において、 上記ハロゲンランプは、上記筒状管内に夫々発熱部分の
位置が異なる複数本のタングステン線を封入し、上記筒
状管の長手方向に沿う温度分布が調整可能とされている
ことを特徴とする熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03051463A JP3103896B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | ハロゲンランプ及び熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03051463A JP3103896B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | ハロゲンランプ及び熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04286319A JPH04286319A (ja) | 1992-10-12 |
| JP3103896B2 true JP3103896B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=12887637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03051463A Expired - Fee Related JP3103896B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | ハロゲンランプ及び熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3103896B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101739979B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 금오공과대학교 산학협력단 | 자전거용 손잡이 및 자전거용 손잡이 제조방법 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3504436B2 (ja) * | 1996-06-10 | 2004-03-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の枚葉式熱処理装置 |
| DE10026454C1 (de) * | 2000-05-27 | 2001-12-20 | Daimler Chrysler Ag | Radom für ein Abstands-Warn-Radar (AWR) |
| CN101295632B (zh) * | 2005-03-02 | 2010-12-08 | 优志旺电机株式会社 | 加热装置 |
| JP2006279008A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-10-12 | Ushio Inc | ヒータ及びヒータを備えた加熱装置 |
| JP2007012846A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置および光照射式加熱方法 |
| JP2007095889A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Ushio Inc | 光照射式加熱方法 |
| JP5013044B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2012-08-29 | ウシオ電機株式会社 | 光照射式加熱装置 |
| JP4893159B2 (ja) * | 2006-08-24 | 2012-03-07 | ウシオ電機株式会社 | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
| JP2008071787A (ja) * | 2006-09-12 | 2008-03-27 | Ushio Inc | 光照射式加熱装置および光照射式加熱方法 |
| JP5088942B2 (ja) * | 2007-07-20 | 2012-12-05 | パナソニック株式会社 | 蒸気発生機能付き加熱装置 |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP03051463A patent/JP3103896B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101739979B1 (ko) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | 금오공과대학교 산학협력단 | 자전거용 손잡이 및 자전거용 손잡이 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04286319A (ja) | 1992-10-12 |
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